TW201314139A - 清淨氣體送風單元 - Google Patents

Abstract

〔課題〕本發明係提供一種可使清淨氣體從清淨氣體送風面朝排氣用面適切地流動，且可良好地進行基板收納器之清洗的清淨氣體送風單元。〔解決手段〕一種清淨氣體送風單元，係可對基板收納器拆卸地裝設者，基板收納器係保管於保管裝置之收納器，包含：風扇過濾器單元，具有將基板收納器之4個側面中之1個側面作為清淨氣體送風面，且將與該清淨氣體送風面相對向之側面作為排氣用面，並從清淨氣體送風面朝排氣用面將清淨氣體通風；及一對遮蔽板，係覆蓋基板收納器之4個側面中除了清淨氣體送風面及排氣用面之2個側面。

Description

清淨氣體送風單元 發明領域

本發明係有關於一種可對於上下方向隔著間隔排列的狀態下收納基板之長方體形基板收納器可拆卸地安裝之清淨氣體送風單元。

發明背景

如上述之清淨氣體送風單元例如係裝設於保管裝置所保管之基板收納器，以抑制收納於基板收納器之基板附著塵埃。

亦即，基板收納器係在收納液晶顯示器或電漿顯示器所使用之玻璃基板等基板的狀態下，收納於保管裝置之收納部。且，對收納於基板收納器之基板，在進行蝕刻或清洗等種種處理時，以保管裝置具有之搬送裝置將基板收納器從收納部搬送到基板搬出搬入部，並對從基板收納器取出之基板進行種種處理。又，將已實施處理之基板再次收納於基板收納器，並以搬送裝置將收納了基板之基板收納器，從基板搬出搬入部搬送到收納部。

如此，於保管裝置保管基板收納器的狀態下，進行對收納於基板收納器之基板的處理。此時，由於保持在基板收納器之基板有附著塵埃之虞，所以清淨氣體送風單元裝設於基板收納器。

作為清淨氣體送風單元之習知例，有清淨氣 體送風單元係構成作為具有將清淨氣體送風之風扇過濾器單元之板狀框體，並對基板收納器可拆卸地裝設者(例如，參照專利文獻1)。

於該專利文獻1中，基板收納器係構成為橫倒姿勢之角筒形。清淨氣體送風單元係以位於基板收納器之開口狀態之一對側面中之其中一側面作為清淨氣體送風面，且其中另一側面作為排氣用面，從清淨氣體送風面朝排氣用面沿著水平方向將清淨氣體送風。該清淨氣體送風單元係在位於成為清淨氣體送風面之側面的狀態下，裝設於基板收納器。

作為清淨氣體送風單元之其他習知例，有清淨氣體送風單元構成為於載置基板收納器之板狀載置部之一端部，以起立姿勢設置具有將清淨氣體送風之風扇過濾器單元之板狀送風部的形態者(例如，參照專利文獻2)。

於該專利文獻2中，基板收納器係構成為橫倒姿勢之角筒形。清淨氣體送風單元之送風部係以位於基板收納器之開口狀態且一對側面之其中一側面作為清淨氣體送風面，且以其中另一側面作為排氣用面，從清淨氣體送風面朝排氣用面沿著水平方向將清淨氣體送風。

也就是，基板收納器在使成為清淨氣體送風面之側面相對向於清淨氣體送風單元的送風部的狀態下，載置於清淨氣體送風單元之載置部。

【先行技術文獻】

【專利文獻】

【專利文獻1】特開2010-89835號公報

【專利文獻2】特開2011-91270號公報

發明概要

基板收納器係於每經過適當期間等進行清洗等而被適時清洗，於該時候，清淨氣體送風單元從基板收納器分離。

亦及，在將基板收納器進行清洗時，一般會使用水溶液等清洗用液體進行清洗。由於在清淨氣體送風單元設置具有電子零件之風扇過濾器單元，為了抑制清淨氣體送風單元被清洗用液體弄濕，而將清淨氣體送風單元從基板收納器分離。

如此，基板收納器在分離了清淨氣體送風單元的狀態下，被適時清洗。此時，上述專利文獻1及專利文獻2記載之基板收納器在4個側面中除了與清淨氣體送風面與排氣用面對應之側面的2個側面由於成為遮蔽狀態，而有難以適切地進行基板收納器清洗之虞。

也就是，橫倒姿勢之角筒形的基板收納器由於在4個側面中除了與清淨氣體送風面與排氣用面相對應之側面的2個側面成為遮蔽狀態，所以在抑制朝外部洩漏的狀態下，可使來自清淨氣體送風單元之清淨氣體從清淨氣體送風面朝排氣用面適切地流動。但是，在清洗基板收納器時，起因於妨礙清洗用之液體流動於基板收納器之內部 等，而有難以適切地進行基板收納器清洗之虞。

本明係鑒於上述實際情況而完成者，其目的在於提供一種可使清淨氣體從清淨氣體送風面朝排氣用面適切地流動，且可良好地進行基板收納器清洗之清淨氣體送風單元。

本發明之清淨氣體送風單元係對以沿上下方向隔著間隔排列之狀態收納基板之長方體形基板收納器可拆卸地裝設者，其特徵在於：前述基板收納器係保管於保管裝置之收納器，且前述保管裝置具有：複數收納部，收納前述基板收納器；基板搬出搬入部，對前述基板收納器進行前述基板之取出及收納；及搬送裝置，在前述收納部與前述基板搬出搬入部之間搬送前述基板收納器，且前述清淨氣體送風單元包含有：風扇過濾器單元，係將前述基板收納器之4個側面中之1個側面作為清淨氣體送風面，且將與該清淨氣體送風面相對向之側面作為排氣用面，並從前述清淨氣體送風面朝前述排氣用面將清淨氣體通風者；及一對遮蔽板，係覆蓋前述基板收納器之4個側面中之除了前述清淨氣體送風面及前述排氣用面之2個側面者。

亦即，裝備於清淨氣體送風單元之風扇過濾器單元係將基板收納器之4個側面中之1個側面作為清淨氣體送風面，且將與該側面相對向之側面作為排氣用面，並從清淨氣體送風面朝排氣用面將清淨氣體送風。

且，裝備於清淨氣體送風單元之一對遮蔽板由於係覆 蓋基板收納器之4個側面中之除了清淨氣體送風面及排氣用面之2個側面，所以基板收納器之4個側面中之除了清淨氣體送風面及排氣用面之2個側面即使形成開口狀態，也可在抑制清淨氣體洩漏到外部的狀態下，使清淨氣體從清淨氣體送風面朝排氣面適切地流動。

如此，可一面使清淨氣體從清淨氣體送風面朝排氣面適切地流動，一面使基板收納器之4個側面中之除了清淨氣體送風面及排氣用面之2個側面成開口狀態。因此，在分離清淨氣體送風單元之狀態下(拆卸狀態)清洗基板收納器時，可通過該成為開口狀態之側面適切地使清洗用之液體流動於基板收納器之內部等良好地進行基板收納器的清洗。

總之，依據上述構成，提供一種可使清淨氣體從清淨氣體送風面朝排氣用面適切地流動，且可良好地進行基板收納器之清洗的清淨氣體送風單元。

在本發明清淨氣體送風單元之實施形態中，前述風扇過濾器單元係以配設於對應前述清淨氣體送風面之處所為佳。

亦即，由於配設於對應清淨氣體送風面之處所的風扇過濾器單元係將清淨氣體從清淨氣體送風面朝排氣用面送風，所以可一面謀求構成之精簡化，一面適切地將清淨氣體送風。

也就是考慮，在從清淨氣體送風面朝排氣用面將清淨氣體送風時，例如在清淨氣體送風單元之對應於 基板收納器之上面的處所等與清淨氣體送風面相異的處所，配設風扇過濾氣單元，且設置將來自該風扇過濾器單元之清淨氣體朝清淨氣體送風面導引之送風管的構成。

但是，於該構成之情況，藉由設置送風管，全體構成複雜化且來自風扇過濾器單元之清淨氣體在送風管內流動時起因於失速等，而有難以將清淨氣體適切地送風之虞。相對於此，在將風扇過濾器單元配設於對應清淨氣體送風面之處所時，由於風扇過濾器單元對清淨氣體送風面將清淨氣體直接送風，所以可一面謀求構成之精簡化，一面適切地將清淨氣體送風。

總之，依據上述構成，可提供一面謀求構成之精簡化，一面適切地將清淨氣體送風之清淨氣體送風單元。

在本發明清淨氣體送風單元之實施形態中，以更包含覆蓋前述排氣用面之排氣用板狀體，且於前述排氣用板狀體，複數排氣用之通氣孔分散形成平面狀者為佳。

亦即，由於從清淨氣體送風面朝排氣用面送風之清淨氣體通過形成在覆蓋排氣用面之排氣用板狀體之通氣孔而朝外部排出的狀態流動，所以可謀求運轉成本的降低。

也就是，基板收納器之排氣用面為開口狀態時，為了抑制塵埃從該開口狀態之側面(排氣用面)朝基板收納器之內部侵入，所以需要使清淨氣體之風力增加。其結果，藉由風扇過濾器單元之驅動能量的增加，而增加運轉 成本。相對於此，將基板收納器之排氣用面以形成通氣孔之排氣用板狀體覆蓋時，即使清淨氣體之風力降低，也可從通氣孔噴出清淨氣體，而抑制塵埃從通氣孔朝基板收納器之內部侵入。因此，藉由清淨氣體之風力降低而可謀求運轉成本之降低。

又，由於通氣孔分散成平面狀而形成在排氣用板狀體，所以可使清淨氣體橫跨基板收納器之內部空間全體流動。藉此，對收納於基板收納器之複數基板的各個沿著其全面使清淨氣體流動，而可適切地抑制塵埃對基板之附著。

總之，依據上述構成，可提供一面謀求運轉成本降低，一面適切地抑制塵埃對基板之附著的清淨氣體送風單元。

在本發明清淨氣體送風單元之實施形態中，以於對應前述基板收納器之底面的處所，形成用以將前述基板收納器插入脫離之容器插入脫離用開口者為佳。

亦即，由於清淨氣體送風單元在對應於基板收納器之底面的處所具備有用以將基板收納器插入脫離之容器插入脫離用開口，所以在對基板收納器將基板收納或取出時、或是清洗基板收納器時，在將基板收納器通過容器插入脫離用開口插入脫離的形態下，可易於將基板收納器對清淨氣體送風單元安裝及拆卸。

總之，依據上述構成，可提供一種易於進行基板收納器之安裝拆卸的清淨氣體送風單元。

在本發明清淨氣體送風單元之實施形態中，以前述基板收納器構成為可從前述排氣用面將前述基板插入脫離，且於前述排氣用板狀體之與朝上下方向排列收納於前述基板收納器之前述基板中最下段基板相對向的相對向位置、或是較該相對向位置位於下方側之位置，形成使前述基板插通之插通孔者為佳。

亦即，於基板搬出搬入部，在將基板對基板收納器取出或收納時，將清淨氣體送風單元保持於上下方向之一定位置的狀態下，一面通過容器插入脫離用開口將基板收納器插入脫離，一面朝上下方向移動。而且，在將插入脫離對象之基板的位置調整成形成在排氣用板狀體之插通孔的位置之狀態下，可使該基板一面通過插通孔沿著基板插入脫離方向(例如水平方向)移動，一面在對基板收納器插入脫離的形態下進行。

進一步說明，將用以將清淨氣體送風單元保持於上下方向之一定位置的保持構件、使基板收納器朝上下方向移動之升降裝置、及使基板沿著基板插入脫離方向移動以對基板收納器插入脫離的基板移動裝置設於基板搬出搬入部。

而且，從基板收納器取出基板時，一般來說，由於係從排列於上下方向之基板的下方側者依序取出，所以首先使排列於上下方向之基板中最下段基板之位置成為與形成在排氣用板狀體之插通孔相對向的位置。

且，在插通孔形成於與朝上下方向排列收納之基板中 最下段之基板相對向的相對向位置時，由於最下段基板位於與插通孔相對向的位置，所以不需將基板收納器對保持於上下方向之一定位置的清淨氣體送風單元下降。另一方面，在插通孔形成於較上述相對向位置更下方側的位置時，為了使最下段之基板位於與插通孔相對向的位置，所以使基板收納器對保持於上下方向之一定位置的清淨氣體送風單元下降。

朝上下方向排列之基板中最下段之基板位於與形成在排氣用板狀體之插通孔相對向之位置的狀態，使基板移動裝置作動，使基板一面通過形成在排氣用板狀體之插通孔沿著基板插入脫離方向移動，一面從基板收納器取出。

藉由基板移動裝置之作動取出基板完成時，藉由升降裝置使基板收納器下降，以使鄰接於已取出之基板上方的基板之位置成為與形成在排氣用板狀體之插通孔相對向的位置，之後，使基板移動裝置作動，從基板收納器取出基板。直到完成取出最上段之基板，反覆進行藉由升降裝置使基板收納器下降，及藉由基板移動裝置取出基板。

於基板收納器收納基板時，一般來說，由於從朝上下方向排列之基板的最上段者依序收納，所以使升降裝置作動，以使收納朝上下方向排列之基板中最上段之基板的位置成為與形成在排氣用板狀體之插通孔相對向的位置。

在收納朝上下方向排列之基板中最上段之基板的位置與形成在排氣用板狀體之插通孔相對向的位置一致的狀態，使基板移動裝置作動，使基板一面通過形成在排氣用板狀體之插通孔朝基板插入脫離方向移動，一面收納於基板收納器。

藉由基板移動裝置之作動收納基板完成時，藉由升降裝置使基板收納器上升，使鄰接於已收納之基板下方的基板之收納位置成為與形成在排氣用板狀體之插通孔相對向的位置，之後，使基板移動裝置作動，於基板收納器收納基板。直到最下段基板之收納完成，反覆進行藉由升降裝置使基板收納器上升，及藉由基板移動裝置收納基板。

如此，將基板從基板收納器取出或是將基板收納於基板收納器時，由於可通過形成在排氣用板狀體之插通孔使基板沿著基板插入脫離方向移動，所以可利用藉由升降裝置使基板收納器升降之升降量減少，而謀求升降裝置之精簡化。

也就是，雖裝備有排氣用板狀體，但是於未形成插通孔時，必須通過排氣用板狀體之下方側沿著基板插入脫離方向使基板移動。於該情況時，使基板收納器朝清淨氣體送風單元之下方側脫出的量(下降量)，係較通過形成在排氣用板狀體之插通孔使基板沿著基板插入脫離方向移動時變大，藉由升降裝置使基板收納器升降的升降量增加，而有升降裝置複雜化之虞。相對於此，於排氣用板狀 體形成插通孔時，由於可通過該插通孔使基板移動，所以利用藉由升降裝置使基板收納器升降之升降量減少，而可謀求升降裝置之精簡化。

總之，依據上述構成，可提供一種可將基板從基板收納器取出時或是將基板收納於基板收納器時，使讓基板收納器升降之升降量減少，謀求使基板收納器升降之升降裝置之精簡化的清淨氣體送風單元。

圖式簡單說明

圖1係基板處理設備之側面圖。

圖2係保管裝置之主要部分俯視圖。

圖3係基板收納器與清淨氣體送風單元之立體圖。

圖4係基板搬出搬入部之前視圖。

圖5係顯示基板搬出狀態之切口立體圖。

圖6係顯示基板收納器之下降狀態的切口側面圖。

圖7係顯示基板搬出狀態之切口側面圖。

圖8係顯示基板搬出狀態之切口側面圖。

較佳實施例之詳細說明

【用以實施發明之形態】

依據圖面說明本發明之實施形態。且，有關以下說明之基板收納器K或清淨氣體送風單元J之各方向，係裝設了清淨氣體送風單元J之基板收納器K在收納於保管棚架14之收納部S的狀態之方向。

如圖1所示，於垂直層流式的無塵室R內構成有用以 保管長方體形之基板收納器K(參照第3圖)的保管裝置A、及並排設置基板處理裝置W且以基板處理裝置W處理保持於基板收納器K之矩形基板1(參照圖5)之基板處理設備。

於基板收納器K可拆卸地裝設有清淨氣體送風單元J(參照圖5)。亦即，清淨氣體送風單元J係構成對基板收納器K可自由裝卸(亦即，安裝及拆卸兩者為可能)。基板收納器K在清淨氣體送風單元J裝設的狀態下，保管於保管裝置A。

於本實施形態中，基板1係矩形之玻璃基板，基板處理裝置W係對基板1進行蝕刻或清洗等處理。

無塵室R係於地板部設有格柵2，且於天花板部設有HEPA過濾器3。格柵2下方之吸氣室4與HEPA過濾器3上方之腔室5係以具有通風扇6及初級過過濾器7之循環路8連通連接，藉由通風扇6之通風作動，淨化後之空氣從天花板部朝地板部流動。

於循環路8之通風扇6之空氣流動方向上游側處連接外氣取入路8A，於循環路8之通風扇6之空氣流動方向下游側處連接排氣路8B，而構成為循環之空氣之一部分與外部氣體替換。

如圖3所示，基板收納器K係構成為於上下方向隔著間隔排列的狀態下，收納矩形基板1的長方體形。本說明書中，所謂「上下方向」係不限於鉛直方向，使用作為包含對鉛直方向交叉之方向的概念。亦即，上下方向 可成對鉛直方向傾斜的方向。在本實施形態中，設計上，上下方向係與鉛直方向一致。基板收納器K具體而言包含上框體9a、下框體9b、連結體9c及支持部9d。上框體9a及下框體9b形成格子狀。連結體9c係配置於上框體9a及下框體9b之兩橫側緣部及後側緣部。具有複數連結體9c，複數連結體9c之各個係形成連結上框體9a與下框體9b之帶板狀。支持部9d架設在於橫方向相對向之連結體9c之間。且在上下方向排列之狀態下設有複數支持部9d，複數支持部9d之各個係形成線狀。

具體而言，複數線狀之支持部9d係於上下方向和前後方向隔著間隔狀態下配置，且構成在以複數於前後方向排列之支持部9d支持一片基板1的狀態下，於上下方向排列的狀態下支持複數片基板1。

又，基板收納器K於4個側面中前方側之側面不配置連結體9c，並構成為可從其前方側之側面將基板1插入脫離。亦即，有關基板收納器K之「前後方向」係對上下方向直交的方向，且與基板1之對基板收納器K的插入脫離方向(基板插入脫離方向)一致。又，有關基板收納器K之「左右方向」或是「橫方向」係對上下方向及前後方向之雙方直交的方向。在本實施形態中，上下方向由於設計上與鉛直方向一致，所以前後方向設計上與水平方向一致，左右方向設計上與對前後方向直交之水平方向一致。

再者，上框體9a及下框體9b形成格子狀，又，複數連結體9c隔著間隔配設，且藉由於前方側之側面不存在連 結體9c，基板收納器K構成為於清洗時，通過其上面、下面及4個側面(上面及下面以外的面)，可流出流入清洗用之液體。亦即，本實施形態中，基板收納器K於上面、下面及4個側面之合計6個面的各個，形成連通基板收納器K之內部(基板1之收納空間)與外部之開口部。亦即，該6個面之各個係形成開口狀態，藉由包含開口部與形成該開口部之框部的假想面，形成該6個面之各面。

如圖3及圖5所示，清淨氣體送風單元J包含風扇過濾器單元F、及一對遮蔽板10。在風扇過濾器單元J於裝設在基板收納器K的狀態下(以下稱為「裝設狀態」)，將作為基板收納器K之4個側面中之1個側面的背面(後面)作為清淨空氣送風面，且將作為與該清淨空氣送風面相對向的側面之前面作為排氣用面，從清淨氣體送風面朝排氣用面將清淨空氣進行通風。亦即，在本實施形態中，風扇過濾器單元F沿著基板插入脫離方向之前後方向(在本實施形態中為水平方向)將清淨氣體進行通風。一對遮蔽板10配置成於裝設狀態覆蓋基板收納器K之4個側面中之除了清淨氣體送風面及前述排氣用面的2個側面。風扇過濾器單元F係將送風裝置(送風扇)與除塵過濾器一體地組裝之送風單元。在本實施形態中，一對遮蔽板10配置成相互平行。

亦即，清淨氣體送風單元J包含組裝了風扇過濾器單元F之縱姿勢之矩形的送風用框體11，且於該送風用框體11之兩橫側部連結支持一對遮蔽板10。此處，所 謂「縱姿勢」係沿著上下方向之姿勢。

又，本實施形態之清淨氣體送風單元J係於裝設狀態覆蓋基板收納器K上面之上板12連結支持於送風用框體11，且連結於一對遮蔽板10。在本實施形態中，上板12係配置成法線方向成為與上下方向平行。再者，在本實施形態中，於裝設狀態覆蓋基板收納器K前面(排氣用面)之排氣用板狀體13係在連結於一對遮蔽板10及上板12的狀態下設置。亦即，排氣用板狀體13係配置於與排氣用面相對應之處所，具體而言，沿著與排氣用面直交之方向來看，於基板收納器K之外側配置成與該排氣用面之全體重疊。在本實施形態中，排氣用板狀體13係配置成與送風用框體1平行。

於排氣用板狀體13，複數排氣用之通氣孔T係分散形成平面狀。具體而言，在本實施形態中，複數通氣孔T配置成正方格子狀，且於上下方向及左右方向分散配置。又，在本實施形態中，複數通氣孔T之各個其斷面形狀係圓形，互相具有相同之孔徑。複數通氣孔T也可使為配置成六方格子狀(三角格子狀)之構成，或是配置成不規則之構成。

又，清淨氣體送風單元J係對應於基板收納器K之底面(下面)的處所(也就是，為下側之端部的底部)開口，清淨氣體送風單元J於底部具有用以將基板收納器K插入脫離之容器插入脫離用開口U。亦即，於清淨氣體送風單元J形成向下開口之容器插入脫離用開口U。容器插 入脫離用開口U在本實施形態中係藉由一對遮蔽板10之各個之下端部、送風用框體11之下端部、及排氣用板狀體13之下端部劃分而形成。如圖4所示，在本實施形態中，於裝設狀態，容器插入脫離用開口U配置於與基板收納器K之底面上下方向相同的位置。在本實施形態中，一對遮蔽板10之各個之法線方向係與左右方向平行，送風用框體11及排氣用框體13之各個的法線方向係與前後方向平行。且，該等一對遮蔽板10、送風用框體11及排氣用板狀體13之各個在上下方向視係配置於基板收納器K之外側。是故，本實施形態中容器插入脫離用開口U係矩形之開口，且上下方向視係形成較基板收納器K之外形大。亦即，清淨氣體送風單元J係較基板收納器K大之長方體形，且形成向下開口之長方體形。

於本實施形態中，如圖6所示，送風用框體11與排氣用板狀體13之間隔係形成可於其等之間定位保持基板收納器K之間隔，又，如圖4所示，一對遮蔽板10之間隔係形成可於其等之間定位保持基板收納器K之間隔。且，於圖4、圖6雖係顯示送風用框體11、排氣用板狀體13及一對遮蔽板10之各個對基板收納器K接觸保持的狀態，然而實際上，送風用框體11、排器用板狀體13及一對遮蔽板10之各個、與基板收納器K之間，形成用以可將基板收納器K與清淨氣體送風單元J於上下方向相對移動之間隙。

因此，清淨氣體送風單元J係構成為在使送風用框體11對應於基板收納器K之背面的狀態下，藉由裝 設成從上方覆蓋基板收納器K，使風扇過濾器單元F送風之清淨氣體沿著基板1之表面流動。

於本實施形態中，由於清淨氣體送風單元J在使送風用框體11對應於基板收納器K之背面的狀態下，裝設於基板收納器K，所以風扇過濾器單元F配設於對應清淨氣體送風面之處所。亦即，風扇過濾單元F沿著與清淨氣體送風面直交的方向來看，配置成於基板收納器K之外側與該清淨氣體送風面之至少一部分(在本例中為全體)重疊。在本實施形態中，風扇過濾器單元F配置成與清淨氣體送風面相對向，清淨氣體送風面係藉由具有風扇過濾器單元F之送風用框體11覆蓋。

又，排氣用板狀體13之與於上下方向排列收納在基板收納器K之基板1中最下段的基板1相對向之對向位置(與該基板1上下方向相同之位置)，形成使基板1插通之插通孔Q。如後述，藉由通過該插通孔Q而使基板1移動，可對基板收納器K進行基板1之收納及取出。

雖未圖示，然而清淨氣體送風單元J包含驅動風扇過濾器單元F之電池、及保管於保管裝置A時供給電力且將電池充電之受電端子。

保管裝置A如圖1及圖2所示，包含有複數收納基板收納器K之收納部S、對基板收納器K進行基板1之取出及收納之基板搬出搬入部SA、及作為在收納部S與基板搬出搬入部SA之間搬送基板收納器K之搬送裝置的堆高式起重機D。

在本實施形態中，設置一對複數收納部S並排設置於棚架上下方向及棚架橫寬方向之保管棚架14。一對保管棚架14在使物品取出放入方向相互對向的狀態下隔著間隔設置，於該一對保管棚架14之間裝備有堆高式起重機D。在本實施形態中，基板收納器K在收納於收納部S之狀態下，棚架上下方向係與基板收納器K之上下方向一致，棚架橫寬方向係與基板收納器K之左右方向一致，棚架前後方向係與基板收納器K之前後方向一致。

保管棚架14係將由排列於棚架前後方向之一對支柱14A構成之支柱組並排設置於棚架橫寬方向，且於該支柱組之各個於棚架上下方向排列設置托架15而構成，該托架15係載置支持基板收納器K及裝設於該基板收納器K之清淨氣體送風單元J之兩者。於棚架橫寬方向鄰接之支柱組之間在棚架上下方向排列的狀態形成複數收納部S。

於托架15裝備有用以對清淨氣體送風單元J供電之供電裝置E，清淨氣體送風單元J載置支持於托架15時，對清淨氣體送風單元J之受電端子從供電裝置E供給電力。

一對保管棚架14之間的地板部設置一對用以導引堆高式起重機D之行駛軌道16。

堆高式起重機D包含沿著行駛軌道16行駛之行駛台車17、沿著豎立設置於該行駛台車17之桅桿18(在本例中為一對桅桿18)升降之升降台19、及裝設於該升降台19之物品移載裝置B。

物品移載裝置B係如圖2所示，包含對升降 台19繞上下軸心(沿著棚架上下方向之軸心)P迴旋之迴旋台20、載置支持基板收納器K及清淨氣體送風單元J之兩者的板狀物品移載體21、及對迴旋台20可進退地支持該物品移載體21之一對屈伸連桿22。

藉由屈伸連桿22之屈伸動作，而於使物品載置體21朝升降台19側引退之引退位置、與朝外方突出之突出位置進退操作，且藉由升降台19之升降動作而升降操作物品載置體21，藉以將基板收納器K及裝設於基板收納器K之清淨氣體送風單元J對收納部S及基板搬出搬入部SA移載。

於基板搬出搬入部SA如圖1及圖4所示，裝備著作為將清淨氣體送風單元J保持於上下方向之一定位置的保持構件之承接框23、接受支持基板收納器K且使朝上下方向移動之升降裝置24、及沿著基板插入脫離方向之前後方向(在本實施形態為水平方向)使基板1移動，且作為對基板收納器K插入脫離基板1之基板移動裝置，以載置搬送基板1的搬送輸送機25。

又，如圖1所示，在搬送輸送機25與基板處理裝置W之間，裝備有載置搬送基板1之中繼搬送輸送機26。

因此，構成為將從基板收納器K取出之基板1藉由搬送輸送機25及中繼搬送輸送機26而搬送至基板處理裝置W，且相反地將從基板處理裝置W搬出之基板1藉由中繼搬送輸送機26及搬送輸送機25進行搬送，而可收納於基板收納器K。

中繼搬送輸送機26其上部及兩側部係以遮蔽壁27包圍，且裝備於以裝備在天花板部之淨化用之風扇過濾器單元28將清淨氣體通風之搬送空間H，而成為在基板收納器K與基板處理裝置W之間的搬送中，回避塵埃附著於基板1。

承接框23在本實施形態中如圖4及圖5所示，係為了接受支持清淨氣體送風單元J底部之4個角部，並對應該4個角部設置4個。承接框23之各個係平面視形狀形成L字形，且雖未圖式，係連結支持於保管棚架14之支柱14A。

且，承接框23如圖7及圖8所示，作為保持清淨氣體送風單元J之上下方向的一定位置，保持清淨氣體送風單元J，在以搬送輸送機25載置搬送之基板1通過插通孔Q的位置。

升降裝置24如圖4及圖5所示，將沿著基板收納器K之前後方向形成長狀之左右一對升降框24A，藉由升降驅動裝置24B(參照圖1)進行升降操作。

升降框24A之前後方向的長度係可通過於前後方向排列之承接框23之間升降的長度，且升降框24A之橫寬係設定成除了基板收納器K之外可載置清淨氣體送風單元J的橫寬。

而且，升降框24A如圖4及圖6所示，於堆高式起重機D進行對基板搬出搬入部SA降下裝設有清淨氣體送風單元J之基板收納器K(以下，略稱為具清淨氣體 送風單元J之基板收納器K)之降下處理時，或堆高式起重機D進行從基板搬出搬入部SA將具清淨氣體送風單元J之基板收納器K捧起之捧起處理時，會升降至用以將具清淨氣體送風單元J之基板收納器K保持於移載用高度之移載用升降位置。

亦即，堆高式起重機D進行對基板搬出搬入部SA降下具清淨氣體送風單元J之基板收納器K之降下處理時，對移載用升降位置之升降框24A，降下具清淨氣體送風單元J之基板收納器K。又，堆高式起重機D進行從基板搬出搬入部SA捧起具清淨氣體送風單元J之基板收納器K之捧起處理時，捧起支持於移載用升降位置之升降框24A之具清淨氣體送風單元J之基板收納器K。

在搬送輸送機25、與藉由支持於移載用升降位置之升降框24A而保持於移載用之高度的具清淨氣體送風單元J之基板收納器K之間，形成用以將裝備在堆高式起重機D之物品移載裝置B之物品移載體21插入脫離的空間。

又，升降框24A在堆高式起重機D之對基板搬出搬入部SA之降下具清淨氣體送風單元J的基板收納器K之降下處理完成時，如圖7所示，會下降至清淨氣體送風單元J被以承接框23接住支持的初期位置。之後，在每次藉由搬送輸送機25之動作取出基板1，以相當於排列在上下方向之基板1之上下間隔的升降量，依序下降升降框24A。最終，如圖8所示，升降框24A下降至排列在上下方向之基板1之最上段基板1成與插通孔Q相對向之位置(與 插通孔Q上下方向相同的位置)的最下降位置。

再者，升降框24A在將從基板處理裝置W搬出之基板1收納於基板收納器K時，如圖8所示，位於最下降位置。

在該狀態下，最初之基板1藉由搬送輸送機25之動作而收納於基板收納器K時，升降框24A以相當於排列在上下方向之基板1之上下間隔的升降量上升。以下，於每次藉由搬送輸送機25之動作收納基板1，升降框24A以相當於排列在上下方向之基板1之上下間隔的升降量依序上升。最終，如圖7所示，升降框24A上升到排列在上下方向之基板1之最下段基板1成與插通孔Q相對向之位置的初期位置。

而且，升降框24A在對基板收納器K之基板1的收納完成時，上升到移載用升降位置。

於該狀態，堆高式起重機D進行將保持於移載用升降位置之升降框24A之具清淨氣體送風單元J的基板收納器K捧起之捧起處理。

亦即，本實施形態中，於基板搬出搬入部SA，在對基板收納器K取出基板1或收納基板1時，在將清淨氣體送風單元J保持於上下方向之一定位置的狀態下，使基板收納器K一面通過容器插入脫離用開口U插入脫離，一面朝上下方向移動。而且，在將插入脫離對象之基板1的位置調整成形成於排氣用板狀體13之插通孔Q位置的狀態下，使該基板1以一面通過插通孔Q移動，一面對基板 收納器K插入脫離的形態進行。

也就是，在從基板收納器K取出基板1時，一般來說，由於是從排列在上下方向之基板1之下方側者依序取出，所以使升降裝置24作動，以使排列在上下方向之基板1中最下段之基板1的位置成為與形成在排氣用板狀體13之插通孔Q相對向的位置。

於本實施形態中，插通孔Q由於在裝設狀態係形成於與朝上下方向排列收納之基板1中最下段之基板1相對向的相對向位置，如上述，使升降框24A下降至清淨氣體送風單元J被以承接框23接住的初期位置。

而且，朝上下方向排列之基板1中最下段之基板1在位於與形成在排氣用板狀體13之插通孔Q相對向之位置的狀態，使搬送輸送機25作動，使基板1一面通過形成在排氣用板狀體13之插通孔Q移動，一面從基板收納器K取出。

藉由搬送輸送機25之作動而取出基板1完成時，藉由升降裝置24使基板收納器K下降，以使鄰接於經取出之基板1上方之基板1的位置成為與形成在排氣用板狀體13之插通孔Q相對向的位置，之後，使搬送輸送機25作動，從基板收納器K取出基板1。反覆藉由升降裝置24使基板收納器K下降及藉由搬送輸送機25取出基板1，直到最上段基板1之取出完成。

將基板1收納於基板收納器K時，一般來說，為了從朝上下方向排列之基板1之最上段者依序收納，使 升降裝置24作動，以使收納朝上下方向排列之基板1中最上段基板1的位置成為與形成在排氣用板狀體13之插通孔Q相對向的位置。

於本實施形態中，如上述，使升降框24A位於最下降位置。

而且，在收納朝上下方向排列之基板1中最上段基板1的位置與形成在排氣用板狀體13之插通孔Q相對向的位置一致的狀態下，使搬送輸送機25作動，使基板1一面通過形成在排氣用板狀體13之插通孔Q移動，一面收納於基板收納器K。

藉由搬送輸送機25之作動而完成基板1之收納時，藉由升降裝置24使基板收納器K上升，以使鄰接於已收納之基板1下方之基板1的收納位置成為與形成在排氣用板狀體13之插通孔Q相對向的位置，之後，使搬送輸送機25作動，將基板1收納於基板收納器K。反覆藉由升降裝置24使基板收納器K上升及藉由搬送輸送機25收納基板1，直到最下段基板1之收納完成。

作為升降裝置24之升降驅動裝置24B，係可適用構成為將可升降地支持升降框24A之滑動式支持機構或連桿式支持機構，以電動式汽缸等制動器進行升降操作之種種構成者。

搬送輸送機25係於支持框體25A上部具備有多數可於驅動狀態與停止狀態切換之搬送用輥25B。

而且，於支持框體25A形成伴隨升降框24A從初期位 置下降到最下降位置，基板收納器K之格子狀下框體9b插入之凹入部N(溝部)。

如上述，基板收納器K通過清淨氣體送單元J底部之容器插入脫離用開口U，而可從清淨氣體送風單元J分離，換言之，清淨氣體送風單元J可對基板收納器K裝設，且可從基板收納器K拆卸。是故，使用清洗液等清洗基板收納器K時，可在從基板收納器K分離清淨氣體送風單元J的狀態，清洗基板收納器K。

基板收納器K之清洗裝置也可與基板處理裝置W同樣地設於保管裝置A之橫側，從保管裝置A搬送，也可是將清洗對象之基板收納器K從保管裝置A出庫，以另外設置之清洗裝置進行清洗。

裝備管理基板處理設備之運轉的管理裝置、及依據來自該管理裝置之指令控制堆高式起重機D、升降裝置24及搬送輸送機25等機器類之動作的控制裝置，進行基板收納器K之搬送、及基板1對基板收納器K之取出或收納。由於該控制動作可從上述說明明瞭，所以於本實施形態省略其詳細說明。

〔其他實施形態〕

接著，列記其他實施形態。

(1)在上述實施形態中，雖例示了清淨氣體送風單元J具有覆蓋基板收納器K上面之上板12的情況，然而於基板收納器K上部(上面)被封閉的狀態下被形成等時，也可使清淨氣體送風單元J不具有上板12。

(2)在上述實施形態中，雖例示了將基板收納器K4個側面中與基板1插入脫離之前面相對向之背面作為清淨氣體送風面，且使前面作為排氣用面的情況，然而也可以將基板收納器K之4個側面中一對橫側面中之其中一者作為清淨氣體送風面，剩下的橫側面作為排氣用面的形態實施。此時，風扇過濾器單元F所產生之清淨氣體的通風方向係成為對基板插入脫離方向之前後方向直交的左右方向。

(3)在上述實施形態中，雖例示了於對應基板收納器K底面之處所形成容器插入脫離用開口U的情況，然而也可是例如於對應排氣用面之處所形成容器插入脫離用開口U，或是於對應基板收納器K之上面的處所形成容器插入脫離用開口U。此時，也可構成為將清淨氣體送風單元J之對應於基板收納器K底面之處所封閉。

(4)在上述實施形態中，雖例示了風扇過濾器單元F配設於清淨氣體送風單元J之對應清淨氣體送風面之處所的情況，然而也可是以於與清淨氣體送風單元J之對應清淨氣體送風面之處所相異的處所，配設風扇過濾器單元F，且設置將來自風扇過濾器單元F之清淨氣體導引至清淨氣體送風面的送風管的形態實施。

(5)在上述實施形態中，雖例示了於清淨氣體送風單元J裝備覆蓋排氣用面之排氣用板狀體13的情況，然而也可以不具備排氣用板狀體13的形態實施。

(6)在上述實施形態中，雖例示了基板收納器 K構成為可從排氣用面將基板1插入脫離，且於覆蓋排氣用面之排氣用板狀體13之與朝上下方向排列並收納於基板收納器K之基板1中最下段基板1相對向的位置，形成使基板1插通之插通孔Q的情況，然而也可以將插通孔Q形成於較該相對向位置為下方側之位置的形態實施。

(7)在上述實施形態中，雖例示了裝備於基板搬出搬入部SA，且載置搬送基板1之搬送輸送機25，作為使基板1沿著基板插入脫離方向(例如水平方向)移動，將基板1對基板收納器K進行插入脫離之基板移動裝置，然而作為基板移動裝置也可適用具有可於突出於基板收納器K內之狀態與引退狀態切換，且可升降之基板支持體者等種種形態的基板移動裝置。

1‧‧‧基板

2‧‧‧格柵

3‧‧‧HEPA過濾器

4‧‧‧吸氣室

5‧‧‧腔室

6‧‧‧通風扇

7‧‧‧初級過過濾器

8‧‧‧循環路

8A‧‧‧外氣取入路

8B‧‧‧排氣路

9a‧‧‧上框體

9b‧‧‧下框體

9c‧‧‧連結體

9d‧‧‧支持部

10‧‧‧遮蔽板

11‧‧‧送風用框體

12‧‧‧上板

13‧‧‧排氣用板狀體

14‧‧‧保管棚架

14A‧‧‧支柱

15‧‧‧托架

16‧‧‧行駛軌道

17‧‧‧行駛台車

18‧‧‧桅桿

19‧‧‧升降台

20‧‧‧迴旋台

21‧‧‧物品移載體

22‧‧‧屈伸連桿

23‧‧‧承接框

24‧‧‧升降裝置

24A‧‧‧升降框

24B‧‧‧升降驅動裝置

25‧‧‧搬送輸送機

25A‧‧‧支持框體

25B‧‧‧搬送用輥

26‧‧‧中繼搬送輸送機

27‧‧‧遮蔽壁

28‧‧‧風扇過濾器單元

A‧‧‧保管裝置

B‧‧‧物品移載裝置

D‧‧‧堆高式起重機

E‧‧‧供電裝置

F‧‧‧風扇過濾器單元

H‧‧‧搬送空間

J‧‧‧清淨氣體送風單元

K‧‧‧基板收納器

N‧‧‧凹入部

P‧‧‧上下軸心

Q‧‧‧插通孔

R‧‧‧無塵室

S‧‧‧收納部

SA‧‧‧基板搬出搬入部

T‧‧‧通氣孔

U‧‧‧容器插入脫離用開口

W‧‧‧基板處理裝置

圖1係基板處理設備之側面圖。

圖2係保管裝置之主要部分俯視圖。

圖3係基板收納器與清淨氣體送風單元之立體圖。

圖4係基板搬出搬入部之前視圖。

圖5係顯示基板搬出狀態之切口立體圖。

圖6係顯示基板收納器之下降狀態的切口側面圖。

圖7係顯示基板搬出狀態之切口側面圖。

圖8係顯示基板搬出狀態之切口側面圖。

1‧‧‧基板

9a‧‧‧上框體

9b‧‧‧下框體

9c‧‧‧連結體

9d‧‧‧支持部

10‧‧‧遮蔽板

11‧‧‧送風用框體

12‧‧‧上板

13‧‧‧排氣用板狀體

23‧‧‧承接框

24‧‧‧升降裝置

24A‧‧‧升降框

F‧‧‧風扇過濾器單元

J‧‧‧清淨氣體送風單元

K‧‧‧基板收納器

Q‧‧‧插通孔

T‧‧‧通氣孔

U‧‧‧容器插入脫離用開口

Claims (5)

1. 一種清淨氣體送風單元，係對以沿上下方向隔著間隔排列之狀態收納基板之長方體形基板收納器可拆卸地裝設者，其特徵在於：前述基板收納器係保管於保管裝置之收納器，且前述保管裝置具有：複數收納部，收納前述基板收納器；基板搬出搬入部，對前述基板收納器進行前述基板之取出及收納；及搬送裝置，在前述收納部與前述基板搬出搬入部之間搬送前述基板收納器，且前述清淨氣體送風單元包含有：風扇過濾器單元，係將前述基板收納器之4個側面中之1個側面作為清淨氣體送風面，且將與該清淨氣體送風面相對向之側面作為排氣用面，並從前述清淨氣體送風面朝前述排氣用面將清淨氣體通風者；及一對遮蔽板，係覆蓋前述基板收納器之4個側面中之除了前述清淨氣體送風面及前述排氣用面之2個側面者。
2. 如申請專利範圍第1項之清淨氣體送風單元，其中前述風扇過濾器單元係配設於對應前述清淨氣體送風面之處所。
3. 如申請專利範圍第1或2項之清淨氣體送風單元，更包含覆蓋前述排氣用面之排氣用板狀體，且於前述排氣用板 狀體，複數排氣用之通氣孔分散形成平面狀。
4. 如申請專利範圍第3項之清淨氣體送風單元，其中於對應前述基板收納器之底面的處所，形成用以將前述基板插入脫離之容器插入脫離用開口。
5. 如申請專利範圍第4項之清淨氣體送風單元，其中前述基板收納器構成為可從前述排氣用面將前述基板插入脫離，且於前述排氣用板狀體之與沿上下方向排列收納於前述基板收納器之前述基板中最下段基板相對向的相對向位置、或是較該相對向位置位於下方側之位置，形成使前述基板插通之插通孔。