CN103008319B - 清洁气体送风单元 - Google Patents

Abstract

提供一种清洁气体送风单元，能够使清洁气体从清洁气体送风面恰当地朝向排气用面流动，并且能够良好地进行基板收纳器的清洗。在相对于基板收纳器（K）能够装卸地安装的清洁气体送风单元（J）中，基板收纳器（K）是由保管装置保管的收纳器，上述清洁气体送风单元具备风扇过滤器单元（F）和一对遮蔽板（10），该风扇过滤器单元（F）将基板收纳器（K）的四个侧面中的一个侧面作为清洁气体送风面，并且将与该清洁气体送风面对向的侧面作为排气用面，从清洁气体送风面朝向排气用面送入清洁气体，该一对遮蔽板（10）覆盖基板收纳器（K）的四个侧面中除了清洁气体送风面以及排气用面之外的两个侧面。

Description

清洁气体送风单元

技术领域

本发明涉及一种相对于将基板以在上下方向上隔开间隔地排列的状态收纳的长方体状的基板收纳器能够装卸地安装的清洁气体送风单元。

背景技术

上述这种清洁气体送风单元例如安装在由保管装置保管的基板收纳器上，抑制尘埃附着在基板收纳器中收纳的基板上。

即，基板收纳器以收纳了在液晶显示器或等离子显示器中使用的玻璃基板等基板的状态收纳在保管装置的收纳部中。并且在相对于收纳在基板收纳器中的基板进行蚀刻及清洗等诸多处理时，由保管装置所具备的运送装置将基板收纳器从收纳部向基板运出运入部运送，相对于从基板收纳器中取出的基板进行诸多处理。而且，将实施了处理后的基板再次收纳在基板收纳器中，由运送装置将收纳了基板的基板收纳器从基板运入运出部向收纳部运送。

这样，在由保管装置保管着基板收纳器的状态下进行相对于收纳在基板收纳器中的基板的处理。此时，由于尘埃有可能附着在由基板收纳器保持的基板上，所以在基板收纳器上安装清洁气体送风单元。

作为清洁气体送风单元的以往例子，清洁气体送风单元作为具备送入清洁气体的风扇过滤器单元的板状的框体构成，并相对于基板收纳器能够装卸地安装（例如参照专利文献1）。

在该专利文献1中，基板收纳器构成为横躺姿势的方筒状。清洁气体送风单元将基板收纳器的处于开口状态的一对侧面中一方的侧面作为清洁气体送风面，并且将另一方的侧面作为排气用面，沿着水平方向从清洁气体送风面朝向排气用面送入清洁气体。该清洁气体送风单元以位于成为清洁气体送风面的侧面的状态安装在基板收纳器上。

作为清洁气体送风单元其它的以往例子，清洁气体送风单元构成为将具备送入清洁气体的风扇过滤器单元的板状的送风部以直立姿势设置在载置基板收纳器的板状的载置部的一端部的形态（例如参照专利文献2）。

在该专利文献2中，基板收纳器构成为横躺姿势的方筒状。清洁气体送风单元的送风部将基板收纳器的处于开口状态的一对侧面中一方的侧面作为清洁气体送风面，并且将另一方的侧面作为排气用面，沿着水平方向从清洁气体送风面朝向排气用面送入清洁气体。

也就是说，基板收纳器以使成为清洁气体送风面的侧面与清洁气体送风单元的送风部对向的状态载置在清洁气体送风单元的载置部上。

【专利文献1】日本国特开2010-89835号公报，

【专利文献2】日本国特开2011-91270号公报。

基板收纳器每当经过适当期间等要进行清洗等适时清洗，此时，清洁气体送风单元与基板收纳器分离。

即，在对基板收纳器进行清洗的情况下，一般是使用水溶液等清洗用的液体进行清洗。由于在清洁气体送风单元上设有具备电装零部件的风扇过滤器单元，所以为了抑制清洁气体送风单元被清洗用的液体打湿，要使清洁气体送风单元与基板收纳器分离。

这样，基板收纳器在分离了清洁气体送风单元后的状态下进行适时清洗。此时，上述专利文献1以及专利文献2所记载的基板收纳器由于四个侧面中除了与清洁气体送风面和排气用面相对应的侧面之外的两个侧面成为被遮蔽的状态，所以有可能难以适当进行基板收纳器的清洗。

也就是说，横躺姿势的方筒状基板收纳器由于四个侧面中除了与清洁气体送风面和排气用面相对应的侧面之外的两个侧面成为被遮蔽的状态，所以能够使来自清洁气体送风单元的清洁气体以抑制了向外部泄漏的状态从清洁气体送风面适当地朝向排气用面流动。但是，在对基板收纳器进行清洗之际，有可能因被遮蔽的侧面妨碍了清洗用的液体向基板收纳器的内部流动等而难以适当地进行基板收纳器的清洗。

发明内容

本发明是鉴于上述实际状况而提出的，其目的在于提供一种清洁气体送风单元，能够使清洁气体从清洁气体送风面恰当地朝向排气用面流动，并且能够良好地进行基板收纳器的清洗。

本发明的清洁气体送风单元相对于将基板以在上下方向上隔开间隔地排列的状态收纳的长方体状的基板收纳器能够装卸地安装，其中，上述基板收纳器是由保管装置保管的收纳器，该保管装置具备：收纳上述基板收纳器的多个收纳部，相对于上述基板收纳器进行上述基板的取出和收纳的基板运入运出部，以及在上述收纳部与上述基板运入运出部之间运送上述基板收纳器的运送装置，上述清洁气体送风单元具备风扇过滤器单元和一对遮蔽板，该风扇过滤器单元将上述基板收纳器的四个侧面中的一个侧面作为清洁气体送风面，并且将与该清洁气体送风面对向的侧面作为排气用面，从上述清洁气体送风面朝向上述排气用面送入清洁气体，该一对遮蔽板覆盖上述基板收纳器的四个侧面中除了上述清洁气体送风面以及上述排气用面之外的两个侧面。

即，装备在清洁气体送风单元上的风扇过滤器单元将基板收纳器的四个侧面中的一个侧面作为清洁气体送风面，并且将与该侧面对向的侧面作为排气用面，从清洁气体送风面朝向排气用面送入清洁气体。

并且由于装备在清洁气体送风单元上的一对遮蔽板覆盖基板收纳器的四个侧面中除了清洁气体送风面和排气用面之外的两个侧面，所以即使基板收纳器的四个侧面中除了清洁气体送风面和排气用面之外的两个侧面形成为开口状态，也能够以抑制了清洁气体向外部泄漏的状态使清洁气体从清洁气体送风面恰当地朝向排气用面流动。

这样，能够使清洁气体从清洁气体送风面恰当地朝向排气用面流动，并且能够使基板收纳器的四个侧面中除了清洁气体送风面和排气用面之外的两个侧面为开口状态。因此，在分离了清洁气体送风单元的状态（取下的状态）下对基板收纳器进行清洗之际，能够良好地进行使清洗用的液体通过该成为开口状态的侧面恰当地向基板收纳器的内部流动等基板收纳器的清洗。

总而言之，根据上述的结构，能够提供一种能够使清洁气体从清洁气体送风面恰当地朝向排气用面流动，并且能够良好地进行基板收纳器的清洗的清洁气体送风单元。

在本发明的清洁气体送风单元的实施方式中，优选上述风扇过滤器单元装配在与上述清洁气体送风面相对应处。

即，由于装配在与清洁气体送风面相对应处的风扇过滤器单元从清洁气体送风面朝向排气用面送入清洁气体，所以能够谋求结构的简单化，恰当地送入清洁气体。

也就是说，在从清洁气体送风面朝向排气用面送入清洁气体之际，例如可考虑将风扇过滤器单元装配在清洁气体送风单元中与基板收纳器的上表面相对应处等与清洁气体送风面不同之处，设置将来自该风扇过滤器单元的清洁气体向清洁气体送风面引导的送风通道的结构。

但是，在这种结构的情况下，由于设置送风通道，整体结构复杂化，并且来自风扇过滤器单元的清洁气体在送风通道内流动之际有可能因失速等而难以恰当地送入清洁气体。相对于此，在将风扇过滤器单元装配在与清洁气体送风面相对应处的情况下，由于风扇过滤器单元相对于清洁气体送风面直接送入清洁气体，所以能够谋求结构的简单化，适当地送入清洁气体。

总而言之，根据上述的结构，能够提供一种能够谋求结构的简单化，并且能够恰当地送入清洁气体的清洁气体送风单元。

在本发明的清洁气体送风单元的实施方式中，优选还具备覆盖上述排气用面的排气用板状体，在上述排气用板状体上分散成平面状地形成有多个排气用的透气孔。

即，由于从清洁气体送风面朝向排气用面送入的清洁气体以通过形成在覆盖排气用面的排气用板状体上的透气孔向外部排出的状态流动，所以能够谋求运行成本的降低。

也就是说，在基板收纳器的排气用面为开口状态时，为了抑制尘埃从该开口状态的侧面（排气用面）向基板收纳器的内部侵入，需要增加清洁气体的风力。其结果，由于风扇过滤器单元的驱动能量的增加，运行成本增加。相对于此，若用形成有透气孔的排气用板状体覆盖基板收纳器的排气用面，则即使降低清洁气体的风力，清洁气体也从透气孔喷出，能够抑制尘埃从透气孔向基板收纳器的内部侵入。因此，由于清洁气体的风力的降低，能够谋求运行成本的降低。

而且，由于透气孔分散成平面状地形成在排气用板状体上，所以能够使清洁气体遍及基板收纳器的内部空间整体地流动。这样一来，能够使清洁气体相对于收纳在基板收纳器中的多个基板的每一个沿着其整个面流动，能够恰当地抑制尘埃相对于基板收纳器的附着。

总而言之，根据上述的结构，能够提供一种能够谋求运行成本的降低，并且能够恰当抑制尘埃相对于基板的附着的清洁气体送风单元。

在本发明的清洁气体送风单元的实施方式中，优选在与上述基板收纳器的底面相对应处形成有用于插拔上述基板收纳器的容器插拔用开口。

即，由于清洁气体送风单元在与基板收纳器的底面相对应处具备用于插拔基板收纳器的容器插拔用开口，所以在相对于基板收纳器收纳或者取出基板时，或对基板收纳器进行清洗时，能够将基板收纳器以穿过容器插拔用开口插拔的形态而容易相对于清洁气体送风单元装卸。

总而言之，根据上述的结构，能够提供一种容易进行基板收纳器的装卸的清洁气体送风单元。

在本发明的清洁气体送风单元的实施方式中，优选上述基板收纳器构成为能够从上述排气用面插拔上述基板，在上述排气用板状体上与上述基板收纳器中沿上下方向排列地收纳的上述基板中最下段的基板对向的对向位置或者比该对向位置靠下方一侧的位置形成有使上述基板穿过的穿入孔。

即，在基板运入运出部，相对于基板收纳器取出或收纳基板时，在将清洁气体送风单元保持在上下方向的一定位置的状态下，一边穿过容器插拔用开口插拔基板收纳器一边使其在上下方向上移动。并且能够以在使插拔对象的基板的位置与形成在排气用板状体上的穿入孔位置相配合的状态下，一边使该基板穿过穿入孔沿着基板插拔方向（例如水平方向）移动一边相对于基板收纳器插拔的形态进行。

若加以说明，则在基板运入运出部设置将清洁气体送风单元保持在上下方向的一定位置的保持部件，使基板收纳器在上下方向上移动的升降装置，以及使基板相对于基板收纳器插拔地沿着基板插拔方向移动的基板移动装置。

并且在从基板收纳器中取出基板的情况下，由于一般是从沿上下方向排列的基板的下方一侧依次取出，所以首先使沿上下方向排列的基板中最下段的基板的位置成为与形成在排气用板状体上的穿入孔对向的位置。

另外，在穿入孔形成在与沿上下方向排列地收纳的基板中最下段的基板对向的对向位置的情况下，由于最下段的基板位于与穿入孔对向的位置，所以无需使基板收纳器相对于保持在上下方向的一定位置的清洁气体送风单元下降。另一方面，在穿入孔形成在比上述对向位置靠下方一侧的位置的情况下，为了使最下段的基板位于与穿入孔对向的位置，使基板收纳器相对于保持在上下方向的一定位置的清洁气体送风单元下降。

在沿上下方向排列的基板中最下段的基板位于与形成在排气用板状体上的穿入孔对向的位置的状态下，使基板移动装置动作，使基板穿过形成在排气用板状体上的穿入孔沿着基板插拔方向移动而从基板收纳器中取出。

在通过基板移动装置的动作进行的基板取出结束后，通过升降装置使基板收纳器下降到在取出的基板的上方邻接的基板的位置成为与形成在排气用板状体上的穿入孔对向的位置，之后使基板移动装置动作，从基板收纳器中取出基板。在最上段的基板的取出结束前，重复进行通过升降装置使基板收纳器下降，和通过基板移动装置取出基板。

在将基板向基板收纳器中收纳的情况下，由于一般是从沿上下方向排列的基板的最上段依次收纳，所以使升降装置动作到收纳沿上下方向排列的基板中最上段的基板的位置成为与形成在排气用板状体上的穿入孔对向的位置。

在收纳沿上下方向排列的基板中最上段的基板的位置与形成在排气用板状体上的穿入孔对向的位置相一致的状态下，使基板移动装置动作，使基板穿过形成在排气用板状体上的穿入孔在基板插拔方向上移动而向基板收纳器中收纳。

在通过基板移动装置的动作进行的基板的收纳结束后，通过升降装置使基板收纳器上升到在收纳的基板的下方邻接的基板的收纳位置成为与形成在排气用板状体上的穿入孔对向的位置，之后使基板移动装置动作，将基板向基板收纳器中收纳。在最下段的基板的收纳结束前，重复进行通过升降装置使基板收纳器上升，和通过基板移动装置收纳基板。

这样，在将基板从基板收纳器中取出时或将基板向基板收纳器中收纳时，由于能够使基板穿过形成在排气用板状体上的穿入孔沿着基板插拔方向移动，所以由升降装置使基板收纳器升降的升降量减少，能够谋求升降装置的简单化。

也就是说，在装备了排气用板状体但未形成穿入孔的情况下，需要使基板穿过排气用板状体的下方一侧沿着基板插拔方向移动。在这种情况下，与使基板穿过形成在排气用板状体上的穿入孔沿着基板插拔方向移动的情况相比，将基板收纳器向清洁气体送风单元的下方一侧抽出的量（下降量）增大，由升降装置使基板收纳器升降的升降量增加，升降装置有可能复杂化。相对于此，在排气用板状体上形成穿入孔的情况下，由于能够使基板穿过该穿入孔移动，所以由升降装置使基板收纳器升降的升降量减少，能够谋求升降装置的简单化。

总而言之，根据上述的结构，能够提供一种在将基板从基板收纳器中取出时或将基板向基板收纳器中收纳时，减少使基板收纳器升降的升降量，谋求使基板收纳器升降的升降装置的简单化的清洁气体送风单元。

附图说明

图1是基板处理设备的侧视图；

图2是保管装置的主要部分俯视图；

图3是基板收纳器与清洁气体送风单元的立体图；

图4是基板运入运出部的主视图；

图5是表示基板运出状态的剖切立体图；

图6是表示基板收纳器的下降状态的剖切侧视图；

图7是表示基板运出状态的剖切侧视图；

图8是表示基板运出状态的剖切侧视图。

附图标记说明：

1：基板，10：遮蔽板，13：排气用板状体，A：保管装置，D：塔式起重机（运送装置），F：风扇过滤器单元，J：清洁气体送风单元，K：基板收纳器，Q：穿入孔，S：收纳部，SA：基板运入运出部，T：透气孔，U：容器插拔用开口。

具体实施方式

基于附图对本发明的实施方式进行说明。另外，以下的说明中针对基板收纳器K及清洁气体送风单元J的各方向是安装了清洁气体送风单元J的基板收纳器K收纳在保管架14的收纳部S中的状态下的方向。

如图1所示，在下流式的洁净室R内，保管长方体状的基板收纳器K（参照图3）的保管装置A以及基板处理装置W并列设置，构成由基板处理装置W对由基板收纳器K保持的矩形的基板1（参照图5）进行处理的基板处理设备。

在基板收纳器K上能够取下地安装有清洁气体送风单元J（参照图5）。即，清洁气体送风单元J构成为能够相对于基板收纳器K自由装卸（即、既能够安装又能够取下）。基板收纳器K以安装了清洁气体送风单元J的状态由保管装置A保管。

在本实施方式中，基板1是矩形的玻璃基板，基板处理装置W相对于基板1进行蚀刻及清洗等处理。

洁净室R在地面部具备格栅2，在顶棚部具备HEPA过滤器3。格栅2下方的吸气室4与HEPA过滤器3上方的腔室5由具备通风风扇6以及预过滤器7的循环通路8连接而连通，通过通风风扇8的通风动作，净化后的空气从顶棚部朝向地面部流动。

在循环通路8上通风风扇6的空气流动方向上游侧处连接有外气取入通路8A，在循环通路8上通风风扇6的空气流动方向下游侧处连接有排气通路8B，循环的空气的一部分与外气置换。

如图3所示，基板收纳器K构成为将矩形的基板1以在上下方向上隔开间隔地排列的状态收纳的长方体状。在本说明书中“上下方向”并不仅限于竖直方向，也作为包含相对于竖直方向交叉的方向的概念使用。即，上下方向能够成为相对于竖直方向倾斜的方向。在本实施方式中，上下方向在设计上与竖直方向相一致。具体地说，基板收纳器K具备上框体9a，下框体9b，连结体9c，以及支撑部9d。上框体9a以及下框体9b形成为格子状。连结体9c配置在上框体9a以及下框体9b的两横侧缘部以及后侧缘部上。连结体9c具备多个，多个连结体9c各自形成为连结上框体9a与下框体9b的带板状。支撑部9d沿横向架设在对向的连结体9c之间。支撑部9d以沿上下方向排列的状态具备多个，多个支撑部9d各自形成为缆索状。

具体地说，多个缆索状的支撑部9d以在上下方向以及前后方向上隔开间隔的状态配置，以一片基板1由在前后方向上排列的多个支撑部9d支撑的状态，对多片基板1以沿上下方向排列的状态进行支撑。

而且，基板收纳器K在四个侧面中前方一侧的侧面未设置连结体9c，能够从该前方一侧的侧面插拔基板1。即，针对基板收纳器K的“前后方向”是相对于上下方向正交的方向，与基板1相对于基板收纳器K的插拔方向（基板插拔方向）相一致。而且，针对基板收纳器K的“左右方向”或者“横向”是相对于上下方向以及前后方向双方正交的方向。在本实施方式中，由于上下方向在设计上与竖直方向相一致，所以前后方向在设计上与水平方向相一致，左右方向在设计上与相对于前后方向正交的水平方向相一致。

进而，由于上框体9a以及下框体9b形成为格子状，而且，多个连结体9c位于隔开间隔的位置，并且在前方一侧的侧面不存在连结体9c，所以基板收纳器K构成为在进行清洗之际清洗用的液体能够通过其上表面、下表面、以及四个侧面（上表面以及下表面以外的面）流入流出。即，在本实施方式中，基板收纳器K分别在上表面、下表面、以及四个侧面这合计六个面上分别形成有将基板收纳器K的内部（基板1的收纳空间）与外部连通的开口部。即，该六个面各自形成为开口状态，通过包含开口部和形成该开口部的框部的假想面形成该六个面的各面。

如图3以及图5所示，清洁气体送风单元J具备风扇过滤器单元F和一对遮蔽板10。风扇过滤器单元F在清洁气体送风单元J安装在基板收纳器K上的状态（以下称为“安装状态”）下，将基板收纳器K的四个侧面中作为一个侧面的背面（后面）作为清洁气体送风面，并且将作为与该清洁气体送风面对向的侧面的前面作为排气用面，从清洁气体送风面朝向排气用面送入清洁气体。即，在本实施方式中，风扇过滤器单元F沿着基板插拔方向、即前后方向（在本实施方式中为水平方向）送入清洁气体。一对遮蔽板10配置成在安装状态下覆盖基板收纳器K的四个侧面中除了清洁气体送风面以及上述排气用面之外的两个侧面。风扇过滤器单元F是一体组装了送风装置（送风风扇）和除尘过滤器的送风单元。在本实施方式中，一对遮蔽板10相互平行地配置。

即，清洁气体送风单元J具备组装了风扇过滤器单元F的纵向姿势的矩形送风用框体11，在该送风用框体11的两横侧部连结支撑有一对遮蔽板10。在此，“纵向姿势”是沿着上下方向的姿势。

而且，本实施方式的清洁气体送风单元J中，在安装状态下覆盖基板收纳器K的上表面的上板12连结支撑在送风用框体11上，并且与一对遮蔽板10相连。在本实施方式中，上板12配置成法线方向与上下方向平行。进而，在本实施方式中，以与一对遮蔽板10以及上板12相连的状态设有在安装状态下覆盖基板收纳器K的前面（排气用面）的排气用板状体13。即，排气用板状体13配置在与排气用面相对应处，具体地说，配置成沿着与排气用面正交的方向观察，在基板收纳器K的外侧与该排气用面的整体重合。在本实施方式中，排气用板状体13与送风用框体11平行地配置。

在排气用板状体13上，分散成平面状地形成有多个排气用的透气孔T。具体地说，在本实施方式中，多个透气孔T配置成正方格子状，并在上下方向以及左右方向上分散地配置。而且，在本实施方式中，多个透气孔T各自的截面形状为圆形，具有相互同样的孔径。多个透气孔T也可以是配置成六方格子状（三角格子状）的结构或不规则地配置的结构。

而且，清洁气体送风单元J上与基板收纳器K的底面（下表面）相对应处（即作为下侧端部的底部）是开口的，清洁气体送风单元J在底部具备用于插拔基板收纳器K的容器插拔用开口U。即，在清洁气体送风单元J上形成有朝下开口的容器插拔用开口U。容器插拔用开口U在本实施方式中由一对遮蔽板10各自的下端部，送风用框体11的下端部，以及排气用板状体13的下端部区分形成。如图4所示，在本实施方式中，安装状态下容器插拔用开口U配置在与基板收纳器K的底面在上下方向上相同的位置。在本实施方式中，一对遮蔽板10各自的法线方向与左右方向平行，送风用框体11以及排气用板状体13各自的法线方向与前后方向平行。并且这一对遮蔽板10、送风用框体11、以及排气用板状体13各自配置在上下方向观察时位于基板收纳器K的外侧。因此，在本实施方式中，容器插拔用开口U为矩形的开口，并且形成为在上下方向观察时比基板收纳器K的外形大。即，清洁气体送风单元J为比基板收纳器K大的长方体状，并形成为朝下开口的长方体状。

在本实施方式中，如图6所示，送风用框体11与排气用板状体13之间的间隔形成为能够将基板收纳器K定位在其间地进行保持的间隔，而且，如图4所示，一对遮蔽板10的间隔形成为能够将基板收纳器K定位在其间地进行保持的间隔。另外，在图4、图6中，表示了送风用框体11、排气用板状体13、以及一对遮蔽板10各自相对于基板收纳器K接触地保持的状态，但实际上在送风用框体11、排气用板状体13、以及一对遮蔽板10各自与基板收纳器K之间形成有用于使基板收纳器K和清洁气体送风单元J能够在上下方向上相对移动的间隙。

因此，清洁气体送风单元J构成为通过安装成在使送风用框体11与基板收纳器K的背面相对应的状态下从上方覆盖基板收纳器K，使风扇过滤器单元F所送入的清洁气体沿着基板1的表面流动。

在本实施方式中，由于清洁气体送风单元J以使送风用框体11与基板收纳器K的背面相对应的状态安装在基板收纳器K上，所以风扇过滤器单元F装配在与清洁气体送风面相对应处。即，风扇过滤器单元F配置成沿着与清洁气体送风面正交的方向观察，在基板收纳器K的外侧与该清洁气体送风面的至少一部分（在本例中为全体）重合。在本实施方式中，风扇过滤器单元F配置成与清洁气体送风面对向，清洁气体送风面被具备风扇过滤器单元F的送风用框体11覆盖。

而且，在排气用板状体13上与沿上下方向排列地收纳在基板收纳器K中的基板1中最下段的基板1对向的对向位置（与该基板1在上下方向上为相同的位置）形成有使基板1穿过其中的穿入孔Q。如后所述，通过使基板1穿过该穿入孔Q移动，能够相对于基板收纳器K进行基板1的收纳以及取出。

虽然未图示，但清洁气体送风单元J具备驱动风扇过滤器单元F的蓄电池，和在由保管装置A保管时被供给电力而对蓄电池进行充电的受电端子。

保管装置A如图1以及图2所示，具备收纳基板收纳器K的多个收纳部S，相对于基板收纳器K进行基板1的取出以及收纳的基板运入运出部SA，以及作为在收纳部S与基板运入运出部SA之间运送基板收纳器K的运送装置的塔式起重机D。

在本实施方式中设有一对保管架14，沿架上下方向以及架横宽方向并列设有多个收纳部S。一对保管架14以使物品出入方向相互对向的状态隔开间隔地设置，在该一对保管架14之间装备有塔式起重机D。在本实施方式中，在基板收纳器K收纳在收纳部S中的状态下，架上下方向与基板收纳器K的上下方向相一致，架横宽方向与基板收纳器K的左右方向相一致，架前后方向与基板收纳器K的前后方向相一致。

保管架14通过沿架横宽方向并列设置由沿架前后方向排列的一对支柱14A构成的支柱组，在该支柱组上分别沿架上下方向排列地设置载置支撑基板收纳器K以及安装在该基板收纳器K上的清洁气体送风单元J双方的撑架15而构成。在架横宽方向上邻接的支柱组之间，以沿架上下方向排列的状态形成有多个收纳部S。

撑架15上装备有用于向清洁气体送风单元J供电的供电装置E，当清洁气体送风单元J载置支撑在撑架15上时，电力从供电装置E相对于清洁气体送风单元J的受电端子供给。

在一对保管架14之间的地面部设有引导塔式起重机D的一对行驶轨道16。

塔式起重机D具备沿着行驶轨道16行驶的行驶台车17，沿着立设在该行驶台车17上的立柱18（在本例中为一对立柱18）升降的升降台19，以及安装在该升降台19上的物品移载装置B。

物品移载装置B如图2所示，具备相对于升降台19绕上下轴心（沿着架上下方向的轴心）P转向的转向台20，载置支撑基板收纳器K和清洁气体送风单元J双方的板状的物品载置体21，以及支撑该物品载置体21能够相对于转向台20进退的一对屈伸联杆22。

通过屈伸联杆22的屈伸动作，将物品载置体21进退操作到向升降台19一侧后退的后退位置或者向外侧突出的突出位置，并且通过升降台19的升降动作操作物品载置体21升降，将基板收纳器K以及安装在该基板收纳器K上的清洁气体送风单元J相对于收纳部S以及基板运入运出部SA移载。

在基板运入运出部SA上，如图1以及图4所示，装备有作为将清洁气体送风单元J保持在上下方向的一定位置的保持部件的托框23，承接支撑基板收纳器K并使其在上下方向上移动的升降装置24，以及作为使基板1沿着基板插拔方向、即前后方向（在本实施方式中为水平方向）移动、将基板1相对于基板收纳器K插拔的基板移动装置而载置运送基板1的运送输送机25。

而且，如图1所示，在运送输送机25与基板处理装置W之间装备有载置运送基板1的中继运送输送机26。

因此，能够通过运送输送机25以及中继运送输送机26将从基板收纳器K中取出的基板1向基板处理装置W运送，也能够与此相反，通过中继运送输送机26以及运送输送机25运送从基板处理装置W中运出的基板1并收纳在基板收纳器K中。

中继运送输送机26装备在上部以及两侧部被遮蔽壁27包围、并且由装备在顶棚部上的净化用风扇过滤器单元28送入清洁气体的运送空间H中，避免了在基板收纳器K与基板处理装置W之间的运送中尘埃附着在基板1上。

托框23在本实施方式中如图4以及图5所示，为了承接支撑清洁气体送风单元J底部上的四个角部而与该四个角部相对应地设有四个。托框23各自形成为俯视形状为L字型，虽然未图示，但连结支撑在保管架14的支柱14A上。

并且托框23如图7以及图8所示，作为保持清洁气体送风单元J的上下方向的一定位置，将清洁气体送风单元J保持在由运送输送机25载置运送的基板1穿过穿入孔Q的位置。

升降装置24如图4以及图5所示，通过升降驱动装置24B（参照图1）操作沿着基板收纳器K的前后方向形成为长条状的左右一对的升降框24A升降。

升降框24A的前后方向的长度为能够升降穿过沿前后方向排列的托框23之间的长度，并且升降框24A的横宽设定成除了基板收纳器K之外也能够载置清洁气体送风单元J的横宽。

并且如图4以及图6所示，在塔式起重机D进行相对于基板运入运出部SA降低安装着清洁气体送风单元J的基板收纳器K（以下简称为带清洁气体送风单元J的基板收纳器K）的下降处理时，或者在塔式起重机D进行从基板运入运出部SA上托起带清洁气体送风单元J的基板收纳器K的托起处理时，升降框24A升降到用于将带清洁气体送风单元J的基板收纳器K保持在移载用高度的移载用升降位置。

即，在塔式起重机D进行相对于基板运入运出部SA降低带清洁气体送风单元J的基板收纳器K的下降处理时，相对于移载用升降位置的升降框24A下降带清洁气体送风单元J的基板收纳器K。而且，在塔式起重机D进行从基板运入运出部SA上托起带清洁气体送风单元J的基板收纳器K的托起处理时，托起由移载用升降位置的升降框24A支撑的带清洁气体送风单元J的基板收纳器K。

在运送输送机25与通过由移载用升降位置的升降框24A支撑而保持在移载用的高度的带清洁气体送风单元J的基板收纳器K之间，形成有用于插拔装备在塔式起重机D上的物品移载装置B的物品载置体21的空间。

而且，当塔式起重机D进行的带清洁气体送风单元J的基板收纳器K相对于基板运入运出部SA降低的下降处理结束后，如图7所示，升降框24A下降到清洁气体送风单元J由托框23承接支撑的初期位置。之后，每次基板1通过运送输送机25的动作被取出时，升降框24A以相当于沿上下方向排列的基板1的上下间隔的升降量依次下降。最终如图8所示，升降框24A下降到成为沿上下方向排列的基板1的最上段的基板1与穿入孔Q对向的位置（在上下方向上与穿入孔Q相同的位置）的最下降位置。

进而，在将从基板处理装置W运出的基板1向基板收纳器K中收纳时，升降框24A如图8所示位于最下降位置。

当在该状态下，最初的基板1通过运送输送机25的动作而向基板收纳器K中收纳时，升降框24A以相当于沿上下方向排列的基板1的上下间隔的升降量上升。以下，每次基板1通过运送输送机25的动作而被收纳时，升降框24A以相当于沿上下方向排列的基板1的上下间隔的升降量依次上升。最终如图7所示，升降框24A上升到成为沿上下方向排列的基板1的最下段的基板1与穿入孔Q对向的位置的初期位置。

并且升降框24A在基板1相对于基板收纳器K的收纳结束后上升到移载用升降位置。

在该状态下，塔式起重机D进行托起由移载用升降位置的升降框24A保持的带清洁气体送风单元J的基板收纳器K的托起处理。

即，在本实施方式中，在基板运入运出部SA，在相对于基板收纳器K取出或收纳基板1时，以将清洁气体送风单元J保持在上下方向的一定位置的状态，使基板收纳器K穿过容器插拔用开口U插拔而在上下方向上移动。并且以使插拔对象的基板1的位置与形成在排气用板状体13上的穿入孔Q的位置相配合的状态，使该基板1穿过穿入孔Q移动而相对于基板收纳器K插拔的形态进行。

也就是说，在从基板收纳器K中取出基板1的情况下，由于一般是从沿上下方向排列的基板1的下方一侧依次取出，所以使升降装置24动作到沿上下方向排列的基板1中最下段的基板1的位置成为与形成在排气用板状体13上的穿入孔Q对向的位置。

在本实施方式中，由于穿入孔Q形成在安装状态下与沿上下方向排列收纳的基板1中最下段的基板1对向的位置，所以如上所述，使升降框24A下降到清洁气体送风单元J由托框23承接的初期位置。

并且在沿上下方向排列的基板1中最下段的基板1位于与形成在排气用板状体13上的穿入孔Q对向的位置的状态下使运送输送机25动作，使基板1穿过形成在排气用板状体13上的穿入孔Q移动而从基板收纳器K中取出。

在通过运送输送机25的动作进行的基板1的取出结束后，通过升降装置24使基板收纳器K下降到在取出的基板1的上方邻接的基板1的位置成为与形成在排气用板状体13上的穿入孔Q对向的位置，之后使运送输送机25动作，从基板收纳器K中取出基板1。在最上段的基板1的取出结束前，重复进行通过升降装置24使基板收纳器K下降，和通过运送输送机25取出基板1。

在将基板1向基板收纳器K中收纳的情况下，由于一般是从沿上下方向排列的基板1的最上段依次收纳，所以使升降装置24动作到收纳沿上下方向排列的基板1中最上段的基板1的位置成为与形成在排气用板状体13上的穿入孔Q对向的位置。

在本实施方式中，如上所述使升降框24位于最下降位置。

并且收纳沿上下方向排列的基板1中最上段的基板1的位置与形成在排气用板状体13上的穿入孔Q对向的位置相一致的状态下使运送输送机25动作，使基板1穿过形成在排气用板状体13上的穿入孔Q移动而向基板收纳器K中收纳。

在通过运送输送机25的动作进行的基板1的收纳结束后，通过升降装置24使基板收纳器K上升到在收纳的基板1的下方邻接的基板1的收纳位置成为与形成在排气用板状体13上的穿入孔Q对向的位置，之后使运送输送机25动作，将基板1向基板收纳器K中收纳。在最下段的基板1的收纳结束前，重复进行通过升降装置24使基板收纳器K上升，和通过运送输送机25收纳基板1。

作为升降装置24中的升降驱动装置24B，能够适用构成为由电动式压力缸等促动器操作支撑升降框24A能够升降的滑动式的支撑机构或链节式的支撑机构升降等各种结构的升降驱动装置。

运送输送机25在支撑框体25A的上部具备有能够切换成驱动状态或停止状态的多个运送辊25B。

并且在支撑框体25A上形成有凹入部N（槽部），随着升降框24A从初期位置下降到最下降位置，基板收纳器K的格子状的下框体9b插入该凹入部N。

如上所述，基板收纳器K能够穿过清洁气体送风单元J底部的容器插拔用开口U与清洁气体送风单元J分离，换句话说，清洁气体送风单元J能够相对于基板收纳器K安装，并且能够从基板收纳器K上取下。因此，在使用清洗液等对基板收纳器K进行清洗时，在将清洁气体送风单元J与基板收纳器K分离的状态下能够对基板收纳器K进行清洗。

基板收纳器K的清洗装置可以与基板处理装置W同样设在保管装置A的旁侧并从保管装置A运送，但也可以将清洗对象的基板收纳器K从保管装置A出库，由另外设置的清洗装置对其进行清洗。

装备有管理基板处理设备的运行的管理装置、基于来自该管理装置的指令控制塔式起重机D、升降装置24、以及运送输送机25等机器类的动作的控制装置，进行基板收纳器K的运送、基板1相对于基板收纳器K的取出及收纳。由于该控制动作根据上述的说明是明了的，所以在本实施方式中省略其详细说明。

[其它实施方式]

接着列举其它实施方式。

（1）在上述实施方式中，例示了清洁气体送风单元J具备覆盖基板收纳器K的上表面的上板12的情况，但在基板收纳器K的上部（上表面）以封闭的状态形成的情况下等，清洁气体送风单元J也可以不具备上板12。

（2）在上述实施方式中，例示了将基板收纳器K的四个侧面中与基板1插拔的前面对向的背面作为清洁气体送风面，将前面作为排气用面的情况，但也能够以将基板收纳器K的四个侧面中一对横侧面中的一方作为清洁气体送风面，将其它的横侧面作为排气用面的方式实施。在这种情况下，风扇过滤器单元F的清洁气体通风方向成为相对于基板插拔方向、即前后方向正交的左右方向。

（3）在上述实施方式中，例示了容器插拔用开口U形成在与基板收纳器K的底面相对应处的情况，但例如也可以将容器插拔用开口U形成在与排气用面相对应处，或者将容器插拔用开口U形成在与基板收纳器K的上表面相对应处。在这种情况下，可以封闭清洁气体送风单元J上与基板收纳器K的底面相对应处。

（4）在上述实施方式中，例示了风扇过滤器单元F装配在清洁气体送风单元J上与清洁气体送风面相对应处的情况，但也能够以将风扇过滤器单元F装配在清洁气体送风单元J上和与清洁气体送风面相对应处不同之处，并设置将来自风扇过滤器单元F的清洁气体向清洁气体送风面引导的送风通道的方式实施。

（5）在上述实施方式中，例示了将覆盖排气用面的排气用板状体13装备在清洁气体送风单元J上的情况，但也能够以不装备排气用板状体13的方式实施。

（6）在上述实施方式中，例示了基板收纳器K构成为能够从排气用面插拔基板1，在覆盖排气用面的排气用板状体13上与基板收纳器K中沿上下方向排列收纳的基板1中最下段的基板1对向的对向位置形成使基板1穿过其中的穿入孔Q的情况，但也能够以将该穿入孔Q形成在比该对向位置靠下方一侧的位置的方式实施。

（7）在上述实施方式中，作为装备在基板运入运出部SA上、使基板1沿着基板插拔方向（例如水平方向）移动、相对于基板收纳器K插拔基板1的基板移动装置，例示了载置运送基板1的运送输送机25，但作为基板移动装置，也能够适用具备能够切换成向基板收纳器K内突出的状态或后退的状态、并且能够升降的基板支撑体等各种方式的基板移动装置。

Claims (5)

1.一种清洁气体送风单元，相对于将基板以在上下方向上隔开间隔地排列的状态收纳的长方体状的基板收纳器能够装卸地安装，其特征在于，

上述基板收纳器是由保管装置保管的收纳器，该保管装置具备：收纳上述基板收纳器的多个收纳部，相对于上述基板收纳器进行上述基板的取出和收纳的基板运入运出部，以及在上述收纳部与上述基板运入运出部之间运送上述基板收纳器的运送装置，

上述基板收纳器将四个侧面中的一个侧面作为清洁气体送风面，并且将与该清洁气体送风面对向的侧面作为排气用面，上述四个侧面中，除了上述清洁气体送风面和上述排气用面之外的两个侧面为开口状态，

上述清洁气体送风单元具备风扇过滤器单元和一对遮蔽板，该风扇过滤器单元从上述清洁气体送风面朝向上述排气用面送入清洁气体，该一对遮蔽板覆盖上述基板收纳器的四个侧面中除了上述清洁气体送风面以及上述排气用面之外的两个侧面。

2.如权利要求1所述的清洁气体送风单元，其特征在于，

上述风扇过滤器单元装配在与上述清洁气体送风面相对应处。

3.如权利要求1或2所述的清洁气体送风单元，其特征在于，

还具备覆盖上述排气用面的排气用板状体，

在上述排气用板状体上分散成平面状地形成有多个排气用的透气孔。

4.如权利要求3所述的清洁气体送风单元，其特征在于，

在与上述基板收纳器的底面相对应处形成有用于插拔上述基板收纳器的容器插拔用开口。

5.如权利要求4所述的清洁气体送风单元，其特征在于，

上述基板收纳器构成为能够从上述排气用面插拔上述基板，

在上述排气用板状体上与上述基板收纳器中沿上下方向排列地收纳的上述基板中最下段的基板对向的对向位置或者比该对向位置靠下方一侧的位置形成有使上述基板穿过的穿入孔。