CN101143637A - 基板用的收纳容器 - Google Patents

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Abstract

本发明的收纳容器，将基板以在上下方向上隔开间隔地排列的状态保持多张，该收纳容器具有：容器主体，形成为整体具有四边形的截面的筒状，即具有一端侧的第1开口、和在水平方向上与第1开口隔开间隔的另一端侧设置的第2开口，第1开口构成为用于输入输出基板的输入输出口；风扇过滤单元，装备在容器主体的第2开口的区域而从第2开口朝向第1开口通风；和盖，安装在容器主体的输入输出口的区域，盖具有打开状态和关闭状态，在关闭状态下形成容许空气的通过的通气口。

Description

基板用的收纳容器
技术领域
本发明涉及一种将基板以在上下方向上隔开间隔地排列的状态保持多张的基板收纳用的收纳容器。
背景技术
这样的基板收纳用的收纳容器在收纳在液晶显示器或等离子显示器中使用的玻璃基板等基板时使用。
在这样的基板收纳用的收纳容器中，以往，将形成为沿水平方向延伸的四方筒状的容器主体的一端侧的开口构成为一张张输入输出基板用的输入输出口，在容器主体的另一端侧的开口部，装备有从容器主体的另一端侧的开口朝向输入输出口通风的风扇过滤单元(例如参照特开2001-308169号)。
在上述基板收纳用的收纳容器中，利用风扇过滤单元，将净化空气从收纳容器的另一端侧的开口通入输入输出口而从输入输出口排出，由此防止收纳容器内存在的尘埃附着到基板上，并且即使因收纳容器搬运装置的动作等而使收纳容器的周围的气流被扰乱，也能防止外部气体进入到收纳容器内，而维持收纳容器内的基板的清净度。
但是，为了维持基板的清净度，收纳容器内的风速只要能防止收纳容器内存在的尘埃附着到基板上程度的比较慢的速度也可以，但为了防止外部气体从输入输出口倒流，需要使从收纳容器排出时的风速为比较快的速度，所以作为风扇过滤单元的通风量，由于从收纳容器排出时的风速比较快，所以需要较多，因此，风扇过滤单元的运转成本变高。
发明内容
本发明是鉴于上述实际情况而作出的，其目的在于提供一种可抑制风扇过滤单元的运转成本(running cost)的基板收纳用的收纳容器。
本发明的收纳容器将基板以在上下方向上隔开间隔地排列的状态保持多张，前述收纳容器具有：
容器主体，形成为整体具有四边形的截面的筒状，即具有一端侧的第1开口、和在水平方向上与前述第1开口隔开间隔的另一端侧设置的第2开口，前述第1开口构成为用于输入输出前述基板的输入输出口；
风扇过滤单元，装备在前述容器主体的前述第2开口的区域而从前述第2开口朝向前述第1开口通风；和
盖，安装在前述容器主体的前述输入输出口的区域，前述盖具有打开状态和关闭状态，在前述关闭状态下形成容许空气的通过的通气口。
因此，即使在盖为关闭的状态下，也可通过利用风扇过滤单元使净化空气从收纳容器的另一端侧的开口通入输入输出口而从输入输出口排出，可防止收纳容器内存在的尘埃附着到基板上，并且防止外部气体进入到收纳容器内，而维持收纳容器内的基板的清净度。
在盖为关闭的状态下，由于利用风扇过滤单元使净化空气从收纳容器的另一端侧的开口通入输入输出口而从输入输出口的一部分的开口排出，所以在输入输出口，通过盖使风路变窄，而使排出的净化空气的风量变快，即使使风扇过滤单元的通风量比较少，也可增加排出的净化空气的风速，而防止外部气体从收纳容器的输入输出口向收纳容器内进入。
因此，在盖为关闭的状态下，即使风扇过滤单元的通风量比较少，也可维持基板的清净度，所以可减少风扇过滤单元的通风量而抑制风扇过滤单元的运转成本。
附图说明
图1是第1实施方式的物品处理设备的立体图。
图2是第1实施方式的基板收纳设备的主视图。
图3是第1实施方式的基板收纳设备的侧视图。
图4是第1实施方式的表示净化空气通风机构的图。
图5是表示第1实施方式的物品收纳架的第一层的收纳部的图。
图6是表示第1实施方式的基板搬运区域的侧视图。
图7是表示第1实施方式的物品收纳架的第三层的收纳部的图。
图8是第1实施方式的堆装起重机的侧视图。
图9是第1实施方式的物品移载装置的俯视图。
图10是第1实施方式的容器主体的分解立体图。
图11是第1实施方式的收纳容器的分解立体图。
图12是第1实施方式的收纳容器的立体图。
图13是第1实施方式的收纳容器的纵剖主视图。
图14是表示第1实施方式的盖的拆装的侧视图。
图15是表示第1实施方式的风扇过滤单元的拆装的侧视图。
图16是表示第1实施方式的盖的关闭状态和打开状态的侧视图。
图17是表示第1实施方式的盖的关闭状态和打开状态的侧视图。
图18是表示第1实施方式的风扇过滤单元的控制部的侧视图。
图19是表示其他实施方式的盖的关闭状态和打开状态的侧视图。
图20是表示其他实施方式的盖的关闭状态和打开状态的主视图。
图21是表示其他实施方式的盖的关闭状态和打开状态的侧视图。
图22是表示其他实施方式的盖的关闭状态和打开状态的主视图。
图23是表示第2实施方式的中心连杆装置及盖操作机构的主视图。
图24是表示第2实施方式的支承操作机构的侧视图。
图25是第2实施方式的盖的纵剖侧视图。
图26是表示第2实施方式的盖操作机构的俯视图。
图27是第2实施方式的收纳容器的搬入搬出时的作用图。
图28是第2实施方式的收纳容器的搬入搬出时的作用图。
图29是第2实施方式的控制框图。
图30是表示其他实施方式的支承操作机构的侧视图。
图31是表示其他实施方式的盖的纵剖侧视图。
图32是表示其他实施方式的盖操作机构的横剖俯视图。
图33是表示其他实施方式的盖操作机构的横剖俯视图。
具体实施方式
下面，基于附图对本发明的实施方式进行说明。以下，公开了多个实施方式，根据一个实施方式的特征和根据其他实施方式的特征的组合，认为也在本发明的范围内。
[第1实施方式]
如图2及图6所示，基板处理设备具备：多个基板处理装置3，处理例如矩形的基板1；收纳架5，具有对收纳容器2进行收纳的多个收纳部4，将前述基板1以在上下方向上隔开间隔而排列的状态保持多张；基板搬运装置7，相对于多个前述基板处理装置3，分别从位于基板输入输出部6的前述收纳容器2一张张取出基板1而向前述基板处理装置3供给，并将从前述基板收纳装置3搬出的基板1收纳到位于前述基板输入输出部6的前述收纳容器2中；和收纳容器搬运装置8，将前述收纳容器2搬运到前述多个基板处理装置3各自的前述基板输入输出部6及前述收纳架5的前述收纳部4中。
如图1所示，在基板处理设备中，装备有多个基板收纳设备A、和处理工序设备B，如图2所示，在基板收纳设备A中，分别具有收纳架5及作为前述收纳容器搬运装置8的堆装起重机10，如图6所示，在处理工序设备B中，分别具有基板处理装置3及基板搬运装置7。
在该基板处理设备中，使用下述基板处理方法：一边将前述收纳容器2保管在前述收纳架5上，一边将保管的前述收纳容器依次搬运到前述多个基板处理装置3各自的前述基板输入输出部6，由此，通过多个前述基板处理装置3依次处理前述基板1而制造处理完的基板。
即，基板搬运装置7及收纳容器搬运装置8的动作被未图示的控制装置控制，通过收纳容器搬运装置8将收纳容器2依次搬运到多个基板处理装置3各自的基板输入输出部6，并在每次搬运到基板输入输出部6时，通过基板搬运装置7将基板1从收纳容器2一张张取出而供给到基板处理装置3，并收纳从基板处理装置3搬运的基板1，从而通过控制装置控制基板搬运装置7及收纳容器搬运装置8的动作。该控制装置具有微型处理器、通信部、存储器、存储在存储器中的算法等、执行本说明书中记载的所有功能的部分。此外，该控制装置可以配置在设备的底面上，也可以配置在收纳容器搬运部或收纳架5上。
此外，在多个基板处理装置3中单独地进行涂敷、曝光及显影等既定的处理，所以在对基板1进行处理的处理量上产生差别，在依次搬运到基板输入输出部6时在基板1的处理中产生等待的情况下，通过控制装置控制收纳容器搬运装置8的动作，以便将收纳有其处理要等待的基板1的收纳容器2暂时保管到收纳架5上。
作为前述收纳容器搬运装置8，设置有：对应于前述收纳架5而装备的作为收纳架用的收纳容器搬运部的堆装起重机10、在多个前述收纳架5各自的多个入库出库部9之间搬运前述收纳容器2的作为架间用的收纳容器搬运部的往复行进搬运车11及循环行进搬运车12。
如图1所示，前述往复行进搬运车11及循环行进搬运车12在基板收纳设备A外搬运收纳容器2，往复行进搬运车11在相邻的两个基板收纳设备A之间往复行进，在两个基板收纳设备A之间搬运收纳容器2，循环行进搬运车12在多个基板收纳设备A的范围内循环行进，在多个基板收纳设备A之间搬运收纳容器2。
此外，如图2所示，堆装起重机10在基板收纳设备A内搬运收纳容器2，沿着以相互对置的状态设置的一对收纳架5之间形成的移动空间往复行进，在对置的一对收纳架5的多个收纳部4之间搬运收纳容器2。
即，在通过收纳容器搬运装置8从成为搬运源的收纳部4或基板输入输出部6向成为搬运目的地收纳部4或基板输入输出部6搬运收纳容器2的情况下，若搬运源和搬运目的地是不同的基板收纳设备A，则收纳容器2以搬运源的基板收纳设备A的堆装起重机10、往复行进搬运车11或循环行进搬运车12、搬运目的地的基板收纳设备的堆装起重机10的顺序依次交接而被搬运，若搬运源和搬运目的地是相同的基板收纳设备A，则通过该基板收纳设备A的堆装起重机10搬运收纳容器2。
如图4所示，在物品处理设备上，设置有向下流动式净化空气通风机构23，在清洁空间13中使净化空气从顶面部通入底面部，在该向下流动式的清洁空间13内，装备有前述多个基板处理装置3、前述收纳架5、前述基板搬运装置7、以及前述收纳容器搬运装置8，前述基板收纳设备A以周围敞开的状态被装备，可使净化空气向基板收纳设备A的内外进行空气流动。
若对净化空气通风机构23加以说明，则如图4所示，净化空气通风机构23中，清洁空间13的底面部由多孔状的分级床层14形成，清洁空间13的顶面部由HEPA薄膜等构成的空气过滤器15形成，并且，形成在分级床层14的下方侧的吸气室16和形成在空气过滤器15的上方侧的腔室17被具有通风风扇18及粗滤器21的循环通路19连通，借助通风风扇18使清洁空间13的空气通过分级床层14及吸气室16而被吸气到循环通路19中，并且该被吸气的空气通过粗滤器21、腔室17及空气过滤器15，作为净化空气朝下喷出到清洁空间13内，从而一边借助粗滤器21和空气过滤器15使清洁空间13内的空气清洁化一边使其循环，将净化空气从顶面部通入底面部。在循环通路19上，在上游侧通过通风风扇18而连接有外部气体取入流路20，在下游侧通过通风风扇18而连接有排气流路22，使被净化空气通风机构23循环的清洁空间13内的空气的一部分与外部空气进行交换。
如图6所示，在物品处理设备上，具有搬运区域用的净化空气通风机构25，使净化空气通风，从而维持被前述基板搬运装置7在前述基板输入输出部6和前述基板处理装置3之间搬运前述基板1的基板搬运区域24的清净度。
即，在处理工序设备B的基板搬运区域24中，设置有区划壁26，该区划壁26以收纳架5一侧的端部敞开且基板处理装置3一侧的端部与基板处理装置连通的方式覆盖基板搬运装置7的基板搬运作用空间，在该区划壁26的顶面部设置有作为搬运区域用的净化空气通风机构5的多个区域用风扇过滤单元27，借助多个区域用风扇过滤单元27，使令清洁空间13的净化空气进一步清净化后的净化空气从基板搬运区域24的顶面部通入底面部，从而使被区划壁26覆盖的空间成为向下流动的空间。
如图2～图4所示，前述收纳架5设置在分级床层14上，具备：在架横宽方向上隔开间隔而立设的前后一对的支柱31、和架设在前后一对的支柱31上而在架上下方向上隔开间隔设置的载置支承部32。
在收纳架5上，纵横排列而设置有多个由前后一对的支柱31和左右一对的载置支承部32形成的前述收纳部4。各收纳部4中，架横宽方向上相邻的收纳架4彼此及架上下方向上相邻的收纳架4彼此连通而能够进行空气流动。
此外，最下层的收纳部4从分级床层14向上方侧隔开间隔而设置，在该最下层的收纳部4的下方，形成有用于使净化空气流动的流动用空间。
前述收纳架5具有的多个收纳部4中的一部分为前述基板输入输出部6，此外，收纳架5具有的收纳部4中的一部分为前述入库出库部9。
若加以说明，则如图5所示，收纳架5具有的最下层的多个收纳部4中的与基板处理装置3对应的收纳部4为基板输入输出部6，可借助基板搬运装置7，相对于位于基板输入输出部6的收纳容器2，通过收纳架5的背面侧一张张取出基板1或一张张收纳基板1。最下层的收纳部如上所述，从分级床层14向上方侧隔开间隔而设置，所以基板输入输出部6设置在比底面部高的位置上。
此外，如图7所示，收纳架5具有的中层的多个收纳部4中的、与往复行进搬运车11及循环行进搬运车12对应的收纳部4为入库出库部9，与往复行进搬运车11对应的入库出库部9构成为，借助往复行进搬运车11通过收纳架5的背面侧将收纳容器2搬入搬出，并且，与循环行进搬运车12对应的入库出库部9构成为，借助循环行进搬运车12通过收纳架5的侧面侧将收纳容器2搬入搬出。
如图2、图3及图8所示，堆装起重机10具备：行进台车35，沿着在收纳架5的前方的行进路径上沿纵长方向设置的两根行进轨34行进；升降台37，被引导支承在立设在行进台车35上的一对升降杆36上而自由升降；叉式的物品移载装置38，支承在升降台37上，能在收纳部4和自己之间移载收纳容器2，通过行进台车35的水平移动、升降台37的升降移动、以及物品移载装置38的动作，前述收纳容器2沿架横宽方向在收纳架5的前方的移动空间中自由行进，并且被搬运到前述基板输入输出部6、前述入库出库部9、以及它们以外的前述收纳架5的前述收纳部4中。
在前述行进台车35上，设置有相对于两根行进轨34各前后两轮、共计四轮的行进车辆39，行进车轮39分别被行进用马达40驱动旋转，由此行进台车35沿着行进路径行进。
一对升降杆36其上端部彼此被上部框架41连结。
如图8所示，在前述升降台37的前后方向的两端部，分别连接有一对升降用链条45的一端部，该一对升降用链条45的一个卷挂在设置于升降杆36的上端部的引导链轮46上，另一端部与配重47连结，一对升降用链条45的另一个卷挂在设置于升降杆36的下端部的驱动链轮48上，另一端部与配重47连结，通过升降用马达49对驱动链轮48进行驱动使其旋转，由此使升降台37升降移动。
如图9所示，前述物品移载装置38由绕上下轴芯P1旋转自如的旋转台50、及支承设置在该旋转台50上的载置部51而使其进退移动自如的连杆机构52构成。物品移载装置38可通过旋转台50的旋转而使载置部51旋转移动，并且可通过连杆机构52的伸缩而切换为使物品移载装置38在升降台37上引退的状态(参照图5)和使物品移载装置38向收纳部4一侧突出的状态。另外，物品移载装置38相当于使支承的收纳容器2旋转的旋转机构。
如图3所示，在基板收纳设备A中，具有控制堆装起重机10的动作的控制机构H。
该控制机构H基于来自管理收纳容器搬运装置8的运转的上级控制装置的指令，控制行进用马达40、升降用马达49及物品移载装置38的动作，由此，控制堆装起重机10的动作，以便在多个收纳部4之间搬运收纳容器2。
前述控制机构H控制前述收纳容器搬运装置8的动作，在一对前述收纳架5的任一个中，以下述状态将前述收纳容器2收纳到前述收纳部4中，所述状态指：使前述收纳容器2的装备有前述风扇过滤单元64的一侧位于前述移动空间一侧、并使前述收纳容器2的前述输入输出口72一侧位于从前述移动空间远离的一侧的状态。风扇过滤单元64(也称为FFU)具有：被一个FFU用框体90支承的风扇、驱动该风扇的电气马达、过滤器、电池71、电池71、或向电气马达传递电气的受电部70a。该风扇绕水平方向的轴旋转。
即，控制机构H控制堆装起重机10的动作，在对置的一对收纳架5之间搬运收纳容器2时，在搬运源的收纳部4和搬运目的地的收纳部4是相同的收纳架5的情况下，从搬运源的收纳部4取出收纳容器2，不必借助物品移载装置38使该收纳容器2旋转，便收纳到搬运目的地的收纳部4中，由此，可与搬运源的收纳部4同样地在搬运目的地的收纳部4中，也以收纳容器2的装备有风扇过滤单元64的一侧位于移动空间一侧、且收纳容器2的前述输入输出口一侧、即装备有盖65的一侧位于从移动空间远离的一侧的状态，将收纳容器2收纳到收纳部4中，此外，在搬运源的收纳部4和搬运目的地的收纳部4为不同的收纳架5的情况下，从搬运源的收纳部4取出收纳容器2，在借助物品移载装置38使该收纳容器2旋转180度后收纳到搬运目的地的收纳部4中，由此，可与搬运源的收纳部4同样地在搬运目的地的收纳部4中，也以收纳容器2的装备有风扇过滤单元64的一侧位于移动空间一侧、且收纳容器2的装备有盖65的一侧位于从移动空间远离的一侧的状态，将收纳容器2收纳到收纳部4中。
如图5及图6所示，基板搬运装置7具有：在基板处理装置3和收纳架5附近之间载置搬运基板1的基板搬运输送机54、和在位于基板输入输出部6的收纳容器2和基板搬运输送机54的收纳架一侧端部之间载置搬运基板1的基板搬运机器人55。
基板搬运机器人55具有：沿架横宽方向在收纳架5的背面侧移动的移动台车56、支承在该移动台车56上而能升降且旋转自如的升降部57、经由连杆机构58连结在该升降部57上的叉状的支承部59，借助升降部57的升降及旋转和连杆机构58的伸缩，从位于基板输入输出部6的收纳容器2将基板1一张张搬运到基板搬运输送机54的收纳架一侧端部，并且将基板搬运输送机54的收纳架一侧端部的基板1一张张搬运到位于基板输入输出部6的收纳容器2中。
如图6所示，基板搬运输送机54通过旋转辊61支承基板1的横宽方向的两端部，通过驱动该旋转辊61旋转，来输送基板1，如图5所示，作为基板搬运输送机54，具有：将从基板搬运机器人55接受的基板1朝向基板处理装置3搬运的未处理用基板搬运输送机54、和将从基板处理装置3搬出的基板1朝向收纳架5一侧搬运的处理完用的基板搬运输送机54。
如图11及图12所示，前述收纳容器2形成为横向放倒姿势的四方筒状，该收纳容器2的一端侧的开口(第1开口)为用于令前述基板1输入输出的输入输出口72，从前述收纳容器2的另一端侧的开口(第2开口)朝向前述输入输出口72通风的风扇过滤单元64，装备在前述收纳容器2的另一端侧的开口部(即第二开口的区域)，对前述收纳容器2的前述输入输出口72进行开闭的盖65以在关闭状态下一部分开口、且在打开状态下容许前述基板搬运装置7搬运前述基板1的状态，装备在前述收纳容器2的输入输出口部。
换言之，形成为横向放倒姿势的四方筒状的容器主体66的一端侧的开口构成为用于令前述基板1一张张输入输出的输入输出口72，从前述容器主体66的另一端侧的开口朝向前述输入输出口72通风的风扇过滤单元64装备在前述容器主体66的另一端侧的开口部，对前述容器主体66的前述输入输出口72进行开闭的盖65以在关闭状态下一部分为通气口75、且在打开状态下容许前述基板搬运装置7搬运前述基板1的状态，装备在前述容器主体66的输入输出口部上。
如图10所示，容器主体66是由下述框部件栅格状地框组装而形成的，所述框部件包括：形成为矩形而形成容器主体66的一端侧的开口的一端侧矩形框93、同样形成为矩形而形成容器主体66的另一端侧的开口的另一端侧矩形框94、在角部将一端侧框体和另一端侧框体相互连结的角框件95、在除了容器主体66的一端侧部外的另一端侧部、左右横侧部、上侧部及下侧部适当架设的连结框件96，在两横侧部，以堵塞形成在该两横侧部的开口的方式具有外面部件97和内面部件98，所述外面部件97与矩形框和框件在外面侧成为一个面，所述内面部件98与矩形框和框件在内面侧成为一个面，在上侧部及下侧部，以堵塞形成在该上侧部及下侧部的开口的方式具有前述内面部件98，从而形成为横向放倒姿势的四方筒状。如图11所示，容器主体66具有上壁66a、底壁66b及左右的两横侧壁66c。
在一端侧矩形框93、另一端侧矩形框94及位于下侧的各框件95上，设置有在收纳到收纳架5的收纳部4中时被载置支承的收纳用支承部82，在一端侧矩形框93及另一端侧矩形框94上，设置有在通过堆装起重机10等收纳容器搬运装置8进行搬运时被载置支承的搬运用支承部83。
如图13及图17所示，在容器主体66上，横跨左右的两横侧壁部66c而架设有支承体67。该支承体67为了支承一张基板1而在前后方向上设置有多个，并且，与收纳在收纳容器2中的基板1的张数对应而在上下方向上以设定间隔设置为多层。
如图13所示，支承体67分别由横跨容器主体66的左右的两横侧壁部66c的连结框件96而架设的主体框架69、和在其上立设的多根销部件68构成。销部件68立设在主体框架69的设定位置上，以便在借助基板搬运机器人55将基板1从收纳容器2输入输出时不与基板搬运机器人55的支承部59发生干涉，通过利用该多根销部件68支承基板1，而在主体框架69和被其支承的基板1之间形成用于插通基板搬运机器人55的支承部59的间隙。
如图11所示，在容器主体66上，装备有三个风扇过滤单元64，这三个风扇过滤单元64，以沿横宽方向排列三个的状态安装在容器主体66的另一端侧的开口部上连结支承的FFU用框体90上。
在FFU用框体90上，具有非接触供电装置70的受电部70a，借助从非接触供电装置70的供电部70b(参照图2)供给的电力，而使三个风扇过滤单元64动作，所述非接触供电装置70的供电部70b在收纳部4中以被载置支承部32支承的状态而设置。
此外，在FFU用框体90上，还具有蓄积向受电部70a供给的电力的电池71，在通过堆装起重机10搬运收纳容器2时等、受电部70a从供电部70b远离而不向收纳容器2供给电力的状态下，借助蓄积在电池71中的电力，使三个风扇过滤单元64动作。
接着，对盖65进行说明。
如图16所示，前述盖65的前述通气口75在与前述输入输出口72的横宽大致相同的横宽范围内形成为狭缝状，并且以与保持在前述容器主体66中的多张前述基板1分别对应的状态在上下方向上形成有多个。
如图16(B)所示，前述盖65在容许前述基板1的输入输出的打开状态下，以与前述输入输出口72的横宽大致相同横宽的范围内的狭缝状的基板输入输出口76形成在与保持在前述容器主体66中的多张前述基板1对应的部位上的方式、且以关闭相邻的基板输入输出用口76之间的方式，打开前述输入输出口72。
若对前述盖65加以说明，则如图16所示，为了打开前述输入输出口72，而将多个与前述输入输出口72的横宽大致相同横宽的盖形成部件77，以在前述关闭状态下相邻的盖形成部件77之间形成前述通气口75、且在绕沿着前述输入输出口72的横宽方向的轴芯旋转后的前述打开状态下相邻的盖形成部件77之间开有前述基板输入输出用口76的方式，在上下方向上排列而构成。
多个盖形成部件77分别由横侧面观察时形成为中空薄板状的板状体构成，在其中心部以绕横轴芯旋转自如的方式支承在盖用框体78上。盖65如图16(A)所示，通过使多个盖形成部件77分别绕横轴芯旋转并成为顺沿于上下方向的姿势，而成为在盖形成部件77彼此之间的比较小的开口为通气口75的关闭状态，如图16(B)所示，通过使多个盖形成部件77分别绕横轴芯旋转并成为顺沿于前后方向的姿势，而成为在盖形成部件77彼此之间形成的比较大的开口为基板输入输出用口76的打开的状态。
即，如图16(A)及图17(A)所示，在盖65关闭的状态下，由于在多个盖形成部件77彼此之间开有通气口75，所以可通过风扇过滤单元64使净化空气从收纳容器2的另一端侧的开口通入输入输出口72，而从输入输出口72的通气口75排出，由于该通气口75 因顺沿于上下方向(与通风方向交叉的方向)的姿势的多个盖形成部件77而形成得较小，所以从该通气口75排出的净化空气的风速变快，由此，可防止外部空气从收纳容器2的输入输出口72向收纳容器2内进入。
如图16(B)及图17(B)所示，在盖65为打开的状态下，由于多个盖形成部件77彼此之间开有比通气口75大的基板输入输出用口76，所以可从基板输入输出用口76将基板1与净化空气输入输出，由于从该基板输入输出用口76排出的净化空气因不是关闭状态但顺沿于前后方向(通风方向)姿势的多个盖形成部件77的存在，而使风通路变窄，风速变快，所以借此可防止外部空气从收纳容器2的输入输出口72进入到收纳容器2内。
此外，在多个盖形成部件77的相邻的盖形成部件彼此之间，如上所述，在关闭状态下形成通气孔75，在打开状态下形成基板输入输出用孔76，在盖65的打开状态及关闭状态、以及将盖65切换为这些状态时多个盖形成部件77彼此不接触，所以不会有因盖形成部件77彼此接触而引起的发尘可抑制从盖65的发尘的产生。
前述盖65被施力而回复到前述关闭状态一侧，以从前述容器主体66的底面部向下方突出的状态设置有通过向上方移动而将前述盖65操作为打开状态的作为操作部的连结杆80。
若加以说明，则如图16(A)所示，连杆部件79的基端部在顺沿于上下方向的姿势的盖形成部件77上以向后下方延伸设置的方式连结，以便能一体旋转，该连杆部件79各自的自由端部旋转自如地连结在顺沿于上下方向的姿势的前述连结杆80上，在盖形成部件77分别成为顺沿于上下方向的姿势的关闭状态下，通过使连结杆80上升移动，而使盖形成部件77分别为成为顺沿于前后方向的姿势的打开状态，此外，在盖形成部件77分别为成为顺沿于前后方向的姿势的打开状态下，通过使连结杆80下降移动，而使盖形成部件77分别为成为顺沿于上下方向的姿势的关闭状态。
连结杆80因自重而向下降侧被施力，在连结杆80从容器主体66的底面部向下方突出的状态下，盖65为关闭的状态，在该状态下，随着使收纳容器2载置在基板输入输出部6上，通过在基板输入输出部6的载置支承部32上具有的盖用突起部81上推连结杆80，由此，经由连杆部件79旋转操作盖形成部件77，使盖形成部件77分别成为顺沿于前后方向的姿势，而使盖65为打开状态。从基板输入输出部6提升收纳容器2，连结杆80因自重被下推，由此经由连杆部件79旋转操作盖形成部件77，盖形成部件77成为顺沿于上下方向的姿势，而使盖65成为关闭状态。另外，连结杆80的下降移动被未图示的限制部件限制为连结杆80的下端部从容器主体66的底面部向下方突出的状态。
基板输入输出部6的盖用突起部81那样的上推操作连结杆80的部分，没有设置在基板输入输出部6以外的收纳部4、以及堆装起重机10等收纳容器搬运装置8上，除了位于基板输入输出部6的情况外，连结杆80不会被上推操作，在通过基板输入输出部6以外的收纳部4收纳时或通过堆装起重机10等搬运时，收纳容器2的盖65维持关闭的状态。
即，在基板处理设备中，使用下述基板处理方法：在保管在收纳架5上时以及在通过前述收纳容器搬运装置8搬运时，令前述收纳容器2的前述盖65为关闭的状态，借助前述风扇过滤单元64的通风，来维持前述基板1的清净度，并且，在前述基板输入输出部6中借助前述基板搬运装置7搬运前述基板1时，令前述收纳容器2的前述盖65为打开状态，借助前述风扇过滤单元64进行通风，并借助前述搬运区域用的净化空气通风机构25维持前述基板搬运区域24的清净度，从而维持前述基板1的清净度。
收纳容器2具有控制部109，控制三个风扇过滤单元64的动作，以便在令盖65为打开状态时，增大三个风扇过滤单元64的通风量。
即，如图11及图1 8所示，在FFU用框体90上，具备：可升降移动的检测片107，随着将收纳容器2载置在基板输入输出部6上而被基板输入输出部6的载置支承部32上具有的FFU用突起部106上推而上升移动，并且由于收纳容器2从基板输入输出部6提升而因自重下降移动；检测开关108，由检测检测片107的升降移动并将其检测信息朝向前述控制部109发送的限位开关构成；和前述控制部109，基于检测开关108的检测信息控制风扇过滤单元64的动作；控制部109基于检测开关108的检测信息控制风扇过滤单元64的动作，在检测片107为上升移动了的状态下，增大风扇过滤单元64的通风量，在检测片107下降移动了的状态下，减少风扇过滤单元64的通风量。
FFU用突起部106与盖用突起部81同样，不设置在基板输入输出部6以外的收纳部4、以及堆装起重机10等收纳容器搬运装置8上。
因此，在使收纳容器2位于基板输入输出部6而令盖65为打开的状态下，增大风扇过滤单元64的通风量，在使收纳容器2位于基板输入输出部6以外的位置而令盖65为关闭的状态下，减少风扇过滤单元64的通风量。
优选地，在盖65切换为打开状态前的时刻，增大风扇过滤单元64的通风量，在盖切换为关闭状态后的时刻，减少风扇过滤单元的通风量，来防止盖65切换为打开状态时和切换为关闭状态时因盖65产生的尘埃污染收纳容器2内的基板1，这样的盖65向打开状态或关闭状态的切换、和风扇过滤单元64的通风量的增减的关系，可通过调节盖用突起部80及FFU用突起部106的高度而调节。
如图11所示，前述风扇过滤单元64及前述盖65拆卸自如地安装在前述容器主体66上，可从收纳容器2上拆下风扇过滤单元64和盖65而容易地对收纳容器2进行清洗。
即，如图14所示，在盖用框体78的上端部，设置有从上方与容器主体66的一端侧矩形框93的上部卡合的盖用卡合部件99，此外，在一端侧矩形框93的下端部，设置有盖用卡合支承板100，在载置支承盖用框体78的状态下，与形成在盖用框体78的下端部的被卡合槽78卡合，通过相对于一端侧矩形框93的上部卡合脱离盖用卡合部件99、并相对于盖用框体78的被卡合槽78a卡合脱离盖用卡合支承板100，可相对于容器主体66装拆盖65。
此外，如图15所示，在FFU用框体90的上端部，设置有从上方与容器主体66的另一端侧矩形框94的上部卡合的FFU用卡合部件88，此外，在另一端侧矩形框94的下端部，设置有在载置支承FFU用框体90的状态下、与形成在FFU用框体90的下端部的被卡合槽90a卡合的FFU用卡合支承板89，通过相对于另一端侧矩形框94的上部卡合脱离FFU用卡合部件88、并相对于FFU用框体90的被卡合槽90a卡合脱离FFU用卡合支承板89，可相对于容器主体66与供电部70b和电池71一起装拆风扇过滤单元64。
如图2所示，收纳架5具有的最下层的多个收纳部4中的一部分，为可通过收纳架5的背面侧而借助手推台车85将收纳容器2输入输出的手推台车用的入库出库部9，在借助手推台车85从手推台车用的入库出库部9取出收纳容器2后，从收纳容器2上拆下风扇过滤单元64和盖65，可利用容器清洗装置86清洗容器主体2。在手推台车用的入库出库部9的背面侧，设置有关闭该入库出库部9的背面侧的闸门84，前述控制机构H控制堆装起重机10的动作，在闸门84打开操作的状态下，不进行借助堆装起重机10将收纳容器2向手推台车用的入库出库部9搬运的动作。
[第2实施方式]
本第2实施方式在第1实施方式中，改变基板输入输出部6的支承收纳容器2的构造及收纳容器2的令盖65开闭的构造。以下，对基板输入输出部6的支承收纳容器2的构造及收纳容器2的令盖65开闭的构造的第2实施方式进行说明，对于与第1实施方式同样构成的部件，标注与第1实施方式相同的附图标记，并省略说明。
首先，对基板输入输出部6的支承收纳容器2的构造进行说明。
如图23及图24所示，在基板输入输出部6的物品支承部32上，具有中心连杆装置111，在基板输入输出部6上载置的收纳容器2在水平方向上从适当位置错位的情况下，使该收纳容器2移动到适当位置上。
中心连杆装置111具有多个支承收纳容器2且对收纳容器2的横侧面进行推压操作的支承操作机构112，在支承的收纳容器2在水平方向上从适当位置错开的情况下，利用错位一侧存在的支承操作机构112对收纳容器2的横侧面进行推压操作，从而使收纳容器2移动到适当位置上。
如图24所示，多个支承操作机构112，分别在设置于物品支承部32的基台113上，摆动自如地支承摆动体114，在该摆动体114上具有：载置支承收纳容器2的容器支承用辊115、推压操作收纳容器2的侧面的推压操作用辊116、和限制摆动体114的摆动的摆动限制用辊117。
若对各支承操作机构112加以说明，则摆动体114具有横边部分、和向横边部分所在的一侧的相反侧鼓出形成的纵边部分，而将侧视时的形状形成为L字状，摆动体114的横边部分的基端部摆动自如地支承在基台113上。此外，在摆动体114的横边部分的末端部旋转自如地支承有容器支承用辊115，在摆动体114的纵边部分的末端部旋转自如地支承有推压操作用辊116，从摆动体114的纵边部分鼓出形成的部分的顶部支承有摆动限制用辊117。
各支承操作机构112通过令摆动限制用辊117与基台113抵接而限制摆动体114从待机姿势向与支承姿势相反的一侧摆动(参照图24(A))，此外，通过令容器支承用辊115与基台113抵接而限制摆动体114从支承姿势向与待机姿势相反的一侧摆动(参照图24(B))，摆动体114可在待机姿势和支承姿势之间改变摆动姿势。
此外，各支承操作机构112被推压操作用辊116、摆动限制用辊117等向待机姿势一侧施力，在没有支承收纳容器2的状态下，摆动体114为待机状态，若收纳容器2载置在容器支承用辊115上，则因收纳容器2的重量、使摆动体114从待机姿势改变为支承姿势，随着摆动体114从待机姿势改变为支承姿势，推压操作用辊116向收纳容器2一侧移动，由操作用辊116对收纳容器2的横侧面进行推压操作。
作为多个支承操作机构112，与俯视时形成为矩形的收纳容器2的下表面部的四边对应而在各边上设置两个，共计八个。
接着，对收纳容器2的令盖65开闭的构造进行说明。
如图23所示，借助顺沿于前述容器主体66的横侧面部的面方向(即与面平行的方向)的移动将前述盖65操作为打开状态的操作部121以从前述容器主体66的横侧面部向横侧方突出的状态设置。
若加以说明，则如图25所示，多个盖形成部件77中的一个盖形成部件77具有两端部从容器主体66的横侧面部向横侧方突出的操作用旋转轴77a，在操作用旋转轴77a的从容器主体66的横侧面部向横侧方突出的两端部上，操作杆123以向前上方延伸设置的状态一体旋转地连结在顺沿于上下方向的姿势的盖形成部件77上，通过上述操作用旋转轴77a和操作杆123构成操作部121。
连杆部件79的基端侧分别以向前下方延伸设置的状态一体旋转地连结在顺沿于上下方向的姿势的盖形成部件77上，连杆部件79的各自由端旋转自如地连结在顺沿于上下方向的姿势的杆状体122上，从而使多个盖形成部件77联动而旋转。在盖形成部件77分别为顺沿于上下方向的姿势的关闭状态下，通过将操作杆123向后方摆动操作，使盖形成部件77分别成为顺沿于前后方向的姿势，而使盖65成为打开状态，此外，在盖形成部件77分别为顺沿于前后方向的姿势的打开状态下，通过将操作杆123向前方摆动操作，使盖形成部件77分别成为顺沿于上下方向的姿势，而使盖65成为关闭状态。
操作杆123在盖65成为关闭状态的关闲姿势和盖65成为打开状态的打开姿势的范围内摆动操作自如，通过令杆状体122抵接于下方的限制部件124，而限制从关闭姿势向与打开姿势相反的一侧摆动，此外，通过令122抵接于上方的限制部件123，而限制从打开姿势向与关闭姿势相反的一侧摆动。操作杆123因杆状体122的自重而向关闭姿势一侧被施力。
如图23及图26所示，在位于基板输入输出部6的左右两侧的支柱31的一个上，具有将操作杆123向前后方向操作的盖操作机构125。该盖操作机构125相对于左右一对的操作杆123，至少对应于一方侧的操作杆123而设置，对一对操作杆123中的一个进行操作，而将盖65切换操作为打开状态或关闭状态。在本实施方式中，在位于基板输入输出部6的左右两侧的支柱31的另一个上，不具有盖操作机构125，一对操作杆123中的另一个，在操作者通过手动操作将盖65切换操作为打开状态或关闭状态时使用。
盖操作机构125由具有沿着前后方向滑动移动的移动体126a的电动压力缸126、和立设于移动体123a上的操作用部件127构成，通过利用电动压力缸126令操作用部件127向后方侧移动，而由操作用部件127推压操作操作杆123的被操作部分123a，令操作杆123成为向后方侧摆动操作了的打开姿势，通过利用电动压力缸126令操作用部件127向前方侧移动，而利用作用力令操作杆123而向前方侧摆动操作，成为关闭姿势。
此外，盖操作机构125在利用电动压力缸126使操作用部件127向后方侧移动的状态下，借助收纳容器2被物品移载装置38搬入到基板输入输出部6时的收纳容器2向前方侧的移动，将盖65切换为打开状态，借助收纳容器2被物品移载装置38从基板输入输出部6搬出时的收纳容器2向后方侧的移动，将盖65切换为关闭状态。
若加以说明，则盖操作机构125的操作用部件127在主视图中形成为L字状，该操作用部件127的顺沿于上下方向的纵边部分如图27(B)及图28(B)所示，位于下述高度范围内而在上下方向上较长地形成，所述高度范围指从收纳容器2被物品移载装置38在前后方向上移载时关闭姿势的操作杆123的被操作部分123a所处的高度、到收纳容器2被载置支承在物品支承部32上时关闭姿势的操作杆123的被操作部分123a所处的高度的范围内。
盖操作机构125通过如上所述将操作用部分127的纵边部分在上下方向上较长地形成，而可借助相对于被物品移载装置38在前后方向上移载的收纳容器2令操作用部件127向前后方侧的移动，将收纳容器2的盖65切换操作为打开状态或关闭状态。
此外，即使在将收纳容器2向基板输入输出部6搬入搬出时，因盖操作机构125的误动作而令操作用部件127向后方侧移动，也可利用移载装置38对收纳容器2的移动，借助操作用部件127将盖65切换操作为打开状态。
如图27～29所示，在基板处理设备中，包括：容器存在与否传感器129，检测基板输入输出部6的收纳容器2的存在与否；装置存在与否传感器130，检测基板输入输出部6的下方的物品移载装置38的存在与否；前述盖操作机构125，对盖65进行开闭操作；开闭控制机构132，基于容器存在与否传感器129和装置存在与否传感器130的检测结果，在收纳容器2被物品移载装置38载置在物品支承部32后，控制盖操作机构125的动作，对盖65进行打开操作，在收纳容器2被物品移载装置38从物品支承部32抄起之前，控制盖操作机构125的动作，对盖5进行关闭操作。
容器存在与否传感器129和装置存在与否传感器130分别由光电传感器构成，作为容器存在与否传感器129，而具有在基板输入输出部6的前部具有的前部侧的容器存在与否传感器129a、和在基板输入输出部6的后部具有的后部侧的容器存在与否传感器129b。
如图27及图28所示，前部侧的容器存在与否传感器129a，在基板输入输出部6的前部下方具有向上方投光的投光部，在基板输入输出部6的前部下方具有接受从投光部投射而被收纳容器2反射的光的受光部，由测距式传感器构成，若收纳容器2载置支承在物品支承部32上或收纳容器2下降移动到物品支承部32附近，而该前部侧的容器存在与否传感器129a成为检测到与收纳容器2的距离为比设定距离短的距离的状态(收纳容器为载置支承在物品支承部的状态或位于物品支承部附近的状态，以下称为检测状态)，则开闭控制机构132判断为在基板输入输出部6内存在收纳容器2。
后部侧的容器存在与否传感器129b，在基板输入输出部6的横向一侧方具有反射板，在基板输入输出部6的横向另一侧方具有在水平方向上投光的投光部、和接受从该投光部投射而被反射板反射的光的受光部，若投射的光被收纳容器2遮断而该后部侧的容器存在与否传感器129b成为检测状态，则开闭控制机构132判断为在物品支承部32上存在收纳容器2。
装置存在与否传感器130，在基板输入输出部6的横向一侧方具有反射板，在基板输入输出部6的横向另一侧方具有在水平方向上投光的投光部、和接受从该投光部投射而被反射板反射的光的受光部，若投射的光被物品移载装置38遮断而该装置存在与否传感器130成为检测状态，则判断为在物品支承部32的下方存在物品移载装置38。
即，在将收纳容器2向基板输入输出部6搬入的情况下，使位于比物品支承部32靠上方的位置且载置收纳容器2的物品移载装置38向基板输入输出部6一侧突出，并使物品移载装置38向比支承收纳容器2的物品支承部32靠下方的位置下降移动，将收纳容器2载置在物品支承部32上，然后，使未载置收纳容器2的空的物品移载装置38向堆装起重机10一侧引退，但若载置收纳容器2的物品移载装置38向基板输入输出部6一侧突出，则后部侧的容器存在与否传感器129b成为检测收纳容器2的检测状态，若物品移载装置38下降移动到比支承收纳容器2的物品支承部32靠下方的位置，则前部侧的容器存在与否传感器129a成为检测收纳容器2的检测状态，然后装置存在与否传感器130成为检测物品移载装置38的检测状态。若这样，在前部侧和后部侧的两个容器存在与否传感器129成为检测状态后，装置存在与否传感器130成为检测状态，则开闭控制机构132判断为收纳容器2被搬入基输入输出部6，控制盖操作机构125的动作以便对盖65进行打开操作。
若未载置收纳容器2的物品移载装置38被向堆装起重机10一侧引退，则装置存在与否传感器130成为不检测物品移载装置38的非检测状态。
此外，在将收纳容器2从基板输入输出部6搬出的情况下，使位于比物品支承部32靠下方的位置且未载置收纳容器2的空的物品移载装置38向基板输入输出部6一侧突出，并使物品移载装置38向比物品支承部32靠上方的位置上升移动而将收纳容器2抄起，然后，使载置收纳容器2的物品移载装置38向堆装起重机10一侧引退，若使位于比物品支承部32靠下方的位置的物品移载装置38向基板输入输出部6一侧突出，则装置存在与否传感器130成为检测物品移载装置38的检测状态，开闭控制机构132判断为收纳容器2被从基输入输出部6搬出，控制盖操作机构125的动作以便对盖65进行关闭操作。
若使物品移载装置38向比物品支承部32靠上方的位置上升移动，则装置存在与否传感器130成为不检测物品移载装置38的非检测状态，然后，前部侧的容器存在与否传感器129a成为不检测收纳容器2的非检测状态，若使载置有收纳容器2的物品移载装置38向堆装起重机10一侧引退，则后部侧的容器存在与否传感器129b成为不检测收纳容器2的非检测状态。
[其他实施方式]
(1)在上述实施方式中，多个盖形成部件77分别由横侧面观察时形成为板状的板状体构成，但也可使多个盖形成部件77分别具有横侧面观察时形成为板状的盖部件主体、和立设在该盖部件主体上的辅助盖部分而构成。
即，如图19及图20所示，也可使多个盖形成部件77的每一个以下述方式一体形成盖部件主体101和辅助盖部件102，而在横侧面观察时形成为T字状，即，在横侧面观察时形成为板状的盖部件主体101顺沿于前后方向的姿势下，在盖部件主体101的上表面垂直地立设辅助盖部分102。在该情况下，可以如图20(B)所示，将盖形成部件77的辅助盖部分102在正面观察时形成为凹凸形状，即，与支承部59的插拔对应的部分高度较低，以便能进行基板1的输入输出且能进行支承部59的插拔，不与支承部59的插拔对应的部分高度较高，以便只能进行基板1的输入输出，从而使得在关闭状态下，该盖形成部件77的盖部分主体101和在上方侧相邻的盖形成部件77的盖部分主体101之间形成的开口除了基板1的输入输出用的空间和基板搬运机器人55的支承部59插拔用的空间外，被辅助盖部分102封闭。
此外，也可使多个盖形成部件77的每一个以下述方式一体形成盖部件主体101和辅助盖部件102，而在横侧面观察时形成为十字状，即，在横侧面观察时形成为板状的盖部件主体101顺沿于前后方向的姿势下，在盖部件主体101的上表面和下表面垂直地立设辅助盖部分102。
(2)在上述实施方式中，多个盖形成部件77的每一个分别由横侧面观察时形成为板状的板状体构成，但也可使多个盖形成部件分别具有横侧面观察时形成为板状的盖部件主体、和与该盖部件主体分体的辅助盖部分而构成。
即，如图21及图22所示，也可使多个盖形成部件77的每一个分别具有绕位于上端部的横轴芯旋转自如地支承在盖用框体78上的盖主体部件103、和被固定状体支承在盖用框体78上的盖辅助部件104。在该情况下，可以如图21所示，使盖形成部件77的盖辅助部件104位于相邻的基板输入输出用口72之间，以便关闭相邻的基板输入输出用口72之间，并且，如图22(B)所示，将盖形成部件77的盖辅助部件104形成为在正面观察时为凹凸形状，即，与支承部59的插拔对应的部分高度较低，以便能进行基板1的输入输出且能进行支承部59的插拔，不与支承部59的插拔对应的部分高度较高，以便只能进行基板1的输入输出，从而使得在打开状态下，该盖辅助部件104和在上方侧相邻的盖辅助部件104之间形成的开口除了基板1的输入输出用的空间和基板搬运机器人55的支承部59插拔用的空间外被封闭，将盖形成部件77的盖主体部分103形成为下述长度，即，其上端部与在上方侧相邻的盖形成部件77的盖辅助部件104的下端部重叠，在关闭状态下，下端部与盖辅助部件104的高度较高的部分重叠且不与高度较低的部分重叠。
在上述实施方式中，可将多个盖形成部件77的每一个构成为，绕位于上端部或下端部的横轴芯旋转自如地支承在盖用框体78上。
此外，可使多个盖形成部件77的每一个具有在上下方向上滑动移动自如地支承的盖主体部件、和被固定状体支承的盖辅助部件。在该情况下，例如，也可构成为，在使盖主体部件和盖辅助部件在前后方向上重叠的打开状态下，如上述盖辅助部件104那样由盖主体部件和盖辅助部件在正面观察时形成凹凸形状，以盖主体部件和盖辅助部件重叠的范围变窄的方式使盖主体部件滑动移动，而成为关闭状态。
(3)在上述实施方式中，形成有与保持在收纳容器2中的基板1的张数相同的数量的基板输入输出用口76，也可形成数量比保持在收纳容器2中的基板1的张数少的基板输入输出用口76，例如，可以构成为，相对于两张基板2具有一个盖形成部件77，由一个基板输入输出用口76将两个基板2输入输出，此外，也可将盖5设为通过使闸门从打开状态向容器主体66的上方侧等滑动而切换为打开状态的闸门结构，或使盖65具有一张门扇，通过上述等方式，在打开状态下形成一个基板输入输出用口72，由这一个基板输入输出用口72令所有基板1输入输出。在如上述那样使盖65具有一张门扇的情况下，可以考虑通过使门扇以端部为中心摆动操作或装卸，而切换为关闭状态和打开状态。
此外，在上述实施方式中，将通气口75在与输入输出口72的横宽大致相同的横宽的范围内形成为狭缝状，但也可将通气孔75形成为上下方向上较长的狭缝状，此外，除了狭缝状以外，也可形成为圆形等其他形状。
(4)在上述第1实施方式中，将操作部80以从容器主体66的底面部向下方突出的状态设置，但也可将操作部80以不从容器主体66的底面部向下方突出的状态设置。在该情况下，例如在上述实施方式中，可通过将突起部81的高度设置得较高等，对操作部80进行上推操作。
此外，在基板输入输出部6上，具有用于上推操作操作部80的突起部81，但也可在基板输入输出部6上不具有用于上推操作操作部80的突起部81。
即，也可构成为，使操作部80和多个盖形成部件77联动，使得在使操作部80从容器主体66的底面部向下方较大地突出的状态下，盖形成部件77的每一个成为顺沿于上下方向的姿势，在使操作部80几乎不从容器主体66的底面部向下方突出或完全不突出的状态下，盖形成部件77的每一个成为顺沿于前后方向的姿势，并且通过使收纳容器66载置在基板输入输出部6的平坦的载置面上，而由该载置面将操作部80上推。
此外，在上述第1实施方式中，通过使操作部80在上下方向上移动而将盖65切换为打开状态和关闭状态，但也可通过使操作部80在横宽方向或前后方向上移动，而将盖65切换为打开状态和关闭状态。
(5)在上述第1实施方式中，通过在基板输入输出部6中由收纳容器搬运装置8使收纳容器2上下移动，而使操作部80被操作而将盖65切换为打开状态和关闭状态，但也可在基板输入输出部6或收纳容器2上具有操作操作部80的操作机构，通过在将收纳容器2载置在载置部位后由操作机构操作操作部80，而将盖65切换为打开状态和关闭状态。
此外，在上述第1实施方式中，利用自重，对盖65施力使其向关闭状态一侧回复，但也可通过弹簧等施力机构对盖65施力，使其向关闭状态一侧回复，此外，也可不对盖65施力而使其向关闭状态一侧回复，通过上述的操作机构的操作，将盖65切换为关闭状态。
(6)在上述第1实施方式中，由连杆部件79使操作部80和多个盖形成部件77联动，但也可通过齿条和小齿轮使操作部80和多个盖形成部件77联动。
即，在操作部80上形成齿条，在盖形成部件77的每一个上具有与齿条啮合的小齿轮，随着操作部80的升降移动，与齿条啮合的小齿轮被旋转操作，盖形成部件77的每一个被切换为顺沿于前后方向的姿势和顺沿于上下方向的姿势。
(7)在上述实施方式中，风扇过滤单元64以及盖65装卸自如地安装在容器主体66上，但也可将风扇过滤单元64以及盖65的一方或双方不能装卸地安装在容器主体66上。
(8)在上述实施方式中，在基板输入输出部6中由基板搬运装置7搬运基板1时，增大收纳容器2的风扇过滤单元64的通风量，但也可在基板输入输出部6中由基板搬运装置7搬运基板1时，不增大风扇过滤单元64的通风量。
即，也可在保管于收纳架5时、在由收纳容器搬运装置8搬运时、以及在基板输入输出部6中由基板搬运装置7搬运基板1时，维持收纳容器2的风扇过滤单元64的通风量一定。
此外，也可在由收纳容器搬运装置8搬运时，比保管于收纳架5时，增大收纳容器2的风扇过滤单元64的通风量，在基板输入输出部6中由基板搬运装置7搬运基板时，比由收纳容器搬运装置8搬运时，增大风扇过滤单元64的通风量，从而在保管于收纳架5时、在由收纳容器搬运装置8搬运时、在基板输入输出部6中由基板搬运装置7搬运基板时，改变收纳容器2的风扇过滤单元64的通风量。即，也可在由收纳容器搬运装置8搬运时，增大收纳容器2的风扇过滤单元64的通风量。也可使由收纳容器搬运装置8搬运时的通风量与在基板输入输出部6中由基板搬运装置7搬运基板时相同，此外，也可使由收纳容器搬运装置8搬运时的通风量比在基板输入输出部6中由基板搬运装置7搬运基板时多。
(9)在上述实施方式中，将收纳架5设置在清洁空间13的底面部(分级床层14)上，但也可设置在低于底面部的吸气室16的底部上。
(10)在上述实施方式中，由空气过滤器形成清洁空间13的顶面部，但也可由顶面部用的风扇过滤单元形成清洁空间13的顶面部。
(11)在上述实施方式中，将容器主体66的两横侧部设为具有外面部件98和内面部件99的双层构造，但也可只具有内面部件，而上侧部或下侧部相同为一层构造。
(12)在上述第1实施方式中，连杆部件79的基端部在顺沿于上下方向的姿势的盖形成部件77上以向后下方延伸设置的方式连结，以便能一体旋转，连杆部件79各自的自由端部旋转自如地连结的连结杆80位于比盖形成部件77的旋转轴芯靠后方侧(容器主体一侧)的位置上，但也可使连杆部件79的基端部在顺沿于上下方向的姿势的盖形成部件77的每一个上以向前下方延伸设置的方式连结，以便能一体旋转，连杆部件79各自的自由端部旋转自如地连结的连结杆80位于比盖形成部件77的旋转轴芯靠前方侧(与容器主体存在的一侧相反的一侧)的位置上。
(13)在上述第1实施方式中，通过在基板输入输出部6中借助收纳容器搬运装置8使收纳容器2上下移动，操作操作部80而将盖65切换为打开的状态和关闭的状态，但也可通过在盖65上具备操作操作部80的电动马达等驱动机构，由驱动机构操作操作部80，而将盖65切换为打开状态和关闭状态。
(14)在上述实施方式中，一体旋转操作所有多个盖形成部件77，但也可单独或以多个为一组对多个盖形成部件77进行旋转操作，在盖65打开的状态下，将一部分盖形成部件77设为顺沿于前后方向的姿势，将剩余的盖形成部件77设为顺沿于上下方向的姿势，在盖65打开的状态下，也令顺沿于上下方向的姿势的盖形成部件77存在，可进一步增加排出的净化空气的风速。
即，例如在以多个为一组旋转操作多个盖形成部件77的情况下，也可构成为，在多个盖形成部件77的上半部分的盖形成部件77上，在横宽方向一方侧端部经由连杆部件79而连结一方侧的连结杆80，在多个盖形成部件77的下半部分的盖形成部件77上，在横宽方向另一方侧端部经由连杆部件79连结另一方侧的连结杆80，通过操作一方侧的连结杆80，而将上半部分的盖形成部件77设为顺沿于前后方向的姿势，在收纳容器2的上半部分进行基板1的输入输出，通过操作另一方侧的连结杆80，将下半部分的盖形成部件77设为顺沿于前后方向的姿势，在收纳容器2的下半部分进行基板1的输入输出。
(15)在上述实施方式中，基于FFU用突起部106引起的检测片107的升降移动而改变风扇过滤单元64的通风量，但也可基于盖用突起部81引起的连结杆80的升降移动而改变风扇过滤单元64的通风量。
即，也可构成为，在盖用框体78上，具有检测连结杆80的升降移动而朝向控制部109发送其检测信号的检测机构，控制机构109基于检测机构的检测信息，控制风扇过滤单元64的动作，以便在处于盖65打开的状态、即连结杆80上升移动了的状态下，使风扇过滤单元64的通风量增大，在处于盖65关闭的状态、即连结杆80下降移动了的状态下，使风扇过滤单元64的通风量减少。
从检测机构向控制部109的检测信息的发送可在容器主体66上设置可分离地与盖用框体78一侧及FFU用框体90一侧连接的缆线而通过有线进行，此外，也可在盖用框体78上设置发送机，并在FFU用框体90上设置接收机而通过无线来进行。
(16)在上述第2实施方式中，将操作部121构成为，借助顺沿于容器主体66的横侧面部的面方向的移动，而对盖65进行打开操作，但也可将操作部121构成为，借助与容器主体66的横侧面部交叉的方向的移动，而对盖65进行打开操作。
在上述第2实施方式中，将操作部121以从容器主体66的横侧面部向横侧方突出的状态设置，但也可将操作部121以从容器主体66的横侧壁66的前面部向前方突出的状态设置，此外，在上述第2实施方式中，将操作部121以其末端的被操作部分123a位于比容器主体66的横侧壁66c的前面部靠后方的位置的状态设置，但也可将操作部121以其末端的被操作部分123a位于比容器主体66的横侧壁 66c的前面部靠前方的位置的状态设置。在上述的情况下，将操作部121构成为，借助顺沿于上下方向的移动而对盖65进行打开操作。
即，可将操作部121以从容器主体66的横侧面部向横侧方突出的状态设置，且将操作部121的末端的被操作部分123a以位于比容器主体66的横侧壁66c的前面部靠前方的位置的状态设置，具体地说，例如如图32所示，在操作用旋转轴77a的从容器主体66的横侧面部向横侧方突出的端部，以在盖形成部件77顺沿于上下方向的姿势下向前方侧延伸设置的方式连结操作杆123，而将操作杆123以被操作部分123a位于比容器主体66的横侧壁66c的前面部靠前方的位置的状态设置。如图31所示，也可将盖操作机构125由具有沿着上下方向滑动移动的移动体126a的电动压力缸126、和在移动体126a的上端部具有的操作用部件127构成，如图31(B)所示，通过由电动压力缸126令操作用部件127向上方侧移动，而借助操作用部件127将操作杆123的被操作部分123a向上方上推，将操作杆123设为向上方侧摆动的打开姿势，如图31(A)所示，通过由电动压力缸126令操作用部件127向下方侧移动，而借助自重使被操作部分123a向下方侧移动，将操作杆123设为向下方侧摆动的关闭姿势。
此外，也可将操作部121以从容器主体66的横侧壁66c的前面部向前方突出的状态设置，且将操作部121的末端的被操作部分123a以位于比容器主体66的横侧壁66c的前面部靠前方的位置的状态设置，具体地说，例如如图33所示，以不从容器主体66的横侧面部向横侧方突出的方式设置操作用旋转轴77a，在该操作用旋转轴77a上，以在盖形成部件77顺沿于上下方向的姿势下向前方侧延伸设置的方式连结操作杆123，而将操作杆123以末端的被操作部分123a位于比容器主体66的横侧壁66c的前侧面部靠前方的位置的状态设置。如图31(B)所示，通过由电动压力缸126令操作用部件127向上方侧移动，而将操作杆123设为向上方侧摆动的打开姿势，如图31(A)所示，通过由电动压力缸126令操作用部件127向下方侧移动，而将操作杆123设为向下方侧摆动的关闭姿势。
在上述其他实施方式中，如图31所示，操作杆123形成为关闭姿势下向前下方弯曲的<字状，如图32及图33所示，操作部121的被操作部分123a位于盖65的通气口75的横侧方。
此外，在上述第2实施方式中，为了操作操作部121而具有另外的盖操作机构125，但也可利用已经设置的中心连杆装置111等装置操作操作部121，而不必设置另外的盖操作机构125来操作操作部121。
即，例如如图30所示，将借助与容器主体66的前侧面部交叉的方向的移动对盖65进行打开操作的操作部121以从容器主体66的横侧壁66c的前面部向前方突出的状态设置，借助已经设置的中心连杆装置111的对收纳容器2的侧面进行推压操作的部件(推压操作用辊116)，对推压操作操作部，以便对盖65进行打开操作，从而借助与前侧面部的面方向交叉的方向的移动对盖65进行打开操作。
此外，也可仅通过操作者的手动操作来操作操作部121。在各实施方式中，在将盖65安装到容器主体66上的状态下，盖65的盖用框体78也为容器主体66的一部分，所谓容器主体66的横侧壁66c的前面部为盖65的盖用框体78的纵框部分的前面部。
(17)在上述第1实施方式中，也可在物品支承部32上具有中心连杆装置111，此外，在上述第2实施方式中，也可不在物品支承部32上具有中心连杆装置111。

Claims (11)

1.一种收纳容器，将基板以在上下方向上隔开间隔地排列的状态保持多张，前述收纳容器具有容器主体，所述容器主体形成为整体具有四边形的截面的筒状，即具有一端侧的第1开口、和在水平方向上与前述第1开口隔开间隔的另一端侧设置的第2开口，前述第1开口构成为用于输入输出前述基板的输入输出口，其特征在于，前述收纳容器还具有：
风扇过滤单元，装备在前述容器主体的前述第2开口的区域而从前述第2开口朝向前述第1开口通风；和
盖，安装在前述容器主体的前述输入输出口的区域，前述盖具有打开状态和关闭状态，在前述关闭状态下形成容许空气的通过的通气口。
2.如权利要求1所述的收纳容器，其特征在于，
前述通气口形成为横宽与前述输入输出口的横宽大致相同的狭缝状，且在上下方向上形成有多个。
3.如权利要求2所述的收纳容器，其特征在于，
前述通气口以与前述容器主体中保持的多张前述基板的每一个对应的状态在上下方向上形成有多个。
4.如权利要求1～3中任一项所述的收纳容器，其特征在于，
在前述打开状态下，容许前述基板的输入输出，
前述盖在前述打开状态下，以将相邻的基板输入输出用口之间阻断的状态将前述输入输出口打开。
5.如权利要求4所述的收纳容器，其特征在于，
前述盖具有在上下方向上排列的多个盖形成部件，
前述盖形成部件的每一个具有与前述输入输出口的横宽大致相同的横宽，在前述关闭状态下，相邻的前述盖形成部件之间形成前述通气口，
前述盖形成部件的每一个绕顺沿于前述输入输出口的横宽方向的轴芯旋转，在其前述打开状态下，相邻的前述盖形成部件之间形成前述基板输入输出用口。
6.如权利要求1～3中任一项所述的收纳容器，其特征在于，
前述盖被向前述关闭状态的方向施力，
以从前述容器主体的底面部向下方突出的状态设置有借助向上方的移动而将前述盖操作为打开状态的操作部。
7.如权利要求1～3中任一项所述的收纳容器，其特征在于，
还具有借助顺沿于前述容器主体的横侧面部的面的方向的移动而将前述盖操作为打开状态的操作部，前述操作部从前述容器主体的横侧面部向横侧方突出。
8.如权利要求1～3中任一项所述的收纳容器，其特征在于，
还具有借助顺沿于上下方向的移动而将前述盖操作为打开状态的操作部，前述操作部的末端的被操作部分位于比前述容器主体的横侧壁的前面部靠前方的位置。
9.如权利要求1～3中任一项所述的收纳容器，其特征在于，
前述盖能装卸地安装在前述容器主体上。
10.如权利要求1～3中任一项所述的收纳容器，其特征在于，
前述风扇过滤单元具有：支承在框体上的风扇、过滤器、和受电部。
11.如权利要求10所述的收纳容器，其特征在于，
前述风扇过滤单元具有向前述风扇供电的电池。
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