CN102867766B - 用于容纳基板的箱盒 - Google Patents

Abstract

公开了用于容纳基板的箱盒。本发明包括：容纳多个基板的箱盒本体、使箱盒本体选择性地密封的门、形成于门上并且与箱盒本体销结合的销单元、以及根据销单元的移动而结合箱盒本体与门的磁性部，将箱盒本体与门完整地贴紧，从而能够从根源上防止来自外部的污染源的渗透。并且，箱盒本体与门的结合是通过销单元和磁性部双重结合而得以实现的，从而能够坚固地固定。

Description

用于容纳基板的箱盒

技术领域

本发明涉及箱盒，具体涉及传送和保管基板时用于防止基板受到污染的、用于容纳基板的箱盒。

背景技术

通常，如有机发光显示装置(Organic light emitting display device，简称为OLED)或者液晶显示面板(Liquid crystal display，简称为LCD)等平板显示装置(Flat display device)为了便于制造而使用母体玻璃(Mother glass)。

在制造平板显示装置时，为了传送(receiving/transferring)或者保管多张母体玻璃，会使用用于容纳基板的箱盒。用于容纳基板的箱盒提供了容纳如多张母体玻璃等基板的空间。

通常，虽然在用于制造平板显示装置的洁净室确保有用于洁净空气的设施，但是经常发生下述的情况，即，随作业人员进入的或者在洁净室内浮游的异物渗透至开放的用于容纳基板的箱盒内部空间，并附着在母体玻璃表面。由此，可以预见到平板显示装置质量的劣化。从而，有必要密封用于容纳基板的箱盒内部。

发明内容

本发明的目的在于提供用于容纳基板的箱盒，使得所述用于容纳基板的箱盒通过选择性地完全密封用于容纳多张基板的箱盒内部空间来提供去除污染源。

根据本发明一优选实施例的用于容纳基板的箱盒包括：容纳多个基板的箱盒本体；使所述箱盒本体选择性地密封的门；形成于所述门上，并且与所述箱盒本体销结合的销单元；以及根据所述销单元的移动而结合所述箱盒本体与门的磁性部。

在一实施例中，所述箱盒本体通过多个框架的互相连接而形成箱型骨架结构，在所述框架上结合有盖板。

在一实施例中，在所述箱盒本体的内部排列有对以垂直方向层叠的多个基板予以支撑的多个支撑部，并且从所述箱盒本体的后方向箱盒本体前方的开放区侧横穿内部空间而得以延伸，所述箱盒本体的相对的两个侧部设置有安装部，所述安装部支撑所述基板的左右边缘，并且从多个框架向箱盒本体的内部空间突出。

在一实施例中，在所述箱盒本体的后方，支撑所述基板的后方边缘的后阻挡物与所述框架连接。

在一实施例中，沿着与所述箱盒本体的开放区相对的门的边缘还形成有密封部件。

在一实施例中，所述销单元包括：具有向水平方向或者垂直方向移动的移动柄的移动部；与所述移动部结合的齿轮部；使所述齿轮部转动的驱动杠杆；以及与所述移动部结合，并且形成有安全销的销导向部。

在一实施例中，所述移动柄的下部形成有与所述齿轮部啮合的齿条。

在一实施例中，所述销导向部包括：形成有销导向孔的销柄；插入到所述销导向孔而进行移动的导向销；以及与所述导向销结合、并且与形成于箱盒本体的销孔选择性地结合的安全销并进行移动。

在一实施例中，所述销导向孔被形成为沿着所述销柄的长度方向贯通销柄，并且被形成为对于所述销柄的水平方向是倾斜的。

在一实施例中，所述导向销插入到所述销导向孔中，使得其位置根据所述销柄的移动而沿着所述销导向孔倾斜的方向发生变化。

在一实施例中，所述安全销从所述销柄的上部贯通所述销柄，从而与所述导向销结合。

在一实施例中，所述安全销贯通所述销柄的部分设置有围绕所述安全销的安全销向导。

在一实施例中，与所述安全销向销孔移动的部分对应的框架上还设置有引导所述安全销的移动的滑动导向件，所述滑动导向件形成有提供所述销柄的移动通道的滑动导孔。

在一实施例中，所述销孔形成于与所述箱盒本体的框架结合的门导向块中。

在一实施例中，所述磁性部包括：在所述移动柄的一面沿着所述移动柄的一方向设置的至少一个磁性体；以及设置于与所述箱盒本体的对应的位置处，并且根据所述移动柄的移动而与所述磁性体选择性地结合的导电板。

在一实施例中，所述销单元还设置有具有辅助移动柄的辅助移动部，所述辅助移动柄与向水平方向或者垂直方向移动的移动部同步，从而向垂直方向或者水平方向移动。

在一实施例中，移动柄的端部还设置有防止与所述辅助移动柄之间的干扰的阻挡物。

在一实施例中，在所述辅助移动柄的一面，根据所述辅助移动柄的一方向还设置有至少一个磁性体，在所述箱盒本体的对应的位置处还设置有沿着所述辅助移动柄的移动而与所述磁性体选择性地结合的导电板。

在一实施例中，所述门的正面还形成有至少一个位置排列孔，所述位置排列孔中插入有选择性地开闭所述箱盒本体与门的外部机构的位置排列销，从而排列外部机构对所述门的位置。

在一实施例中，所述门还形成有调节密封的箱盒本体内部压力的气体过滤部。

在一实施例中，还形成有至少一个滑动导向件，所述滑动导向件引导沿着与所述箱盒本体的开放区相对的门的外围，柔韧地结合所述箱盒本体与门。

在一实施例中，所述箱盒本体的上端部还设置有移动箱盒的OHT钳(Overhead Hoist Transport grip)。

附图说明

图1是在前方观察根据本发明一实施例的用于容纳基板的箱盒被分离的状态的立体图；

图2是在后方观察图1的用于容纳基板的箱盒被分离的状态的立体图；

图3是图示图1的门的立体图；

图4是图示图3的销单元和磁性部的立体图；

图5是将图4销单元的安全销上升之前的状态截取一部分并图示的立体图；

图6是将图5销单元的安全销上升之后的状态截取一部分并图示的立体图；

图7是图示图3的销单元和磁性部的运行状态的立体图。

具体实施方式

本发明能够有多种变形和多种实施例，附图中示出了特定的实施例，并在具体实施方式中进行详细的说明。然而，这并不意味着将本发明限定在特定的实施方式中，应理解为包括本发明的思想以及技术范围内的所有变更、等同物以及代替物。在本发明的说明中，若认为对相关公开技术的具体说明对本发明造成混淆时，将省略其详细说明。

虽然第一、第二等术语可以用于说明多个组成要素，但所述组成要素不限于所述术语。使用所述术语的目的仅在于区别一个组成要素与另一个组成要素。

在本说明书中所使用的用语仅用于说明特定的实施例，并不用于限定本发明。对于单数用语，如果在文字部分没有明确地指代其它意思，则应当包括多个的含义。在本说明书中，“包括”或“具有”等用语仅用于说明实施本发明时可以组合特征、数字、阶段、步骤、组成要素、部件，并且不应当理解为对增加特征、数字、阶段、步骤、组成要素、部件的可能性予以排除。

下面，参考附图详细说明根据本发明的用于容纳基板的箱盒的实施例，在参考附图进行说明时，对相同或者相对应的组成要素给予相同的附图标记，并省略对其的重复说明。

图1是在前方观察根据本发明一实施例的用于容纳基板的箱盒100被分离的状态的立体图，图2是在后方观察图1的用于容纳基板的箱盒100被分离的状态的立体图，图3是图示图1的门120的立体图。

如图1至图3所示，所述用于容纳基板的箱盒100包括：箱盒本体110、门120、销单元(pin unit)130以及磁性部140。

所述箱盒本体110中，多个框架111互相连接，从而构成箱型骨架结构。在所述箱盒本体110的至少一面形成有开放区112，从而能够提供用于容纳多张如母体玻璃等基板210的通道。优选地，所述框架111由刚度优异的金属材料形成。

在所述框架111的外部结合有盖板(cover plate)113。在构成骨架结构的每一面分别设置有一张所述盖板113，或者可以设置有多个所述盖板113以便覆盖由所述框架111互相连接而成的各个区域。

所述盖板113的结合方式有：通过在所述框架111形成槽从而以插入的方式得以结合，或者在所述框架111的正面或者背面通过螺丝结合的方式等而得以结合等等，但并不限于某一种结合方式。所述盖板113从整体上覆盖除所述开放区112之外的框架111外部。所述盖板113可以采用如聚碳树脂等高分子树脂。

所述箱盒本体110的内部设置有对以垂直方向层叠的各个基板210给予支撑的支撑部114。所述支撑部114支撑大尺寸的基板210，使得大尺寸的基板210不会下垂。

所述支撑部114以水平方向设置有至少一个，支撑部114从所述箱盒本体110的后方向着箱盒本体110的前方、即向着开放区112横穿内部空间。所述支撑部114通过额外设置的支撑部件(未图示)而与所述箱盒本体110的框架111结合。所述支撑部114是能够支撑所述基板210的下表面的条状物(strip)。另外，所述支撑部114在所述箱盒本体110的垂直方向上间隔地设置有多个。

在所述箱盒本体110的相对的两侧设置有安装部115。所述安装部115是从相对设置的左右框架111向箱盒本体110的内部空间突出的锁定突起形状。所述安装部115支撑所述基板210的左右边缘。所述安装部115位于与所述支撑部114的高度相同的位置处。

由此，当基板210向箱盒本体110内装入时，所述基板210的下表面被支撑部114所支撑。并且，所述基板210的两个边缘被安装部115所支撑。从而，各个基板210安全地位于所述箱盒本体110的内部空间中。

所述箱盒本体110的后方设置有后阻挡物(back stopper)116。所述后阻挡物116是以垂直方向设置的至少一个条状物。所述后阻挡物116连接于箱盒本体110的后方框架111。所述后阻挡物116支撑所述基板210的后方边缘。

所述后阻挡物116起到阻挡物的作用，使得所述基板210在箱盒本体110的内部空间中不会进一步向箱盒本体110的后方移动。

另外，所述框架111的下端面设置有衬垫(pad)117，衬垫117具有能够吸收当移动所述箱盒本体110时的外部冲击的缓冲力。

所述箱盒本体110的前方设置有门120。所述门120与开放区112选择性地结合，开放区112提供使基板210得以容纳的通道。由此，所述箱盒本体110能够通过门120而得以敞开或者密封。

在所述门120中，门框121互相连接，并且在所述门框121上结合有门板122。所述门120具有可完全地覆盖所述开放区112的尺寸。

其中，所述门120设置有与箱盒本体110实现销结合的销单元130；在所述箱盒本体110和门120设置有磁性部140，磁性部140根据所述销单元130的移动而使门120选择性地结合于所述箱盒本体110上。

以下将进行进一步的详细说明。

图4是图示图3的销单元130和磁性部140的立体图，图5是将图4销单元130的安全销上升之前的状态截取一部分并图示的立体图，图6是将图5销单元130的安全销上升之后的状态截取一部分并图示的立体图，图7是图示图3的销单元130和磁性部140的运行状态的立体图。

如图4至图7所示，所述销单元130设置于门(图1的120)的4个边缘区域。所述销单元130包括：具有对于所述门120而言水平或者垂直方向移动的移动柄(shaft)151的移动部150；与所述移动部150结合的齿轮部(gear)160；使所述齿轮部160转动的驱动杠杆(lever)170；以及与所述移动部150结合的销导向部180。

所述移动柄151是延伸预定长度的直线形的金属板，其以所述门120的水平方向设置。在所述移动柄151的下部，沿着长度方向形成有齿条(rack gear)152。所述移动柄151的正面设置有齿条导向件(rackguide)153。

所述移动柄151的下侧方向设置有所述齿轮部160。所述齿条152与所述齿轮部160啮合而得以结合。在所述齿轮部160前方的同轴上结合有驱动杠杆170。若使所述驱动杠杆170向一方向转动，则形成有所述齿条152的移动柄151受所述齿轮部160的转动运动的影响而可作直线运动。

所述移动部150结合有销导向部180。所述销导向部180包括：形成有销导向孔(pin guide hole)182的销柄(pin shaft)181；插入到所述销导向孔182而移动的导向销183；以及与所述导向销183结合、并且进行升降运动使得与所述箱盒本体110选择性地结合的安全销184。

所述销柄181是向与所述移动柄151并排的方向延伸的金属板。所述销柄181位于相比所述移动柄151低预定间隔的下部位置处；在垂直方向上，所述销柄181的一端部与所述移动柄151的一端部重叠。所述销柄181的一端部与所述移动柄151的一端部通过螺栓连接方式而得以固定。由此，若所述移动柄151做直线往返运动，则所述销柄181也可以同时做直线往返运动。

所述销导向孔182沿着所述销柄181的长度方向形成。所述销导向孔182是在厚度方向贯通所述销柄181的长方形槽。所述销导向孔182被形成为相对于所述销柄181的水平方向倾斜预定角度。即，所述销导向孔182的一侧位于相比所述销柄181的水平方向较高的位置处，所述移动柄151的另一侧位于相比水平方向较低的位置处。

所述销导向孔182结合有导向销183。所述导向销183以所述销柄181的宽度方向设置。所述导向销183插入到所述销导向孔182中。所述导向销183从所述销柄181的一侧壁延伸至另一侧壁。根据所述销柄181的移动，所述导向销183的位置沿着所述销导向孔182的倾斜的方向而发生变化。

所述安全销184从所述销柄181的上部以垂直方向贯通所述销柄181，从而得以插入。贯通所述销柄181的安全销184的一端部与所述导向销183结合。在由所述安全销184贯通销柄181的部分设置有围绕所述安全销184的安全销向导185。

当所述安全销184上升时，与之对应的箱盒本体110形成有供所述安全销184选择性地结合的销孔(图7的118)。所述销孔118形成于门导向块(door guide block)119，所述门导向块119与箱盒本体110的框架111结合。

另外，所述销柄181的上部设置有滑动导向件250。沿着与所述箱盒本体110的开放区112相对的门框121的外围，保持间隔的间距地同时设置有多个所述滑动导向件250。在本实施例中，所述滑动导向件250设置于与所述销单元130的安全销184做升降运动的部分相对应的位置处。

所述滑动导向件250被形成为向所述箱盒本体110的开放区112侧进入的部分251逐渐变细，使得所述箱盒本体110与门120的结合得以柔韧地完成。优选地，所述滑动导向件250由高分子树脂形成。

并且，所述滑动导向件250引导所述安全销184的升降运动。为此，所述滑动导向件250上以垂直方向形成有滑动导孔(slide guidehole)252。所述安全销184可以沿着所述滑动导孔252做升降运动。为了不透气性，形成有所述滑动导孔252的滑动导向件250的内壁上设置有O型环253。

此时，所述箱盒本体110与门120上设置有磁性部140。所述磁性部140包括：设置于所述门120或者箱盒本体110的至少一个磁性体(magnetic)141；以及设置于与之对应的箱盒本体110或者门120的对应位置处的导电板142。

所述磁性体141在所述移动柄151的水平方向上间隔预定间距地设置在所述移动柄151的背面。所述磁性体141的材料优选为如钕(Neodymium)磁铁等磁性强的材料。

与所述磁性体141相对的箱盒本体110的开放区112侧设置有导电板142，当门120与所述箱盒本体110结合时，导电板142根据所述磁性体141的磁性而得以结合。所述导电板142可以通过在箱盒本体110的框架111上形成槽而得以安装，只要设置于所述箱盒本体110上，则并不限于某一个特定实施方式。

另外，所述销单元130上还可以设置有具有辅助移动柄191的辅助移动部190，辅助移动柄191与向水平方向移动的移动部150同步，从而向垂直方向移动。

在本实施例中公开了所述移动部150向水平方向移动、所述辅助移动部190向垂直方向移动的结构，但是并不限于某一个特定实施例，例如可以为，所述移动部150向垂直方向移动、所述辅助移动部190向水平方向移动等。

所述辅助移动柄191是延伸预定长度的直线形金属板，其以所述门120的垂直方向设置。在所述辅助移动柄191的正面，沿着长度方向形成有辅助齿条192。所述辅助移动柄191的侧面设置有辅助齿条导向件193。

所述辅助齿条192与所述齿轮部160啮合而得以结合。此时，所述齿轮部160和辅助齿条192之间还可以设置有至少一个惰齿轮(idlegear)161。

由此，若使所述驱动杠杆170向一方向转动，则当所述移动柄151向水平方向作直线往返运动时，所述辅助移动柄191受所述齿轮部160和惰齿轮161的转动运动影响，从而可以向垂直方向做直线往返运动。如此，所述辅助移动柄191与所述移动柄151同步而可以移动。

在所述辅助移动柄191，沿着长度方向间隔预定间距而设置有磁性体141。与所述磁性体141对应的箱盒本体110的开放区112侧设置有导电板142。

此时，做水平运动的移动柄151与做垂直运动的辅助移动柄191在做直线往返运动时会发生互相干扰的现象。从而，所述移动柄151的端部或者辅助移动柄191的端部还可以设置有用于防止与辅助移动柄191之间的干扰的阻挡物280。

再次参考图1至图3，所述门120的正面形成有至少一个位置排列孔220。为了当选择性地结合所述箱盒本体110与门120时确认用于吸附所述门120的外部机构、例如自动(robot)机构是否在预定位置上，所述位置排列孔220形成于门120，以使自动机构的位置排列销被插入。

所述位置排列孔220具有自动机构的位置排列销能够从所述门120的正面向门板122的厚度方向进入的尺寸，并且优选为不贯通所述门板122。所述位置排列孔220在所述门120的正面以对角线方向形成有多个。

另外，为了调节内压、强化密封性或者真空吸附，所述门120设置有额外的装置。

所述门120形成有多个气体过滤部230。所述气体过滤部230起到如下的作用：当所述用于容纳基板的箱盒100的内部压力上升时，排出所述用于容纳基板的箱盒100内部的空气，或者过滤从外部向所述用于容纳基板的箱盒100的内部流入的异物。

并且，沿着所述箱盒本体110的开放区112的周围，在框架111的内侧形成有密封部件240。作为相应的方案，所述密封部件240可以沿着与所述箱盒本体110的开放区112相对的门120的周围而得以形成。

而且，所述箱盒本体110的上端部设置有用于搬运所述用于容纳基板的箱盒100的OHT钳(Overhead Hoist Transport grip)260。

另外，在对所述箱盒本体110的开放区112而言相反方向的门120的正面形成有真空吸附区域270，自动机构的真空吸附部对真空吸附区域270予以吸附。所述真空吸附区域270形成于所述门120的边缘位置处。自动机构所具有的真空吸附部对每个所述真空吸附区域270都进行吸附，从而对于所述箱盒本体110能够选择性地分离门120。

以下参考图1至图7来对具有如上所述结构的用于容纳基板的箱盒100的作用进行说明。

其中，在所述用于容纳基板的箱盒100中，所述箱盒本体110的内部装载有多张基板210，所述箱盒本体110与门120相结合。

首先，自动机构贴紧在门120上。当自动机构被贴紧之后，自动机构所具有的多个位置排列销插入至在门120的正面以对角线方向形成的位置排列孔220中。通过自动机构的位置排列销插入至所述位置排列孔220中，能够确认自动机构对于门120而言是否在预定位置上得以阵列。

然后，自动机构所具有的多个真空吸附部真空吸附在真空吸附区域270上，真空吸附区域270为形成于门120的正面边缘位置的4个区域。所述门120能够直到一循环工序结束的瞬间为止被吸附到自动机构的真空吸附部，这能够减少工序，因此是优选的。

接下来，运行销单元130来解除箱盒本体110与门120的结合状态，销单元130是为了强化所述箱盒本体110对门120的结合力而作为安全装置设置的。

即，形成于所述箱盒本体110的门导向块119的销孔118结合有安全销184。为了将其解除，当以图6的顺时针方向转动所述驱动杠杆170，则结合在驱动杠杆170的齿轮部160也以顺时针方向转动。

若所述齿轮部160以顺时针方向转动，则如图4所示，形成有与所述齿轮部160啮合的齿条152的移动柄151向右移动。

若所述移动柄151移动，则与所述移动柄151以螺栓连接的销柄181将向右移动。若所述销柄181移动，则插入至销导向孔182内的导向销183对于销柄181的水平方向而言从高位置处向低位置处移动，销导向孔182是沿着所述销柄181的长度方向倾斜地形成的。

若所述导向销183沿着所述销导向孔182的倾斜的方向向低位置处移动，则结合于所述导向销183的安全销184沿着形成于所述销柄181的安全销向导185和形成于所述滑动导向件250的滑动导孔252而向所述销柄181的垂直方向下降。由此，所述安全销184从形成于所述箱盒本体110的门导向块119的销孔118得以分离。

并且，若所述移动柄151向右移动，则沿着所述移动柄151的背面而间隔设置的磁性体141也将向右移动，从而从设置于所述箱盒本体110的开放区112侧的导电板142得以分离。

如上所述，根据结合于所述驱动杠杆170的齿轮部160的转动，随着与导电板142磁力结合的磁性体141的磁性解除，插入至销孔118的安全销184的结合被解除。

另外，当所述移动柄151向右移动时，以所述门120的垂直方向设置的辅助移动柄191也与所述移动柄151同步而做上升运动。

即，若驱动杠杆170和齿轮部160以顺时针方向转动，则与所述齿轮部160啮合的惰齿轮161则以逆时针方向转动。若所述惰齿轮161转动，则如图4所示，形成有辅助齿条192的辅助移动柄191得以上升，辅助齿条192以所述惰齿轮161为媒介而与所述齿轮部160结合。由此，沿着所述辅助移动柄191的背面而间隔设置的磁性体141也向上移动，从而从所述导电板142得以分离。

接下来，将被自动机构的真空吸附部而被吸附的门120从箱盒本体110分离。

然后，使用取出机构取出在所述箱盒本体110的内部以垂直方向层叠的多张基板210之后，向期望的工序移送。

取出完层叠于所述箱盒本体110内部的基板210之后，向所述箱盒本体110的内部添加其他的多个基板210。

此时，由于各个基板210具有大的尺寸，因此中心部分可能会下垂。为了防止这种现象，所述基板210被至少一个支撑部114得以支撑，支撑部114按照从箱盒本体110的后方向开放区112横穿空间的方式得以设置。与此同时，所述基板210的左右边缘安装于从互相相对地设置的框架111中突出的安装部115。

并且，所述基板210通过被设置于所述箱盒本体110的后方的后阻挡物116得以支撑，从而不会进一步向箱盒本体110的后方移动。

由此，所述各个基板210能够安全地容纳在所述箱盒本体110的内部。

如上所述，再投入完多个基板210之后，使门120与所述箱盒本体110结合。此时，通过自动机构所具有的真空吸附部，门120在转移工序中已经处于被真空吸附的状态。

运行所述销单元130，以使门120与所述箱盒本体110结合。

以逆时针方向转动所述驱动杠杆170，则与驱动杠杆170结合的齿轮部160也向逆时针方向转动。若所述齿轮部160向逆时针方向转动，则形成有与所述齿轮部160啮合的齿条152的移动柄151向左移动。若所述移动柄151移动，则与所述移动柄151螺栓连接的销柄181将向左移动。

若所述销柄181移动，则插入至沿着所述销柄181的长度方向倾斜地形成的销导向孔182内的导向销183对于销柄181的水平方向而言从低位置处向高位置处移动。

若所述导向销183沿着所述销导向孔182的倾斜的方向向高位置处移动，则与所述导向销183结合的安全销184沿着形成于所述销柄181的安全销向导185和形成于所述滑动导向件250的滑动导孔252而向所述销柄181的垂直方向上升。由此，所述安全销184插入至形成于所述箱盒本体110的门导向块119的销孔118。

并且，若所述移动柄151向左移动，则沿着所述移动柄151的背面而间隔设置的磁性体141也向左移动，从而与设置于所述箱盒本体110的开放区112侧的导电板142结合。

如上所述，根据与所述驱动杠杆170结合的齿轮部160的转动，导电板142与磁性体141通过磁力结合的同时销孔118与安全销184结合。

另外，当所述移动柄151向左移动时，以所述门120的垂直方向设置的辅助移动柄191也与所述移动柄151同步，从而做下降运动。

即，若驱动杠杆170和齿轮部160以逆时针方向转动，则与所述齿轮部160啮合的惰齿轮161以顺时针方向转动。若所述惰齿轮161转动，则形成有辅助齿条192的辅助移动柄191会下降，辅助齿条192以所述惰齿轮161为媒介而与所述齿轮部160结合。由此，沿着所述辅助移动柄191的背面而间隔设置的磁性体141也向下移动，从而与所述导电板142结合。

此时，所述销柄181的上部设置有所述滑动导向件250。所述滑动导向件250被形成为向所述箱盒本体110的开放区112侧进入的部分251逐渐变细，因此柔韧地完成所述箱盒本体110与门120的结合。

而且，在与所述箱盒本体110的开放区112相对的门120的背面，沿着门120的周围形成有密封部件240，从而无疑地，密封性得以加强。

然后，从所述门120的真空吸附区域270分离自动机构所具有的真空吸附部。

接下来，分离自动机构所具有的位置排列销，所述自动机构插入至在所述门120的正面上以对角线方向形成的位置排列孔220中。

从而，分离所述自动机构所具有的位置排列销。

如上所述，本发明的用于容纳基板的箱盒100通过所述销单元130的运行而将销孔118与安全销184结合或者解除的同时，可以将导电板142与磁性体141结合或者解除。

如上所述，本发明的用于容纳基板的箱盒完整地实现箱盒本体与门的贴紧，从而能够从根源上防止来自外部的污染源的渗透。并且，箱盒本体与门的结合是通过销单元和磁性部双重结合而得以实现的，从而能够实现坚固的固定。

Claims (28)

1.一种用于容纳基板的箱盒，包括：

箱盒本体，用于容纳多个基板；

门，使所述箱盒本体选择性地密封；

销单元，形成于所述门上，并且与所述箱盒本体销结合；以及

磁性部，根据所述销单元的移动结合所述箱盒本体与所述门，

其中所述销单元包括：

移动部，具有向水平方向或者垂直方向移动的移动柄；

齿轮部，与所述移动部结合；

驱动杠杆，使所述齿轮部转动；以及

销导向部，与所述移动部结合，并且形成有安全销。

2.根据权利要求1所述的用于容纳基板的箱盒，其特征在于，

所述箱盒本体通过多个框架的互相连接而形成箱型骨架结构，在所述框架上结合有盖板。

3.根据权利要求2所述的用于容纳基板的箱盒，其特征在于，

在所述箱盒本体的内部排列有对以垂直方向层叠的多个基板予以支撑的多个支撑部，所述支撑部从所述箱盒本体的后方向箱盒本体前方的开放区侧横穿内部空间而得以延伸，

所述箱盒本体的相对的两个侧部设置有安装部，所述安装部支撑所述基板的左右边缘，并且从多个框架向所述箱盒本体的内部空间突出。

4.根据权利要求3所述的用于容纳基板的箱盒，其特征在于，

在所述箱盒本体的后方，支撑所述基板的后方边缘的后阻挡物与所述框架连接。

5.根据权利要求1所述的用于容纳基板的箱盒，其特征在于，

沿着与所述箱盒本体的开放区相对的门的边缘还形成有密封部件。

6.根据权利要求1所述的用于容纳基板的箱盒，其特征在于，

沿着所述箱盒本体的开放区的周围还形成有密封部件。

7.根据权利要求1所述的用于容纳基板的箱盒，其特征在于，

所述移动柄的下部形成有与所述齿轮部啮合的齿条。

8.根据权利要求1所述的用于容纳基板的箱盒，其特征在于，

所述驱动杠杆在同轴上与所述齿轮部结合。

9.根据权利要求1所述的用于容纳基板的箱盒，其特征在于，所述销导向部包括：

销柄，形成有销导向孔；

导向销，插入到所述销导向孔而进行移动；以及

安全销，与所述导向销结合，并且与形成于所述箱盒本体的销孔选择性地结合并进行移动。

10.根据权利要求9所述的用于容纳基板的箱盒，其特征在于，

所述销柄的一端部以在垂直方向重叠的方式与所述移动柄的一端部结合。

11.根据权利要求9所述的用于容纳基板的箱盒，其特征在于，

所述销导向孔被形成为沿着所述销柄的长度厚度贯通所述销柄，并且被形成为相对于所述销柄的水平方向是倾斜的。

12.根据权利要求11所述的用于容纳基板的箱盒，其特征在于，

所述导向销插入到所述销导向孔中，使得其位置根据所述销柄的移动而沿着所述销导向孔倾斜的方向发生变化。

13.根据权利要求12所述的用于容纳基板的箱盒，其特征在于，

所述安全销从所述销柄的上部贯通所述销柄，从而与所述导向销结合。

14.根据权利要求13所述的用于容纳基板的箱盒，其特征在于，

所述安全销贯通所述销柄的部分设置有围绕所述安全销的安全销向导。

15.根据权利要求9所述的用于容纳基板的箱盒，其特征在于，

与所述安全销向所述销孔移动的部分相对应的框架上，还设置有引导所述安全销的移动的滑动导向件，

所述滑动导向件形成有提供所述销柄的移动通道的滑动导孔。

16.根据权利要求15所述的用于容纳基板的箱盒，其特征在于，

形成有所述滑动导孔的滑动导向件的内壁设置有O型环。

17.根据权利要求9所述的用于容纳基板的箱盒，其特征在于，

所述销孔形成于与所述箱盒本体的框架结合的门导向块中。

18.根据权利要求1所述的用于容纳基板的箱盒，其特征在于，所述磁性部包括：

至少一个磁性体，在所述移动柄的一面沿着所述移动柄的一方向设置；以及

导电板，设置于所述箱盒本体的对应的位置处，并且根据所述移动柄的移动与所述磁性体选择性地结合。

19.根据权利要求1所述的用于容纳基板的箱盒，其特征在于，

所述销单元还设置有具有辅助移动柄的辅助移动部，所述辅助移动柄与向水平方向或者垂直方向移动的移动部同步，从而向垂直方向或者水平方向移动。

20.根据权利要求19所述的用于容纳基板的箱盒，其特征在于，

所述辅助移动柄的一侧形成有与所述齿轮部啮合的辅助齿条。

21.根据权利要求20所述的用于容纳基板的箱盒，其特征在于，

所述移动柄的端部还设置有防止与所述辅助移动柄之间的干扰的阻挡物。

22.根据权利要求19所述的用于容纳基板的箱盒，其特征在于，

在所述辅助移动柄的一面沿着所述辅助移动柄的一方向还设置有至少一个磁性体，在所述箱盒本体的对应的位置处还设置有根据所述辅助移动柄的移动而与所述磁性体选择性地结合的导电板。

23.根据权利要求1所述的用于容纳基板的箱盒，其特征在于，

所述门的正面还形成有至少一个位置排列孔，所述位置排列孔中插入有选择性地开闭所述箱盒本体与所述门的外部机构的位置排列销，从而排列外部机构相对于所述门的位置。

24.根据权利要求23所述的用于容纳基板的箱盒，其特征在于，

所述位置排列孔在门的正面上以对角线方向形成有多个。

25.根据权利要求1所述的用于容纳基板的箱盒，其特征在于，

所述门还形成有调节密封的箱盒本体内部压力的气体过滤部。

26.根据权利要求1所述的用于容纳基板的箱盒，其特征在于，

还形成有至少一个滑动导向件，所述滑动导向件引导沿着与所述箱盒本体的开放区相对的门的外围，柔韧地结合所述箱盒本体与所述门。

27.根据权利要求26所述的用于容纳基板的箱盒，其特征在于，

所述滑动导向件被形成为向所述箱盒本体的开放区侧进入的部分逐渐变细。

28.根据权利要求1所述的用于容纳基板的箱盒，其特征在于，

所述箱盒本体的上端部还设置有移动箱盒的悬吊式运输钳。