CN102040049B - 基板用收纳容器以及输送该基板用收纳容器的输送设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供容易使容器主体的分离自动化的基板用收纳容器以及输送该基板用收纳容器的输送设备。能够载置支承容器主体(3)的载置支承部件(4)构成为具备：载置支承容器主体(3)的支承部分(27)；以及装配部分(28)，该装配部分以在由该支承部分(27)载置支承容器主体(3)的状态下使风机过滤机组(5)位于与供气口对置的位置的方式装配有风机过滤机组(5)，在支承部分(27)形成有开口部(31)，从该开口部能够在上下方向插拔承接支承体，容器主体(3)构成为，在容器主体的下部由插入开口部(31)中的承接支承体承接支承的状态下，容器主体能够相对于载置支承部件(4)向上方侧分离。

Description

基板用收纳容器以及输送该基板用收纳容器的输送设备

技术领域

本发明涉及基板用收纳容器以及输送该基板用收纳容器的输送设备，所述基板用收纳容器构成为具备：容器主体，该容器主体具备基板收纳空间，该基板收纳空间能够以使多张基板在上下方向上隔开间隔地排列的状态收纳所述基板；和风机过滤机组，其向上述容器主体的上述基板收纳空间供给清洁空气，上述容器主体在其侧部形成有用于使上述基板出入的出入口和用于将由上述风机过滤机组供给的清洁空气供给至上述基板收纳空间的供气口。

背景技术

所述基板用收纳容器在收纳液晶显示器或等离子显示器所使用的玻璃基板等基板时使用，构成为能够以使多张基板在上下方向上隔开间隔地排列的层叠状态将所述基板收纳于基板收纳空间。进而，在将玻璃基板等要求高清洁度的基板收纳于基板用收纳容器的情况下，使用使得基板用收纳容器的基板收纳空间的清洁度比外部清洁度高的局部清洁技术。即，构成为将容器主体形成为在上下左右具备侧壁的筒状，并以与形成于其前后方向的一侧部的供气口对置的状态设置风机过滤机组(FFU)，利用风机过滤机组将清洁空气供给到基板收纳空间。进而，通过这样将清洁空气供给到基板收纳空间而在基板收纳空间中形成沿着基板的气流，从而将基板收纳空间的清洁度维持得较高，以防止尘埃附着于基板。

在这种基板用收纳容器中，以往风机过滤机组装配于FFU用框体，该FFU用框体以能够相对于筒状的容器主体分离/结合的方式安装于筒状的容器主体。即，在清洗基板用收纳容器的情况下，由于在FFU用框体中装配有包含电装部件的风机过滤机组，因此，无法利用水溶液等液体清洗，因此使容器主体从FFU用框体分离而仅清洗容器主体(例如参照专利文献1。)。

进而，FFU用框体以风机过滤机组与供气口对置的方式安装于容器主体，其形状在侧面观察时形成为I字状(在上下方向较长地延伸的形状)。

并且，对FFU用框体相对于容器主体的安装加以说明，使FFU用框体的下端部从上方侧卡合于在容器主体的下端部设置的卡合支承板，并且使设置于FFU用框体的上端部的卡合部件从上方侧卡合于容器主体的上端部，从而使FFU用框体结合于容器主体，在使容器主体从FFU用框体分离的情况下，使FFU用框体相对于容器主体向上方侧移动，来使容器主体从FFU用框体分离。

【专利文献1】日本特开2008-094494号公报(第“0054”段、图15)

在上述现有的基板用收纳容器中，由于FFU用框体的侧面观察时的形状形成为I字状(在上下方向较长地延伸的形状)，因此FFU用框体单体的稳定性差，容易倾倒，因此，难以使容器主体的分离自动化。

若加以说明，可以考虑到在使容器主体从FFU用框体分离的情况下，通过在支承FFU用框体的下表面的状态下抬起FFU用框体，从而使容器主体从FFU用框体分离，但由于FFU用框体的侧面观察时的形状为I字状，单体的稳定性差，因此，在分离时FFU用框体有可能倾倒。这样，由于在使容器主体从FFU用框体分离时，FFU用框体有可能倾倒，所以难以使该分离的作业自动化。

发明内容

本发明就是鉴于上述实际情况而完成的，其目的在于提供容易使容器主体的分离自动化的基板用收纳容器。

本发明的基板用收纳容器具备：容器主体，该容器主体具备基板收纳空间，该基板收纳空间能够以使多张基板在上下方向上隔开间隔地排列的状态收纳所述基板；和风机过滤机组，其向上述容器主体的上述基板收纳空间供给清洁空气，这里，上述容器主体在其侧部形成有用于使上述基板出入的出入口和用于将由上述风机过滤机组供给的清洁空气供给至上述基板收纳空间的供气口。能够载置支承上述容器主体的载置支承部件构成为具备：载置支承上述容器主体的支承部分；以及装配部分，该装配部分以在由该支承部分载置支承上述容器主体的状态下使上述风机过滤机组位于与上述供气口对置的位置的方式装配有上述风机过滤机组，在上述支承部分形成有开口部，从该开口部能够在上下方向插入和取出承接支承体，上述容器主体构成为，在上述容器主体的下部由插入上述开口部中的上述承接支承体承接支承的状态下，上述容器主体能够相对于上述载置支承部件向上方侧分离。

即，构成为以与供气口对置的状态设置风机过滤机组，利用风机过滤机组将清洁空气供给到基板收纳空间。通过这样将清洁空气供给到基板收纳空间以在基板收纳空间中形成沿着基板的气流，从而较高地维持基板收纳空间的清洁度，防止尘埃附着于基板。

进而，在将容器主体载置支承于载置支承部件的支承部分以使容器主体与载置支承部件结合的状态下，将承接支承体从下方侧插入开口部，由此，在由该插入的承接支承体承接支承容器主体的下部的状态下，使容器主体相对于载置支承部件相对地抬起，从而能够使容器主体相对于载置支承部件向上方侧分离。

载置支承部件构成为具备装配有风机过滤机组的装配部分和用于载置支承容器主体的支承部分，作为载置支承部件的在横向侧面观察时的形状，能够利用装配部分的I字状的部分(在上下方向较长地延伸的部分)和支承部分的一字状的部分(在水平方向较长地延伸的部分)整体形成为L字状，因此，在使容器主体从载置支承部件分离时，通过支承用于载置支承容器主体的支承部分，从而能够一体地支承装配有风机过滤机组的装配部分。由此，能够以大的面积稳定性良好地支承包括装配部分在内的载置支承部件，因此，在使容器主体相对于载置支承部件分离时，装配部分不易倾倒，容易使容器主体的分离自动化。因此，能够提供容易使容器主体的分离自动化的基板用收纳容器。

在本发明的实施方式中，优选上述载置支承部件的上述支承部分构成为平板状，上述容器主体构成为，其下部通过将多个框部件排列成格子状而构成，上述框部件由上述承接支承体承接支承。

即，容器主体的下部由于通过将多个框部件排列成格子状而构成因此开口，但由于载置支承容器主体的载置支承部件的支承部分构成为平板状，所以在使容器主体载置支承于载置支承部件的状态下，能够利用载置支承部件封闭容器主体的下部的开口。

由此，通过将框部件排列成格子状而构成容器主体的下部，从而容器主体能够实现轻量化，同时在将容器主体载置支承于载置支承部件的状态下，能够封闭容器主体的下部，容易利用所供给的清洁空气在基板收纳空间中形成沿着基板的气流。并且，通过将载置支承部件中的支承部分构成为平板状，从而，利用支承部分的重量化，使与装配部分的重力平衡成为能够稳定性更良好地支承载置支承部件的平衡。

在本发明的实施方式中，优选在上述载置支承部件上以由立起设置于上述载置支承部件的出入口侧的端部的一对支承用框部件支承的状态装配有闸门装置，该闸门装置具备：由电动式马达朝一个方向及相反方向被驱动旋转的旋转滚筒；以及卷绕于上述旋转滚筒且伴随上述旋转滚筒的旋转进行送出操作和卷绕操作的薄片状的门部分，该闸门装置对上述容器主体的上述出入口进行开闭，在上述闸门装置的下方且是上述一对支承用框部件之间的位置形成有通过口，相对于上述载置支承部件向上方侧分离后的上述容器主体能够沿着出入上述基板的方向通过该通过口。

即，闸门装置通过从旋转滚筒送出门部分，从而能够利用该送出的门部分关闭容器主体的出入口，在这样关闭出入口的状态下，能够防止尘埃从出入口侵入基板收纳空间。并且，闸门装置通过将门部分卷绕于旋转滚筒，从而能够打开容器主体的出入口，在这样打开出入口的状态下，闸门装置整体位于比通过口靠上方的位置，相对于载置支承部件向上方侧分离后的容器主体能够沿着出入基板的方向通过通过口。

进而，由于具备电动式马达等的闸门装置无法用水溶液等液体清洗，所以在清洗基板用收纳容器时，需要使闸门装置从容器主体分离。根据本特征构成，闸门装置装配于载置支承部件，因此，通过使容器主体从载置支承部件分离，从而能够使闸门装置从容器主体分离，因此能够容易地分离容器主体。

并且，能够通过形成于闸门装置下方的通过口使容器主体移动，所以与在闸门装置的上方移动的情况相比，能够抑制使容器主体从载置支承部件分离时容器主体向上方侧的移动量，因此，在这点上也能够容易地分离容器主体。

在本发明的实施方式中，优选上述支承部分具有覆盖上述容器主体的底面整体的大小。

本发明的输送设备是输送基板用收纳容器的设备，优选该输送设备设有中继输送机构，该中继输送机构配设于输送上述基板用收纳容器的收纳容器输送机构与输送上述容器主体的容器主体输送机构之间，从上述收纳容器输送机构接收上述基板用收纳容器，并使上述容器主体从上述载置支承部件分离，然后将该分离后的上述容器主体交接到上述容器主体输送机构，上述收纳容器输送机构构成为，以上述载置支承部件中的上述支承部分位于比上述装配部分靠上述容器主体输送机构所存在的一侧的位置的状态，将上述基板用收纳容器交接到上述中继输送机构，上述中继输送机构构成为具备：第一支承体，其以载置支承上述载置支承部件的状态从上述收纳容器输送机构接收上述基板用收纳容器；作为上述承接支承体的第二支承体，其将上述容器主体载置输送至水平方向的上述容器主体输送机构所存在的一侧而将上述容器主体交接到上述容器主体输送机构；以及升降操作机构，其使上述第二支承体相对于上述第一支承体相对地升降移动，上述第二支承体构成为，利用上述升降操作机构相对于上述第一支承体相对地升降移动，由此，上述第二支承体能够在比载置支承于上述第一支承体的上述载置支承部件的载置面位于下方的非输送状态、和从下方侧插入于上述载置支承部件的上述开口部中而载置支承上述容器主体的上述下部以使上述容器主体从上述载置支承部件向上方侧分离的输送状态之间进行切换，并且，上述第二支承体在上述输送状态下将上述容器主体交接至上述容器主体输送机构。

即，中继输送机构在将载置支承部件载置支承于第一支承体的状态下从收纳容器输送机构接收基板用收纳容器，然后利用升降操作机构使第二支承体相对于第一支承体相对地上升移动以将第二支承体从非输送状态切换至输送状态，由此，第二支承体从下方侧插入载置支承部件的开口部中，利用该插入的第二支承体载置支承容器主体的下部，从而将容器主体从载置支承部件向上方侧分离。然后，容器主体由第二支承体载置输送至容器主体输送机构所存在的一侧而交接到容器主体输送机构。这样，在输送设备中，能够使容器主体从载置支承部件自动地分离。

在本发明的实施方式中，优选该输送设备设有使用液体对上述容器主体进行清洗的清洗装置，上述容器主体输送机构构成为，将从上述中继输送机构接收的上述容器主体输送至上述清洗装置。

即，在利用清洗装置清洗基板用收纳容器的情况下，由于在载置支承部件中装配有风机过滤机组，所以需要使容器主体从载置支承部件分离而仅清洗容器主体，但由于在输送设备中能够自动地使容器主体从载置支承部件分离，因此，不需要人为地使容器主体从载置支承部件分离，能够容易地仅清洗容器主体。

附图说明

图1是第一实施方式中的输送设备的主视图。

图2是第一实施方式中的基板用收纳容器的结合立体图。

图3是第一实施方式中的基板用收纳容器的分解立体图。

图4是第一实施方式中的容器主体的立体图。

图5是第一实施方式中的载置支承部件的立体图。

图6是第一实施方式中的基板用收纳容器的分解作用图。

图7是第一实施方式中的基板用收纳容器的分解作用图。

图8是第二实施方式中的基板用收纳容器的结合立体图。

图9是第二实施方式中的基板用收纳容器的分解立体图。

标号说明

1基板

2基板用收纳容器

3容器主体

4载置支承部件

5风机过滤机组

7收纳容器输送机构

8中继输送机构

9容器主体输送机构

21出入口

22供气口

23a框部件

27支承部分

28装配部分

31开口部

41第一支承体

42第二支承体(承接支承体)

43升降操作机构

46a支承用框部件

47闸门装置

48旋转滚筒

49门部分

50通过口

S基板收纳空间

W清洗装置

具体实施方式

下面，根据附图对本发明的基板用收纳容器以及输送该基板用收纳容器的输送设备的实施方式进行说明。这里，对多个实施方式进行说明，但一个实施方式的特征与其它实施方式的特征的组合也包含在本发明的范围内。

[第一实施方式]

首先，根据附图说明本发明的第一实施方式。

如图1所示，输送设备是输送基板用收纳容器2的设备。由该输送设备输送的基板用收纳容器2中，容器主体3和用于载置支承该容器主体3的载置支承部件4能够分离地构成。

进而，在输送设备中设置有：输送基板用收纳容器2的作为收纳容器输送机构的堆装起重机7；使基板用收纳容器2中的容器主体3从载置支承部件4分离的中继输送机构8；以及输送容器主体3的作为容器主体输送机构的辊式输送器9，中继输送机构8配设于堆装起重机7与输送器9之间。

堆装起重机7构成为，将从收纳基板用收纳容器2的收纳架10取出的基板用收纳容器2交接到中继输送机构8，并且将从中继输送机构8接收的基板用收纳容器2收纳于收纳架10，从而在收纳架10与中继输送机构8之间输送基板用收纳容器2。收纳架10具有多个收纳部，所述多个收纳部形成有在上下方向上排列的多个列以及在水平方向上排列的多个行。在一个收纳部中收纳一个基板用收纳容器2。

中继输送机构8构成为，从堆装起重机7接收基板用收纳容器2，并使容器主体3从载置支承部件4分离，然后将该分离后的容器主体3交接至输送器9，并且从输送器9接收容器主体3，并使该容器主体3与载置支承部件4结合，然后将基板用收纳容器2交接至堆装起重机7，从而在堆装起重机7与输送器9之间输送基板用收纳容器2且使容器主体3与载置支承部件4分离/结合。

输送器9构成为，将从中继输送机构8接收的容器主体3交接到对基板1或容器主体3进行处理的处理装置11，并且将从处理装置11接收的容器主体3交接到中继输送机构8，从而在中继输送机构8与处理装置11之间输送容器主体3。

并且，输送设备设置于洁净空间13，且设置有使清洁空气从天花板部向地板部通风的下流式(down flow type)的清洁空气通风机构14。

该清洁空气通风机构14中，构成地板部的格栅地板15的下方空间与构成天花板部的空气过滤器16的上方空间利用具备通风风扇17和预滤器18的循环路19连通，一边利用预滤器18(pre-filter)和空气过滤器16使洁净空间13内的空气净化一边使其循环，从而使清洁空气从洁净空间13的天花板部通向地板部。

[基板用收纳容器]

如图2和图3所示，在输送设备中输送的基板用收纳容器2构成为具备：容器主体3，其具备基板收纳空间S，该基板收纳空间S能够以使矩形的基板1在上下方向上隔开间隔地排列的状态收纳多张基板1；风机过滤机组5，其向容器主体3的基板收纳空间S供给清洁空气；以及载置支承部件4，所述风机过滤机组5装配于该载置支承部件4中，并且该载置支承部件4载置支承容器主体3。风机过滤机组5分别具备一个或多个风扇以及一个或多个过滤器，风扇和过滤器通过一个或多个框架而单元化。

如图4所示，容器主体3构成为，在其侧部形成有用于使基板1出入的出入口21以及用于将由风机过滤机组5供给的清洁空气供给到基板收纳空间S的供气口22。进而，出入口21形成于容器主体3的前侧部，供气口22形成于容器主体3的后侧部，出入口21和供气口22以相互对置的方式形成。另外，图4(a)表示从前方侧左斜上方观察的容器主体3的立体图，对容器主体3的一部分进行剖切。并且，图4(b)表示从后方侧左斜下方观察的容器主体3的立体图。

对容器主体3加以说明，容器主体3构筑四棱柱状的框部件而形成主体框架23，该主体框架23的上部和左右的横侧部被侧板24封闭而形成为门形。这里，所谓门形是在前后方向观察时，由在一个横侧部与另一个横侧部中沿上下方向延伸的一对侧部24、和在这一对侧板24的上端部分之间水平地延伸的侧板24形成的形状。进而，容器主体3的前侧部未被侧板24封闭，在该前侧部形成有出入口21。并且，容器主体3的后侧部也未被侧板24封闭，在该后侧部形成有供气口22。即，容器主体3的前侧部始终处于开放从而打开的状态。容器主体3的下部通过将下部形成用的框部件23a排列成格子状而构成，由于未被侧板24封闭因而开口，但如图2所示，在将容器主体3载置支承于载置支承部件4的状态下，由该载置支承部件4的支承部分27封闭。这里，所谓格子状是指，沿一个方向延伸的多个框部件23a适合地与沿着不同于所述一个方向的其它方向(优选垂直方向)延伸的多个框部件23a交叉。在各个交叉点，优选交叉的框部件之间相对于彼此固定。另外，构成下部的下部形成用的框部件23a相当于本申请中的构成容器主体3的底部的多个框部件。如上所述，优选容器主体3的下部的大致整体(例如80％)处于开口状态，但也可以利用封闭部件堵塞容器主体3的下部的一部分。在该情况下，可以利用载置支承部件4的支承部分27堵塞容器主体3的下部的未由封闭部件堵塞的部分、即容器主体3的下部中朝下方开口的部分。

即，容器主体3构成为，从供气口22供给由风机过滤机组5供给的清洁空气，并使清洁空气在基板收纳空间S内从后方侧通向前方侧，且使清洁空气从出入口21排出。进而，通过使清洁空气在基板收纳空间S内从后方侧通向前方侧，从而利用该气流防止尘埃附着于基板1，并且，通过使清洁空气从出入口21排出，从而防止尘埃从出入口21侵入基板收纳空间S。

并且，在容器主体3中具备用于载置支承收纳于基板收纳空间S中的基板1的基板支承体25，该基板支承体25支承于主体框架23。并且，基板支承体25根据沿上下方向隔开间隔地排列的多张基板1的张数而在上下方向排列设置多个，多个基板支承体25分别由在横向排列的多根棒材构成。这些棒材分别在容器主体3的前后方向水平地延伸。附带说一下，在容器主体3的内部空间中形成有基板收纳空间S。

如图5所示，载置支承部件4构成为具备：载置支承容器主体3的支承部分27；以及装配部分28，该装配部分28以在由该支承部分27载置支承容器主体3的状态下使风机过滤机组5位于与供气口22对置的位置的方式装配风机过滤机组5。另外，图5(a)是从前方侧左斜上方观察的载置支承部件4的立体图，图5(b)是从后方侧左斜下方观察的载置支承部件4的立体图。

如图2等所示，支承部分27的水平方向的宽度优选与容器主体3的宽度方向的宽度大致相同或比其大，支承部分27的前后方向的尺寸优选与容器主体3的前后方向的尺寸大致相同或比其大。这里，所谓“大致相同”是指适合地在5％的误差以内相同。因此，支承部分27优选具有覆盖上述容器主体3的底面整体的大小，并且支承部分27优选覆盖上述容器主体3的底面的至少50％。

对载置支承部件4加以说明，载置支承部件4的支承部分27在俯视时呈矩形格子状地构筑框部件而形成支承框架29，在该支承框架29上安装底板30来构成为平板状。并且，载置支承部件4的装配部分28以从支承部分27的后端部立起设置的状态连结于支承部分27，并且，风机过滤机组5在以立起姿势沿容器宽度方向排列的状态下装配有三台。进而，载置支承部件4由侧视时为一字状(即在水平方向较长地延伸)的支承部分27和侧视时为I字状(即在上下方向较长地延伸)的装配部分28形成为侧视时为L字状(即具有与沿水平方向呈直线状延伸的部分的端部连接的、沿垂直方向呈直线状延伸的部分的形状)。另外，底板30以在宽度方向排列四张且在前后方向排列三行的方式安装共计12张。

在支承部分27中，以在排列的底板30的三行中分别形成在位于宽度方向两端的两张底板30的形态，形成有开口部31，从该开口部31能够在上下方向插入和取出后述的升降式支承体42。这样形成的开口部31在容器宽度方向隔开间隔地形成两行，它们分别形成为沿着容器前后方向的形状。附带说一下，载置支承部件4中的位于两行开口部31之间的部分由堆装起重机7支承，开口部31的位于容器宽度方向外侧的部分在收纳于收纳架10时被支承。

在装配部分28中设置有覆盖载置支承于载置支承部件4的容器主体3的后端部的罩部32。该罩部32形成为覆盖容器主体3的后端部的左右的横侧方以及上方的形状。并且，如图6所示，罩部32构成为，在容器主体3载置支承于支承部分27的状态下，在容器主体3的上部与罩部32之间形成有上下方向的间隙，通过形成该间隙，从而如图7所示，在使容器主体3相对于载置支承部件4向上方侧分离时，容器主体3不会与罩部32接触。

如图5(b)所示，在载置支承部件4中具备非接触供电装置33的受电部33a，构成为在收纳于收纳架10的状态下，利用从收纳架10所具备的非接触供电装置33的供电部33b(参照图1)供给的电力，使风机过滤机组5动作。

并且，在载置支承部件4中还具备贮存供给至受电部33a的电力的蓄电池(未图示)，构成为在利用堆装起重机7输送基板用收纳容器2时等受电部33a从供电部33b离开从而不再对基板用收纳容器2供给电力的状态下，利用贮存于蓄电池中的电力使风机过滤机组5动作。

在基板用收纳容器2中具备限制机构34，在将容器主体3载置支承于载置支承部件4的状态下，该限制部件34限制容器主体3相对于载置支承部件4向水平方向的移动。该限制机构34由定位销34a和凹部34b构成，所述定位销34a以连结支承于载置支承部件4的支承框架29的形态设置并且比载置支承部件4的上表面向上方突出，所述凹部34b形成于容器主体3的下部形成用的框部件23a。进而，限制机构34构成为，在将容器主体3载置于载置支承部件4时，定位销34a与凹部34b卡合，从而限制容器主体3相对于载置支承部件4向水平方向的移动。

进而，容器主体3的下部形成用的框部件23a配设成，其一部分的沿着容器前后方向的框部件23a(在图4(b)中用假想线表示的框部件23a)在将容器主体3载置支承于载置支承部件4的状态下位于形成于载置支承部件4的开口部31的正上方。进而，构成为在下部形成用的框部件23a由插入开口部31中的后述的升降式支承体42承接支承的状态下，容器主体3被抬起，构成为在下部形成用的框部件23a由插入开口部31中的升降式支承体42承接支承的状态下，容器主体3能够相对于载置支承部件4向上方侧分离。

接着，对输送设备加以说明。在输送设备中，作为处理装置11设置有清洗装置W，该清洗装置W使用作为液体的水溶液来清洗容器主体3。以下，对利用堆装起重机7、中继输送机构8以及输送器9在收纳架10与清洗装置W之间输送基板用收纳容器2以及分离后的容器主体3的情况进行说明。附带说一下，在该情况下，输送未收纳基板1的基板用收纳容器2。

[堆装起重机7]

首先，对堆装起重机7加以说明。

如图1所示，收纳架10以相互对置的状态设有一对，该收纳架10在上下方向和架宽度方向并排设置有收纳基板用收纳容器2的收纳部10a，在这一对收纳架10之间配设有堆装起重机7。堆装起重机7构成为具备：行进台车37，其在形成于一对收纳架10之间的行进路径36上沿着其纵长方向行进移动；升降台38，其由立起设置在行进台车37上的升降立柱引导并支承为升降自如；以及支承于升降台38的叉式的移载装置39。移载装置39构成为，能够在一对收纳架10与自身之间以及中继输送机构8与自身之间移载基板用收纳容器2，且能够绕纵轴轴心回转。附带说一下，在收纳架10的收纳部10a中，以使装配有风机过滤机组5的后端部比形成有出入口21的前端部位于行进路径36侧的状态，收纳有基板用收纳容器2。

中继输送机构8以与行进路径36相邻的状态设置，堆装起重机7构成为，能够将基板用收纳容器2交接至中继输送机构8，并且能够从中继输送机构8接收基板用收纳容器2。进而，堆装起重机7构成为能够通过使移载装置39回转而使所输送的基板用收纳容器2的朝向变更180°，在输送目的地的中继输送机构8的位置相对于输送源的收纳部10a的位置位于行进路径36的相反侧的情况下，通过移载装置39的回转使基板用收纳容器2的朝向变更180°而交接至中继输送机构8，并且，在输送目的地的中继输送机构8的位置相对于输送源的收纳部10a的位置位于行进路径36的相同侧的情况下，不变更基板用收纳容器2的朝向而交接至中继输送机构8，由此，在相对于中继输送机构8交接基板用收纳容器2时，以使基板用收纳容器2的后端部比前端部位于行进路径36侧的状态进行交接。

进而，在中继输送机构8的从行进路径36离开的一侧设有输送器9，在从堆装起重机7交接到中继输送机构8的时刻，基板用收纳容器2处于其前端部位于比后端部靠输送器9所存在的一侧的位置的状态，换言之，处于载置支承部件4中的支承部分27位于比装配部分28靠输送器9所存在的一侧的位置的状态。即，堆装起重机7构成为，通过在使基板用收纳容器2的后端部比前端部位于行进路径36侧的状态将基板用收纳容器2交接到中继输送机构8，从而以载置支承部件4中的支承部分27位于比装配部分28靠输送器9所存在的一侧的位置的状态，将基板用收纳容器2交接到中继输送机构8。

[中继输送机构]

接着，对中继输送机构8加以说明。

如图6和图7所示，中继输送机构8构成为具备：作为第一支承体的固定式支承体41，其以载置支承载置支承部件4的状态从堆装起重机7接收基板用收纳容器2；作为第二支承体的升降式支承体42，其将容器主体3载置输送至水平方向的输送器9所存在的一侧而将容器主体3交接到输送器9；以及升降操作机构43，其使升降式支承体42相对于固定式支承体41升降移动并由电动式或液压式气缸等构成(参照图1)。另外，升降式支承体42相当于本申请的承接支承体。作为升降操作机构43，还可以利用具有电气马达和螺钉的装置等现有的装置。

固定式支承体41构成为，以位置固定状态设置在行进路径36与输送器9之间的部位，以载置支承载置支承部件4中的在容器宽度方向上比开口部31靠外侧的部分的形态，载置支承基板用收纳容器2中的容器宽度方向的两端部。由此，固定式支承体41构成为，即使在使容器主体3从载置支承部件4分离的状态下也能够仅载置支承剩下的载置支承部件4。

升降式支承体42利用升降操作机构43相对于固定式支承体41升降移动，由此，升降式支承体42构成为能够在比载置支承于固定式支承体41的载置支承部件4的载置面位于下方的非输送状态(参照图6)、和从下方侧插入于载置支承部件4的开口部31中而载置支承容器主体3的下部以使容器主体3从载置支承部件4向上方侧分离的输送状态(参照图7)之间进行切换。另外，载置支承部件4的载置面相当于载置支承部件4中的支承部分27的上表面。

并且，在升降式支承体42中设置有载置支承容器主体3的能够进行旋转驱动的多个驱动辊42a，通过在承接支承容器主体3的状态下使驱动辊42a旋转驱动，能够对容器主体3沿着其容器前后方向(基板出入方向)在水平方向进行输送，能够将容器主体3交接至输送器9或者从输送器9接收容器主体3。

对升降式支承体42加以说明，升降式支承体42中的驱动辊42a设置成，在将基板用收纳容器2载置支承于固定式支承体41从而将基板用收纳容器定位于预先设定的分离作业位置的状态下，位于该被载置支承的基板用收纳容器2中的开口部31的正下方。

进而，升降式支承体42构成为，在基板用收纳容器2由固定式支承体41载置支承的状态下，当利用升降操作机构43上升移动而从非输送状态切换到输送状态时，驱动辊42a从下方侧贯穿插入在载置支承部件4的开口部31中，从而承接支承由驱动辊42a载置支承于载置支承部件4的容器主体3的下部并向上方侧抬起容器主体3。这样从载置支承部件4被抬起的容器主体3相对于载置支承部件4向上方侧分离。此时的容器主体3的基于升降操作机构43的抬起量设定为比定位销34a中的从底板30突出的部分的长度长的量，在抬起容器主体3而使其分离的状态下，容器主体3不会被限制机构34限制，而是处于能够相对于载置支承部件4沿水平方向输送的状态。附带说一下，在容器主体3的上部与罩部32之间形成的上下方向的间隙形成为比定位销34a中的从底板30突出的部分的长度大的间隔。

由此，在升降式支承体42被切换至输送状态的状态下，由该升降式支承体42承接支承的容器主体3未被限制机构34限制相对于载置支承部件4的向水平方向的移动，能够利用驱动辊42a的旋转驱动在水平方向输送容器主体3，中继输送机构8能够将容器主体3交接至输送器9或从输送器9接收容器主体3。

并且，在载置支承部件4由固定式支承体41载置支承且容器主体3由升降式支承体42载置支承的状态下，若升降式支承体42利用升降操作机构43下降移动而从输送状态切换至非输送状态，则驱动辊42a从载置支承部件4的开口部31朝下方侧被拔出，由驱动辊42a承接支承的容器主体3下降至载置支承部件4上以使定位销34a与凹部34b卡合。这样下降至载置支承部件4的容器主体3载置支承于载置支承部件4而与载置支承部件4结合。

[输送器]

接着，对输送器9加以说明。

如图1所示，输送器9由辊式输送器构成，构成为将从中继输送机构8接收的容器主体3输送至清洗装置W，并且将从清洗装置W输送来的容器主体3交接至中继输送机构8。进而，输送器9设置成，其输送面的高度与输送状态下的升降式支承体42的输送面处于相同的高度，构成为在升降式支承体42被切换至输送状态的状态下，能够将容器主体3交接至升降式支承体42或从升降式支承体42接收容器主体3。

因此，在这样构成的输送设备中，如下所述输送基板用收纳容器2。即，利用堆装起重机7从收纳架10取出基板用收纳容器2，并利用中继输送机构8将容器主体3从基板用收纳容器2分离，利用输送器9将容器主体3输送至清洗装置W。在清洗装置W中，在从基板用收纳容器2卸下风机过滤机组5和受电部33a等电装机械的状态下仅清洗容器主体3。进而，利用输送器9从清洗装置W输送容器主体3，利用中继输送机构8将容器主体3结合于载置支承部件4，并利用堆装起重机7将基板用收纳容器2收纳于收纳架10。

[第二实施方式]

接着，根据附图对本发明的基板用收纳容器、以及输送该基板用收纳容器的输送设备的第二实施方式进行说明。

另外，第二实施方式除了基板用收纳容器2的结构不同之外，与第一实施方式同样构成，因此，对于与第一实施方式同样的结构赋予相同的标号并省略说明，主要对与第一实施方式不同的结构进行说明。

如图8和图9所示，在支承部分27中设有前罩部46，该前罩部46覆盖载置支承于载置支承部件4的容器主体3的前端部。该前罩部46形成为覆盖容器主体3的前端部的左右的横侧方以及上方的形状。并且，在容器主体3载置支承于支承部分27的状态下，在容器主体3的上部与前罩部46之间形成有上下方向的间隙，通过形成该间隙，从而在使容器主体3相对于载置支承部件4向上方侧分离时，容器主体3不会与前罩部46接触。另外，罩部32和前罩部46的上端的左右两端部彼此利用框部件相互连结。

进而，在基板用收纳容器2设有对容器主体3的出入口21进行开闭的闸门装置47。该闸门装置47构成为具备：由电动式马达朝正反方向驱动旋转的旋转滚筒48；以及卷绕于旋转滚筒48且伴随旋转滚筒48的旋转进行送出操作和卷绕操作的薄片状的门部分49，该闸门装置47以由前罩部46载置支承的形态装配于载置支承部件4。

进而，利用支承部分27和前罩部46形成通过口50，相对于载置支承部件4向上方侧分离后的容器主体3能够沿着容器前后方向(基板出入方向)通过该通过口50。闸门装置47构成为能够在将门部分49送出至通过口50而利用门部分49关闭通过口50的关闭状态、和卷绕门部分49而使门部分49退避至比通过口50靠上方的位置的打开状态之间进行切换。即，闸门装置47构成为，在关闭状态下关闭载置支承部件4中的通过口50，由此关闭容器主体3的出入口21。

进而，前罩部46的覆盖容器主体3的前端部的左右横侧方的部分相当于立起设置在载置支承部件4的出入口侧端部的一对支承用框部件46a，在闸门装置47的下方且是一对支承用框部件46a之间的位置形成有通过口50。另外，载置支承部件4的前端部相当于出入口侧端部。

[其它实施方式]

(1)在上述实施方式中，将多个框部件排列成格子状而构成容器主体3的下部，并且不用侧板24封闭该容器主体3的下部而是利用构成为平板状的载置支承部件4的支承部分27对其进行封闭，但也可以构成为利用侧板24封闭容器主体3的下部，并将容器主体3形成为横卧姿势的筒状、即具有矩形截面的水平延伸的筒状。在该情况下，载置支承部件4的支承部分27也可以不构成为平板状，也可以不具备底板30。

(2)在上述实施方式中，构成为利用升降操作机构43使第二支承体升降移动，但也可以构成为利用升降操作机构43使第一支承体升降移动，并且，也可以构成为利用升降操作机构43分别使第一支承体和第二支承体升降移动。

(3)在上述实施方式中，作为收纳容器输送机构设有堆装起重机7，但作为收纳容器输送机构，也可以由载置输送基板用收纳容器的输送器或在载置基板用收纳容器的状态下行进的台车构成。并且，作为容器主体输送机构设有输送器9，但作为容器主体输送机构也可以由在载置容器主体3的状态行进的台车或堆装起重机构成。

(4)在上述实施方式中，在容器主体3的前侧部形成出入口21，在容器主体3的后侧部形成供气口22，并使出入口21和供气口22以相互对置的方式形成，但也可以在容器主体3的前侧部形成出入口21，在容器主体3的左右的横侧部形成供气口22，并使出入口21和供气口22以不相互对置的方式形成等，可以适当变更在容器主体3的侧部形成出入口21和供气口22的部位。

Claims (6)

1.一种基板用收纳容器，该基板用收纳容器具备：

容器主体，该容器主体具备基板收纳空间，该基板收纳空间能够以使多张基板在上下方向上隔开间隔地排列的状态收纳所述基板；和

风机过滤机组，其向上述容器主体的上述基板收纳空间供给清洁空气，这里，上述容器主体在其侧部形成有用于使上述基板出入的出入口和用于将由上述风机过滤机组供给的清洁空气供给至上述基板收纳空间的供气口，其特征在于，

能够载置支承上述容器主体的载置支承部件构成为具备：载置支承上述容器主体的支承部分；以及装配部分，该装配部分以在由该支承部分载置支承上述容器主体的状态下使上述风机过滤机组位于与上述供气口对置的位置的方式装配有上述风机过滤机组，

在上述支承部分形成有开口部，从该开口部能够在上下方向插入和取出承接支承体，

上述容器主体构成为，在上述容器主体的下部由插入上述开口部中的上述承接支承体承接支承的状态下，上述容器主体能够相对于上述载置支承部件向上方侧分离。

2.根据权利要求1所述的基板用收纳容器，其特征在于，

上述载置支承部件的上述支承部分构成为平板状，

上述容器主体构成为，其下部通过将多个框部件排列成格子状而构成，上述框部件由上述承接支承体承接支承。

3.根据权利要求1或2所述的基板用收纳容器，其特征在于，

在上述载置支承部件以由立起设置于上述载置支承部件的出入口侧的端部的一对支承用框部件支承的状态装配有闸门装置，该闸门装置具备：由电动式马达朝一个方向及相反方向被驱动旋转的旋转滚筒；以及卷绕于上述旋转滚筒且伴随上述旋转滚筒的旋转进行送出操作和卷绕操作的薄片状的门部分，该闸门装置对上述容器主体的上述出入口进行开闭，

在上述闸门装置的下方且是上述一对支承用框部件之间的位置形成有通过口，相对于上述载置支承部件向上方侧分离后的上述容器主体能够沿着出入上述基板的方向通过该通过口。

4.根据权利要求1或2所述的基板用收纳容器，其特征在于，

上述支承部分具有覆盖上述容器主体的底面整体的大小。

5.一种输送设备，该输送设备用于输送权利要求1或2所述的基板用收纳容器，其特征在于，

该输送设备设有中继输送机构，该中继输送机构配设于输送上述基板用收纳容器的收纳容器输送机构与输送上述容器主体的容器主体输送机构之间，从上述收纳容器输送机构接收上述基板用收纳容器，并使上述容器主体从上述载置支承部件分离，然后将该分离后的上述容器主体交接到上述容器主体输送机构，

上述收纳容器输送机构构成为，上述载置支承部件中的上述支承部分位于比上述装配部分更靠近上述容器主体输送机构所存在的一侧的位置，在该状态下，将上述基板用收纳容器交接到上述中继输送机构，

上述中继输送机构构成为具备：第一支承体，其以载置支承上述载置支承部件的状态从上述收纳容器输送机构接收上述基板用收纳容器；作为上述承接支承体的第二支承体，其将上述容器主体载置输送至水平方向的上述容器主体输送机构所存在的一侧而将上述容器主体交接到上述容器主体输送机构；以及升降操作机构，其使上述第二支承体相对于上述第一支承体相对地升降移动，

上述第二支承体构成为，利用上述升降操作机构相对于上述第一支承体相对地升降移动，由此，上述第二支承体能够在比载置支承于上述第一支承体的上述载置支承部件的载置面位于下方的非输送状态、和从下方侧插入于上述载置支承部件的上述开口部中而载置支承上述容器主体的上述下部以使上述容器主体从上述载置支承部件向上方侧分离的输送状态之间进行切换，并且，上述第二支承体在上述输送状态下将上述容器主体交接至上述容器主体输送机构。

6.根据权利要求5所述的输送设备，其特征在于，

该输送设备设有使用液体对上述容器主体进行清洗的清洗装置，

上述容器主体输送机构构成为，将从上述中继输送机构接收的上述容器主体输送至上述清洗装置。

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