JPH08288359A - 基体収納装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】左程清浄度が高くない例えばクリーンルーム内
で、基体を汚染することなく保管・搬送することができ
る、簡素な構造の基体収納装置を提供する。 【構成】基体収納装置は、（イ）基体５０を収納した基
体バスケット１０を覆い得るカバー部材２０、（ハ）該
カバー部材２０が取り付けられ、該カバー部材２０を垂
直方向に昇降するための昇降装置３０、（ニ）該カバー
部材２０に取り付けられたフィルターユニット２４、並
びに、（ホ）基体バスケット２０を乗せるためのバスケ
ット載置部４２を備えた支持台４０から成る。昇降装置
３０を支持するための昇降装置支持部４４が支持台４０
に備えられていることが好ましい。基体バスケット１０
を覆った状態でカバー部材２０を昇降装置３０から脱着
可能な構造としてもよい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えばクリーンルーム
内で使用され、必要に応じて移動可能な基体収納装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）や半導体装
置を製造する場合、例えばガラス基板や半導体基板から
成る基体、若しくは、各種の層がその上に形成されたガ
ラス基板や半導体基板から成る基体には、クリーンルー
ム内に配置された各種の装置（以下、基体処理装置と総
称する）によって、例えばエッチングや洗浄、レジスト
露光やレジスト現像といった種々の処理が施される。こ
のようなクリーンルーム内に配置された各種の基体処理
装置は、通常、基体処理装置全体を収納するカバーを備
えている。そして、基体処理装置にはブースが設けられ
ているが、ブースが設けられていない基体処理装置もあ
る。ここで、ブースとは、基体処理装置本体に付帯して
設けられた基体の搬入出部に相当する。そして、ブース
の上部には例えばＨＥＰＡフィルターエレメント及びフ
ァンから成るフィルターユニット（以下、ＨＥＰＡフィ
ルターユニットと呼ぶ場合がある）が取り付けられてお
り、ブース内を高い清浄度に保持することができる。
尚、複数の基体を収納した基体バスケットを用いて、基
体をブース内（ブースが設けられていない基体処理装置
においては基体処理装置内）に搬入し、あるいは又、ブ
ース若しくは基体処理装置から基体を搬出する。

【０００３】通常、台車に基体バスケットを乗せて、ク
リーンルーム内の基体処理装置から基体処理装置へと基
体を搬送する。この場合、基体は雰囲気に対して露出し
た状態であり、クリーンルーム内の空気に触れている。
一般に、クリーンルームの清浄度は、基体処理装置内部
の清浄度よりも低い。従って、クリーンルーム内の基体
処理装置から基体処理装置へと基体を搬送する際、基体
にごみや異物等が付着し、基体が汚染される虞がある。

【０００４】このような基体の汚染発生を防止するため
に、デシケーター内に基体バスケットを収納し、デシケ
ーターを搬送する方法が考えられる。デシケーターは、
通常、アルミニウムやステンレススチール製のフレーム
に帯電防止処理を施した塩化ビニルを取り付けた構造で
あり、側壁に扉が設けられている。また、デシケーター
の下部にはキャスターが取り付けられており、デシケー
ターの上部にはＨＥＰＡフィルターユニットが取り付け
られている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなデシケーターを用いた基体の搬送においては、デシ
ケーターから基体バスケットを取り出して基体処理装置
に搬入するとき、あるいは又、基体処理装置から搬出さ
れた基体バスケットをデシケーター内に収納するとき、
クリーンルーム内の大気によって基体が汚染される場合
がある。このような問題は、ブース付き若しくはブース
無しの基体処理装置のどちらにおいても発生し得る。ま
た、ブース付きの基体処理装置において、ブース内で基
体バスケットに収納された基体をデシケーターから取り
出し、あるいは又、デシケーター内の基体バスケットに
基体を収納すれば、このような問題は発生しないが、基
体バスケットに収納された基体をデシケーターから自動
的に搬出入することは困難である。更には、大型の基体
を収納するためのデシケーターは大きなものとなる。

【０００６】従って、本発明の目的は、例えば左程清浄
度が高くないクリーンルーム内で、基体を汚染すること
なく保管・搬送することができ、ブース付き若しくはブ
ース無しの基体処理装置のどちらにおいても基体を汚染
することなく基体処理装置内に搬入出することができる
基体収納装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明の基体収納装置は、（イ）基体を収納した基
体バスケットを覆い得るカバー部材、（ロ）該カバー部
材が取り付けられ、該カバー部材を垂直方向に昇降する
ための昇降装置、（ハ）該カバー部材に取り付けられた
フィルターユニット、並びに、（ニ）基体バスケットを
乗せるためのバスケット載置部を備えた支持台、から成
ることを特徴とする。

【０００８】本発明の基体収納装置においては、昇降装
置を支持するための昇降装置支持部が支持台に備えられ
ていることが好ましい。あるいは又、基体バスケットを
覆った状態でカバー部材を昇降装置から脱着可能な構造
としてもよい。また、基体収納装置を移動可能とするた
めに、支持台の下方に、例えばキャスターから成る車輪
を取り付けることが好ましい。

【０００９】本発明の基体収納装置においては、ＨＥＰ
Ａ（High Efficiency ParticulateAir）フィルターユニ
ット、ＵＬＰＡ（Ultra Low Penetration Air-filter）
フィルターユニット等、基体収納装置のおかれる環境に
依存して如何なるフィルターユニットを用いることもで
きるが、ファン及びＨＥＰＡフィルターエレメントから
成るフィルターユニットを用いることが好ましい。ま
た、フィルターユニットはカバー部材の上部に取り付け
られていることが好ましい。

【００１０】

【作用】フィルターユニットを取り付けていない基体収
納装置を清浄度の低いクリーンルーム内に長時間放置し
ておくと、基体バスケットとカバー部材との間の隙間か
らごみや異物等がカバー部材で覆われた空間内に進入
し、基体が汚染される虞がある。本発明の基体収納装置
においては、カバー部材にフィルターユニットが取り付
けられているので、カバー部材で覆われた空間内を常に
高い清浄度に保持することができ、基体が汚染されるこ
とを効果的に防止することができる。

【００１１】クリーンルーム内の空気の流れは、一般に
天井から床へ向かっての垂直な流れである。本発明の基
体収納装置においては、昇降装置によってカバー部材を
垂直方向に昇降させ得る。従って、カバー部材を上昇位
置に保持した状態（即ち、カバー部材が基体バスケット
を覆っていないが、基体バスケットの上方に位置する状
態）であっても、空気の流れが基体バスケットに収納さ
れた基体に直接当たることを、カバー部材によって防ぐ
ことができる。従って、垂直方向に流下する空気に含ま
れるごみや異物によって基体が汚染されることを効果的
に防止することができる。

【００１２】本発明の基体収納装置において、基体バス
ケットを覆った状態でカバー部材を昇降装置から脱着可
能な構造とすれば、カバー部材で基体バスケットを覆っ
た状態で基体バスケットを各種基体処理装置に搬入出す
ることができる。この場合、カバー部材はブースとして
機能し得るので、基体処理装置にブースが設けられてい
ない場合でも、基体がごみや異物によって汚染されるこ
とを効果的に防止することができる。

【００１３】

【実施例】以下、図面を参照して、実施例に基づき本発
明を説明する。

【００１４】（実施例１）実施例１の基体収納装置の一
部を切り欠いた模式的な正面図を図１及び図２に示す。
この基体収納装置は、基体５０を収納した基体バスケッ
ト１０を覆い得るカバー部材２０と、カバー部材２０が
取り付けられ、そしてカバー部材２０を垂直方向に昇降
するための昇降装置３０と、カバー部材２０に取り付け
られたフィルターユニット２４と、基体バスケット１０
を乗せるためのバスケット載置部４２を備えた支持台４
０とから構成されている。支持台４０には、更に、昇降
装置３０を支持するための昇降装置支持部４４が備えら
れている。

【００１５】支持台４０を自在に移動可能とし、基体バ
スケット１０を搬送できるように、支持台４０の下方に
はキャスター４６が取り付けられている。基体バスケッ
ト１０は、基体５０を収納できる構造であれば如何なる
構造であってもよく、例えば、基体５０を収納するため
の溝部が形成された上板及び下板、並びに、上板と下板
とを所定の間隔を開けて連結する４本の支柱から構成す
ることができる。半導体装置の製造分野においては、基
体バスケット１０は、ワークを整列収納する容器である
カセット若しくはマガジンとも呼ばれている。

【００１６】フィルターユニット２４は、ファン及びＨ
ＥＰＡフィルターエレメント（これらは図示せず）から
成る公知のユニットであり、カバー部材２０の上部に取
り付けられている。フィルターユニット２４のファン
は、支持台４０に載置されたファン用電源２６に接続さ
れている。

【００１７】カバー部材２０は、例えばアルミニウムや
ステンレススチールから作製したり、あるいは又、アル
ミニウムやステンレススチールから成るフレームに帯電
防止処理を施した塩化ビニルシートを取り付けることで
作製することができるが、これらに限定されるものでは
ない。実施例１の基体収納装置においては、カバー部材
２０は、例えばボルト及びナット等によって、昇降装置
３０に固定されている。

【００１８】図１には、昇降装置３０が下降位置に位置
し、カバー部材２０が基体バスケット１０を覆っている
状態を示す。また、図２には、昇降装置３０が上昇位置
に位置し、カバー部材２０が基体バスケット１０を覆っ
ていない状態を示す。尚、昇降装置３０が下降位置に位
置するとき、カバー部材２０の側壁の下端部はバスケッ
ト載置部４２と接していることが望ましいが、カバー部
材２０の側壁の下端部とバスケット載置部４２との間に
隙間があってもよい。カバー部材２０の側壁の下端部が
バスケット載置部４２と接する場合には、フィルターユ
ニット２４からカバー部材２０で覆われた空間２８に流
入した空気を排気するために、バスケット載置部４２に
孔を設けておくか、バスケット載置部４２をパンチング
メタルから作製することが好ましい。

【００１９】昇降装置３０、並びにバスケット載置部４
２及び昇降装置支持部４４を備えた支持台４０は、例え
ばステンレススチールから作製すればよい。例えば角柱
から作製された昇降装置３０の下方には突起部３４が設
けられており、中空角柱から作製された昇降装置支持部
４４には、かかる突起部３４と係合する溝部等から成る
ガイド部（図示せず）が設けられている。これによっ
て、例えば人力で昇降装置３０を滑らかに上下動させる
ことができる。昇降装置３０及び昇降装置支持部４４の
構造は適宜変更することができる。昇降装置３０の位置
決めは如何なる方法とすることもできる。例えば、昇降
装置支持部４４に昇降装置３０と釣り合いの取れた釣合
い重り（図示せず）を配設しておき、昇降装置３０を任
意の位置で停止可能とする方法や、昇降装置３０及び昇
降装置支持部４４に位置決め用の貫通孔（図示せず）を
開けておき、位置決めピンをこれらの貫通孔に挿入する
方法を挙げることができる。

【００２０】図１及び図２に示した実施例１の基体収納
装置の使用方法を、以下に説明するが、基体処理装置に
はブースが設けられているものとする。尚、基体処理装
置及びそれに付帯した装置の図示は省略した。

【００２１】フィルターユニット２４のファンを駆動し
ておき、先ず、図１に示した状態でクリーンルーム内に
て基体収納装置を移動させ、基体処理装置のブース（図
示せず）入口近傍に基体収納装置を配置する。カバー部
材２０にフィルターユニット２４が取り付けられている
ので、カバー部材２０で覆われた空間２８内を常に高い
清浄度に保持することができる。それ故、基体搬送時や
基体保管時、基体５０が汚染されることを効果的に防止
することができる。

【００２２】その後、図２に示すように昇降装置３０を
上昇位置に位置させ、カバー部材２０が基体バスケット
１０を覆っていない状態とする。このような状態として
も、クリーンルーム内の空気の流れが基体バスケット１
０に収納された基体５０に直接当たることをカバー部材
２０によって防ぐことができる。その結果、垂直方向に
流下する空気に含まれるごみや異物によって基体５０が
汚染されることを効果的に防止することができる。

【００２３】この状態で基体収納装置を基体処理装置の
ブース入口に更に近づけ、基体バスケット１０を乗せた
バスケット載置部４２をブース内に挿入する。そして、
基体処理装置に備えられたリフターのアーム（図示せ
ず）によって基体バスケット１０をバスケット載置部４
２から持ち上げた後、支持台４０を移動させて、バスケ
ット載置部４２をブースから引き抜く。こうして、基体
バスケット１０内に収納された基体５０は、清浄な状態
を保持したまま、基体処理装置のブース内に搬入され
る。基体バスケット１０をブース内に搬入した後、ブー
スの扉を閉め、ブースに取り付けられたＨＥＰＡフィル
ターユニットを作動させてブース内の清浄度を高める。
次いで、ブース内に搬入された基体５０を、例えば、基
体処理装置に備えられた基体搬送装置によって基体バス
ケット１０から基体処理装置本体内に１枚ずつ搬入し、
基体処理装置本体内で各種の処理を施した後、基体搬送
装置によって基体バスケット１０に戻す。

【００２４】基体５０を収納した基体バスケット１０を
基体処理装置から搬出する手順は、上述した搬入手順の
逆とすればよい。即ち、昇降装置３０を上昇位置に位置
させた状態で基体収納装置を基体処理装置のブース入口
に近づけ、ブースの扉を開き、基体収納装置のバスケッ
ト載置部４２をブース内に挿入する。そして、基体処理
装置に備えられたリフターのアームによって基体バスケ
ット１０をバスケット載置部４２上に乗せた後、支持台
４０を移動させて、バスケット載置部４２をブースから
引き抜く。その後、図１に示すように昇降装置３０を下
降位置に位置させ、カバー部材２０で基体バスケット１
０が覆われた状態とする。

【００２５】（実施例２）実施例２の基体収納装置は、
基体バスケット１０を覆った状態でカバー部材２０を昇
降装置３０から脱着可能な構造である。具体的には、図
３に示すように、カバー部材２０の側壁に２本ずつ水平
方向に延びるピン２２が取り付けられており、一方、昇
降装置３０には、これらのピン２２と係合するフック３
２が設けられている。ピン２２及びフック３２によっ
て、カバー部材２０は昇降装置３０に着脱自在に取り付
けられている。尚、その他の構造は、実施例１にて説明
した基体収納装置と同様とすることができるので、詳細
な説明は省略する。

【００２６】この実施例２の基体収納装置は、ブースが
設けられていない基体処理装置に対して、基体バスケッ
ト１０を搬入出するのに適している。図３及び図４を参
照して実施例２の基体収納装置の使用方法を、以下に説
明する。尚、基体処理装置及びそれに付帯した装置の図
示は、リフターのアームを除き、省略した。

【００２７】フィルターユニット２４のファンを駆動し
ておき、先ず、図３に示した状態でクリーンルーム内に
て基体収納装置を移動させ、基体処理装置の近傍に基体
収納装置を配置し、基体バスケット１０を乗せたバスケ
ット載置部４２を基体処理装置の所定の部分に挿入す
る。そして、フィルターユニット２４のファンの電源
を、支持台４０に載置されたファン用電源２６から基体
処理装置に準備されたファン用電源に切り替える。次い
で、図４に示すように、基体処理装置に備えられたリフ
ターのアームによって基体バスケット１０及びカバー部
材２０をバスケット載置部４２から一緒に持ち上げる。
そして、支持台４０を移動させて、バスケット載置部４
２を基体処理装置から引き抜く。尚、基体処理装置の所
定の場所に配置された基体バスケット１０は、基体処理
装置に備えられたリフターによって下方に移動させられ
る。次いで、基体バスケット１０内に収納された基体５
０を、例えば、基体処理装置に備えられた基体搬送装置
によって基体バスケット１０から基体処理装置本体内に
１枚ずつ搬入し、基体処理装置本体内で各種の処理を施
した後、基体搬送装置によって基体バスケット１０に戻
す。全ての基体の処理が完了したならば、基体処理装置
に備えられたリフターによって上方の所定の位置に基体
バスケット１０を移動する。

【００２８】こうして、実施例２の基体収納装置におい
ては、基体バスケット１０はカバー部材２０に覆われた
まま、基体処理装置の所定の場所に配置されるので、カ
バー部材２０がブースとして機能し得る。従って、基体
５０がごみや異物によって汚染されることを効果的に防
止することができる。

【００２９】基体５０を収納した基体バスケット１０を
基体処理装置から搬出する手順は、上述した搬入手順の
逆とすればよい。即ち、基体収納装置を基体処理装置に
近づけ、基体収納装置のバスケット載置部４２を基体処
理装置の所定の位置に配置する。そして、基体処理装置
に備えられたリフターのアームによって、ピン２２とフ
ック３２を係合させながら、基体バスケット１０及びカ
バー部材２０をバスケット載置部４２上に乗せた後、支
持台４０を移動させればよい。実施例２の基体収納装置
においても、カバー部材２０にフィルターユニット２４
が取り付けられているので、カバー部材２０で覆われた
空間２８内を常に高い清浄度に保持することができる。
それ故、基体搬送時や基体保管時、基体５０が汚染され
ることを効果的に防止することができる。

【００３０】以上、本発明を好ましい実施例に基づき説
明したが、本発明はこれらの実施例に限定されるもので
はない。実施例にて説明した基体収納装置の構造は例示
であり、適宜設計変更することができる。昇降装置に、
例えば、油圧シリンダーやエアーシリンダー等の流体シ
リンダー、あるいはモータとギアの組み合わせを取り付
け、機械的にカバー部材を昇降させることもできる。実
施例２にて説明した基体収納装置を用いて、実施例１に
て説明した基体の搬入出を行うこともできる。実施例に
おいては、支持台４０を台車の形態としたが、支持台は
このような形態に限定されない。例えば、支持台を箱状
とし、かかる支持台を台車上に乗せることで、基体バス
ケット１０を搬送することもできる。

【００３１】本発明の基体収納装置には、如何なる基体
をも収納することができる。尚、基体という用語には、
シート状あるいは平板状等の如何なる物品や材料も包含
される。このような基体として、例えば薄膜トランジス
タや半導体装置を作製するためのガラス基板や半導体基
板から成る基体、若しくは、各種の層がその上に形成さ
れたガラス基板や半導体基板から成る基体、プリント配
線板、印刷を施すべき各種の基材等、各種の装置におい
て種々の処理、例えばエッチングや洗浄、レジスト露光
やレジスト現像、印刷を施すべき基体を例示することが
できる。尚、基体処理装置は、必ずしもクリーンルーム
内に配置されていなくともよい。

【００３２】実施例においては、昇降装置３０を支持す
るための昇降装置支持部４４が支持台４０に備えられ、
カバー部材２０を、昇降装置３０及び昇降装置支持部４
４を介して支持台４０で支持する構造としたが、実施例
２で説明した基体処理装置への基体バスケットの搬入出
を実行する場合には、昇降装置を支持台４０と独立して
設けてもよい。この場合には、カバー部材２０をバスケ
ット載置部４２に載置し得る構造とすればよい。場合に
よっては、昇降装置を省略することも可能である。この
場合には、例えば人力によってカバー部材をバスケット
載置部に載置すればよい。

【００３３】

【発明の効果】本発明の基体収納装置においては、カバ
ー部材で覆われた空間内を常に高い清浄度に保持するこ
とができ、基体が汚染されることを効果的に防止するこ
とができるし、基体がカバー部材で覆われていない状態
にあっても、垂直方向に流下する空気に含まれるごみや
異物によって基体が汚染されることを効果的に防止する
ことができる。本発明の基体収納装置は構造が簡素であ
り、安価でクリーンな環境を作り出すことができ、しか
も、クリーンな環境を長期間保持することができる。従
って、基体の搬送に用いるだけでなく、基体の保管にも
適する。また、ブースを備えていない基体処理装置にお
いても、基体を汚染することなく基体処理装置内に基体
を搬入出することができるので、基体処理装置の構造を
簡素化することもできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１の基体収納装置の一部を切り欠いた模
式的な正面図であり、カバー部材が基体バスケットを覆
っている状態を示す図である。

【図２】図１に示した実施例１の基体収納装置におい
て、カバー部材が基体バスケットを覆っていない状態を
示す図である。

【図３】実施例２の基体収納装置の一部を切り欠いた模
式的な正面図であり、カバー部材が基体バスケットを覆
っている状態を示す図である。

【図４】実施例２の基体収納装置の一部を切り欠いた模
式的な正面図であり、カバー部材及び基体バスケットが
昇降装置及びバスケット載置部から持ち上げられた状態
を示す図である。

【符号の説明】

１０ 基体バスケット ２０ カバー部材 ２２ ピン ２４ フィルターユニット ２６ ファン用電源 ２８ 空間 ３０ 昇降装置 ３２ フック ４０ 台車 ４２ バスケット載置部 ４４ 昇降装置支持部 ４６ キャスター ５０ 基体

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】（イ）基体を収納した基体バスケットを覆
   い得るカバー部材、 （ロ）該カバー部材が取り付けられ、該カバー部材を垂
   直方向に昇降するための昇降装置、 （ハ）該カバー部材に取り付けられたフィルターユニッ
   ト、並びに、 （ニ）基体バスケットを乗せるためのバスケット載置部
   を備えた支持台、から成ることを特徴とする基体収納装
   置。
2. 【請求項２】前記昇降装置を支持するための昇降装置支
   持部が支持台に備えられていることを特徴とする請求項
   １に記載の基体収納装置。
3. 【請求項３】基体バスケットを覆った状態でカバー部材
   を昇降装置から脱着可能であることを特徴とする請求項
   １又は請求項２に記載の基体収納装置。
4. 【請求項４】支持台の下方に車輪が取り付けられている
   ことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項
   に記載の基体収納装置。
5. 【請求項５】フィルターユニットは、ファン及びＨＥＰ
   Ａフィルターエレメントから成り、前記カバー部材の上
   部に取り付けられていることを特徴とする請求項１乃至
   請求項４のいずれか１項に記載の基体収納装置。