CN220651976U - 晶圆载具组合以及解胶设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆载具组合，包括：机壳，具有安装腔，所述安装腔包括相对设置的第一敞开侧和第二敞开侧；第一放料抽屉，用于存放晶圆盒，且可抽拉地自所述第一敞开侧安装于所述安装腔内；以及，第二放料抽屉，用于承载晶圆，所述第二放料抽屉位于所述第一放料抽屉下方，且可抽拉地自所述第一敞开侧安装于所述安装腔内；其中，所述第二放料抽屉朝向所述第二敞开侧的一侧为敞开结构。本实用新型能够方便晶圆的集中存放和转运，且可选择地让机械手和/或人工在放料抽屉取放晶圆。

Description

晶圆载具组合以及解胶设备

技术领域

本实用新型属于半导体芯片制造领域，特别涉及一种晶圆载具组合以及解胶设备。

背景技术

在半导体加工过程中，有时需要在晶圆表面贴上UV膜，以便于对晶圆进行工艺加工。在加工完成后需要将UV膜进行解胶处理，降低UV膜的黏性，从而方便去除UV膜。

常规的解胶方法是使用解胶机，UV解胶机内部设置有照射灯，UV膜在照射灯的照射下黏性降低，以便晶圆从UV膜上剥落。传统解胶机多为半自动化结构，如实用新型专利CN206650059U公开了一种UV解胶机，包括箱体、放料抽屉和UV光源，箱体设有抽拉口，放料抽屉自抽拉口可抽拉的安装于箱体内，UV光源位于放料抽屉下方，以对放料抽屉上的晶圆进行解胶照射。然而采用上述结构，UV解胶机无集中存放晶圆的区域，晶圆取放不便，且由于放料抽屉内的晶圆仅可自抽拉口进行取放，难以实现自动化地对放料抽屉进行取放晶圆。

因此，有必要对现有技术予以改良以克服现有技术中的所述缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆载具组合以及解胶设备，方便晶圆的集中存放和转运，且可选择地让机械手和/或人工在放料抽屉取放晶圆。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现：一种晶圆载具组合，包括：

机壳，具有安装腔，所述安装腔包括相对设置的第一敞开侧和第二敞开侧；

第一放料抽屉，用于存放晶圆盒，且可抽拉地自所述第一敞开侧安装于所述安装腔内；以及，

第二放料抽屉，用于承载晶圆，所述第二放料抽屉位于所述第一放料抽屉下方，且可抽拉地自所述第一敞开侧安装于所述安装腔内；

其中，所述第二放料抽屉朝向所述第二敞开侧的一侧为敞开结构。

进一步地，所述第一放料抽屉包括：

第一底板；

第一侧板，数量为两块，且相对设置在所述第一底板上，所述第一侧板与所述安装腔的内壁滑动连接；

第一面板，设置在所述第一底板远离所述第二敞开侧的一侧，所述第一面板位于两所述第一侧板之间，且与所述第一侧板的滑动方向相垂直；

其中，所述第一底板、所述第一侧板和所述第一面板配合形成收容所述晶圆盒的第一收容腔，所述晶圆盒置于所述第一收容腔内，所述晶圆盒具有第一取放口，所述第一取放口朝向所述第二敞开侧。

进一步地，所述第一放料抽屉包括与所述第一面板相对设置的限位件，所述晶圆盒限位在所述第一侧板、所述第一面板和所述限位件之间。

进一步地，所述晶圆盒具有与所述第一侧板相平行的第一承载板，所述第一承载板数量为两块，且相对设置，两所述第一承载板的内侧面上均设置有第一支撑件，两所述第一承载板上的第一支撑件配合形成支撑晶圆的第一支撑结构，所述第一支撑结构数量为多个，且沿着竖直方向间隔布置，位于最底部的所述第一支撑结构的位置高度大于所述限位件的高度。

进一步地，所述第二放料抽屉包括：

第二底板；

第二侧板，数量为两块，且相对设置在所述第二底板上，所述第二侧板与所述安装腔的内壁滑动连接；

第二面板，设置在所述第二底板远离所述第二敞开侧的一侧，所述第二面板位于两所述第二侧板之间，且与所述第二侧板的滑动方向相垂直；

其中，所述第二底板、所述第二侧板和所述第二面板配合形成收容所述晶圆的第二收容腔，所述第二收容腔与所述第二面板相对的一侧设有取放晶圆的第二取放口。

进一步地，两所述第二侧板的内侧面上均设置有第二支撑件，两所述第二侧板上的第二支撑件配合形成支撑所述晶圆的第二支撑结构。

进一步地，两所述第二侧板的内侧面上均设有第二支撑件，两所述第二侧板上的第二支撑件配合形成支撑所述晶圆的第二支撑结构；或者，

所述第二放料抽屉包括收容在所述第二收容腔内的置放结构，所述置放结构包括两块相对设置在所述第二底板上的第二承载板和封盖在两所述第二承载板的顶端的盖板，所述第二承载板平行于所述第二侧板，两所述第二承载板的内侧面上均设置有第二支撑件，两所述第二承载板上的第二支撑件配合形成支撑所述晶圆的第二支撑结构。

进一步地，所述第二支撑结构数量为两个，且沿着竖直方向间隔布置。

进一步地，所述第一放料抽屉和所述第二放料抽屉远离所述第二敞开侧的一侧均设有拉手。

此外，本实用新型还提供一种解胶设备，包括：

前述所述的晶圆载具组合；

UV光源，位于所述第二放料抽屉下方，且适于对所述第二放料抽屉上的晶圆进行照射。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：本实用新型通过在机壳上设置用于存放晶圆盒的第一放料抽屉，人工可在机壳的第一敞开侧抽拉第一放料抽屉，从而方便晶圆的集中存放以及晶圆盒的替换；通过在机壳上设置用于存放晶圆的第二放料抽屉，人工可在机壳的第一敞开侧抽拉第二放料抽屉以取放晶圆，便于应对突发情况，且第二放料抽屉在机壳的第二敞开侧为敞开结构，第二敞开侧可选择地设置机械手，以在晶圆盒和第二放料抽屉间转运晶圆，实现自动化生产；此外，第二放料抽屉位于第一放料抽屉的下方，能够使整个晶圆载具组合更为紧凑，减小占用空间。

附图说明

图1是本实用新型晶圆载具组合的结构示意图。

图2是本实用新型晶圆载具组合去除机壳后的结构示意图。

附图标记说明：

100、机壳；110、安装腔；111、第一敞开侧；112、第二敞开侧；200、第一放料抽屉；210、第一底板；220、第一侧板；230、第一面板；240、拉手；250、限位件；300、晶圆盒；310、第一取放口；320、第一承载板；330、第一支撑件；400、第二放料抽屉；410、第二底板；420、第二侧板；430、第二面板；440、第二取放口；450、第二支撑件；461、第二承载板；462、盖板；500、晶圆；600、UV光源。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图，对本申请的具体实施方式做详细的说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅用于解释本申请，而非对本申请的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本申请相关的部分而非全部结构。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。

本申请中的术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。

请参阅图1和图2所示，对应于本实用新型一种较佳实施例的晶圆载具组合，包括：机壳100，具有安装腔110，安装腔110包括相对设置的第一敞开侧111和第二敞开侧112；第一放料抽屉200，用于存放晶圆盒300，且可抽拉地自第一敞开侧111安装于安装腔110内；以及，第二放料抽屉400，用于承载晶圆500，第二放料抽屉400位于第一放料抽屉200下方，且可抽拉地自第一敞开侧111安装于安装腔110内；其中，第二放料抽屉400朝向第二敞开侧112的一侧为敞开结构。

本实用新型通过在机壳100上设置用于存放晶圆盒300的第一放料抽屉200，人工可在机壳100的第一敞开侧111抽拉第一放料抽屉200，从而方便晶圆500的集中存放以及晶圆盒300的替换；通过在机壳100上设置用于存放晶圆500的第二放料抽屉400，人工可在机壳100的第一敞开侧111抽拉第二放料抽屉400以取放晶圆500，便于应对突发情况，且第二放料抽屉400在机壳100的第二敞开侧112为敞开结构，第二敞开侧112可选择地设置机械手，以在晶圆盒300和第二放料抽屉400间转运晶圆500，实现自动化生产；此外，第二放料抽屉400位于第一放料抽屉200的下方，能够使整个晶圆载具组合更为紧凑，减小占用空间。

进一步地，第一放料抽屉200包括第一底板210、第一侧板220和第一面板230。第一侧板220数量为两块，且相对设置在第一底板210上，第一侧板220与安装腔110的内壁滑动连接。第一侧板220与安装腔110的内壁之间具体可以设置滑轨，以实现二者的滑动连接，本实用新型在此不再赘述。第一面板230设置在第一底板210远离第二敞开侧112的一侧，第一面板230位于两第一侧板220之间，且与第一侧板220的滑动方向相垂直。第一面板230上设置有拉手240，以便于作业人员在第一敞开侧111通过拉手240抽拉第一放料抽屉200。

第一底板210、第一侧板220和第一面板230配合形成收容晶圆盒300的第一收容腔(图未示)，晶圆盒300置于第一收容腔内。晶圆盒300具有取放晶圆500的第一取放口310，第一取放口310朝向第二敞开侧112。第一放料抽屉200包括与第一面板230相对设置的限位件250，限位件250可以是板状或者块状结构，晶圆盒300位于第一侧板220、第一面板230和限位件250之间，以在垂直第一面板230的方向和垂直第一侧板220的方向对晶圆盒300进行限位，提高晶圆盒300在第一放料抽屉200上的可靠性。

在本实施例中，晶圆盒300具有与第一侧板220相平行的第一承载板320，第一承载板320数量为两块，且相对设置。两第一承载板320的内侧面上均设置有第一支撑件330，两第一承载板320上的第一支撑件330配合形成支撑晶圆500的第一支撑结构。第一支撑结构数量为多个，且沿着竖直方向间隔布置。优选地，位于最底部的第一支撑结构的位置高度大于限位件250的高度，从而避免限位件250阻碍机械手取放晶圆500。

进一步地，第二放料抽屉400包括第二底板410、第二侧板420和第二面板430。第二侧板420数量为两块，且相对设置在第二底板410上，第二侧板420与安装腔110的内壁滑动连接。第二侧板420与安装腔110的内壁之间也可以设置滑轨，以实现二者的滑动连接。第二面板430设置在第二底板410远离第二敞开侧112的一侧，第二面板430位于两第二侧板420之间，且与第二侧板420的滑动方向相垂直。第二面板430上也设置有拉手240，以便于作业人员在第一敞开侧111通过拉手240抽拉第二放料抽屉400。第二底板410、第二侧板420和第二面板430配合形成收容晶圆500的第二收容腔(图未示)，第二收容腔与第二面板430相对的一侧设有取放晶圆500的第二取放口440。

为了便于机械手在第二收容腔取放晶圆500，在一实施例中，两第二侧板420的内侧面上均设置有第二支撑件450，两第二侧板420上的第二支撑件450配合形成支撑晶圆500的第二支撑结构。

诚然，在其它实施例中，第二放料抽屉400包括可拆卸地收容在第二收容腔内的置放结构，晶圆500承载于置放结构上。置放结构包括第二承载板461和盖板462。第二承载板461平行于第二侧板420，第二承载板461数量为两块，且相对设置在第二底板410上。盖板462封盖在两第二承载板461的顶端。两第二承载板461的内侧面上均设置有第二支撑件450，两第二承载板461上的第二支撑件450配合形成支撑晶圆500的第二支撑结构。通过采用置放结构，能够有效对晶圆500的顶部进行遮挡，防止灰尘污染晶圆500的同时，便于人工取放晶圆500。优选地，第二收容腔内设有定位结构，以在置放结构置于第二收容腔内后防止其自第二敞开侧112脱离，定位结构可以是设置在第二收容腔靠近第二敞开侧112处的定位块，或者定位结构还可以是磁性件或导磁件，置放结构与其磁吸配合。优选地，盖板462可以采用透明材质制成，以便对置放结构内部直接观察，提高晶圆500取放的便捷性。

优选地，第二支撑结构数量为两个，且沿着竖直方向间隔布置。由于晶圆500解胶需要一定的时间，通过在第二放料抽屉400设置两个第二支撑结构，机械手首先将晶圆盒300内的晶圆500移至其中一第二支撑结构上，以进行解胶操作，接着机械手继续将晶圆盒300内待解胶的晶圆500移至其中另一第二支撑结构上，在此过程中，先进入到第二支撑结构的晶圆500解胶完毕，机械手将其移回晶圆盒300，并继续将待解胶的晶圆500移至空置的第二支撑结构；重复上述动作，能够有效节省机械手的等待时间。

此外，本实用新型还提供一种解胶设备，包括前述的晶圆载具组合以及UV光源600，UV光源600位于第二放料抽屉400下方，且适于对第二放料抽屉400上的晶圆500进行照射，以实现晶圆500的解胶操作。

优选地，解胶设备包括可开启、闭合的遮挡结构(图未示)，遮挡结构具有闭合状态和开启状态，当进行解胶操作时，遮挡结构切换至闭合状态，此时遮挡结构在第一敞开侧111、第二敞开侧112围封UV光源600、第二放料抽屉400，且与第一底板210、第二面板430配合形成收容UV光源600、第二放料抽屉400的罩体，从而防止解胶操作时UV光外逸；当解胶完毕后，遮挡结构切换至开启状态，此时第二敞开侧112露出第二取放口440，以进行正常取放作业。

优选地，遮挡结构、第一底板210朝向晶圆500的表面覆有反射膜层(例如：铝、PTFE)，以将UV光反射至晶圆500的UV膜，提升UV膜的解胶效果。

以上所述仅为本申请的实施方式，并非因此限制本申请的专利范围，凡是利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本申请的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种晶圆载具组合，其特征在于，包括：

机壳(100)，具有安装腔(110)，所述安装腔(110)包括相对设置的第一敞开侧(111)和第二敞开侧(112)；

第一放料抽屉(200)，用于存放晶圆盒(300)，且可抽拉地自所述第一敞开侧(111)安装于所述安装腔(110)内；以及，

第二放料抽屉(400)，用于承载晶圆(500)，所述第二放料抽屉(400)位于所述第一放料抽屉(200)下方，且可抽拉地自所述第一敞开侧(111)安装于所述安装腔(110)内；

其中，所述第二放料抽屉(400)朝向所述第二敞开侧(112)的一侧为敞开结构。

2.如权利要求1所述的晶圆载具组合，其特征在于，所述第一放料抽屉(200)包括：

第一底板(210)；

第一侧板(220)，数量为两块，且相对设置在所述第一底板(210)上，所述第一侧板(220)与所述安装腔(110)的内壁滑动连接；

第一面板(230)，设置在所述第一底板(210)远离所述第二敞开侧(112)的一侧，所述第一面板(230)位于两所述第一侧板(220)之间，且与所述第一侧板(220)的滑动方向相垂直；

其中，所述第一底板(210)、所述第一侧板(220)和所述第一面板(230)配合形成收容所述晶圆盒(300)的第一收容腔，所述晶圆盒(300)置于所述第一收容腔内，所述晶圆盒(300)具有第一取放口(310)，所述第一取放口(310)朝向所述第二敞开侧(112)。

3.如权利要求2所述的晶圆载具组合，其特征在于，所述第一放料抽屉(200)包括与所述第一面板(230)相对设置的限位件(250)，所述晶圆盒(300)限位在所述第一侧板(220)、所述第一面板(230)和所述限位件(250)之间。

4.如权利要求3所述的晶圆载具组合，其特征在于，所述晶圆盒(300)具有与所述第一侧板(220)相平行的第一承载板(320)，所述第一承载板(320)数量为两块，且相对设置，两所述第一承载板(320)的内侧面上均设置有第一支撑件(330)，两所述第一承载板(320)上的第一支撑件(330)配合形成支撑晶圆(500)的第一支撑结构，所述第一支撑结构数量为多个，且沿着竖直方向间隔布置，位于最底部的所述第一支撑结构的位置高度大于所述限位件(250)的高度。

5.如权利要求1所述的晶圆载具组合，其特征在于，所述第二放料抽屉(400)包括：

第二底板(410)；

第二侧板(420)，数量为两块，且相对设置在所述第二底板(410)上，所述第二侧板(420)与所述安装腔(110)的内壁滑动连接；

第二面板(430)，设置在所述第二底板(410)远离所述第二敞开侧(112)的一侧，所述第二面板(430)位于两所述第二侧板(420)之间，且与所述第二侧板(420)的滑动方向相垂直；

其中，所述第二底板(410)、所述第二侧板(420)和所述第二面板(430)配合形成收容所述晶圆(500)的第二收容腔，所述第二收容腔与所述第二面板(430)相对的一侧设有取放晶圆(500)的第二取放口(440)。

6.如权利要求5所述的晶圆载具组合，其特征在于，两所述第二侧板(420)的内侧面上均设置有第二支撑件(450)，两所述第二侧板(420)上的第二支撑件(450)配合形成支撑所述晶圆(500)的第二支撑结构。

7.如权利要求5所述的晶圆载具组合，其特征在于，两所述第二侧板(420)的内侧面上均设有第二支撑件(450)，两所述第二侧板(420)上的第二支撑件(450)配合形成支撑所述晶圆(500)的第二支撑结构；或者，

所述第二放料抽屉(400)包括收容在所述第二收容腔内的置放结构，所述置放结构包括两块相对设置在所述第二底板(410)上的第二承载板(461)和封盖在两所述第二承载板(461)的顶端的盖板(462)，所述第二承载板(461)平行于所述第二侧板(420)，两所述第二承载板(461)的内侧面上均设置有第二支撑件(450)，两所述第二承载板(461)上的第二支撑件(450)配合形成支撑所述晶圆(500)的第二支撑结构。

8.如权利要求6或7所述的晶圆载具组合，其特征在于，所述第二支撑结构数量为两个，且沿着竖直方向间隔布置。

9.如权利要求1所述的晶圆载具组合，其特征在于，所述第一放料抽屉(200)和所述第二放料抽屉(400)远离所述第二敞开侧(112)的一侧均设有拉手(240)。

10.一种解胶设备，其特征在于，包括：

如权利要求1至9任一项所述的晶圆载具组合；

UV光源(600)，位于所述第二放料抽屉(400)下方，且适于对所述第二放料抽屉(400)上的晶圆(500)进行照射。