KR20210016282A - 수직 배치 퍼니스 조립체 - Google Patents

수직 배치 퍼니스 조립체 Download PDF

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KR20210016282A
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예룬 플라위트
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이.
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    • F27D2003/0087—Rotation about a vertical axis

Abstract

카세트 핸들링 공간, 웨이퍼 핸들링 공간, 및 상기 카세트 핸들링 공간과 상기 웨이퍼 핸들링 공간을 분리하는 내부 벽을 포함하는 웨이퍼들을 가공하기 위한 수직 배치 퍼니스 조립체. 상기 카세트 핸들링 공간은 복수의 웨이퍼 카세트들을 저장하도록 구성된 카세트 스토리지를 구비한다. 상기 카세트 핸들링 공간은 또한 상기 카세트 스토리지와 웨이퍼 운반 위치 사이에서 웨이퍼 카세트들을 운반하도록 구성된 카세트 핸들러를 구비한다. 상기 웨이퍼 핸들링 공간은 상기 웨이퍼 운반 위치의 웨이퍼 카세트와 웨이퍼 보트 사이에서 웨이퍼들을 운반하도록 구성된 웨이퍼 핸들러를 구비한다. 상기 내부 벽은 웨이퍼들이 운반되는 상기 웨이퍼 카세트를 위한 웨이퍼 운반 위치에 인접한 웨이퍼 운반 개구를 구비한다. 상기 카세트 스토리지는 1.1 내지 1.6 미터 사이의 직경을 가지는 카세트 스토리지 캐러셀을 포함한다.

Description

수직 배치 퍼니스 조립체{Vertical batch furnace assembly}
본 개시는 개괄적으로 웨이퍼들을 가공하기 위한 수직 배치 퍼니스 조립체에 관한 것이다.
수직 배치 퍼니스 조립체들은 복수의 웨이퍼 카세트들을 저장하기 위한 카세트 스토리지를 구비한 카세트(cassette) 핸들링 공간을 포함할 수 있다. 상기 카세트 스토리지는 카세트 스토리지 캐러셀(carousel) 및 관련된 카세트 핸들러를 포함할 수 있다. 상기 카세트 핸들러는 상기 관련된 카세트 스토리지 캐러셀의 플랫폼 스테이지 상에 카세트를 놓을 수 있다. 상기 카세트 스토리지 캐러셀 내의 플랫폼 스테이지들의 수, 및 하나의 플랫폼 스테이지 상에 저장될 수 있는 웨이퍼 카세트들의 수는 설계에 따라 다를 수 있다.
본 개시는 수직 배치 퍼니스 조립체를 제공하기 위한 것이다.
이 요약은 선택된 개념들을 간략화된 형태로 소개하기 위해 제공된다. 이러한 개념들은 아래에서 본 개시의 예시적인 실시예들의 상세한 설명에서 더 상세히 설명된다. 이 요약은 청구된 주제의 주요 특징들 또는 필수적인 특징들을 식별하고자 의도되지 않으며 또한 청구된 주제의 범위를 제한하도록 사용되도록 의도되지도 않는다.
향상된 저장 용량을 가지는 수직 배치 퍼니스 조립체를 제공하는 것이 목적일 수 있다.
이를 위해, 수직 배치 퍼니스 조립체가 제공될 수 있다. 보다 구체적으로, 웨이퍼들을 가공하기 위한 수직 배치 퍼니스 조립체가 제공될 수 있다.
상기 수직 배치 퍼니스 조립체는 카세트 핸들링 공간을 포함할 수 있다. 상기 카세트 핸들링 공간은 복수의 웨이퍼들을 구비한 복수의 웨이퍼 카세트들을 저장하도록 구성된 카세트 스토리지를 구비할 수 있다. 상기 카세트 핸들링 공간은 상기 카세트 스토리지와 웨이퍼 운반 위치 사이에서 웨이퍼 카세트들을 운반하도록 구성된 카세트 핸들러를 구비할 수 있다. 상기 수직 배치 퍼니스 조립체는 웨이퍼 핸들링 공간을 포함할 수 있다. 상기 웨이퍼 핸들링 공간은 상기 웨이퍼 운반 위치 의 웨이퍼 카세트와 웨이퍼 보트 운반 위치의 웨이퍼 보트 사이에서 웨이퍼들을 운반하도록 구성된 웨이퍼 핸들러를 구비할 수 있다. 상기 수직 배치 퍼니스 조립체는 상기 카세트 핸들링 공간과 상기 웨이퍼 핸들링 공간을 분리하는 내부 벽을 포함할 수 있다. 상기 내부 벽은 웨이퍼 카세트에 관한 상기 웨이퍼 운반 위치에 인접한 웨이퍼 운반 개구를 구비할 수 있으며, 여기로 또는 여기로부터 웨이퍼들이 운반된다. 상기 카세트 스토리지는 1.1 내지 1.6 미터 사이의 직경을 가지는 카세트 스토리지 캐러셀을 포함할 수 있다.
1.1 내지 1.6 미터 사이의 직경을 가지는 카세트 스토리지 캐러셀을 가지는 것의 장점은 상기 카세트 스토리지 캐러셀이 툴의 폭 전체에 걸쳐 연장될 수 있으며 이로써 많은 수의 카세트들을 수용할 수 있다는 것이다.
본 발명 및 선행 기술 대비 달성되는 장점들을 요약하기 위한 목적으로, 본 발명의 특정 목적들 및 장점들이 위에서 설명되었다. 물론, 반드시 모든 이러한 목적들 또는 장점들이 본 개시의 임의의 특정 실시예에 따라 달성될 필요는 없다는 것이 이해될 것이다. 따라서, 예를 들어, 당업계의 통상의 기술자들은 본 명세서에 교시 또는 제시되는 다른 목적들 또는 장점들을 반드시 달성할 필요 없이 본 명세서에 교시 또는 제시된 하나의 장점 또는 일 군의 장점들을 달성 또는 최적화하는 방식으로 본 발명이 실시되거나 수행될 수 있다는 것을 인식할 수 있다.
다양한 실시예들이 종속항들에 청구되며, 이는 도면들에 도시된 예들을 참조하여 더 설명될 것이다. 이러한 실시예들은 서로 결합되거나 분리되어 적용될 수 있다.
이러한 실시예들 모두는 본 명세서에 개시된 발명의 범위 내인 것으로 의도된다. 첨부된 도면들에 대한 참조를 가지는 특정 실시예들의 다음의 상세한 설명으로부터 이러한 및 다른 실시예들이 당업계의 통상의 기술자에게 쉽게 명백해질 것이며, 본 발명은 개시된 임의의 특정 실시예(들)에 제한되지 않는다.
본 명세서는 무엇이 본 발명의 실시예들로서 간주되는지를 구체적으로 지시하며 명백하게 청구하는 청구항들로 결론을 맺으나, 본 개시의 실시예들의 장점들은 첨부된 도면들과 함께 읽혀질 때 본 개시의 실시예들의 특정 예들의 설명으로부터 보다 쉽게 파악될 수 있다.
도 1은 수직 배치 퍼니스 조립체의 예의 개략적인 평면도를 도시한다.
도 2는 도 1, 도 3, 및 도 4의 선 Ⅱ를 따른 도 1의 예의 개략적인 단면도를 도시한다.
도 3은 도 2 및 도 4의 선 Ⅲ을 따른 도 1의 예의 개략적인 단면 평면도를 도시한다.
도 4는 도 1, 도 2, 및 도 3 내의 선 Ⅳ를 따른 도 1의 예의 개략적인 단면도를 도시한다.
이 출원에서 유사하거나 대응하는 특징부들은 유사하거나 대응하는 참조 부호들에 의해 표시된다. 다양한 실시예들의 설명은 도면들에 도시된 예들로 제한되지 않으며 상세한 설명에 사용된 참조 번호들 및 청구항들은 실시예들의 설명을 제한하려는 의도가 아니라, 도면들에 도시된 예들을 참조함으로써 실시예들을 설명하기 위해 포함된다.
특정 실시예들 및 예들이 아래 개시되나, 본 발명은 구체적으로 개시된 실시예들 및/또는 본 발명의 용도들 및 그 자명한 변형들 및 균등물들을 넘어 확장된다는 것이 당업계의 통상의 기술자들에 의해 이해될 것이다. 따라서, 개시된 발명의 범위는 아래 설명된 특정한 개시된 실시예들에 의해 제한되지 않도록 의도된다. 본 명세서에 제시된 도면들은 특정 물질, 구조, 또는 장치의 실제 모습들을 의미하지 않으며, 본 개시의 실시예들을 설명하는데 사용되는 단순히 이상화된 표현들이다.
본 명세서에 사용되는 바와 같이, 용어 "웨이퍼"는 사용될 수 있거나 또는 그 상에 장치, 회로, 또는 막이 형성될 수 있는 임의의 하부 물질 또는 물질들을 지칭할 수 있다.
가장 개괄적인 용어로, 본 개시는 웨이퍼들을 가공하기 위한 수직 배치 퍼니스 조립체(10)를 제공하며, 그 예들이 도 1 내지 도 4에 도시된다. 상기 수직 배치 퍼니스 조립체(10)는 카세트 핸들링 공간(26)을 포함할 수 있다. 상기 카세트 핸들링 공간(26)은 복수의 웨이퍼들을 구비한 복수의 웨이퍼 카세트들(16)을 저장하도록 구성된 카세트 스토리지를 구비할 수 있다. 상기 카세트 핸들링 공간(26)은 웨이퍼 카세트들(16)을 상기 카세트 스토리지와 웨이퍼 운반 위치(24) 사이에서 운반하도록 구성된 카세트 핸들러(28)를 구비할 수 있다. 상기 수직 배치 퍼니스 조립체(10)는 웨이퍼 핸들링 공간(30)을 포함할 수 있다. 상기 웨이퍼 핸들링 공간(30)은 상기 웨이퍼 운반 위치(24)의 웨이퍼 카세트(16)와 웨이퍼 보트 운반 위치(34)의 웨이퍼 보트(12) 사이에서 웨이퍼들을 운반하도록 구성된 웨이퍼 핸들러(32)를 구비할 수 있다.
상기 수직 배치 퍼니스 조립체(10)는 상기 카세트 핸들링 공간(26)과 상기 웨이퍼 핸들링 공간(30)을 분리하는 내부 벽(20)을 포함할 수 있다. 상기 내부 벽(20)은 웨이퍼들이 운반되는 웨이퍼 카세트들(16)을 위한 상기 웨이퍼 운반 위치(24)에 인접한 웨이퍼 운반 개구(22)를 구비할 수 있다. 상기 카세트 스토리지는 1.1 내지 1.6 미터 사이의 직경을 가지는 카세트 스토리지 캐러셀(18)을 포함할 수 있다.
상기 수직 배치 퍼니스 조립체(10)의 효과들 및 장점들이 과제의 해결 수단 부분에서 설명되었으며, 이러한 효과들 및 장점들이 참조에 의해 여기에 삽입된다.
일 실시예에서 상기 카세트 스토리지 캐러셀(18)은 적어도 하나의 플랫폼 스테이지(70)를 가질 수 있다. 상기 카세트 스토리지는 플랫폼 스테이지(70) 당 5 내지 8개의 웨이퍼 카세트들(16)의 저장 용량을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 카세트 스토리지 캐러셀(18)은 플랫폼 스테이지(70) 당 5개의 웨이퍼 카세트(19)의 저장 용량을 가지도록 약 1.1 내지 1.2 미터의 직경을 가질 수 있다. 다른 예에서 상기 카세트 저장 캐러셀(18)은 플랫폼 스테이지(70) 당 6개의 웨이퍼 카세트들(16)의 저장 용량을 가지도록 약 1.3 내지 1.5 미터의 직경을 가질 수 있다. 또는 도 7에 도시된 바와 같이 상기 카세트 스토리지 캐러셀(18)은 플랫폼 스테이지(70) 당 약 8개의 웨이퍼 카세트들(16)의 저장 용량을 가지도록 약 1.4 내지 1.6 미터의 직경을 가질 수 있으며, 그 중 4개의 웨이퍼 카세트들(16)이 도시된다.
일 실시예에서 상기 수직 배치 퍼니스 조립체(10)는 상기 수직 배치 퍼니스 조립체(10)의 폭(36)을 정의하는 두 대향하는 짧은 변들을 가지고 상기 수직 배치 퍼니스 조립체(10)의 길이(38)를 정의하는 두 대향하는 긴 변들을 가지는 실질적으로 직사각형인 풋프린트를 구비할 수 있다. 상기 수직 배치 퍼니스 조립체(10)의 폭(36)은 1.65 미터 이하일 수 있다.
실질적으로 직사각형인 풋프린트를 가짐으로써, 다수의 수직 배치 퍼니스 조립체(10)가 서로 인접하게 배치될 수 있으며, 따라서 이용 가능한 바닥 면적의 최적 사용을 가능하게 한다. 직사각형 풋프린트를 가지는 인접한 수직 배치 퍼니스 조립체들은 그들 사이에 사용되지 않는 공간을 가지지 않을 수 있다. 1.65 미터 이하의 폭(36)은 다른 제조사들/브랜드들의 수직 배치 퍼니스 조립체들의 폭과 상호교환가능성 측면에서 이롭다.
일 실시예에서 상기 수직 배치 퍼니스 조립체(10)는 웨이퍼 보트(120) 내에 수용된 웨이퍼들을 가공하기 위한 제1 공정 챔버(56)를 더 포함할 수 있다. 상기 수직 배치 퍼니스 조립체(10)는 웨이퍼 보트(12) 내에 수용된 웨이퍼들을 가공하기 위한 제2 공정 챔버(58)를 더 포함할 수 있다. 상기 수직 배치 퍼니스 조립체(10)는 하나의 웨이퍼 보트 핸들링 장치(60)를 더 포함할 수 있다.
상기 웨이퍼 보트 핸들링 장치(60)는 각각이 웨이퍼 보트(12)를 지지하기 위하여 구성된 복수의 웨이퍼 보트 지지 표면들(74)을 가지는 하나의 회전 가능한 테이블(72)을 포함할 수 있다. 상기 회전 가능한 테이블(72)은 중심의 실질적으로 수직한 축(76)을 중심으로 액츄에이터에 의해 회전 가능할 수 있다. 상기 회전 가능한 테이블(72)은 각각의 웨이퍼 보트 지지 표면(74)을 제1 웨이퍼 보트 로드/수용 위치(62)로 운반하도록 회전 가능할 수 있으며, 상기 제1 웨이퍼 보트 로드/수용 위치(62)에서 상기 웨이퍼 보트 핸들링 장치(60)가 상기 회전 가능한 테이블(72)로부터 상기 제1 공정 챔버(56) 내로 수직으로 웨이퍼 보트(12)를 로드하고 상기 제1 공정 챔버(56)로부터 상기 회전 가능한 테이블(72) 상으로 상기 웨이퍼 보트(12)를 수용하도록 구성된다. 상기 회전 가능한 테이블(72)은 또한 각각의 웨이퍼 보트 지지 표면(74)을 제2 웨이퍼 보트 로드/수용 위치(64)로 운반하도록 회전 가능할 수 있으며, 제2 웨이퍼 보트 로드/수용 위치(64)에서 상기 웨이퍼 보트 핸들링 장치(60)는 상기 웨이퍼 보트(12)를 수직으로 상기 회전 가능한 테이블(72)로부터 상기 제2 공정 챔버(58) 내로 로드하고 상기 웨이퍼 보트(12)를 상기 제2 공정 챔버(58)로부터 상기 회전 가능한 테이블(72) 상으로 수용하도록 구성된다. 상기 웨이퍼 보트 핸들랑 장치(60)는 상기 제2 웨이퍼 보트 로드/수용 위치(64)와 상기 제2 공정 챔버(58) 사이에서 또한 웨이퍼 보트(12)를 운반하도록 구성된 제2 웨이퍼 보트 리프트 조립체(78')를 포함할 수 있다. 상기 회전 가능한 테이블(72)은 각각의 웨이퍼 보트 지지 표면(74)을 냉각 위치(80)로 운반하도록 더 회전가능할 수 있으며, 상기 냉각 위치(80)에서 상기 웨이퍼 보트 핸들링 장치(60)는 상기 웨이퍼 보트(12)를 냉각시키도록 구성된다. 상기 회전 가능한 테이블(72)은 또한 각각의 웨이퍼 보트 지지 표면(74)을 중간 위치(82)로 운반하도록 회전 가능할 수 있다. 보트 운반 매커니즘(84)은 상기 중간 위치(82)에 있는 웨이퍼 보트 지지 표면(74) 상에 위치한 웨이퍼 보트(12)를 상기 보트 운반 위치(34)로 및 그 반대로 운반하도록 제공될 수 있다.
상기 하나의 웨이퍼 보트 핸들링 장치(60)는 따라서 웨이퍼 보트(12)를 상기 제1 공정 챔버(56) 및 상기 제2 공정 챔버(58) 둘 모두로 로드하고 상기 웨이퍼 보트(12)를 상기 제1 공정 챔버(56) 및 상기 제2 공정 챔버(58) 둘 모두로부터 수용하도록 구성될 수 있다. 이러한 구성으로 인해, 상기 수직 배치 퍼니스 조립체(10)는 상기 웨이퍼 보트 핸들링 장치(60)의 사용과 함께 상기 제1 공정 챔버(56) 및 상기 제2 공정 챔버(58)로(부터) 상기 웨이퍼 보트(12)를 로드/수용할 수 있다. 상기 수직 배치 퍼니스 조립체(10)는 따라서 상기 제2 공정 챔버(58)로(부터) 웨이퍼 보트(12)을 로드/수용하기 위한 제2 웨이퍼 보트 핸들링 장치(60)를 필요로하지 않는다. 이러한 제2 웨이퍼 보트 핸들링 장치(60)를 수용할 필요가 없는 공간은 수직 배치 퍼니스 조립체(10)의 폭(36)을 감소시키는데 사용될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 수직 배치 퍼니스 조립체(10)는 적어도 하나의 카세트인-아웃 포트(48)를 더 포함할 수 있다. 상기 적어도 하나의 카세트 인-아웃 포트(48)는 상기 수직 배치 퍼니스 조립체(10)와 외부 세계 사이의 웨이퍼 카세트들(16)의 교환을 위한 상기 수직 배치 퍼니스 조립체(10)로(부터)의 입구 및 출구를 제공한다. 상기 적어도 하나의 카세트 입-출구 포트(48)는 상기 카세트 핸들링 공간(26)을 둘러싸는 벽(84)에 제공될 수 있다. 상기 벽(84)은 상기 수직 배치 퍼니스 조립체(10)의 실질적으로 직사각형인 풋프린트의 짧은 변에 있거나 그 근처에 있을 수 있다. 상기 카세트 핸들러(28)는 웨이퍼 카세트(16)를 상기 카세트 스토리지, 상기 웨이퍼 운반 위치(24), 및 상기 적어도 하나의 카세트 인-아웃 포트(48) 사이에서 운반하도록 구성될 수 있다.
이러한 카세트 핸들러(28)는 상기 카세트 핸들링 공간(26) 내의 모든 웨이퍼 카세트 운반들을 핸들링할 수 있다. 이는 웨이퍼 카세트들을 운반하기 위한 효율적이고 비용-효과적인 방법을 제공할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 카세트 핸들러(28)는 상기 카세트 스토리지 내의 상이한 수직 높이들에 위치하는 웨이퍼 카세트들(16)에 도달하도록 구성된 카세트 핸들러 팔(50), 및 엘리베이터 메커니즘(52)을 구비할 수 있다.
부분적으로 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 예시적인 실시예들이 위에서 설명되었으나, 본 발명이 이러한 실시예들에 제한되지 않는다는 것이 이해될 것이다. 개시된 실시예들에 대한 변형들이 도면들, 개시, 및 첨부된 청구항들에 대한 연구로부터 청구된 발명을 실시함에 있어 당업계의 통상의 기술자들에 의해 이해되고 이루어질 수 있다.
본 명세서에 걸쳐 "하나의 실시예" 또는 "실시예"에 대한 참조는 그 실시예와 관련하여 설명된 특정한 특징, 구조, 또는 특성이 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함된다는 것을 의미한다. 따라서, 이 명세서에 걸친 다양한 위치들에서의 "일 실시예에서" 또는 "실시예에서"라는 문구들의 출현들은 반드시 모두 동일한 실시예를 참조하지 않는다.
또한, 위에서 설명된 다양한 실시예들 중 하나 이상의 특정한 특징들, 구조들, 또는 특성들이 서로로부터 독립적으로 사용되며 실시될 수 있으며 새로운, 명시적으로 설명되지 않은 실시예들을 형성하도록 임의의 적합한 방식으로 결합될 수 있다는 것이 주의된다. 상세한 설명 및 청구항들에 사용된 참조 번호들은 실시예들의 설명을 제한하지 않으며 청구항들을 제한하지 않는다. 참조 번호들은 오직 명확히하기 위해 사용될 수 있다.
10- 수직 배치 퍼니스 조립체
12- 웨이퍼 보트
16- 웨이퍼 카세트
18- 카세트 스토리지 캐러셀
20- 내부 벽
22- 웨이퍼 운반 개구
24- 웨이퍼 운반 위치
26- 카세트 핸들링 공간
28- 카세트 핸들러
30-웨이퍼 핸들링 공간
32- 웨이퍼 핸들러
34- 웨이퍼 보트 운반 위치
36- 폭(수직 배치 퍼니스 조립체의)
38- 길이(수직 배치 퍼니스 조립체의)
48- 카세트 인-아웃 포트
50- 카세트 핸들러 팔
52- 엘리베이터 메커니즘
56- 제1 공정 챔버
58- 제2 공정 챔버
60- 웨이퍼 보트 핸들링 장치
62- 제1 웨이퍼 보트 로드/수용 위치
64-제2 웨이퍼 보트 로드/수용 위치
70- 플랫폼 스테이지
72- 회전 가능한 테이블
74- 웨이퍼 보트 지지 표면
76- 중심 축
78 및 78'- 웨이퍼 보트 리프트 조립체들
80- 냉각 위치
82- 중간 위치
84- 웨이퍼 보트 운반 메커니즘

Claims (13)

  1. 웨이퍼들을 가공하기 위한 수직 배치(batch) 퍼니스 조립체(10)로서,
    복수의 웨이퍼들을 구비한 복수의 웨이퍼 카세트들(cassettes)(16)을 저장하도록 구성된 카세트 스토리지 및 상기 카세트 스토리지와 웨이퍼 운반 위치(24) 사이에서 웨이퍼 카세트들(16)을 운반하도록 구성된 카세트 핸들러(28)를 구비한 카세트 핸들링 공간(26);
    상기 웨이퍼 운반 위치(24)의 웨이퍼 카세트(16)와 웨이퍼 보트 운반 위치(34)의 웨이퍼 보트(12) 사이에서 웨이퍼들을 운반하도록 구성된 웨이퍼 핸들러(32)를 구비한 웨이퍼 핸들링 공간(30); 및
    상기 카세트 핸들링 공간(26)과 상기 웨이퍼 핸들링 공간(30)을 분리하고 웨이퍼들이 그로(부터) 운반되는 웨이퍼 카세트(16)를 위한 상기 웨이퍼 운반 위치(24)에 인접한 웨이퍼 운반 개구(22)를 구비한 내부 벽(20)을 포함하고,
    상기 카세트 스토리지는 1.1 내지 1.6 미터 사이의 직경을 가지는 카세트 스토리지 캐러셀(carousel)(18)을 포함하는 수직 배치 퍼니스 조립체.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 수직 배치 퍼니스 조립체(10)의 폭(36)을 정의하는 두 대향하는 짧은 변들을 가지고 상기 수직 배치 퍼니스 조립체(10)의 길이(38)를 정의하는 두 대향하는 긴 변들을 가지는 실질적으로 직사각형인 풋프린트(footprint)를 구비하고,
    상기 수직 배치 퍼니스 조립체(10)의 상기 폭(36)은 1.65 미터 이하인 수직 배치 퍼니스 조립체.
  3. 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
    상기 카세트 스토리지 캐러셀(18)은 적어도 하나의 플랫폼 스테이지(70)를 가지며 플랫폼 스테이지(70) 당 5 내지 8개의 웨이퍼 카세트들(16)의 저장 용량을 가지는 수직 배치 퍼니스 조립체.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 카세트 스토리지 캐러셀(18)은 약 1.1 내지 1.2 미터의 직경 및 플랫폼 스테이지(70) 당 5개의 웨이퍼 카세트들(16)의 저장 용량을 가지는 수직 배치 퍼니스 조립체.
  5. 제3 항에 있어서,
    상기 카세트 스토리지 캐러셀(18)은 약 1.3 내지 1.5 미터의 직경 및 플랫폼 스테이지(70) 당 6개의 웨이퍼 카세트들(16)의 저장 용량을 가지는 수직 배치 퍼니스 조립체.
  6. 제3 항에 있어서,
    상기 카세트 스토리지 캐러셀(18)은 약 1.4 내지 1.6 미터의 직경 및 플랫폼 스테이지(70) 당 8개의 웨이퍼 카세트들(16)의 저장 용량을 가지는 수직 배치 퍼니스 조립체.
  7. 제1 항 내지 제6항 중 어느 하나에 있어서,
    웨이퍼 보트(12) 내에 수용된 웨이퍼들을 가공하기 위한 제1 공정 챔버(56);
    웨이퍼 보트(12) 내에 수용된 웨이퍼들을 가공하기 위한 제2 공정 챔버(58); 및
    각각 웨이퍼 보트(12)를 지지하기 위하여 구성된 복수의 웨이퍼 보트 지지 표면들(74)을 가지는 하나의 회전 가능한 테이블(72)을 포함하는 단일한 웨이퍼 보트 핸들링 장치(60)를 더 포함하고,
    상기 회전 가능한 테이블(72)은,
    상기 웨이퍼 보트 핸들링 장치(60)가 상기 회전 가능한 테이블(72)로부터 상기 제1 공정 챔버(56) 내로 수직으로 웨이퍼 보트(12)를 로드하고 상기 제1 공정 챔버(56)로부터 상기 회전 가능한 테이블(72) 상으로 상기 웨이퍼 보트(12)를 수용하도록 구성된 제1 웨이퍼 보트 로드/수용 위치(62); 및
    상기 웨이퍼 보트 핸들링 장치(60)가 상기 회전 가능한 테이블(72)로부터 상기 제2 공정 챔버(58) 내로 수직으로 상기 웨이퍼 보트(12)를 로드하고 상기 제2 공정 챔버(58)로부터 상기 회전 가능한 테이블(72) 상으로 상기 웨이퍼 보트(12)를 수용하도록 구성된 제2 웨이퍼 보트 로드/수용 위치(64)로
    각각의 웨이퍼 보트 지지 표면(74)을 운반하도록 중심의 실질적으로 수직한 축(76) 주위로 액츄에이터에 의해 회전 가능한 수직 배치 퍼니스 조립체.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 보트 핸들링 장치(60)는 상기 제1 웨이퍼 보트 로드/수용 위치(62)와 상기 제1 공정 챔버(56) 사이에서 웨이퍼 보트(12)를 운반하도록 구성된 제1 웨이퍼 보트 리프트 조립체(78)를 포함하는 수직 배치 퍼니스 조립체.
  9. 제7 항 또는 제8 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 보트 핸들링 장치(60)는 상기 제2 웨이퍼 보트 로드/수용 위치(64)와 상기 제2 공정 챔버(58) 사이에서 웨이퍼 보트(12)를 운반하도록 구성된 제2 웨이퍼 보트 리프트 조립체(78)를 포함하는 수직 배치 퍼니스 조립체.
  10. 제7 항 내지 제9 항 중 어느 하나에 있어서,
    상기 회전 가능한 테이블(72)은 또한 상기 웨이퍼 보트 핸들링 장치(60)가 상기 웨이퍼 보트(12)를 냉각시키도록 구성된 냉각 위치(80)로 각각의 웨이퍼 보트 지지 표면(74)을 운반하도록 회전 가능한 수직 배치 퍼니스 조립체.
  11. 제7 항 내지 제10 항 중 어느 하나에 있어서,
    상기 회전 가능한 테이블(72)은 또한 중간 웨이퍼 보트 위치(82)로 각각의 웨이퍼 보트 지지 표면(74)을 운반하도록 회전 가능하며,
    상기 수직 배치 퍼니스 조립체는 또한 상기 중간 위치(82)에 있는 웨이퍼 보트 지지 표면(74) 상에 있는 웨이퍼 보트(12)를 상기 보트 운반 위치(34)로 및 그 반대로 운반하도록 구성된 보트 운반 메커니즘(84)을 포함하는 수직 배치 퍼니스 조립체.
  12. 제1 항 내지 제11 항 중 어느 하나에 있어서,
    상기 카세트 핸들링 공간(26)을 정의하는 벽(84)에 구비된 적어도 하나의 카세트 인-아웃 포트(48)를 더 포함하고,
    상기 카세트 핸들러(28)는 상기 카세트 스토리지, 상기 웨이퍼 운반 위치(24)와 상기 적어도 하나의 카세트 인-아웃 포트(48) 사이에서 웨이퍼 카세트들(16)을 운반하도록 구성되는 수직 배치 퍼니스 조립체.
  13. 제1 항 내지 제12 항 중 어느 하나에 있어서,
    상기 카세트 핸들러(28)는 카세트 핸들러 팔(50), 및 상기 카세트 스토리지 내의 상이한 수직 높이들에 있는 웨이퍼 카세트들(16)에 도달하도록 구성된 엘리베이트 메커니즘(52)을 구비하는 수직 배치 퍼니스 조립체.
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