JPH01321648A - 半導体ウエハカセット収納装置 - Google Patents
半導体ウエハカセット収納装置Info
- Publication number
- JPH01321648A JPH01321648A JP63155215A JP15521588A JPH01321648A JP H01321648 A JPH01321648 A JP H01321648A JP 63155215 A JP63155215 A JP 63155215A JP 15521588 A JP15521588 A JP 15521588A JP H01321648 A JPH01321648 A JP H01321648A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- semiconductor wafer
- storage box
- cassette storage
- shelf
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 19
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000002747 voluntary effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は半導体ウェハカセット（以下、「カセット」
と称する）を収納する半導体ウェハカセット収納装置に
関するものである。
と称する）を収納する半導体ウェハカセット収納装置に
関するものである。
従来の半導体ウェハカセット収納装置を第３図、第４図
について説明する。第３図は装置全体を示す斜視図、第
４図は第３図の線ｒ’／−ＩＶの断面図である。図にお
いて、（１）は−列状に複数個（図面では３個）並置さ
れたカセット収納ボックスで、二本平行状態に架設され
たエンドレス状支持部材（１ａ）と、両支持部材（１ａ
）に跨って設けられかつその周回上に複数個（図面では
８個）配置される支持棒（１ｂ）と、各支持棒（１ｂ）
にそれぞれ支持される棚（１ｃ）と、支持部材（ｌａ）
を駆動する駆動部（１ｄ）とで構成されている。（２）
はカセット収納ボックス（１）の正面に設けた開口部、
（３）はカセット収納ボックス（１）の正面の開口部（
２）よりも上方に設けた外気遮蔽用透明板、（４）は各
カセット収納ボックス（１）の正面側に沿って移動可能
に設置された搬送ロボットで、複数個（図面では４個）
のハンド（４ａ）を有し、このハンド（４ａ）でカセッ
ト（５）を把持して開口部〔２）から棚（ＩＣ）上にカ
セット（５）を載せたりあるいは棚（ｌｃ）上のカセッ
ト（５）を開口部（２）から把持して取出したりする。
について説明する。第３図は装置全体を示す斜視図、第
４図は第３図の線ｒ’／−ＩＶの断面図である。図にお
いて、（１）は−列状に複数個（図面では３個）並置さ
れたカセット収納ボックスで、二本平行状態に架設され
たエンドレス状支持部材（１ａ）と、両支持部材（１ａ
）に跨って設けられかつその周回上に複数個（図面では
８個）配置される支持棒（１ｂ）と、各支持棒（１ｂ）
にそれぞれ支持される棚（１ｃ）と、支持部材（ｌａ）
を駆動する駆動部（１ｄ）とで構成されている。（２）
はカセット収納ボックス（１）の正面に設けた開口部、
（３）はカセット収納ボックス（１）の正面の開口部（
２）よりも上方に設けた外気遮蔽用透明板、（４）は各
カセット収納ボックス（１）の正面側に沿って移動可能
に設置された搬送ロボットで、複数個（図面では４個）
のハンド（４ａ）を有し、このハンド（４ａ）でカセッ
ト（５）を把持して開口部〔２）から棚（ＩＣ）上にカ
セット（５）を載せたりあるいは棚（ｌｃ）上のカセッ
ト（５）を開口部（２）から把持して取出したりする。
（６）は工程間の搬送を行う搬送車、（７）は搬送車（
６）と搬送ロボット（４）との受渡しの中継を行う受渡
ステーションである。
６）と搬送ロボット（４）との受渡しの中継を行う受渡
ステーションである。
次に動作について説明する。保管すべきカセット（５）
が発生すると、搬送車（６）がカセット（５）を受渡ス
テーション（７）に搬送する。搬送車（６）がカセット
（５）を受渡ステーション（７）に積降ろすのが完了す
ると、搬送ロボット（４）が受渡ステーション（７）へ
移動し、ハンド（４ａ）を用いてカセット（５）を把持
する。
が発生すると、搬送車（６）がカセット（５）を受渡ス
テーション（７）に搬送する。搬送車（６）がカセット
（５）を受渡ステーション（７）に積降ろすのが完了す
ると、搬送ロボット（４）が受渡ステーション（７）へ
移動し、ハンド（４ａ）を用いてカセット（５）を把持
する。
これと同時に、カセット収納ボックス（１）は開口部（
２）へ空きである棚（ＩＣ）を駆動部（１ｄ）を動かす
ことにより移動させる。上記の搬送ロボット（４）はカ
セット（５）を持って上記のカセット収納ボックス（１
）の前面へ移動し、開口部（２）から把持したカセット
（５）を空いた棚（１ｃ）へ載せる。これで、カセット
（５）の収納作業は完了したこととなる。
２）へ空きである棚（ＩＣ）を駆動部（１ｄ）を動かす
ことにより移動させる。上記の搬送ロボット（４）はカ
セット（５）を持って上記のカセット収納ボックス（１
）の前面へ移動し、開口部（２）から把持したカセット
（５）を空いた棚（１ｃ）へ載せる。これで、カセット
（５）の収納作業は完了したこととなる。
次に、払出し作業について説明する。払出すべきカセッ
ト（５）が発生すると、カセット収納ボックス（１）は
上記のカセット（５）が載っている棚（１ｃ）を駆動部
（１ｄ）により開口部（２）へと移動させる。これと同
時に、搬送ロボット（４）は上記のカセット収納ボック
ス（１）の前面へ移動させられる。上記の搬送ロボット
（４）は開口部（２）へと移動させられたカセット（５
）をハンド（４ａ）を用いて取り込み、同カセット（５
）を受渡ステーション（７）へと搬送する。搬送が完了
すると、搬送車（６）が同カセット（５）を取りに受渡
ステーション（７）へ移動してくる。そして、同カセッ
ト（５）を積込み、次工程へと搬送する。これで、払出
し作業が完了することとなる。
ト（５）が発生すると、カセット収納ボックス（１）は
上記のカセット（５）が載っている棚（１ｃ）を駆動部
（１ｄ）により開口部（２）へと移動させる。これと同
時に、搬送ロボット（４）は上記のカセット収納ボック
ス（１）の前面へ移動させられる。上記の搬送ロボット
（４）は開口部（２）へと移動させられたカセット（５
）をハンド（４ａ）を用いて取り込み、同カセット（５
）を受渡ステーション（７）へと搬送する。搬送が完了
すると、搬送車（６）が同カセット（５）を取りに受渡
ステーション（７）へ移動してくる。そして、同カセッ
ト（５）を積込み、次工程へと搬送する。これで、払出
し作業が完了することとなる。
従来の半導体ウェハカセット収納装置は以上の゛ よ
うに構成されているので、搬送ロボット（４）の能力が
ネックとなって、同装置の処理量を多くすることができ
ず、目的とする処理量をこなすには、同一機器構成の装
置を増設しなければならない等の問題点があった。
うに構成されているので、搬送ロボット（４）の能力が
ネックとなって、同装置の処理量を多くすることができ
ず、目的とする処理量をこなすには、同一機器構成の装
置を増設しなければならない等の問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、処理量を飛躍的に向上させることのできる半
導体ウェハカセット収納装置を得ることを目的とする。
たもので、処理量を飛躍的に向上させることのできる半
導体ウェハカセット収納装置を得ることを目的とする。
〔課題を解決するための手段］
この発明に係る半導体ウェハカセット収納装置は、カセ
ット収納ボックスを前面と背面の両側に開口部を持たせ
、搬送ロボットを上記の両側にそれぞれ１台ずつ設置し
たものである。
ット収納ボックスを前面と背面の両側に開口部を持たせ
、搬送ロボットを上記の両側にそれぞれ１台ずつ設置し
たものである。
［作用］
この発明においては、搬送ロボットの１台はカセット収
納ボックスの前面よりカセットの出し入れを行い、残り
の１台は背面よりカセットの出し入れを行う。
納ボックスの前面よりカセットの出し入れを行い、残り
の１台は背面よりカセットの出し入れを行う。
［発明の実施例１
この発明の一実施例を第１図、第２図について説明する
。第１図は装置全体を示す斜視図、第２図は第１図の線
ＩＩ −ＩＩの断面図であり、前記従来のものと同一ま
たは相当部分には同一符号を付して説明を省略する６図
において、（ＩＡ）はカセット収納ボックスで、正面側
と背面側とにそれぞれ開口部（２Ａ）、（２Ｂ）を有し
ている。（４Ａ）、 （４Ｂ）は各カセット収納ボッ
クス（ＩＡ）の正面側および背面側にそれぞれ沿って移
動可能に設置された搬送ロボットである。
。第１図は装置全体を示す斜視図、第２図は第１図の線
ＩＩ −ＩＩの断面図であり、前記従来のものと同一ま
たは相当部分には同一符号を付して説明を省略する６図
において、（ＩＡ）はカセット収納ボックスで、正面側
と背面側とにそれぞれ開口部（２Ａ）、（２Ｂ）を有し
ている。（４Ａ）、 （４Ｂ）は各カセット収納ボッ
クス（ＩＡ）の正面側および背面側にそれぞれ沿って移
動可能に設置された搬送ロボットである。
次に動作について説明する。保管すべきカセット（５）
が発生すると、搬送車（６）がカセット（５）を受渡ス
テーション（７）に搬送する。搬送車（６）がカセット
（５）を受渡ステーション（７）に積降ろすのが完了す
ると、正面側搬送ロボット（４Ａ）が受渡ステーション
（７）へ移動し、ハンド（４ａ）を用いてカセット（５
）を把持する。これと同時に、カセット収納ボックス（
ＬＡ）は前面側開口部（２Ａ）へ空きである棚（ｌｃ）
を駆動部（１ｄ）を動かすことにより移動させる。上記
の正面側搬送ロボット（４Ａ）はカセット（５）を持っ
て上記のカセット収納ボックス（ＩＡ）の前面へ移動し
、前面側開口部（２Ａ）から把持したカセット（５）を
空いた棚（ｌｃ）へ、載せる。これで、カセット（５）
の収納作業は完了したこととなる。
が発生すると、搬送車（６）がカセット（５）を受渡ス
テーション（７）に搬送する。搬送車（６）がカセット
（５）を受渡ステーション（７）に積降ろすのが完了す
ると、正面側搬送ロボット（４Ａ）が受渡ステーション
（７）へ移動し、ハンド（４ａ）を用いてカセット（５
）を把持する。これと同時に、カセット収納ボックス（
ＬＡ）は前面側開口部（２Ａ）へ空きである棚（ｌｃ）
を駆動部（１ｄ）を動かすことにより移動させる。上記
の正面側搬送ロボット（４Ａ）はカセット（５）を持っ
て上記のカセット収納ボックス（ＩＡ）の前面へ移動し
、前面側開口部（２Ａ）から把持したカセット（５）を
空いた棚（ｌｃ）へ、載せる。これで、カセット（５）
の収納作業は完了したこととなる。
上記の収納作業と並行して、カセット収納ボックス（Ｉ
Ａ）の背面側では背面側搬送ロボット（４Ｂ）によりカ
セット（５）の払出し作業を行うことが可能である。上
記の収納作業が行われている以外のカセット収納ボック
ス（ＩＡ）に収納されているカセット（５）で払出すべ
きカセット（５）が発生すると、同カセットが収納され
ているカセット収納ボックス（ＩＡ）は上記カセット（
５）が載っている棚（ＩＣ）を駆動部（１ｄ）により背
面側開口部（２Ｂ）へと移動させる。これと同時に、背
面側搬送ロボット（４Ｂ）は上記のカセット収納ボック
ス（ＩＡ）の背面へ移動する。上記の背面側搬送ロボッ
ト（４Ｂ）は背面側開口部（２Ｂ）へと移動させられた
カセット（５）をハンド（４ａ）を用いて取り込み、同
カセット（５）を受渡ステーション（７）へと搬送する
。
Ａ）の背面側では背面側搬送ロボット（４Ｂ）によりカ
セット（５）の払出し作業を行うことが可能である。上
記の収納作業が行われている以外のカセット収納ボック
ス（ＩＡ）に収納されているカセット（５）で払出すべ
きカセット（５）が発生すると、同カセットが収納され
ているカセット収納ボックス（ＩＡ）は上記カセット（
５）が載っている棚（ＩＣ）を駆動部（１ｄ）により背
面側開口部（２Ｂ）へと移動させる。これと同時に、背
面側搬送ロボット（４Ｂ）は上記のカセット収納ボック
ス（ＩＡ）の背面へ移動する。上記の背面側搬送ロボッ
ト（４Ｂ）は背面側開口部（２Ｂ）へと移動させられた
カセット（５）をハンド（４ａ）を用いて取り込み、同
カセット（５）を受渡ステーション（７）へと搬送する
。
搬送が完了すると、搬送車（６）が同カセット（５）を
取りに受渡ステーション（７）へと移動してくる。そし
て同カセット（５）を積込み、次工程へと搬送する。
取りに受渡ステーション（７）へと移動してくる。そし
て同カセット（５）を積込み、次工程へと搬送する。
このように、正面側と背面側との２台の搬送ロボット（
４Ａ）、（４Ｂ）はカセット収納ボックス（ＩＡ）の正
面側と背面側とに並行して、搬送作業が同時に可能とな
る。上記の例は、正面側搬送ロボット（４Ａ）に収納作
業、背面側搬送ロボット（４Ｂ）に払出し作業を同時に
行わせるものであったが、両者に収納作業を並行して行
わせることも可能であり、逆に両者に払出し作業を並行
して行わせることも可能である。また、受渡ステーショ
ン（７）が半導体製造処理装置であっても可能である。
４Ａ）、（４Ｂ）はカセット収納ボックス（ＩＡ）の正
面側と背面側とに並行して、搬送作業が同時に可能とな
る。上記の例は、正面側搬送ロボット（４Ａ）に収納作
業、背面側搬送ロボット（４Ｂ）に払出し作業を同時に
行わせるものであったが、両者に収納作業を並行して行
わせることも可能であり、逆に両者に払出し作業を並行
して行わせることも可能である。また、受渡ステーショ
ン（７）が半導体製造処理装置であっても可能である。
［発明の効果］
以上のように、この発明によればカセット収納ボックス
については前面および背面からカセットが出し入れでき
るようにし、搬送ロボットについては前面用の搬送ロボ
ット、背面用の搬送ロボットの２台を設置するように構
成したので、同装置の処理量を飛躍的に向上させること
ができるという効果がある。
については前面および背面からカセットが出し入れでき
るようにし、搬送ロボットについては前面用の搬送ロボ
ット、背面用の搬送ロボットの２台を設置するように構
成したので、同装置の処理量を飛躍的に向上させること
ができるという効果がある。
第１図はこの発明の一実施例による半導体ウェハカセッ
ト収納装置を示す斜視図、第２図は第１図の線ＩＩ −
ＩＩの断面図、第３図は従来の半導体ウェハカセット収
納装置を示す斜視図、第４図は第３図の線ＩＶ−ｒＶの
断面図である。 図において、（ＩＡ）はカセット収納ボックス、（ｌａ
）は支持部材、（１ｃ）は棚、（２Ａ）、（２Ｂ）は開
口部、（４Ａ）、（４Ｂ）は搬送ロボット、（５）は半
導体ウェハカセットを示すなお、図中同一符号は同一ま
たは相当部分を示す。 代理人 弁理士 大 岩 増 雄第１図 第２図 」 １ａ：支ｎｓａ 第３図 第４図 １ａ ｌｄ 手続補正書（自発） 昭和６３年１１ 月１５ 日 持許庁長官殿 １鯛
１、事件の表示 特願昭６３−１５５２１５号２、
発明の名称 半導体ウェハカセット収納装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号名
称 （６０１）三菱電機株式会社代表者志岐守哉 ４、代理人 ５、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 ６、補正の内容 （１）明細書第２頁第１３行の「二本平行状態」を「二
本の平行状態」に訂正する。 以上
ト収納装置を示す斜視図、第２図は第１図の線ＩＩ −
ＩＩの断面図、第３図は従来の半導体ウェハカセット収
納装置を示す斜視図、第４図は第３図の線ＩＶ−ｒＶの
断面図である。 図において、（ＩＡ）はカセット収納ボックス、（ｌａ
）は支持部材、（１ｃ）は棚、（２Ａ）、（２Ｂ）は開
口部、（４Ａ）、（４Ｂ）は搬送ロボット、（５）は半
導体ウェハカセットを示すなお、図中同一符号は同一ま
たは相当部分を示す。 代理人 弁理士 大 岩 増 雄第１図 第２図 」 １ａ：支ｎｓａ 第３図 第４図 １ａ ｌｄ 手続補正書（自発） 昭和６３年１１ 月１５ 日 持許庁長官殿 １鯛
１、事件の表示 特願昭６３−１５５２１５号２、
発明の名称 半導体ウェハカセット収納装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号名
称 （６０１）三菱電機株式会社代表者志岐守哉 ４、代理人 ５、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 ６、補正の内容 （１）明細書第２頁第１３行の「二本平行状態」を「二
本の平行状態」に訂正する。 以上
Claims (1)
- （１）半導体ウェハカセットを載置する棚がエンドレス
状支持部材により周回上に複数個配置されかつ前記支持
部材の駆動により前記棚が正面側および背面側の両開口
部に位置決めされるカセット収納ボックスと、このカセ
ット収納ボックスが複数個並置されたその正面側に沿っ
て移動可能に設置されかつ各カセット収納ボックスの前
記正面側開口部から前記半導体ウェハカセットを前記棚
に載せたり前記棚から前記半導体ウェハカセットを取り
出したりする正面側搬送ロボットと、前記各カセット収
納ボックスの背面側に沿って移動可能に設置されかつ各
カセット収納ボックスの前記背面側開口部から前記半導
体ウェハカセットを前記棚に載せたり前記棚から前記半
導体ウェハカセットを取り出したりする背面側搬送ロボ
ットとを備えたことを特徴とする半導体ウェハカセット
収納装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63155215A JPH01321648A (ja) | 1988-06-23 | 1988-06-23 | 半導体ウエハカセット収納装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63155215A JPH01321648A (ja) | 1988-06-23 | 1988-06-23 | 半導体ウエハカセット収納装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01321648A true JPH01321648A (ja) | 1989-12-27 |
Family
ID=15601031
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63155215A Pending JPH01321648A (ja) | 1988-06-23 | 1988-06-23 | 半導体ウエハカセット収納装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01321648A (ja) |
-
1988
- 1988-06-23 JP JP63155215A patent/JPH01321648A/ja active Pending
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