JP2002270683A

JP2002270683A - 半導体ウェハー用マガジンケース

Info

Publication number: JP2002270683A
Application number: JP2001070601A
Authority: JP
Inventors: Chikao Miyazaki; 親雄宮崎
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 2001-03-13
Filing date: 2001-03-13
Publication date: 2002-09-20

Abstract

(57)【要約】【課題】半導体ウェハーを収納ケースから取り出す場
合、ウェハーを傷つけることなく取り出すようにするこ
とを目的とする。【解決手段】半導体ウェハー用マガジンケース１０
は、スライドトレイ１１と、スライドケース１２から構
成される。また、スライドトレイ１１は鍔１１ａを有
し、スライドケース１２は、穴１２ａを有する。鍔１１
ａは、穴１２ａにはめ込まれ、移動可能である。このた
め、鍔１１ａを穴１２ａに沿って移動させることによ
り、スライドトレイ１１をスライドケース１２から引き
出し、半導体ウェハー１３を傷つけることなく安全に取
り出すことができる

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェハー用
マガジンケースに関し、特に半導体ウェハーの取り扱
い、搬送、保存に使用される半導体ウェハー用マガジン
ケースに関する。

【０００２】

【従来の技術】現在、半導体のチップ上のラインはより
細くなり、また、１枚の半導体ウェハーに多くの回路が
作成され、半導体ウェハーの大口径化へとつながった。
そのため、粒子汚染の防止のため、また、表面に傷がつ
くことを防止するため、半導体ウェハーの取り扱い、搬
送、保存を行うときは、半導体ウェハー数枚を１つの半
導体ウェハー用ケースに入れて行う。

【０００３】ここで、図４に従来の半導体ウェハー用ケ
ースを示す。従来の半導体ウェハー用収納ケース１は、
ケースの内部にウェハーを支持し、収めるための溝２と
鍔３を有している。また、鍔３の高さは全部同じであ
り、ケースに固定されている。さらに、１つのケースに
多くのウェハーを収納できるように、また、空間を効率
的に使用するためケース全体が小さく構成されるよう
に、隣接するウェハー間の距離は近いものとなってい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このような、半導体ウ
ェハー用収納ケースでは、収納されているウェハーを、
真空ピンセットなどを用いて手作業で取り出そうとする
場合、隣接するウェハーに接触し、表面を傷つける危険
性が生じる。また、ウェハーをケースに収めるとき、図
４に示すように半導体ウェハー４をケースの左右違った
段の溝２に入れる危険性も生じる。さらに、今日では、
ウェハーの大口径化が進み、研削後のウェハーは薄いた
め強度が低下し、ウェハーの外縁の部分を鍔３で支える
とウェハーの中心部分がたわみストレスがかかる。

【０００５】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、半導体ウェハーを傷つけることなく安全にウ
ェハーを取り出せる半導体ウェハー用マガジンケースを
提供することを目的とする。

【０００６】また、本発明の他の目的は、スライドケー
スを垂直、または、逆さにした時、ウェハーの脱落防止
をする半導体ウェハー用マガジンケースを提供すること
である。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明では上記問題を解
決するために、半導体ウェハーを収納する半導体ウェハ
ー用マガジンケースにおいて、１枚の半導体ウェハーを
収納するＵ字型のスライドトレイと、前記スライドトレ
イを複数枚収納し、前記スライドトレイを引き出せるス
ライドケースと、前記スライドケースを収納するキャリ
ーケースと、を有することを特徴とする半導体ウェハー
用マガジンケースが提供される。

【０００８】このような半導体ウェハー用マガジンケー
スによれば、半導体ウェハーを、スライドトレイを引き
出すことにより、容易に取り出し、収納することができ
る。また、前記スライドトレイはＵ字型の底板、側板、
上板からなり、前記底板の幅は前記上板の幅より大きく
することにより半導体ウェハーのたわみを防止し、スト
レスを減少する。さらに、上板は、前記スライドトレ
イ、または、スライドトレイを収納したスライドケース
を垂直、または、逆さとなるように置いた場合でもウェ
ハーの外縁部分に接触し脱落を防止する。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は、半導体ウェハー用マガジ
ンケースの斜視図を示した図である。半導体ウェハー用
マガジンケース１０は、スライドトレイ１１と、スライ
ドケース１２から構成される。スライドトレイ１１は、
鍔１１ａを有し、スライドケース１２は、穴１２ａを有
する。また、半導体ウェハー１３を図に示す。半導体ウ
ェハー１３はスライドトレイ１１に収められる。スライ
ドトレイ１１は、スライドケース１２に複数個収められ
ている。スライドトレイ１１が有する鍔１１ａは、スラ
イドケース１２の穴１２ａにはめ込まれている。そこ
で、鍔１１ａを穴１２ａに沿って手動で移動させると、
スライドトレイ１１が、スライドケース１２から引き出
される。

【００１０】図２は、スライドトレイの詳細を示す図で
あり、（ａ）は斜視図、(ｂ)は正面図、図（ｃ）は図
（ｂ）の示す図を上下逆にしたものである。また、図
(ｂ)、（ｃ）のスライドトレイは、半導体ウェハー１３
を収納している場合の図を示している。スライドトレイ
１１は、鍔１１ａ、Ｕ字型の底面部１１ｂ、側面部１１
ｃ、上面部１１ｄからなり、側面部１１ｃには鍔１１ａ
を有している。また、半導体ウェハー１３は、外縁部を
底面部１１ｂ、側面部１１ｃ、上面部１１ｄにより囲ま
れる部分に配置される。

【００１１】図２（ｂ）に示すように底面部１１ｂの幅
１１ｅは、上面部１１ｄの幅１１ｆより広く構成されて
いる。このように、底面部１１ｂの幅を広くしたことに
より、半導体ウェハー１３の外縁部は、底面部１１ｂと
広い面積で接触することになり、半導体ウェハーにかか
る矢印１１ｇ方向の圧力を分散し、外縁部に掛かるスト
レスや中心部分のたわみを防ぐ。また、上面部１１ｄ
は、図２（ｃ）に示すようにスライドトレイ１１を上下
逆に置かれた場合の半導体ウェハー１３の脱落を防止す
る。上面部１１ｄの幅１１ｆを狭くし、外縁部の狭い範
囲で接触することにより、半導体ウェハー１３の部品面
に傷がつくことを防止する。

【００１２】図３は、スライドケースの詳細を示す図で
ある。スライドケース１２は、穴１２ａと、側面部１２
ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅと、レール１２ｆから構成
される。側面部１２ｂ、１２ｃは、Ｕ字型からなる。側
面部１２ｄは、穴１２ａが設けてある。穴１２ａの幅
は、鍔１１ａが移動できる大きさにし、長さは半導体ウ
ェハーがスライドトレイ１１から有効に取り出せる長さ
にする。例えば、スライドトレイ１１に収められている
半導体ウェハー１３の中心が、側面部１２ｂの高さより
引き出されることが好ましい。レール１２ｆは、直線状
の棒状のものからなり、側面部１２ｄ、１２ｅの内側に
取り付けられ、穴１２ａと平行に取り付けられる。レー
ル１２ｆは、スライドトレイ１１の移動方向を固定す
る。

【００１３】上記説明のスライドトレイ１１、スライド
ケース１２のＵ字型の空洞部分の大きさ、形状は、収納
されている半導体ウェハーを取り出すのに、ロボットア
ーム等が操作できる大きさ、形状であればよい。

【００１４】また、半導体ウェハー用マガジンケースを
移動、運搬するときは、半導体ウェハー用マガジンケー
ス全体を囲むことができる専用の容器などに入れて行
う。

【００１５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の半導体ウ
ェハー用マガジンケースによれば、スライドケースから
半導体ウェハーを収納しているスライドトレイを引き出
す構成にした。これにより安全に半導体ウェハーを取り
出せることができる。

【００１６】特に、スライドトレイに鍔を備え、スライ
ドトレイを引き出せるようにしたので、より安全に半導
体ウェハーを取り出すことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】半導体ウェハー用マガジンケースの斜視図を示
した図である。

【図２】スライドトレイの詳細を示した図であり、
（ａ）は斜視図、(ｂ)は正面図、（ｃ）は図（ｂ）の示
す図を上下逆にしたものである

【図３】スライドケースの詳細を示した図である。

【図４】従来の半導体ウェハー用ケースを示した図であ
る。

【符号の説明】

１…半導体ウェハー用収納ケース、２…溝、３…鍔、４
…半導体ウェハー、１０…半導体ウェハー用マガジンケ
ース、１１…スライドトレイ、１１ａ…鍔、１１ｂ…底
面部、１１ｃ…側面部、１１ｄ…上面部、１１ｅ、１１
ｆ…幅、１１ｇ…矢印、１２…スライドケース、１２ａ
…穴、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅ…側面部、１２
ｆ…レール、１３…半導体ウェハー

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】半導体ウェハーを収納する半導体ウェハ
ー用マガジンケースにおいて、１枚の半導体ウェハーを収納するＵ字型のスライドトレ
イと、前記スライドトレイを複数個収納し、前記スライドトレ
イを引き出し可能にしたスライドケースと、を有することを特徴とする半導体ウェハー用マガジンケ
ース。
【請求項２】前記スライドトレイは鍔を有し、さらに
前記スライドケースは穴を有し、前記鍔を前記穴にはめ
込み前記鍔を持って前記スライドトレイを移動可能とす
ることを特徴とする請求項１記載の半導体ウェハー用マ
ガジンケース。
【請求項３】前記スライドトレイはＵ字型の底面部、
側面部、上面部からなり、前記底面部の幅は前記上面部
の幅より広いことを特徴とする請求項１記載の半導体ウ
ェハー用マガジンケース。