KR100236273B1

KR100236273B1 - 클린룸용 보관고

Info

Publication number: KR100236273B1
Application number: KR1019930000637A
Authority: KR
Inventors: 히또시 가와노; 앗쯔시 오꾸노; 마사노리 쯔다; 미쯔히로 하야시; 뎃베이 야마시따; 마사나오 무라다; 쯔요시 다나까; 데루야 모리따; 아끼오 나까무라
Original assignee: 이노마다 시게오; 신코덴키 가부시키가이샤
Priority date: 1992-01-27
Filing date: 1993-01-20
Publication date: 1999-12-15
Also published as: TW227545B; JP3082389B2; JPH05201506A; KR930016317A

Abstract

웨이퍼등을 긴밀성의 콘테이너에 수납하여 보관하는 것에 있어서, 콘테이너의 오염으로 기인하는 웨이퍼등의 입자오염등을 방지할 수 있는 클린룸용 보관고를 제공함을 목적으로 한다.

하나 또는 복수의 보관유니트(10), 이 보관유니트의 각 보관 구역 (S)에 대한 보관물을 내고 넣고하는 이적재기구를 탑재한 자동이적재장치와를 구비하고, 클린룸내에 설치되는 보관고에 있어서, 상기 내고넣고하는 보관물이 입자오염 또는/및 화학 오염을 싫어하는 물품 W를 긴밀히 수납가능하고 뚜껑 시정(施錠)기구를 가지는 콘테이너(40)이고 콘테이너 자동세정부(50)을 구비함을 특징으로하는 것.

Description

클린룸용 보관고

제1도는 본 발명 실시예의 보관유니트를 나타낸 정면도,

제2도는 상기 실시예의 요부확대도,

제3도는 상기 실시예의 카세트를 임시로 두는 에어리어(area)를 도시한 도,

제4도는 상기 실시예에서 콘테이너 세정스테이션을 도시한 도,

제5도는 상기 실시예에 있어서 간이 콘테이너 세정유니트를 도시한 도,

제6도는 클린룸용 보관고의 구체적 예를 도시한 사시도,

제7도는 상기 구체적 예의 정면도,

제8도는 상기 구체적 예에서의 웨이퍼 보관 유니트의 정면도,

제9도는 상기 구체적 예에서의 보관물 자동 입출 유니트를 도시한 도,

제10도는 상기 구체적 예에서의 콘테이너의 구조를 도시한 도,

제11도는 실리콘 반도체 웨이퍼의 자연산화막의 형성과 시간과의 관계를 도시한 도,

제12도는 실리콘 반도체웨이퍼의 자연산화막의 형성과 시간과의 관계를 도시한 도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 웨이퍼 보관고(保管庫) 2 : 보관물반입부

2A : 에이프런(apron) 3 : 콘테이너 이동적재부

3A : 콘테이너 입출고구 5 : 플레이트(plate)

10 : 웨이퍼 보관 유니트 11 : 시렁

20 : 이동적재장치 30 : 보관물 입출유니트

40 : 콘테이너 41 : 용기

42 : 콘테이너 뚜껑 44∼47 : 자물쇠기구

48∼49 : 자물쇠개폐기구 50 : 콘테이너 자동세정부

60 : 콘테이너 세정준비스테이션 70 : 콘테이너 세정스테이션

80 : 세정실 81 : 문

92 : 고성능필터 80A : 세정부

96 : 간이콘테이너 세정유니트 S1 : 콘테이너 이동적재 에어리어(area)

S2 : 카세트 임시에어리어 100 : 고순도 청정공기 공급유니트

101 : 필터 102 : 고성능필터

103 : 팬 92, 90C, 90D : 밸브

48 : 캠축 49 : 캠축 구동기구

본 발명은 클린룸 내에 있어서 반도체 웨이퍼, 액정표시기판, 디스크 등을 일시적으로 보관하는 클린룸용 보관설비에 관한 것이다.

클린룸 내의 물품보관시설로서는 종래의 일본국 특개평 1-41561호 공보에 기재된 것이 있다. 여기에 개시되어 있는 물품보관 시설은 물품보관실내에 상하 방향 및 횡방향으로 복수의 구역 수납공간을 가지는 물품보관시렁과 양측으로 늘어서는 물품보관시렁간의 중앙통로에 연하여 깔려져 있는 일정 경로상을 주행자제하고, 승강 및 횡방향 진퇴 자제한 화물출입기구를 가지는 반입반출장치를 구비하고 있다. 이 종류의 물품보관설비에서는 물품보관시렁의 하부측에 공기 공급장치를 설치하여 이 공기공급장치에서의 공기를 필터를 통해 청정공기로 하여 물품보관시렁의 뒷부분에서 반입반출장치 쪽으로 불어내도록 하여 먼지가 물품보관시렁쪽으로 부유하고 체류하는 것을 방지하고 있다.

또한, 반입반출장치는 자동주행대차상에 화물출입기구를 안내하는 승강안내장치와 승강구동장치를 탑재하고 있으므로 마모에 의한 먼지가 발생하고, 그대로서는 이 먼지가 마루밑쪽으로 흡입 제거되지 않고 물품보관시렁쪽으로 옮겨가서 반도체 웨이퍼등에 부착하기 때문에 반입반출장치의 자동주행대차상에 탑재되어 있는 승강안내장치와 승강구동장치등의 전체에 커버로 덮을 뿐만 아니라 주행대차하면쪽에 공기흡입장치를 설치하여 커버내에서 발생한 상기 먼지를 공기흡입장치의 밑으로 흡입하여, 마루밑쪽으로 흡입 제거하도록 하고 있다.

이와 같이 클린룸 내에 종래의 물품관리설비에서는 물품보관시렁의 뒷부분에서 상기 중앙통로쪽으로 향하는 클린에어의 기류를 형성시켜서 부유먼지가 물품보관시렁의 물품(웨이퍼카세트에 수납되어 있는 반도체 웨이퍼)에 부착하는 것을 방지하도록 하고 있다.

그러나, 이 종류의 종래 웨이퍼 보관고는 내부전체를 고청정 분위기로 유지하는 구성이므로 고성능필터를 사용한 대대적인 청정공기 공급시스템 혹은 순환시스템이 필요하고, 내부도 그 전체를 청정도를 유지하기 위한 구조·형상으로, 또 물품재료도 이를 고려하여 사용하지 않으면 안되어 대형이고 고가로 되는 외에 보전(maintenance)성이 나쁘다는 문제가 있었다.

또 정전이 생기면 청정공기공급시스템 혹은 순환시스템이 정지하여 웨이퍼 보관고내 전체의 청정도가 저하해버리는 문제가 있어 반송장치나 기타의 구성요소가 고장난 때, 그 고장과 보전으로 기인하는 오염은 웨이퍼 보관고내 전체에 퍼지므로 보전도 마음대로 할 수 없는 문제가 있었다.

근래, 더욱더 반도체 IC의 고집적화가 진보됨에 따라 보관중의 자연산화에 의한 산화막의 형성이 문제화 되어 왔다.

제11도 및 제12도는 『초 LSI 울트라크린 테크놀러지 심포지움』(1990년 11월 19일)에서 발표된 논문중에 기재되어 있는 것으로, 제11도는 실리콘 반도체 웨이퍼의 자연산화에 의한 산화막의 형성과 시간과의 관계를 나타내고, 제12도는 웨이퍼를 대기중에 폭로하여 자연산화막을 붙여, 에피터케샬 성장이 된 경우의 웨이퍼의 저항률과 시간과의 관계를 나타내고 있다. 이 논문에 의하면, 실리콘 반도체 웨이퍼를 대기에 폭로하여 두면 제11도의 도시되는 바와 같이 100∼200분 후에는 산화막의 성장률이 높아지고, 제12도에 나타내는 바와 같이 저항률은 클리닝이 없을 때에는 거의 50분후 부터 급격히 높아져 있다.

이 자연산화막의 성장을 방지하기 위해, 웨이퍼 이동·반송등을 웨이퍼에 대하여는 불활성인 가스(예컨데 질소가스, 건조공기) 분위기 중에서 행할 필요성이 생기고, 현재에는 산소의 농도가 10ppm이하 수분의 농도가 100ppm이하인 질소 등의 불활성인 가스 분위기가 요구되도록 되었다.

이 때문에, 종래에 특별히 설계한 클린룸내에서 행하여 왔던 반도체 처리를 당해 클린룸 내에, 예를 들면 일본국 특개소 64-14623호 공보에 개시되어 있는 바와 같이, 기계식 인터페이스장치를 설치하여 이 기계식 인터페이스장치내를 상기 질소가스 분위기로 하여 당해 장치내에서 행하도록 되었다.

그러나, 물품보관고는 통상 반도체웨이퍼를 수시간 내지 수일간에 걸쳐 보관하므로 물품보관고내에서의 자연산화막의 형성이 문제가 된다.

본 출원인은 이와 같은 문제를 해소하기 위하여 웨이퍼카세트를 누드상태로 보관하는 것이 아니고, 기밀성의 콘테이너에 수납하여 보관가능한 보관고, 게다가 기밀성의 콘테이너에 수납하여 보관가능하며, 또한 불활성가스퍼지기능을 갖는 보관고를 제안한다.

이하, 이 기밀성 콘테이너에 수납하여 보관 가능한 클린룸용 보관고의 구체적 예를 설명한다.

제6도 내지 제10도에 있어서, 1은 웨이퍼 보관고 전체를 표시하고 웨이퍼 보관고(1)는 두대의 웨이퍼 보관 유니트(10, 10)를 수납하고 있다. 양 웨이퍼 보관 유니트(10, 10)는 좌우방향에 소정간격으로 떨어져서 대향 배치되고 양자간을 자유주행식 이동적재장치(20)가 주행하는 웨어퍼이동적재 작업공간으로 구획되어 있다.

웨이퍼 보관 유니트(10)는 제8도에 도시하는 바와 같이, 다단(多段)의 시렁(11)을 가지는 시렁식의 보관유니트이나 웨이퍼카세트를 기밀 콘테이너(40)(제10도에 도시)에 수납한 형태로 보관한다. 시렁(11)에는 길이 방향으로 소정의 간격을 두고 보관구역(S)이 설치되어 있다.

이 때문에 웨이퍼 보관고(1)의 보관물 반입반출부(2)에는 보관 유니트(10)의 시렁(11)에서 빈 상기 콘테이너(40)가 이동적재되는 빈 콘테이너 이동적재부(3)와 상기 보관물 반입반출부(2)에 반입된 웨이퍼 카세트를 콘테이너(40)내로 반입하는 보관물 자동 입출 유니트(제9도에 도시)를 구비하고 있다.

웨이퍼 보관고(1)의 보관물 반입반출부(2)는 상기 웨이퍼 이동 적재작업 공간의 한쪽 단부측에 위치하므로 자동주행식 이동적재장치(20)의 핸들링부(25)는 링기구로 되어 있다. 이동적재장치(20)는 마루의 보관유니트(10, 10)의 전면에 깔려져 있는 레일(21)위를 전후로 주행하는 본체부(22)와 이 본체부(22)에서 위로 연신하는 마스트(23)와 이 마스트(23)에 안내되어 승강하는 승강부(24)와 이 승강부(24)에 지지된 상기 핸들링부를 가지는 이동적재장치(Stocker Crain)이고 본체부(22)는 도시되지 않은 제어장치가 내장되어 있다.

제9도에 있어서, 보관물 자동 입출 유니트는 뚜껑승강대(31)를 구비하는 엘리베이터이고, 승강기구는 본 예에서는 기어유니트(32)와 모터(33) 및 안내통(34)에 수납된 나사축(35)으로 되고, 이 나사축(35)에 승강대(31)의 지지축(36)의 하단부가 나합되어 있다. 뚜껑승강대(31)는 보관물 반입반출부(2)의 하나의 구성요소이고, 반입대를 겸하고 있다. 빈 콘테이너 이동적재부(3)의 이동적재대는 카세트 반입용 포트(4)를 가지는 판상의 플레이트(5)이고, 지지대(6)에 고정 지지되어 있다. 또, 보관물 반출입부(2)를 구획하는 대(7)에 구멍(8)이 형성되어 있다. 승강대(31)는 상면높이가 대(7)면과 동일면이 되는 높이까지 이 구멍(8)내로 하강하고(반입위치), 또 포트(4)내로 상승한다. (9)는 칸막이 벽이다.

콘테이너(40)의 퍼지(41A)가 달린 용기(41)는 씰(seal)부재를 개재하여 콘테이너 뚜껑(42)으로 기밀히 폐쇄되나, 이 콘테이너 뚜껑(42)은 안이 비어있고, 제10도에 도시하는 바와 같이, 자물쇠 기구를 내장하고 있다. 도면에 있어서 (43)은 캠이고, (45)는 판상의 로크암(lock arm)이며 전동자(45a)를 가지며, 길이 방향으로 진퇴가능하고, 또한 기울어 넘어짐이 가능하게 모서리부가 지지되어 있다. (46)은 지점부재, (47)은 용수철이다. 캠축(48)은 뚜껑승강대(31)의 위벽 중앙에서 콘테이너 뚜껑(42)내로 뻗어있고, 뚜껑승강대(31)위에 콘테이너 뚜껑(42)이 같은 중심으로 적치된 때 캠(44)과 스프라인 계합한다. 뚜껑승강대(31)는 안이 비어 있으며, 캠축(48)을 소정각도만큼 회동하는 캠축 구동기구(49)를 내장하고 있다. 이 캠축 구동기구(49)와 캠축(48)과는 자물쇠 개폐기구를 구성하고 있다.

그리고, 캠(44)은 특수한 캠면을 가지며, 당해 캠(44)이 회전하면 록크암(45)이 감압요부(41C)로 향하여 도시된 화살표방향으로 변위하고, 선단부가 감압요부(41C)에 계합된다. 이 계합상태에서는 용기(41)의 개구(41p)와 콘테이너 뚜껑(42)과의 사이가 씰재로 기밀히 밀봉되어 있다. (43)은 용기(41) 프렌지(41B)의 하면에 고착된 씰재이다.

이 구성에 있어서, 보관물 자동 입출 유니트(30)의 뚜껑승강대(31)가, 제9도에 도시하는 바와 같이, 플레이트(5)의 포트(4)내에 위치되어 있다고 할 때(입출 위치) 이 상태에서, 빈 콘테이너(40)가 어느 시렁(11)에서 빈 콘테이너 이동적재부(3)로 이동적재장치(20)에 의해 이동적재되어 플레이트(5)위에 적치되면 캠축(48)이 콘테이너 뚜껑(42)내로 돌출하여 캠(44)과 스프라인 계합한다. 빈 콘테이너(40)의 플레이트(5)위로 이동적재가 완료되면 캠축 구동기구(49)가 작동하고, 캠(44)이 회동하여 로크암(45)이 콘테이너 뚜껑 중심축으로 변위하고 감압요부(41C)와의 계합이 풀리어 자물쇠가 풀린다. 용기(41)와 콘테이너 뚜껑(42)과의 로크(lock)가 해제되면 뚜껑승강대(31)가 상기한 반입위치까지 하강한다. 이때, 콘테이너 뚜껑(42)은 뚜껑승강대(31)와 같이 하강한다. 뚜껑승강대(31)가 상기 반입위치에 위치결정되면 보관물 반입부(2)의 에이프런(2A)상으로 이동적재되어 있던 웨이퍼카세트W가 도시되지 않은 이동적재로보트등에 의하여 뚜껑승강대(31)에 재치되어 있는 것이 콘테이너 뚜껑(42) 위로 이동적재된다. 웨이퍼카세트W가 콘테이너 뚜껑(42)상에 이동적재되면 뚜껑승강대(31)가 상기 입출 위치까지 상승한다. 뚜껑승강대(31)가 상기 입출 위치까지 상승하여 콘테이너 뚜껑(42)이 용기(41)의 개구(41p)를 폐쇄하면 캠축 구동기구(49)가 작동하여 캠축(48)이 상기와는 역으로 회동하여 로크암(45)이 감압요부(41C)로 향하여 도시된 화살표방향으로 변위하고, 선단부가 감압요부(41C)에 계합한다. 이로 인하여, 콘테이너 뚜껑(42)이 씰재를 개재하여 용기(41)의 개구(41p)를 기밀히 밀봉한다.

이와 같이 하여, 웨이퍼카세트W가 웨이퍼 보간고(1)내의 콘테이너(40)에 기밀히 수납되어 웨이퍼카세트W를 수납한 콘테이너(40)는 이동적재장치(20)에 의해 지정된 시렁의 지정된 위치로 이동적재되어, 여기에서 일시적으로 보관된다. 이와 같이, 본 예에서는 웨이퍼카세트W를 기밀 콘테이너(40)에 수납하여 보관하므로 웨이퍼 보관고(1)내 전체를 높은 청정 분위기로 유지할 필요가 없다.

그런데, 기밀성의 콘테이너에 수납하여 보관하는 유형의 것들은 콘테이너의 용기 안이나 뚜껑의 내면이 청정한 때에는 피보관물의 입자오염을 일으키지 않지만, 웨이퍼등을 반복 보관하고 있는 동안에는 웨이퍼 보관고의 분위기중에 부유하는 입자에 의해 콘테이너 내의 분위기의 오염과 웨이퍼등에서의 약품등에 의한 콘테이너 오염이 생겨 기밀성의 콘테이너에 수납하여 보관하는 메리트가 감소된다.

본 발명은 이 문제를 해결하기 위하여 이루어진 것으로, 웨이퍼 등을 기밀성의 콘테이너에 수납하여 보관하는 것에 있어서, 콘테이너의 오염으로 기인하는 웨이퍼등의 입자오염등을 방지할 수 있는 클린룸용 보관고를 제공함을 목적으로 한다.

청구항 1은 보관구역을 가지는 보관 유니트와, 이 보관 유니트의 각 보관구역에 대하여 보관물을 반입반출하는 이동적재기구를 탑재한 자동이동적재 장치와, 상기 반입반출되는 보관물은 입자오염 또는 화학오염을 싫어하는 물품을 기밀히 수납가능하게 뚜껑시정기구를 가지는 콘테이너이고, 상기 콘테이너에 대하여 상기 물품을 자동적으로 출납하는 장치를 구비하고, 클린룸내에 설치되는 보관고에 있어서, 콘테이너에 대하여 물품을 자동적으로 출납하는 기구를 구비한 콘테이너 세정준비스테이션(60)과, 이 콘테이너 세정준비스테이션(60)에서 혹은 상기 보관구역에서 공급되는 빈 콘테이너를 세정액체에 폭로하는 세정실(80)을 구비한 콘테이너 세정스테이션(70)으로 되는 콘테이너 자동세정부(50)를 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 2는 콘테이너 세정준비스테이션(60)은 콘테이너 이동적재 에어리어(S1)와 물품 임시재치에어리어(S2)를 가지고, 콘테이너 이동적재 에어리어(S1)의 하나 혹은 복수의 콘테이너재치대에는 포트와 뚜껑승강대를 구비하고, 이 포트내에서 콘테이너 바닥뚜껑 시정기구와 뚜껑승강대의 시정개폐기구와 계합되어 물품이 출납되는 것을 특징으로 한다.

청구항 3은 콘테이너 세정준비스테이션의 물품 임시재치에어리어(S2)는 높은 청정 분위기 혹은 불활성가스 분위기임을 특징으로 한다.

청구항 4는 복수의 콘테이너재치대중 어느 것인가 세정이 끝난 빈 콘테이너가 이동적재되는 콘테이너 이동적재대이고, 당해 콘테이너 이동적재대상의 빈 콘테이너로 다른 콘테이너 이동적재대상의 미세정 콘테이너에서 취출된 물품이 바꾸어 옮겨지는 것을 특징으로 한다.

청구항 5는 콘테이너 세정스테이션의 세정실은 세정액 분사계통과, 건조기체 분사계통과를 가지고 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 6은 콘테이너의 바닥뚜껑은 콘테이너 세정준비스테이션의 물품 임시재치에어리어(S2)에서 기체세정되는 것을 특징으로 한다.

청구항 7은 콘테이너는 ID코드가 설치되어 있고, 당해 ID 코드를 이용하여 세정이력이 관리되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에서는 보관물 반입반출부로 외부에서 반입된 웨이퍼카세트는 당해 보관물 반입반출부에 있는 보관물 자동 입출 유니트에 의해 콘테이너에 수납되고, 혹은 콘테이너에 넣어진 형태로 보관물 반입반출부에 반출되어 이동적재장치에 의해 보관유니트 시렁의 보관구역에 반송되어 이곳에서 보관된다.

또, 콘테이너를 세정할 때는 콘테이너를 콘테이너 자동세정부로 이동적재하는 것만으로 콘테이너에서의 물품의 반출, 콘테이너의 세정스테이션의 이동적재, 콘테이너 세정, 세정한 콘테이너에 상기 물품의 수납 등이 미리 정해진 순서로 자동적으로 실행된다.

[실시예]

이하 본 발명의 한 실시예를 도면을 참조하여 설명한다.

제1도 내지 제4도에 있어서, (50)은 콘테이너 세정부이고, 한쪽의 웨이퍼 보관 유니트가 일부에 설치되고, 콘테이너 세정준비스테이션(60)과 콘테이너 세정실(70)로 되어있다.

콘테이너 세정준비스테이션(60)은 (제2도) 콘테이너(40)를 이동 적재되는 콘테이너재치대(61과 62)를 가지는 콘테이너 이동적재 에어리어(S1)를 가지며, 이 에어리어(S1)의 밑에 당해 에어리어와 칸막이대(63)로 구분되어진 카세트 임시재치에어리어(S2)가 설치되어 있고, 콘테이너재치대(61과 62)의 밑에는 제9도에 도시된 보관물 자동 입출 유니트(30)와 동형의 보관물 자동 입출 유니트(300A와 300B)가 각각 배설되어 있다.

콘테이너 이동적재대(61과 62)는 제9도에 도시한 카세트가 통과 가능한 포트(4)와 같은 포트를 가지며, 카세트 임시재치에어리어(S2)의 구분대(65)에 설치한 임시재치부(66)의 좌우에는 뚜껑승강대(31)가 대피 가능한 구멍(64)이 형성되어 있다. 뚜껑승강대(31)는 상면높이가 임시재치대 면과 같은 높이까지 이 구멍(64)내로 하강하고, 또 포트(4)내로 상승한다.

콘테이너 세정준비스테이션(60)의 카세트 임시재치에어리어(S2)는, 제3도에 도시하는 바와 같이, 보관유니트(10)의 뒷벽으로부터 이동적재장치(20)쪽에 고순도 청정공기공급유니트(100)를 통한 초고순도기체가 흐르고 있다. (101)은 프리필터(free filter), (102)는 고성능 필터, (103)은 팬이다.

콘테이너 세정스테이션(70)은 제4도에 표시하는 세정실(80)을 가지고 있다. 제4도에 있어서, (81)은 밀폐식의 자동문이다. (82)는 망 시렁식, 혹은 파이프 시렁식의 콘테이너재치대, (83)은 세정실(80)의 천정 근방에 설치되어 하향으로 다수의 분사 노즐을 가지는 상부 건조기체 분사부, (84)는 콘테이너재치대(82)의 하방에 설치되어 상향으로 다수의 분사노즐을 가지는 하부건조기체분사부이고, 분사부는 배관(85)을 통하여 웨이퍼 보관 유니트 밖에 있는 기체공급장치에 접속되어 있다. 건조기체로서는 필터를 통과한 고순도의 공기 또는 질소가스등이 사용된다. (86)은 배기장치이다. (87)은 세정실(80)의 천정근방에 설치되어 하향의 다수의 노즐을 가지는 상부세정액체분사부, (88)은 콘테이너 적치대(82)의 하방에 설치된 상향의 복수의 노즐을 가지는 하부세정액체분사부이고, 양분사부는 배관(89)을 통하여, 세정실(80)의 밑에 설치된 기계실의 액체공급장치(90)에 접속되어 있다. 액체공급장치(90)는 필터(90A)와 순환용 펌프(90B)를 구비하며, 개폐변(90C, 90D)을 개재하여 웨이퍼 보관 유니트 밖에 있는 도시되지 않은 세정액체탱크와 순수탱크에 접속되어 있다. (91)는 누드형의 집액체이고, 여기로 낙하한 세정액은 개폐변(91)을 통하여 액체공급장치(90)로 흐른다. 세정액으로서는 세제 또는 순수, 세제와 순수의 혼합액이 사용된다.

다른 구성은 상기 제6도 내지 제10도로 도시한 보관고(1)와 같으므로 동일 또는 상응부분에는 같은 부호를 붙였다.

이 구성에 있어서, 세정을 필요로 하는 콘테이너(40)는 보관구역(S)으로부터 이동적재장치(20)에 의한 콘테이너 세정준비스테이션(60)의 콘테이너재치대(61)에 이동적재된다.

(1) 세정을 필요로 하는 콘테이너(42)가 예컨데 콘테이너재치대(61)에 이동적재되면 보관물 자동 입출 유니트(300A)가 작동하여 상기한 콘테이너(40)의 해정(解錠)동작, 뚜껑승강대(31)의 하강동작이 행해지고 콘테이너(40)내에 있던 웨이퍼카세트W가 카세트 임시재치에어리어(S2)로 취출된다.

이때, 콘테이너 뚜껑(42)은 고순도 청정공기공급유니트(100)를 통해 초고순도 기체에 폭로되는 위치에 있다.

(2) 카세트 임시재치에어리어(S2)로 취출된 웨이퍼카세트W는 구멍(64)의 인근에 있는 카세트 임시재치부(66)로 이동적재장치(20)에 의하여 이동적재된다.

(3) 이어서, 세정실(80)의 자동문(81)이 열려 빈 콘테이너(40)의 용기(41)는 이동적재장치(20)에 의하여 세정실(80)의 콘테이너재치대(82)로 이동적재되고, 상기 자동문(81)이 닫혀진다.

(4) 세정실(80)은 세정액을 소정시간동안 용기(41)외면과 용기(41)내면에 분무하여 용기(41)를 세정하고, 이 세정이 끝나면 건조기체를 소정시간동안 용기(41)외면과 용기(41)내면에 분무하여 용기(41)를 건조한다.

(5) 건조가 끝난 용기(41)는 이동적재장치(20)에 의하여 세정실(80)에서 반출되고, 콘테이너재치대(61)에 이동적재된다.

(6) 카세트 임시재치에어리어(S2)로 하강된 상태이던 콘테이너 뚜껑(42)위에 카세트 임시 재치부(66)에 있던 웨이퍼카세트W가 이동적재장치(20)에 의하여 이동적재된다.

(7) 이 이동적재가 끝나면 보관물 자동 입출 유니트(300A)의 뚜껑승강대(31)가 콘테이너 뚜껑(42) 및 웨이퍼카세트W를 적재한 채로 상승하여 콘테이너 뚜껑(42)을 용기(42)의 개구내로 위치결정하고, 콘테이너(40)를 시정(施錠)한다.

(8) 콘테이너(40)의 시정이 끝나면, 이동적재장치(20)에 의하여 콘테이너는 당초의 보관구역(S)으로 이동적재된다.

뿐만 아니라, 콘테이너 뚜껑(42)은 용기(41)의 세정실(80)에서 세정·건조되는 동안, 카세트 임시재치에어리어(S2)로 흐르는 초고순도 기체의 흐름으로 기체 세정된다. 또, 콘테이너 뚜껑(42)은 세정실(80)의 건조공정의 고압공기 혹은 질소를 이용하여 기체 세정하도록 하여도 좋다.

콘테이너(40)는 이 용기(41)에 설치된 ID코드를 이용하여 이동적재장치(20)의 도시되지 않은 제어장치에서 비어있는 지의 여부와, 어느 보관구역에 보관되어 있는가 등이 관리되지만, 본 실시에에서는 세정이력도 관리된다. 물론, 콘테이너가 보관고내에서만 이용되는 닫혀진 시스템인 경우와 콘테이너가 상위 컴퓨터로 관리되는 경우는 ID코드가 없어도 세정이력의 관리는 가능하다.

또, 상기한 세정 순서에서는 콘테이너(40)의 용기세정이 끝날때까지 웨이퍼카세트W가 카세트 임시재치에어리어(S2)에 두어진 그대로가 되므로 그동안에 당해 웨이퍼카세트에 대한 출고지시가 나간 경우 출고할 수 없게 된다. 이를 방지하기 위하여, 본 실시예에서는 콘테이너 이동적재(62)와 보관물 자동 입출 유니트(300B)를 설치하고 있다. 혹은, 세정시 들어내어진 카세트는 (S2)에어리어에 두지 않고 미리 준비한 별도의 콘테이너에 바꿔 넣도록 해도 좋다.

이 경우, 콘테이너 이동적재대(62)에는 세정이 끝난 빈 콘테이너가 이동적재되고 콘테이너재치대(61)상의 콘테이너에서 카세트 임시 재치에어리어(S2)로 취출된 웨이퍼카세트W는 이동적재장치(20)로 보관물 자동 입출 유니트(300B)의 뚜껑승강대(31)상에 있는 콘테이너 뚜껑에 이동적재되어 뚜껑승강대(31)에 의해 상기 세정이 끝난 콘테이너로 수납된다.

상기 실시예에서는 세정실(80)과 콘테이너재치대(61, 62)와의 사이의 콘테이너에 이동적재를 이동적재장치(20)로 행하고 있으나, 전용의 이동적재로보트를 설치하는 경우도 있다.

상기 실시예에서는 세정실(80)에서 콘테이너(40)의 용기(41)의 내외면을 세정하고 있으나, 세정실(80) 대신에 용기내면(41)만을 세정하는 간이세정유니트를 설치하여도 좋다.

제5도는 이 간이세정유니트를 설치한 예를 도시한 것으로서, 제2도에 도시된 세정준비스테이션(60)의 일부를 세정부(80A)로 이용한 것이다. 간이세정유니트(93)는 콘테이너재치대(62)의 밑에 기밀히 부착되어 있다. 간이세정유니트(93)의 용기(94)는 위로 개구되고, 하부가 송곳형(원추형)으로 지름이 축소된 통체이고 밑중앙에서 액체배급관(95)이 뻗어져 있다. 이 배관(95)은 제4도에 도시된 액체공급장치(90)와 같은 구성의 액체공급장치에 접속된다. 용기(94)내의 아래쪽에는 상향으로 복수의 노즐을 가지는 세정액체분사부(88A)와 건조기체분사부(84A)가 배설되어 있다. 세정액체분사부(88A)는 웨이퍼 보관 유니트 밖에 있는 상기 공급장치에서 세정액을 공급한다. 건조기체 분사부(84A)는 배관을 통하여 웨이퍼 보관 유니트 밖에 있는 기체 공급장치에 접속되어 있다.

이 구성에 있어서, 상기(2)의 과정(step)후에 빈 콘테이너(40)의 용기(41)는 이동적재장치(20)에 의하여 세정실(80A)의 콘테이너재치대(62)에 이동적재되어, 고정구(96)로 당해 콘테이너재치대(62)에 기밀히 고정되어 간이 세정유니트(92)에 의해 용기내면을 세정한다.

또한, 상기 각 실시예에서 콘테이너로서 불활성가스를 퍼지하는 콘테이너를 사용하는 경우는 카세트 임시재치에어리어(S2)를 불활성가스를 퍼지하는 구성으로 하던가 혹은 별도 퍼지유니트를 설치하여, 퍼지하도록 하여도 좋다.

본 발명은 위에서 설명한 바와 같이, 웨이퍼카세트를 누드상태로 보관하는 것이 아니고 기밀성의 콘테이너에 수납하여 보관하는 것에 있어서, 콘테이너를 자동세정할 수 있는 콘테이너 세정부를 설치하였기 때문에 콘테이너 오염으로 기인되는 웨이퍼등의 오염을 방지할 수 있고, 기밀성의 콘테이너에 수납하여 보관하는 보관고가 가지는 효과를 충분히 발휘할 수 있다.

Claims

보관구역을 가지는 보관 유니트와, 이 보관 유니트의 각 보관구역에 대하여 보관물을 반입반출하는 이동적재기구를 탑재한 자동이동적재 장치와, 상기 반입반출되는 보관물은 입자오염 또는 화학오염을 싫어하는 물품을 기밀히 수납가능하게 뚜껑시정기구를 가지는 콘테이너이고, 상기 콘테이너에 대하여 상기 물품을 자동적으로 출납하는 장치를 구비하고, 클린룸내에 설치되는 보관고에 있어서, 콘테이너에 대하여 물품을 자동적으로 출납하는 기구를 구비한 콘테이너 세정준비스테이션(60)과, 이 콘테이너 세정준비스테이션(60)에서 혹은 상기 보관구역에서 공급되는 빈 콘테이너를 세정액체에 폭로하는 세정실(80)을 구비한 콘테이너 세정스테이션(70)으로 되는 콘테이너 자동세정부(50)를 구비한 것을 특징으로 하는 클린룸용 보관고.
제1항에 있어서, 콘테이너 세정준비스테이션(60)은 콘테이너 이동적재 에어리어(S1)와 물품 임시재치에어리어(S2)를 가지고, 콘테이너 이동적재 에어리어(S1)의 하나 혹은 복수의 콘테이너재치대에는 포트와 뚜껑승강대를 구비하고, 이 포트내에서 콘테이너 바닥뚜껑 시정기구와 뚜껑승강대의 시정개폐기구가 계합되어 물품이 출납되는 것을 특징으로 하는 클린룸용 보관고.
제1항 또는 제2항에 있어서, 콘테이너 세정준비스테이션의 물품 임시재치에어리어(S2)는 높은 청정 분위기 혹은 불활성가스 분위기임을 특징으로 하는 클린룸용 보관고.
제1항에 있어서, 복수의 콘테이너재치대중 어느 것인가 세정이 끝난 빈 콘테이너가 이동적재되는 콘테이너 이동적재대이고, 당해 콘테이너 이동적재대상의 빈 콘테이너로 다른 콘테이너 이동 적재대상의 미세정 콘테이너에서 취출된 물품이 바꾸어 옮겨지는 것을 특징으로 하는 클린룸용 보관고.
제1항에 있어서, 콘테이너 세정스테이션의 세정실은 세정액 분사계통과, 건조기체 분사계통과를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 클린룸용 보관고.
제4항에 있어서, 콘테이너의 바닥뚜껑은 콘테이너 세정준비스테이션의 물품 임시재치에어리어(S2)에서 기체세정되는 것을 특징으로 하는 클린룸용 보관고.
제1항에 있어서, 콘테이너는 ID코드가 설치되어 있고, 당해 ID 코드를 이용하여 세정이력이 관리되는 것을 특징으로 하는 클린룸용 보관고.