JPS6036205A - 収納装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明は、収納技術、特に、半導体装置の製造における
ホトマスクの保管システムに利用して有効な技術に関す
る。

［背景技術］ 半導体装置の製造において使用されるホトマスク（以下
、マスクという。〉は、多品種小量生産化に伴ってその
枚数が膨大になり、その保管の自動化およびコンピュー
タによる管理の確立が必要になると考えられる。

かかるマスクは座環異物の付着をきらうため、保管に際
しては、１枚ずつケースに収納して保管する必要がある
と考えられる。

膨大な数のマスクを１枚ずつケースに収納して保管する
場合、ケースからの取り出しを手作業により実施すると
、作業性が低下するばかりでなく、手あか等による汚染
や作業ミスが発生するという問題点があることが、本発
明者によって明らかにされた。

［発明の目的］ 本発明の目的は、物品を収納したケースを保管部から採
取して物品をケースから取り出すことができる収納装置
を提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

［発明の概要コ 本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。

すなわち、ケースを複数個保管する保管部と、ケースを
開閉させる開閉操作部と、ケースから物品を取り出す取
り出し部と、保管部からケースを採取して開閉操作部に
移送する移送部とを設けることにより、手作業によらず
に、ケースから物品を自動的に取り出せるようにしたも
のである。

［実施例］ 第１図は本発明の一実施例である収納装置を示す斜視図
、第２図はその平面図、第３図は要部の断面図、第４図
は要部の側面図、第５図はケースの斜視図、第６図はそ
の開放状態を示す斜視図である。

本実施例において、この収納装置はマスクを取り扱うよ
うに構成され、このマスクｌは、第５図および第６図に
示すようなケース２に１枚ずつ収納される。ケース２は
、マスク１を収容可能な皿形状の本体３と、この本体３
とほぼ同一形状で本体に一端辺を回動自在に枢着されて
開閉される蓋体４とを備えており、蓋体４の所定箇所に
は、収納したマスク１を識別表示するための標識として
のバーコード５が付されている。

この収納装置はエアクリーナー装置（図示せず）が設置
されたクリーンベンチ６を備えており、このクリーンヘ
ンチロの室内の一空間には保管部としての棚７が２組互
いに対向するように設置されている。棚７は前記マスク
ケース２を複数個複数段に並べて保管しておくことがで
きるように構成されている。

片側（前側とする。）の棚７の片脇（右脇とする。）に
は出入口８が扉（図示せず）により開閉自在に設けられ
、この出入口８は複数段の棚を備え、その上部分がマス
ク１を収納したケース２（以下、実ケースということが
ある。）についての入口を、その下部分がマスク１を取
り出されたケース２（以下、空ケースということがある
。）についての出口を、それぞれ構成するようになって
いる。

後側の棚７の左脇には、ケース２を開閉するための開閉
撤作部としての開閉装置９が設けられ、この装置９は保
持テーブル１０を備えている。テーブル１０の上面には
吸引路１１が開設され、載置されたケース２の本体３下
面を吸着して保持しくｑるようになっている。テーブル
１０の左脇には保持アーム１２が垂直面内で回動するよ
うに一端を軸支されて設けられ、このアームは駆動装置
としてのモータ１３により往復回動されるようになって
いる。アーム１２の自由端には、吸引路１５を接続され
た吸盤１４が突設されており、吸盤１４はテーブル１０
に載置されたケース２の蓋体４上面を吸着して保持する
ようになっている。

棚７と開閉装置９との間には移送部としての移送装置１
６が設けられており、この移送装置１６は一対のレール
１７を備えている。レール１７は前後の棚７．７間にお
いて棚と平行に開閉装置９のテーブル１０まで延長され
てクリーンヘンチロの床に敷設されており、レール１７
上には台車１８が適当な駆動および制御手段（図示省略
。以下同じ。）により左右方向に往復移動されるように
設けられている。台車１８上面の両端部には一対の上下
ガイド１９が垂直に立設され、このガイド１９には昇降
体２０が適当な駆動、制御手段により昇降される゛よう
に設けられている。昇降体２０には前後ガイド２１がレ
ール１７と直角にかつ水平に架設され、このガイド２１
には移動体２２が適当な駆動、制御手段により往復移動
されるように設けられている。移動体２２の右側面には
アーム２３が水平に突設され、アーム２３の右端部には
保持具２４が水平面内において適当な駆動、制御手段に
より１８０度以上往復旋回されるように設けられている
。保持具２４はほぼコ字形のホーク状に形成され、ケー
ス２の本体３における一対の側縁部をすくい上げて保持
するように構成されている。

昇降体２０には、移動体２２の移動がじゃまされない位
置にアーム２６がアーム２３と水平に突設されている。

アーム２６の右端には、識別標識読み取り手段としての
バーコードリーダ２７が保持具２４に保持されたケース
２上のバーコード５をほぼ一定の距離で読み取れるよう
に装備されている。バーコードリーダ２７は、たとえば
、自己走査型の光学的読み取り装置からなり、コンピュ
ータ等の中央指令部（図示せず）に読み取りデータを送
り出すようになっている。

クリーンベンチ６の右後部には、ケース２からマスク１
を取り出すための取り出し装置２８が前記開閉装置９に
おいてマスク１を取り出し、がっ取り出したマスク１を
後記する挿入装置３７へ移送し得るように設けられてい
る。この装置２８は一対のジヤツキ２９を備え、両ジヤ
ツキは開閉装置９、後記挿入装置３７の後方にそれぞれ
配されている。両ジヤツキのラム２９ａ、２９ａ間には
送りねじ軸３０が水平に架設されて両端を支承されてお
り、この軸３０はモータ３１により正逆回転されるよう
になっている。この軸３０には移動体３２が軸３０の回
転に伴って水平移動できるように螺合されており、この
移動体３２には左右ねじ軸３４を正逆回転させるモータ
３３が搭載されている。この軸３４の両端部には互いに
向きの異なるねじ部３４ａ、３４ｂがそれぞれ刻設され
、両ねじ部３４ａ、３４ｂには一対の取り出しアーム３
５が左右ねし軸３４の回転に伴って互いに反対方向にか
フ平行移動するように螺合されている。

両アーム３５は水平に支持されており、両アーム３５の
下縁には一対の係合爪３６がマスク１の一対の側縁に係
合し互いに協働してマスクを持ち上げ得るように突設さ
れている。

クリーンベンチ６の右端部には、マスクをカートリッジ
に挿入するための挿入装置３７が設ｉＪられ、この装置
３７はマスクを搬送するコンヘア３８を備えている。こ
のコンヘア３８は取り出し装置２８における送りねし軸
３０の右端部前方位置において直角に敷設され、マスク
１を載置して前方に搬送するようになっている。

マスク搬送用コンベア３８の前端には、ジヤツキ等から
なるエレベータ３９が設置されており、このエレベータ
３９はテーブル４０を進歩上昇し得るようになっている
。テーブル４０上には、一対のアングル部材の組み合わ
せ等からなるカートリッジ起倒具４１がそのコーナ部を
コンヘア３８と平行な軸により回動自在に支承されてお
り、この起倒具４１ばモータ４２によりコンベア３８と
直角なマスク挿入姿勢から反対側に９０度例伏したカー
トリッジ受は渡し姿勢に回動されるようになっている。

エレベータ３９の前方位置には、カートリッジ１般送用
コンヘア４３がマスク搬送用コンベア３８の延長線上に
敷設されており、このコンベア４３は９０度倒された起
倒具４１からカートリッジ４４を受け渡されるようにな
っている。コンヘア４３の他端はクリーンヘンチロの前
面付近に至っており、この位置の前面壁にはマスク１を
挿入されたカートリッジ４１をクリーンヘンチロから取
り出すための取り出し口（図示せず）が設けられている
。

なお、カートリッジ４４は、複数枚のマスク１を互いに
平行に揃えて整列させた状態で保持しｉηるように構成
されている。

次に作用を説明する。

たとえば、半導体装置の製造にお＆Ｊる露光工程におい
て使用が完了したマスク１ば、１枚ずつ個別化されて対
応するバーコード５を有するケース２に収納される。

かかる実ケース２がクリーンベンチ６の出入口８におけ
る上部に挿入されて置かれると、移送装置１６において
アーム２３が三次元的に移動され、保持具２４が首振り
動作されてケース２に対向され、保持具２４が前進され
てケース２をすくい」二げる。このとき、バーコードリ
ーダのアーム２６とケース２の保持具２４は共に昇降体
２０に平行に配設されているので、バーコードリーダ２
７とケース２の距離は一定に保たれるので、ケース２を
取り込んだ時点でリーダ２７はバーコード５を読み取る
ことができ、そのデータを中央指令部に入力させる。中
央指令部はそのデータを保管する棚７の位置とともに記
憶し、移送装置１６における各駆動制御装置に移送指令
を与える。

この指令に応答した移送装置の動作により、保持具２４
は保持したケース２を棚７における指定された位置に移
送し保管する。前記動作が繰り返されことにより、棚７
に多数のケースが収納されて管理される。

たとえば、中央指令部に使用したいマスク１のコードナ
ンバが入力されると、中央指令部はそのマスク１を収納
した実ケース２の棚７における位置をめ、移送装置１６
における各駆動制御装置に開閉装置９までの移送指令を
与える。

この指令に応答して、移送装置１６は保持具２４により
指定された実ケース２を棚７からすくい上げ、開閉装置
９におけるテーブル１０上に移送する。実ケース２がテ
ーブル１０上に載置されると、吸引路１１によりケース
本体３が吸着保持され、アーム１２が回動されてその吸
盤１４によりケース蓋体４が吸着保持される。両保持が
確保されると、吸盤１４に吸着された蓋体４がアーム１
２により回動されて開かれる。

実ケース２が開かれると、取り出し装置２８が作動され
、両取り出しアーム３５がケース本体３上に下降された
後、互いに閉じられ、両爪３６をマスク１の対辺下縁に
係合させることにより、マスク１を保持する。マスク１
を保持したアーム３５はケース本体３から上昇された後
、右方に移動され、マスク°１を挿入装置３７における
コンヘア３８上に移動して受け渡す。

コンヘア３８に受け渡されたマスクｌは前方に搬送され
、前方において起立姿勢に待機されたカートリッジ４４
における所定の段に挿入されて保持される。挿入が完了
すると、エレベータ３９が１ピツチ上昇され、コンベア
３８に臨むカートリッジ４４の段が変更される。

通常、半導体装置の製造においては、複数種のマスクが
使用されるので、カートリッジ４４には複数枚のマスク
１が使用順序等にしたがって前記要領により挿入保持さ
れて行く。

所定のマスク１がカートリッジ４４に収められると、カ
ートリッジ起倒具４１がモータ４２により９０度回動さ
れて倒され、カートリッジ４４がコンベア４３上に受け
渡される。

コンヘア４４に受け渡されたカートリッジ４４はクリー
ンヘンチロの前面における取り出し口まで搬送され、そ
こから取り出されて露光前の洗浄工程に送られて行く。

一方、開閉装置９においてマスク１を取り出された空ケ
ース２はアーム１２の回動により閉じられた後、移送装
置１６によりす（い上げられ、出入口８の下部における
棚段に移送されて収納される。

ここに収納された空ケース２は必要時に取り出され、露
光を完了したマスク１が収納される。

以後、前記動作が繰り返されることにより、マスクを収
納したケースの保管管理が実施されて行（。

［効果］ （１）、ケースを複数個保管する保管部と、ケースを開
閉させる開閉操作部と、ケースから物品を取り出す取り
出し部と、保管部からケースを採取して開閉部に移送す
る移送部とを設けることにより、手作業によらずに、ケ
ースから収納物品を自動的に取り出すことができる。

（２）、保管部、開閉操作部、取り出し部、移送部をク
リーンベンチ内に設備することにより、物品取り出し時
における塵埃による汚染等が防止できる。

（３）、物品を各個識別記憶して保管することにより、
コンピュータにより保管管理が可能になるため、人為的
ミスが回避できるとともに、合理的な管理体制を作り出
すことができる。

（４）、半導体装置の製造におけるマスクの保管に使用
することにより、塵埃による汚染が防止でき、また、コ
ンピュータによる保管管理も可能になるため、多品種少
量の場合でも一貫自動化生産が実現可能になる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

たとえば、保管部、開閉操作部、取り出し部、移送部の
構成等は前記実施例に限定されるものではない。開閉装
置、取り出し装置、移送装置、挿入装置等は自動的に制
御される場合に限らず、人為的に遠隔操作するようにし
てもよい。また、バーコードの読み取り位置は種々変更
することができる。

ケースから取り出した物品をカートリ、ジに一度集荷し
てから、送り出すようにした場合につき説明したが、物
品を１個ずつ順に送り出すようにしてもよい。したがっ
て、挿入装置は省略してもよい。

［利用分野］ 以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である半導体装置の製造に
おけるホトマスクを保管する収納装置に適用した場合に
ついて説明したが、それに限定されるものではなく、た
とえば、データベース等における磁気ディスクや光ディ
スク等を保管する収納装置にも適用できる。特に、塵埃
による汚染等をきらう物品の保管管理に利用してぼれた
効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図はその
平面図、 第３図はその要部を示す部分正断面図、第４図は同じく
側断面図、 第５図はケースを示す斜視図、 第６図はその開き状態を示す斜視図である。 ｌ・・・マスク（物品）、２・・・ケース、３・・・本
体、４・・・蓋体、５・・・バーコード、６・・・クリ
ーンベンチ〜７・・・棚（保管部）、８・・・出入口、
９・・・開閉装置（開閉操作部）、１０・・・テーブル
、１１・・・吸引路、１２・・・アーム、１３・・・モ
ータ、１４・・・吸盤、１６・・・移送装置（移送部）
、１７・・・レール、１８・・・台車、１９．２１・・
・ガイド、２０・・・昇降体、２２・・・移動体、２３
・・・アーム、２４・・・保持具、２８・・・バーコー
ドリーグ、２８・・・取り出し装置、３５・・・取り出
しアーム、３６・・・係合爪、３７・・・挿入装置、４
１・・・カートリッジ起倒具、４４・・・カートリッジ
。 第３図 一／／ 第　４　図 第　５　図 ヱ 第　６　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、物品を収納する開閉自在なケースを複数個保管する
   保管部と、前記ケースを開閉させる開閉操作部と、開か
   れたケースから収納物品を取り出す取り出し部と、前記
   保管部からケースを１個ずつ採取して前記開閉操作部に
   移送する移送部とを備えていることを特徴とする収納装
   置。 ２、保管部、開閉操作部、取り出し部および移送部がク
   リーンベンチ内に設備されたことを特徴とする特許請求
   の範囲第１項記載の収納装置。 ３、物品が、ホトマスクであることを特徴とする特許請
   求の範囲第１項記載の収納装置。 ４、保管部が、保管対象となる物品を各個識別記憶して
   保管することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   収納装置。