CN103693343B - 一种多层存储台装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种多层存储台装置，其调平底座包括位于下层的支撑板，位于上层的调节板，设于支撑板和调节板之间的调平部件，以及固定支撑板和调节板的锁紧部件；其支撑脚支撑为成对的支撑脚支撑架，调节板通过一对相向设置的连接侧板与所述支撑脚支撑架固接，支撑脚支撑架在连接侧板的内侧可沿竖直方向相向多层设置；每层支撑脚支撑架的上表面设有若干个支撑脚。本发明可使晶圆得以多层存储，提高机械手的利用率，增加生产产量，具有结构简单、易实现、可节省设备占地面积的显著特点。

Description

一种多层存储台装置

技术领域

本发明涉及一种用于半导体工艺设备的晶圆存储装置，更具体地，涉及一种用于半导体工艺设备的可以同时存储多层晶圆的存储台装置。

背景技术

半导体制造业是一系列主要工艺步骤的循环和重复。许多制备工艺都包含发生在半导体工艺设备工艺腔内的化学反应。现在，对半导体晶圆的处理工艺，通常要用到发生在工艺腔里的化学反应。

按照不同性质的处理工艺，晶圆往往需要在多个半导体工艺设备的工艺腔之间通过晶圆传送系统进行传输。在工艺设备内，晶圆传送系统的主要功能是装载晶圆，所有的装卸都由自动机械完成。晶圆从设备外部接收进来，并在工艺进行前的等候期间，需要一个暂时存储的场所。存储时用到的装置是晶圆存储台。

目前，用于半导体行业的工艺设备，大多只具有单层工艺腔。在设备内部用于接收和暂时存储晶圆的存储台，也是单层设计。

中国发明专利申请CN102840425A支撑脚装置公开了一种用于晶圆存储台的支撑脚装置。该装置通过安装在一环形支撑环上的支撑脚来固定放置在其上的晶圆。带有这种支撑环支撑结构的存储台，就是一种单层设计的存储台。这种形式的存储台只能是一层结构，即一个存储台一次只能存储一片晶圆。究其原因，就是因为晶圆下方的支撑环阻挡了机械手沿纵向的运动路径。假定此结构的存储台支撑环叠加设置，那么，机械手在取走上层的晶圆后，由于受到该晶圆下方支撑环的阻挡，不能再继续往下层拾取晶圆。

近年来，随着半导体产业快速发展，产业规模迅速扩大，设计制造技术水平显著提升。受设备占地面积和生产产量的限制，设备布局已开始由单层的工艺腔向多层的工艺腔发展。此时，若设备内仍采用单层晶圆存储台装置，在很大程度上会限制机械手的利用率，降低工艺腔的工作效率。这对于竞争激烈的半导体产业来讲，将是非常不经济的缺陷。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种用于半导体工艺设备的可以同时存储多层晶圆的存储装置，通过采用支架式支撑脚支撑成对多层设置在具有调平作用的底座上安装的一对连接侧板内侧，使晶圆得以多层存储；每对相向设置的支撑脚支撑架之间的空隙，使得机械手可以顺利地拾取各层的晶圆，因而可提高机械手的利用率，增加生产产量。

为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种多层存储台装置，包括底座，支撑脚支撑，支撑脚，其特征在于，所述底座为二层结构的调平底座，包括位于下层的支撑板，位于上层的调节板，设于支撑板和调节板之间的调平部件，以及固定支撑板和调节板的锁紧部件；所述支撑脚支撑为成对的支撑脚支撑架，所述调节板通过一对相向设置的连接侧板与所述支撑脚支撑架固接，其中，所述成对的支撑脚支撑架在所述连接侧板的内侧可沿竖直方向相向多层设置；所述支撑脚支撑架的每层上表面设有若干个支撑脚。本技术方案可便捷地调整存储台的水平，并使晶圆多层存储得以实现，而且，本设计的装置具有结构简单、稳定，可节省设备占地面积的显著特点。

进一步地，所述调平底座的调平部件为三个调平螺钉，所述调平螺钉下端与所述支撑板固接，其上端支撑所述调节板，所述调平螺钉按其连线构成等腰三角形分布。使用调平螺钉调节水平很方便，等腰三角形的分布形式使其上部的调节板容易保持稳定的水平状态。

进一步地，所述调平底座的锁紧部件为二个锁紧螺钉，所述支撑板和调节板通过所述锁紧螺钉相连接及固定，所述二个锁紧螺钉相向设置在所述调平底座的非连接侧板设置端的边部中心位置。在调平螺钉调节好水平后，只需要借助这二个锁紧螺钉，就可以与调平螺钉一起，保证底座的稳固及其上部结构的水平稳定。

进一步地，所述二个连接侧板内侧具有等高的成对相向设置的凸台，所述成对凸台可沿竖直方向设置1至多层；所述连接侧板位于每层所述成对凸台的上方部位设有销钉孔。凸台的作用是用来支撑支撑脚支撑架，销钉孔用于安装固定用销钉。

进一步地，所述支撑脚支撑架成对相向设置在所述连接侧板的内侧，所述支撑脚支撑架可沿竖直方向设置1至多层。本设计的装置可根据需要设置1层或多层支撑脚支撑架，使晶圆也可以单片或多片的形式进行存储，这样的设计使装置在使用时非常灵活。

进一步地，所述支撑脚支撑架成对相向设置在所述连接侧板内侧的相应凸台之上，所述支撑脚支撑架设有与所述连接侧板销钉孔相配合的支撑脚支撑架销钉孔，并通过安装销钉将所述支撑脚支撑架与所述连接侧板相固接。销钉装进连接侧板和支撑脚支撑架相配合的销钉孔，将这二个部件连接起来；支撑脚支撑架还可借助下方支撑的凸台，更好地抵抗其承载晶圆后产生的重力影响。

进一步地，所述支撑脚支撑架销钉孔的侧部设有顶丝孔，并通过安装顶丝顶紧所述销钉。

进一步地，成对相向设置的所述支撑脚支撑架相对的内侧面为凹形面。凹形设计可以减轻支撑脚支撑架的重量，保证装置的重心稳定。

进一步地，每层所述支撑脚支撑架的上表面设有若干个支撑脚，其数量为至少3个。

进一步地，每层所述支撑脚支撑架的上表面都设有若干个支撑脚，每层的各支撑脚位于同一水平面，使放置其上的晶圆处于水平状态；各层所述若干个支撑脚形成的虚圆同轴心，这样使得各层放置的晶圆在垂直方向保持同心，以增强装置的结构稳定性。

从上述技术方案可以看出，本发明通过在调平底座上采用多层设置的支撑脚支撑架，使晶圆得以多层存储，提高了装置的使用效率；机械手从分隔的支撑架之间可以顺利地拾取各层的晶圆，因而可提高机械手的利用率，增加生产产量。因此，本发明具有结构简单、易实现、可节省设备占地面积的显著特点。

附图说明

图1是本发明多层存储台装置的整体结构示意图；

图2是本发明多层存储台装置的调平底座结构示意图；

图3是本发明多层存储台装置的连接侧板结构示意图；

图4是本发明多层存储台装置的支撑脚支撑架结构俯视图；

图5是本发明多层存储台装置的支撑脚支撑架局部结构示意图；

图6是本发明多层存储台装置的支撑脚支撑架安装结构示意图。

图中100.调平底座，101.支撑板，102.调平板，103.锁紧螺钉，104.调平螺钉，105.调平板固定孔，200.连接侧板，201.连接侧板销钉孔，202.连接侧板固定孔，203.凸台，300.支撑脚支撑架，301.顶丝孔，302.支撑脚支撑架销钉孔，303.支撑脚安装孔，304.凹形面，400.顶丝，500.销钉，600.支撑脚，700.晶圆。

具体实施方式

下面结合附图，对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明。

在本实施例中，请参阅图1，图1是本发明多层存储台装置的整体结构示意图。如图所示，本发明的多层存储台装置包括位于装置底部的具有调节水平功能的双层结构的调平底座100，在调平底座100上层结构的两端部之上安装有二个相向竖直安装的连接侧板200。二个连接侧板200的内侧安装有支撑脚支撑架300，支撑脚支撑架300是沿高度方向成对分隔安装在二个连接侧板200的内侧的。这样的结构设计，使得可以根据需要设置一至多层支撑脚支撑架。

请参阅图1，在连接侧板200和支撑脚支撑架300的安装连接位置加工有销钉孔，并通过销钉500固定连接；在支撑脚支撑架300的销钉孔侧面加工有顶丝孔，并通过顶丝400紧固销钉500，使支撑脚支撑架300与连接侧板200的安装稳固。

请参阅图1，在每层支撑脚支撑架300上表面的四个端部，水平对称安装有4个支撑脚600，用来支撑使用时放置在其上的晶圆700，并保证晶圆呈水平状态放置。如果改变支撑脚相互之间的布置位置，可配置多个数量的支撑脚，但至少要保证配置3个，且应保持受力平衡，防止晶圆失衡落下。并且，各层的支撑脚的安装位置要使其形成的虚圆同轴心，这样使得各层放置的晶圆在垂直方向保持同心，以增强装置的结构稳定性。

请参阅图2，图2是本发明多层存储台装置的调平底座结构示意图。如图所示，调平底座包括位于下层底部的支撑板101，和位于支撑板101之上的调平板102。支撑板101和调平板102之间安装有3个调平螺钉104，3个调平螺钉104按对称的等腰三角形布置，并尽量靠近调平板102的边部，以保证较好的调节效果。调平螺钉104的下端与支撑板101固定连接；上端的活动顶端支撑住调平板102，使调平板102水平放置在3个调平螺钉104之上。用调平螺钉104调节好调平板102的水平后，再将支撑板101和调平板102用2个位于相向边部的锁紧螺钉103压紧固定好，并与调平螺钉104一起使调平板102处于稳固的水平状态。在调平板102另二个相对边的端部上表面加工有台阶，台阶上加工有若干调平板固定孔105，用来与连接侧板200固定用。

请参阅图3，图3是本发明多层存储台装置的连接侧板结构示意图。如图所示，在连接侧板二个侧边部加工有若干对连接侧板销钉孔201，用于与支撑脚支撑架300的连接用；在连接侧板的下端面加工有与调平板102上的调平板固定孔105相配合的连接侧板固定孔202。此外，在每对连接侧板销钉孔201的下方加工有凸台203，用于支撑安装在其上方的支撑脚支撑架300，可更好地抵抗其承载晶圆后产生的重力影响。

请参阅图4，图4是本发明多层存储台装置的支撑脚支撑架结构俯视图。如图所示，在支撑脚支撑架两侧与连接侧板固定孔202相配合处加工有支撑脚支撑架销钉孔302，可插入销钉进行连接；为保证连接的牢固，在支撑脚支撑架销钉孔302的侧面加工有顶丝孔301，插入顶丝后，可将销钉顶紧固定，使支撑脚支撑架与连接侧板的连接不会松动。二个支撑脚支撑架相对的内侧面加工成内凹的凹形面304，可以减轻支撑脚支撑架不必要的重量，保证装置的重心稳定。在支撑脚支撑架内侧端部加工有支撑脚安装孔303，用于安装固定支撑脚。

请参阅图5，图5是本发明多层存储台装置的支撑脚支撑架局部结构示意图。如图所示，在支撑脚支撑架与连接侧板相配合的销钉孔内插入有销钉500；从支撑脚支撑架销钉孔侧面的顶丝孔插入有顶丝400，将销钉顶紧固定，使支撑脚支撑架与连接侧板的连接不会松动。支撑脚600上设有腰形安装孔，可与支撑脚支撑架上的支撑脚安装孔303通过螺钉紧固，并且，支撑脚600可沿腰形安装孔微调安装位置，以适应所承载的晶圆的尺寸，及与其他支撑脚进行位置协调。

请参阅图6，图6是本发明多层存储台装置的支撑脚支撑架安装结构示意图。如图所示，支撑脚支撑架300与连接侧板200相配合的销钉孔内插入有销钉500；从支撑脚支撑架销钉孔侧面的顶丝孔插入有顶丝400，将销钉顶紧固定，使支撑脚支撑架与连接侧板的连接不会松动；支撑脚支撑架300下方靠压在连接侧板200内侧的凸台上，可更好地抵抗其承载晶圆后产生的重力影响。在支撑脚支撑架300上表面安装有支撑脚600，其先端突出于支撑脚支撑架；支撑脚600上部支撑面承载有晶圆700，并使晶圆700水平放置，各层晶圆700同轴心放置。

整个装置结构紧凑、易实现，可有效节省设备占地面积，适于工厂推广。

以上所述的仅为本发明的优选实施例，所述实施例并非用以限制本发明的专利保护范围，因此凡是运用本发明的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种多层存储台装置，包括底座，支撑脚支撑，支撑脚，其特征在于，所述底座为二层结构的调平底座，包括位于下层的支撑板，位于上层的调节板，设于支撑板和调节板之间的调平部件，以及固定支撑板和调节板的锁紧部件；所述支撑脚支撑为成对的支撑脚支撑架，所述调节板通过一对相向设置的连接侧板与所述支撑脚支撑架固接，其中，所述成对的支撑脚支撑架在所述连接侧板的内侧可沿竖直方向相向多层设置；所述支撑脚支撑架的每层上表面设有若干个支撑脚。

2.如权利要求1所述的多层存储台装置，其特征在于，所述调平底座的调平部件为三个调平螺钉，所述调平螺钉下端与所述支撑板固接，其上端支撑所述调节板，所述调平螺钉按其连线构成等腰三角形分布。

3.如权利要求1所述的多层存储台装置，其特征在于，所述调平底座的锁紧部件为二个锁紧螺钉，所述支撑板和调节板通过所述锁紧螺钉相连接及固定，所述二个锁紧螺钉相向设置在所述调平底座的非连接侧板设置端的边部中心位置。

4.如权利要求1所述的多层存储台装置，其特征在于，所述二个连接侧板内侧具有等高的成对相向设置的凸台，所述成对凸台可沿竖直方向设置1至多层；所述连接侧板位于每层所述成对凸台的上方部位设有销钉孔。

5.如权利要求1所述的多层存储台装置，其特征在于，所述支撑脚支撑架成对相向设置在所述连接侧板的内侧，所述支撑脚支撑架可沿竖直方向设置1至多层。

6.如权利要求4所述的多层存储台装置，其特征在于，所述支撑脚支撑架成对相向设置在所述连接侧板内侧的相应凸台之上，所述支撑脚支撑架设有与所述连接侧板销钉孔相配合的支撑脚支撑架销钉孔，并通过安装销钉将所述支撑脚支撑架与所述连接侧板相固接。

7.如权利要求6所述的多层存储台装置，其特征在于，所述支撑脚支撑架销钉孔的侧部设有顶丝孔，并通过安装顶丝顶紧所述销钉。

8.如权利要求1、5或6所述的多层存储台装置，其特征在于，成对相向设置的所述支撑脚支撑架相对的内侧面为凹形面。

9.如权利要求1所述的多层存储台装置，其特征在于，每层所述支撑脚支撑架的上表面设有若干个支撑脚，其数量为至少3个。

10.如权利要求1或9所述的多层存储台装置，其特征在于，每层所述支撑脚支撑架的上表面都设有若干个支撑脚，每层的各支撑脚位于同一水平面，各层所述若干个支撑脚形成的虚圆同轴心。