JP6755169B2

JP6755169B2 - 輸送用架台および輸送方法

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Publication number: JP6755169B2
Application number: JP2016243311A
Authority: JP
Inventors: 勝行大上; 酒井　伸一; 伸一酒井
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2016-12-15
Filing date: 2016-12-15
Publication date: 2020-09-16
Anticipated expiration: 2036-12-15
Also published as: TW201833012A; KR101903877B1; CN107098164A; CN107098164B; KR20170021806A; TWI729243B; JP2018098410A

Description

本発明の種々の側面および実施形態は、輸送用架台および輸送方法に関する。

フラットパネルディスプレイ基板は、マザーガラス基板のサイズが大きいほど１枚から取れるパネルの数が増えるためコストを低減できる。そのため、近年ではマザーガラス基板は大型化の一途をたどっている。また、マザーガラス基板の大型化に伴い、ガラス基板を製造または検査する装置においても、年々大型化している。

ところで、フラットパネルディスプレイ基板等を製造する装置は、製造業者で製造された後、生産現場まで運搬されて設置される。しかし、装置が大型になると、大きさや重量の関係で、１台の装置をそのまま輸送することが困難になる。

そこで、装置を幅方向または奥行き方向に分割し、分割された部品を個々に輸送し、輸送先で接合することにより、輸送先まで大型の装置を輸送する技術が知られている。

特開２００７−７３６８８号公報

ところで、フラットパネルディスプレイ基板等を製造する装置には、気密性を要するものが多い。しかし、幅方向または奥行き方向に分割された装置を再び接合した場合、気密性の低下を抑えることが難しい。そのため、幅方向または奥行き方向に装置を分割して輸送することは好ましくない。

また、装置を上下方向に分割することも考えられるが、単に上下方向に分割しただけでは、分割することで装置の重量を抑えることはできるものの、装置の幅や奥行のサイズを小さくすることはできない。そのため、装置が輸送用車両の荷台からはみ出してしまい、装置を輸送することが困難となる。

本発明の一側面は、上下に分割可能なチャンバを輸送するための輸送用架台であって、第１の方向に延在する中央フレームと、前記第１の方向における前記中央フレームの両端に、前記第１の方向と交差する第２の方向に延在する２つの側方フレームと、前記チャンバを前記中央フレームに固定するための複数の固定具とを備える。前記チャンバは、前記チャンバの天井面を含む上部部品と、前記チャンバの底面を含む下部部品とに分割される。前記複数の固定具のそれぞれは、前記上部部品および前記下部部品の少なくともいずれかを、前記２つの側方フレームの間であって、前記中央フレームの側面に、前記天井面または前記底面が前記中央フレームの側面に沿う向きとなるように固定する。

本発明の種々の側面および実施形態によれば、チャンバを容易に輸送することが可能となる。

図１は、輸送用架台の一例を示す図である。図２は、輸送用架台が輸送用車両の荷台に固定された状態の一例を示す図である。図３は、チャンバの一例を示す断面図である。図４は、チャンバの積載手順の一例を説明するための図である。図５は、取付板付近の拡大図である。図６は、上部部品および下部部品が、荷台上の輸送用架台に固定された状態の一例を示す図である。図７は、チャンバの下部部品が固定された状態の輸送用架台の一例を示す断面図である。図８は、チャンバが固定された輸送用架台の一例を示す断面図である。図９は、チャンバが固定された輸送用架台の一例を示す上面図である。図１０は、梯子の引き出し状態および収容状態の一例を示す図である。図１１は、輸送用架台を用いたチャンバの輸送手順の一例を示すフローチャートである。

開示する輸送用架台は、１つの実施形態において、上下に分割可能なチャンバを輸送するための輸送用架台であって、第１の方向に延在する中央フレームと、第１の方向における中央フレームの両端に、第１の方向と交差する第２の方向に延在する２つの側方フレームと、チャンバを中央フレームに固定するための複数の固定具とを備える。チャンバは、チャンバの天井面を含む上部部品と、チャンバの底面を含む下部部品とに分割される。複数の固定具のそれぞれは、上部部品および下部部品の少なくともいずれかを、２つの側方フレームの間であって、中央フレームの側面に、天井面または底面が中央フレームの側面に沿う向きとなるように固定する。

また、開示する輸送用架台の１つの実施形態において、複数の固定具のそれぞれは、中央フレームの一方の側面に、１つのチャンバから分割された上部部品を固定し、中央フレームの他方の側面に、当該１つのチャンバから分割された下部部品を固定してもよい。

また、開示する輸送用架台の１つの実施形態において、複数の固定具の少なくとも一部は、中央フレームに設置されていてもよく、中央フレームに設置された固定具は、中央フレームには上部部品の天井面と下部部品の底面とを固定してもよい。

また、開示する輸送用架台は、１つの実施形態において、中央フレームおよび側方フレームの上方に設けられた作業用足場と、作業用足場を囲む転落防止部とをさらに備えてもよい。

また、開示する輸送用架台の１つの実施形態において、側方フレームには、作業者が作業用足場に上るための梯子が設けられていてもよい。

また、開示する輸送用架台の１つの実施形態において、梯子は、側方フレームに収容されてもよい。

また、開示する輸送用架台の１つの実施形態において、中央フレームは、上下方向に延在する複数の柱と、第１の方向に延在する梁と、複数の柱の間に斜めに設けられた複数の筋交とを有してもよい。

また、開示する輸送用架台の１つの実施形態において、チャンバは、ＦＰＤ（Flat Panel Display）用の処理チャンバ、ＦＰＤ用の搬送チャンバ、またはＦＰＤ用のロードロックチャンバであってもよい。

また、開示する輸送方法は、１つの実施形態において、上下に分割可能なチャンバを輸送する輸送方法であって、第１の方向に延在する中央フレームと、第１の方向における中央フレームの両端に第１の方向と交差する第２の方向に延在する２つの側方フレームとを備える輸送用架台を輸送用車両の荷台に設置する設置工程と、チャンバの天井面を含む上部部品とチャンバの底面を含む下部部品とに分割されるチャンバにおいて、上部部品および下部部品の少なくともいずれかを、２つの側方フレームの間であって、中央フレームの側面に、天井面または底面が中央フレームの側面に沿う向きとなるように配置する配置工程と、中央フレームの側面に、上部部品の天井面および下部部品の底面の少なくともいずれかを、輸送用架台に設けられた複数の固定具により固定する固定工程と、中央フレームの側面に固定された上部部品および下部部品の少なくともいずれかを輸送用車両で輸送する輸送工程とを含む。

また、開示する輸送方法の１つの実施形態において、中央フレームの一方の側面には、１つのチャンバから分割された上部部品が複数の固定具により固定されてもよく、中央フレームの他方の側面には、当該１つのチャンバから分割された下部部品が複数の固定具により固定されてもよい。

また、開示する輸送方法の１つの実施形態において、複数の固定具の少なくとも一部は、中央フレームに設置されてもよく、中央フレームには、上部部品の天井面と下部部品の底面とが、中央フレームに設置された固定具により固定されてもよい。

また、開示する輸送方法の１つの実施形態において、固定工程には、側方フレームに収容された梯子を引き出す工程と、梯子を用いて作業者が側方フレームおよび中央フレームの上方に設けられ、周囲が転落防止用の柵で囲まれた作業用足場に上る工程と、作業用足場の上での作業者の作業によりチャンバの上部部品の天井面および下部部品の底面の少なくともいずれかを中央フレームに固定する工程と、梯子を用いて作業者が作業領域から降り、側方フレームに梯子を収容する工程とが含まれてもよい。

また、開示する輸送方法の１つの実施形態において、チャンバは、ＦＰＤ用の処理チャンバ、ＦＰＤ用の搬送チャンバ、またはＦＰＤ用のロードロックチャンバであってもよい。

以下に、開示する輸送用架台および輸送方法の実施形態について、図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の本実施形態により、開示される輸送用架台および輸送方法が限定されるものではない。

［輸送用架台１０の構成］
図１は、輸送用架台１０の一例を示す図である。本実施形態における輸送用架台１０は、例えば図１に示すように、図１のｙ軸方向に延在する中央フレーム２０と、ｙ軸方向における中央フレーム２０の両端に、ｘ軸方向に延在する２つの側方フレーム３０とを備える。本実施形態において、中央フレーム２０が延在する方向と、各側方フレーム３０が延在する方向とは直交している。ｙ軸方向は第１の方向の一例であり、ｘ軸方向は第２の方向の一例である。

中央フレーム２０は、例えば図１に示すように、図１のｙ軸方向に延在する梁２２および土台２８と、上下方向、即ち図１のｚ軸方向に延在する複数の柱２１と、複数の柱２１の間に斜めに設けられた複数の筋交２３とを有する。柱２１および梁２２の側面には、後述するチャンバの部品を固定するための複数の取付板２４が設けられている。柱２１の間に筋交２３が設けられることにより、図１のｙ軸方向における中央フレーム２０の歪みが抑制される。

それぞれの側方フレーム３０は、例えば図１に示すように、図１のｘ軸方向に延在する梁３２および土台３６と、上下方向、即ち図１のｚ軸方向に延在する複数の柱３１と、柱３１と梁３２との間および柱３１と土台３６との間に斜めに設けられた複数の筋交３３とを有する。各側方フレーム３０の柱３１には、輸送用架台１０を輸送用車両の荷台に固定するための吊手３４が複数設けられている。各側方フレーム３０の土台３６と、中央フレーム２０の土台２８との間には、補強材３７が設けられている。ｙ軸方向に延在する中央フレーム２０の両端に、ｙ軸方向に交差するｘ軸方向に延在する側方フレーム３０が設けられることにより、ｘ軸方向における輸送用架台１０の強度を高めることができる。

中央フレーム２０および側方フレーム３０の上部には、作業者が作業を行うための作業用足場４０が設けられている。作業用足場４０の周囲は、作業用足場４０上で作業を行う作業者の転落を防止するための柵４１で囲まれている。柵４１は、転落防止部の一例である。

側方フレーム３０には、作業者が作業用足場４０に上るための梯子５０が設けられている。また、輸送用架台１０が輸送用車両の荷台に固定された状態において、中央フレーム２０の土台２８の側方であって、輸送用車両の荷台上には、複数の保護マット２５が配置される。保護マット２５は、保護マット２５上に載せられた、後述するチャンバを、傷や衝撃から保護する。

［輸送用架台１０の固定方法］
図２は、輸送用架台１０が輸送用車両の荷台６０に固定された状態の一例を示す図である。輸送用架台１０は、輸送用車両の荷台６０に搭載される。側方フレーム３０の柱３１には、図２に示すように、例えばアイボルト等の吊手３４が複数設けられ、それぞれの吊手３４に、例えばチェーンやベルト等の取付具３５が通される。そして、取付具３５が荷台６０に固定されることにより、輸送用架台１０が輸送用車両の荷台６０に固定される。

［チャンバ７０の構成］
図３は、チャンバ７０の一例を示す断面図である。本実施形態におけるチャンバ７０は、上部部品７１および下部部品７２を有する。上部部品７１および下部部品７２は、例えば図３に示した破線に沿って上下に分割可能である。上部部品７１および下部部品７２は上下に分割された場合、上部部品７１の下部および下部部品７２の上部には開口が形成される。

上部部品７１および下部部品７２が接合された状態において、上部部品７１および下部部品７２によって構成される処理空間内には、シャワーヘッド７１１およびサセプタ７２１等が設けられる。上部部品７１と下部部品７２との接合面には、例えばＯリング等のシール部材７３が配置されている。チャンバ７０が上下に分割されるため、上部部品７１と下部部品７２とが接合された場合、上部部品７１の自重によりシール部材７３が押しつぶされ、処理空間の気密性を高く保つことが可能となる。なお、以下では、上部部品７１の上面を天井面７１０と呼び、下部部品７２の下面を底面７２０と呼ぶ。

本実施形態におけるチャンバ７０は、例えばＦＰＤ用の処理チャンバである。チャンバ７０には、図示しない搬入・搬出口が設けられており、当該搬入・搬出口から搬入された処理対象のガラス基板が、サセプタ７２１上に載置される。そして、搬入・搬出口が閉じられ、処理空間内が真空排気され、処理空間内にシャワーヘッド７１１から処理ガスが供給される。そして、例えば、シャワーヘッド７１１とサセプタ７２１との間に所定周波数の高周波電力が印加され、処理空間内に処理ガスのプラズマが生成される。そして、生成されたプラズマにより、処理対象のガラス基板に、成膜やエッチング等の所定の処理が施される。

チャンバ７０が輸送される場合、チャンバ７０は、上部部品７１と下部部品７２とに分割される。そして、必要に応じて、シャワーヘッド７１１等の部品が上部部品７１から取り外され、サセプタ７２１等の部品が下部部品７２から取り外される。そして、上部部品７１および下部部品７２が、図１において説明した輸送用架台１０を用いて輸送用車両の荷台６０に固定され、輸送される。

［チャンバ７０の積載方法］
図４は、チャンバ７０の積載手順の一例を説明するための図である。まず、輸送用架台１０が輸送用車両の荷台６０に積載される。そして、側方フレーム３０の吊手３４に通された取付具３５が荷台６０に固定されることにより、輸送用架台１０が輸送用車両の荷台６０に固定される。そして、中央フレーム２０の側方の荷台６０上に複数の保護マット２５が配置される。

次に、チャンバ７０から分割された上部部品７１および下部部品７２に、それぞれ吊手７４が取り付けられる。そして、上部部品７１が、吊手７４に通されたワイヤーロープ等を用いてクレーン等によって吊り上げられ、例えば図４の矢印に示すように移動して、側方フレーム３０の間であって、中央フレーム２０の側方の荷台６０上に、天井面７１０が中央フレーム２０の側面に沿う向きとなるように配置される。本実施形態において、上部部品７１は、例えば図４に示すように、天井面７１０が中央フレーム２０側を向くように、中央フレーム２０の側方に配置される。そして、中央フレーム２０の柱２１や梁２２に設けられた取付板２４と上部部品７１の天井面７１０とがボルト等により固定されることにより、上部部品７１が輸送用架台１０に固定される。取付板２４は、固定具の一例である。

同様に、下部部品７２が、吊手７４に通されたワイヤーロープ等を用いてクレーン等によって吊り上げられ、例えば図４の矢印に示すように移動して、側方フレーム３０の間であって、中央フレーム２０の側方の荷台６０上に、底面７２０が中央フレーム２０の側面に沿う向きとなるように配置される。本実施形態において、下部部品７２は、例えば図４に示すように、底面７２０が中央フレーム２０側を向くように、中央フレーム２０の側方に配置される。そして、中央フレーム２０の柱２１や梁２２に設けられた取付板２４と下部部品７２の底面７２０とがボルト等により固定されることにより、下部部品７２が輸送用架台１０に固定される。

図５は、取付板２４付近の拡大図である。図５には、中央フレーム２０の梁２２に設けられた取付板２４に下部部品７２が固定された状態が示されている。例えば図５に示すように、取付板２４に設けられた貫通穴を介して、ボルト２６により、取付板２４に下部部品７２の底面７２０が固定される。梁２２に設けられた取付板２４への底面７２０の固定は、作業用足場４０上の作業者によって行われる。また、中央フレーム２０の柱２１に設けられた取付板２４においても、ボルト２６により下部部品７２の底面７２０が固定される。取付板２４への上部部品７１の天井面７１０の固定についても同様である。

なお、中央フレーム２０には、例えば図５に示すように、複数の吊手２７が設けられている。輸送用架台１０は、それぞれの吊手２７に通されたワイヤーロープ等を用いてクレーン等によって吊り上げられ、輸送用車両の荷台６０に積載される。

輸送用架台１０に上部部品７１および下部部品７２が固定された状態を図示すると、例えば図６〜図９のようになる。図６は、上部部品７１および下部部品７２が、荷台６０上の輸送用架台１０に固定された状態の一例を示す図である。図７は、チャンバ７０の下部部品７２が固定された状態の輸送用架台１０の一例を示す断面図である。図８は、チャンバ７０が固定された輸送用架台１０の一例を示す断面図である。図９は、チャンバ７０が固定された輸送用架台１０の一例を示す上面図である。

このように、上部部品７１の天井面７１０が中央フレーム２０側を向くように中央フレーム２０の側方に上部部品７１が配置され、下部部品７２の底面７２０が中央フレーム２０側を向くように中央フレーム２０の側方に下部部品７２が配置されることにより、上部部品７１および下部部品７２を中央フレーム２０に容易に固定することができる。また、天井面７１０および底面７２０が中央フレーム２０側を向くように、上部部品７１および下部部品７２を配置することにより、上部部品７１および下部部品７２を中央フレーム２０に固定する際に、作業者は、上部部品７１および下部部品７２の内部に触れる必要がない。そのため、上部部品７１および下部部品７２の固定作業において、上部部品７１および下部部品７２の内側に傷や汚れが付くことを防止することができる。

なお、各取付板２４には、上部部品７１および下部部品７２のそれぞれのネジ穴に対応するように、１または複数の貫通穴が形成されている。これにより、上部部品７１および下部部品７２のいずれが配置された場合でも、ボルト２６により上部部品７１または下部部品７２と取付板２４とを固定することができる。従って、本実施形態の輸送用架台１０では、中央フレーム２０の側面のどちら側にも、上部部品７１および下部部品７２のいずれを固定することも可能である。また、本実施形態の輸送用架台１０は、２つの上部部品７１を中央フレーム２０に固定することも可能であり、２つの下部部品７２を中央フレーム２０に固定することも可能である。

上部部品７１および下部部品７２が中央フレーム２０の取付板２４に固定された状態における断面は、例えば図８のようになる。また、上部部品７１および下部部品７２が中央フレーム２０の取付板２４に固定された状態を上面から見た図は、例えば図９のようになる。図８および図９に示すように、上部部品７１および下部部品７２が中央フレーム２０に固定された状態において、上部部品７１、下部部品７２、および中央フレーム２０を含む幅は、荷台６０の幅よりも狭い。このように、上下に分割されたチャンバ７０の上部部品７１および下部部品７２を、横向きにして積載することにより、輸送用架台１０を含めたチャンバ７０全体の幅を、荷台６０の幅以内に抑えることができる。従って、本実施形態の輸送用架台１０を用いることにより、大型のチャンバ７０であっても、輸送用車両を用いて容易に輸送することが可能となる。

なお、本実施形態では、中央フレーム２０と上部部品７１と下部部品７２とを含む積荷全体の幅が約２メートルであり、荷台６０の幅が約２．４９メートルである。従って、荷台６０を含む積荷全体の幅が２．５メートル未満である。ここで、荷台６０を含む積荷全体の幅が２．５メートル以上である場合、積荷の機能が保てる最低単位まで積荷を分解することが道路交通法において義務付けられている。いわゆる「バラ積み規制」である。そのため、荷台６０を含む積荷全体の幅が２．５メートルを超える場合、チャンバ７０を１つの輸送用車両で輸送することができず、輸送効率が低下する。

これに対し、本実施形態における輸送用架台１０を用いた輸送方法では、荷台６０を含む積荷全体の幅が２．５メートル未満であるため、「バラ積み規制」には該当せず、１つのチャンバ７０を構成する上部部品７１および下部部品７２を１台の輸送用車両で輸送することが可能となる。従って、チャンバ７０の輸送効率を高めることができる。

また、側方フレーム３０に設けられた梯子５０は、例えば図１０に示すように側方フレーム３０に収容することが可能である。図１０は、梯子５０の引き出し状態および収容状態の一例を示す図である。梯子５０は、例えば図１０に示すように、手摺５１、梯子本体５２、およびガイド５３を有する。梯子本体５２は、上部の両脇に設けられたスライド片５４をガイド５３に沿って移動させることにより、側方フレーム３０に沿って収容されたり、梯子本体５２が斜めに引き出されたりすることが可能である。

例えば、梯子本体５２のスライド片５４をガイド５３に沿って下方に移動させることにより、図１０の左側の図に示すように、梯子本体５２を引き出すことができる。これにより、作業者は、梯子５０を上って作業用足場４０上で作業を行うことができる。また、例えば、梯子本体５２のスライド片５４をガイド５３に沿って上方に移動させることにより、図１０の右側の図に示すように、梯子本体５２を側方フレーム３０に収容することができる。梯子本体５２を側方フレーム３０に収容することができるため、上部部品７１および下部部品７２と一緒に梯子５０を輸送することができる。これにより、上部部品７１および下部部品７２を輸送用架台１０に固定したり輸送用架台１０から取り外したりする度に、別途梯子を準備する手間を省くことができる。そのため、輸送用架台１０への上部部品７１および下部部品７２の固定および取り外しを迅速に行うことが可能となる。

［輸送手順］
図１１は、輸送用架台１０を用いたチャンバ７０の輸送手順の一例を示すフローチャートである。

まず、輸送用架台１０が輸送用車両の荷台６０に設置される（Ｓ１００）。具体的には、例えば図２に示したように、輸送用架台１０が荷台６０に積載され、側方フレーム３０の吊手３４に通された取付具３５が荷台６０に固定されることにより、輸送用架台１０が輸送用車両の荷台６０に設置される。そして、中央フレーム２０の側方の荷台６０上に複数の保護マット２５が配置される。

次に、チャンバ７０から分割された上部部品７１および下部部品７２が、それぞれ、側方フレーム３０の間であって、中央フレーム２０の側方の荷台６０上に配置される（Ｓ１０１）。具体的には、例えば図４に示したように、上部部品７１および下部部品７２が、それぞれ、吊手７４に通されたワイヤーロープ等を用いてクレーン等によって吊り上げられる。そして、上部部品７１は、天井面７１０が中央フレーム２０側を向くように、下部部品７２は、底面７２０が中央フレーム２０側を向くように、それぞれ中央フレーム２０の側方に配置される。

次に、側方フレーム３０に収容されている梯子５０が引き出される（Ｓ１０２）。具体的には、梯子本体５２に設けられたスライド片５４を側方フレーム３０に設けられたガイド５３に沿って下方に移動させることにより、例えば図１０の左側の図に示したように、梯子本体５２が引き出される。

次に、作業者は、梯子５０を用いて中央フレーム２０および側方フレーム３０上の作業用足場４０に上る（Ｓ１０３）。そして、作業者は、作業用足場４０上で、ボルト２６を用いて、上部部品７１の天井面７１０および下部部品７２の底面７２０を、それぞれ、中央フレーム２０の梁２２に設けられた取付板２４に固定する（Ｓ１０４）。

次に、作業者は、ステップＳ１０２で引き出された梯子５０を用いて、作業用足場４０から下り、梯子５０を側方フレーム３０に収容する（Ｓ１０５）。具体的には、梯子本体５２に設けられたスライド片５４を側方フレーム３０に設けられたガイド５３に沿って上方に移動させることにより、例えば図１０の右側の図に示したように、梯子本体５２が側方フレーム３０に収容される。

次に、作業者は、ボルト２６を用いて、上部部品７１の天井面７１０および下部部品７２の底面７２０を、それぞれ、中央フレーム２０の柱２１に設けられた取付板２４に固定する。そして、上部部品７１および下部部品７２が固定された輸送用架台１０全体がカバーで覆われる（Ｓ１０６）。そして、輸送用架台１０が固定された荷台６０が輸送用車両によって牽引され、チャンバ７０が輸送される（Ｓ１０７）。

以上、輸送用架台１０および輸送方法の実施形態について説明した。上記説明から明らかなように、本実施形態の輸送用架台１０によれば、１台のチャンバ７０を構成する上部部品７１および下部部品７２を１台の輸送用車両によって容易に輸送することが可能となる。そのため、チャンバ７０を効率よく輸送することができる。

［その他］
上記した実施形態では、輸送用架台１０に同一のチャンバ７０を構成する上部部品７１および下部部品７２が固定されたが、開示の技術はこれに限られず、異なるチャンバ７０を構成する上部部品７１および下部部品７２が固定されてもよい。また、輸送用架台１０には、異なるチャンバ７０を構成する２つの上部部品７１が輸送用架台１０のそれぞれの側面に固定されてもよく、異なるチャンバ７０を構成する２つの下部部品７２が輸送用架台１０のそれぞれの側面に固定されてもよい。また、輸送用架台１０のいずれかの側面に、１つの上部部品７１または１つの下部部品７２のみが固定されてもよい。

また、上記した実施形態では、上部部品７１の天井面７１０および下部部品７２の底面７２０が中央フレーム２０の取付板２４に固定されたが、開示の技術はこれに限られない。例えば、側方フレーム３０の柱３１や梁３２に取付板２４が設けられ、当該取付板２４に、上部部品７１や下部部品７２の側面がボルト２６等により固定されるようにしてもよい。

また、上記した実施形態では、天井面７１０が中央フレーム２０側を向くように上部部品７１が中央フレーム２０に固定され、底面７２０が中央フレーム２０側を向くように下部部品７２が中央フレーム２０に固定されるが、天井面７１０および底面７２０が中央フレーム２０の側面に沿う向きとなるように中央フレーム２０に固定されていれば、上記の固定方法に限られない。

例えば、上部部品７１の開口が中央フレーム２０側を向くように上部部品７１が輸送用架台１０に固定されてもよく、下部部品７２の開口が中央フレーム２０側を向くように下部部品７２が輸送用架台１０に固定されてもよい。例えば、側方フレーム３０の柱３１や梁３２に取付板２４が設けられ、当該取付板２４に、上部部品７１や下部部品７２の側面がボルト２６により固定される。このように、上部部品７１および下部部品７２の開口が中央フレーム２０側を向くように、上部部品７１および下部部品７２が輸送用架台１０に固定されることにより、輸送中に上部部品７１および下部部品７２の内側に傷や汚れが付くことを防止することができる。

また、上記した実施形態では、チャンバ７０として、例えばＦＰＤ用の処理チャンバを例に説明したが、開示の技術はこれに限られない。ＦＰＤの製造や検査等で用いられる真空チャンバであれば、チャンバ７０は、ＦＰＤ用の搬送チャンバやＦＰＤ用のロードロックチャンバ等であってもよい。

１０輸送用架台
２０中央フレーム
２１柱
２２梁
２３筋交
２４取付板
２５保護マット
２６ボルト
２７吊手
２８土台
３０側方フレーム
３１柱
３２梁
３３筋交
３４吊手
３５取付具
３６土台
３７補強材
４０作業用足場
４１柵
５０梯子
５１手摺
５２梯子本体
５３ガイド
５４スライド片
６０荷台
７０チャンバ
７１上部部品
７１０天井面
７１１シャワーヘッド
７２下部部品
７２０底面
７２１サセプタ
７３シール部材
７４吊手

Claims

上下に分割可能なチャンバを輸送するための輸送用架台であって、
第１の方向に延在する中央フレームと、
前記第１の方向における前記中央フレームの両端に、前記第１の方向と交差する第２の方向に延在する２つの側方フレームと、
前記チャンバを前記中央フレームに固定するための複数の固定具と
を備え、
前記チャンバは、前記チャンバの天井面を含む上部部品と、前記チャンバの底面を含む下部部品とに分割され、
前記複数の固定具のそれぞれは、
前記上部部品および前記下部部品の少なくともいずれかを、前記２つの側方フレームの間であって、前記中央フレームの側面に、前記天井面または前記底面が前記中央フレームの側面に沿う向きとなるように固定することを特徴とする輸送用架台。
前記複数の固定具のそれぞれは、
前記中央フレームの一方の側面に、１つの前記チャンバから分割された前記上部部品を固定し、
前記中央フレームの他方の側面に、前記１つのチャンバから分割された前記下部部品を固定することを特徴とする請求項１に記載の輸送用架台。
前記複数の固定具の少なくとも一部は、前記中央フレームに設置され、
前記中央フレームに設置された前記固定具は、
前記中央フレームに、前記上部部品の天井面と前記下部部品の底面とを固定することを特徴とする請求項２に記載の輸送用架台。
前記中央フレームおよび前記側方フレームの上方に設けられた作業用足場と、
前記作業用足場を囲む転落防止部と
をさらに備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の輸送用架台。
前記側方フレームには、作業者が前記作業用足場に上るための梯子が設けられていることを特徴とする請求項４に記載の輸送用架台。
前記梯子は、前記側方フレームに収容されることを特徴とする請求項５に記載の輸送用架台。
前記中央フレームは、
上下方向に延在する複数の柱と、
前記第１の方向に延在する梁と、
前記複数の柱の間に斜めに設けられた複数の筋交と
を有することを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の輸送用架台。
前記チャンバは、ＦＰＤ（Flat Panel Display）用の処理チャンバ、ＦＰＤ用の搬送チャンバ、またはＦＰＤ用のロードロックチャンバであることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の輸送用架台。
上下に分割可能なチャンバを輸送する輸送方法であって、
第１の方向に延在する中央フレームと、前記第１の方向における前記中央フレームの両端に前記第１の方向と交差する第２の方向に延在する２つの側方フレームとを備える輸送用架台を輸送用車両の荷台に設置する設置工程と、
前記チャンバの天井面を含む上部部品と前記チャンバの底面を含む下部部品とに分割される前記チャンバにおいて、前記上部部品および前記下部部品の少なくともいずれかを、前記２つの側方フレームの間であって、前記中央フレームの側面に、前記天井面または前記底面が前記中央フレームの側面に沿う向きとなるように配置する配置工程と、
前記中央フレームの側面に、前記上部部品の天井面および前記下部部品の底面の少なくともいずれかを、前記輸送用架台に設けられた複数の固定具により固定する固定工程と、
前記中央フレームの側面に固定された前記上部部品および前記下部部品の少なくともいずれかを前記輸送用車両で輸送する輸送工程と
を含むことを特徴とする輸送方法。
前記中央フレームの一方の側面には、１つの前記チャンバから分割された前記上部部品が前記複数の固定具により固定され、
前記中央フレームの他方の側面には、前記１つのチャンバから分割された前記下部部品が前記複数の固定具により固定されることを特徴とする請求項９に記載の輸送方法。
前記複数の固定具の少なくとも一部は、前記中央フレームに設置され、
前記中央フレームには、前記上部部品の天井面と前記下部部品の底面とが、前記中央フレームに設置された前記固定具により固定されることを特徴とする請求項１０に記載の輸送方法。
前記固定工程には、
前記側方フレームに収容された梯子を引き出す工程と、
前記梯子を用いて作業者が前記側方フレームおよび前記中央フレームの上方に設けられ、周囲が転落防止用の柵で囲まれた作業用足場に上る工程と、
前記作業用足場の上での前記作業者の作業により前記チャンバの前記上部部品の天井面および前記下部部品の底面の少なくともいずれかを前記中央フレームに固定する工程と、
前記梯子を用いて作業者が作業領域から降り、前記側方フレームに梯子を収容する工程と
が含まれることを特徴とする請求項９から１１のいずれか一項に記載の輸送方法。
前記チャンバは、ＦＰＤ用の処理チャンバ、ＦＰＤ用の搬送チャンバ、またはＦＰＤ用のロードロックチャンバであることを特徴とする請求項９から１２のいずれか一項に記載の輸送方法。