KR20060116989A - 평판 표시 장치의 제조 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템은 복수개의 육면체 상자가 적층되어 이루어지며, 카세트가 육면체 상자의 내부에 적재되는 선반부, 선반부 사이의 주행로를 따라 이동하며, 카세트를 핸들링하는 크레인을 포함하는 것이 바람직하다. 따라서, 본 발명에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템은 복수개의 육면체 상자를 적층하여 선반부를 설치함으로써 공장 내 작업을 최소화하고 선반부의 설치 기간 및 설치 공정수를 감소시킨다.

대형기판, 카세트, 스토커, 기류, 파티클, 이물질, FFU

Description

평판 표시 장치의 제조 시스템{MANUFACTURING SYSTEM OF FLAT PANEL DISPLAY}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템의 개략적인 사시도이며,

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템의 선반부의 분해 사시도이고,

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템의 개략적인 평면도이고,

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템의 개략적인 정면도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

50: 제1 팬 필터 유니트 60: 제2 팬 필터 유니트

100: 선반부 200: 크레인

300: 주행로

본 발명은 평판 표시 장치의 제조 시스템에 관한 것으로서, 특히 카세트를 적재 및 반송하는 카세트 적송(積送) 시스템에 관한 것이다.

평판 표시 장치는 액정 표시 장치(LCD, liquid crystal display)와 유기 발광 다이오드(OLED, organic light emitting diode) 표시 장치 등 여러 종류가 있다.

이중, 액정 표시 장치는 현재 가장 널리 사용되고 있는 평판 표시 장치 중 하나로서, 전계 생성 전극이 형성되어 있는 두 장의 표시판과 그 사이에 삽입되어 있는 액정층으로 이루어져, 전극에 전압을 인가하여 액정층의 액정 분자들을 재배열시킴으로써 액정층을 통과하는 빛의 투과율을 조절하는 표시 장치이다.

이러한 액정 표시 장치의 표시판은 복수개의 기판이 카세트 적송 시스템을 통해 각 제조 공정의 공정 설비로 반송되어 액정 표시 장치로 완성된다.

카세트 적송 시스템은 복수개의 기판을 카세트(cassette)에 수납하고 이러한 카세트를 크레인(crane)을 이용하여 스토커(stocker)에 적재하거나 반출하며, 스토커에 적재된 카세트를 인덱서(indexer)를 이용하여 각 제조 공정의 공정 설비로 반송한다.

그러나, 기판이 대형화됨에 따라 이물질(particle)의 수가 증가한다. 대형화된 카세트가 적재된 크레인이 주행로를 이동할 때 주행로 주변 및 양단의 기류가 난류 또는 와류 상태가 되기 쉽다. 따라서, 난류 또는 와류에 의해 주행로의 이물질이 카세트가 보관되는 선반부에 유입되어 기판의 회로부에 붙게된다. 이는 액정 표시 장치의 불량을 유발하는 원인이 된다.

그리고, 천정의 모든 영역에 팬 필터 유니트(fan filter unit, FFU)를 부착하고 기류가 상부에서 하부로 흐르도록 하여 크린 영역 내의 청정도를 유지하나, 선반부는 기류의 흐름을 막기 때문에 정체 기류가 발생하기 쉽다.

그리고, 수직 프레임과 수평 프레임을 공장 내에서 조립하여 선반부를 설치하므로, 선반부의 설치 기간, 설치 인력 및 공정 단계가 증가한다.

본 발명의 기술적 과제는 선반부의 설치 기간, 설치 인력 및 공정 단계가 감소하고, 선반부 내의 기류 흐름이 원활하도록 하는 평판 표시 장치의 제조 시스템을 제공하는 것이다.

본 발명에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템은 복수개의 육면체 상자가 적층되어 이루어지며, 카세트가 상기 육면체 상자의 내부에 적재되는 선반부, 상기 선반부 사이의 주행로를 따라 이동하며, 상기 카세트를 핸들링하는 크레인을 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 복수개의 제1 팬 필터 유니트가 상기 육면체 상자의 측면에 설치되어 있는 것이 바람직하다.

또한, 상기 팬 필터 유니트는 상기 육면체 상자의 측면 중 상기 주행로에서 보다 먼거리에 위치하는 측면에 설치되어 있는 것이 바람직하다.

또한, 상기 육면체 상자는 서로 연결되어 육면체를 이루고 있는 복수개의 프레임, 상기 복수개의 프레임에 의해 정의되는 육면 중 하나 이상의 면에 설치되어 있는 커버를 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 선반부 및 크레인은 하부 바닥 및 상부 천정으로 정의되는 크린 영역 내에 설치되어 있으며, 상기 크레인이 주행하는 주행로에 대응하는 상부 천정에는 복수개의 제2 팬 필터 유니트가 설치되어 있는 것이 바람직하다.

그러면, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.

이제 본 발명의 실시예에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템에 대하여 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템의 개략적인 사시도이며, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템의 선반부의 분해 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템의 개략적인 평면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템의 개략적인 정면도이다.

도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템은 복수개의 기판이 수납되어 있는 카세트(1)가 적재되는 선반부(100), 선반부(100) 사이의 주행로(300)를 따라 이동하는 크레인(200)을 포함한다.

도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 선반부(100)는 복수개의 육면체 상자(11, 12, 13)가 적층되어 이루어지며, 본 발명의 일 실시예에서는 육면체 상자(11, 12, 13)가 3층으로 적층되어 선반부(100)를 이루는 것을 기준으로 하여 설명한다.

각각의 육면체 상자(11, 12, 13)는 복수개의 프레임(5)이 서로 연결되어 육면체를 이루면서 형성된다. 그리고, 복수개의 프레임(5)에 의해 정의되는 육면 중 하나 이상의 면에 커버(도시하지 않음)가 설치될 수 있다.

이와 같이, 복수개의 육면체 상자(11, 12, 13)를 적층하여 선반부(100)를 설치함으로써 공장 내 작업을 최소화하고 선반부(100)의 설치 기간 및 설치 공정수를 감소시킨다. 그리고, 공장 내 작업이 적어지고, 경량 구조가 가능하므로 작업의 안정성이 확보되어 작업의 위험도가 감소된다. 또한, 복수개의 육면체 상자(11, 12, 13)를 적층하여 선반부(100)를 설치하기 때문에 선반부(100)의 높이를 쉽게 조절할 수 있다.

그리고, 복수개의 제1 팬 필터 유니트(50)가 육면체 상자(11, 12, 13)의 측면에 설치되어 있다. 이러한 제1 팬 필터 유니트(50)는 육면체 상자(11, 12, 13)의 내부에 적재되는 카세트(1) 내부에 정체 기류가 발생하지 않도록 한다.

그리고, 크레인(200)은 카세트(10)를 적재하고 주행로(300)를 따라 이동하며 카세트(10)를 선반부(100)에 반입 및 반출한다.

도 2에 도시한 바와 같이, 제1 팬 필터 유니트(50)는 육면체 상자(11, 12, 13)의 측면 중 주행로(300)에서 보다 먼거리에 위치하는 측면에 설치되어 있다. 따라서, 기류의 방향은 선반부(100)로부터 중심의 주행로(300)로 향하는 수평 방향(A)이 되며 따라서, 카세트(1) 내부의 기판 사이로 청정 기류가 흐르게 되어 카세트(1) 내부에 정체 기류가 발생하지 않게 된다.

이와 같이, 육면체 상자(11, 12, 13)의 측면에 제1 팬 필터 유니트(50)를 설치함으로써 기판의 표면을 따라 공기가 흐르게 하여 기판에 이물질이 달라붙지 않도록 하 며, 수평 방향(A)으로 흐르는 기류가 선반부(100)로부터 주행로(300) 방향으로 흐르도록 함으로써 크레인(200) 주행 시에 주행로(300) 기류가 선반부(100)로 유입되는 것을 차단한다.

즉, 크레인(200)이 주행로(300)를 따라 주행하는 경우에는 크레인(200)의 좌측 및 우측에 설치되어 있는 선반부(100)에 와류 또는 난류가 유입된다. 그러나 본 발명의 일 실시예에 따라 수평 방향 기류(A)를 형성함으로써 크레인(200)의 주행에 의해 발생하는 난류의 선반부(100)로의 유입을 방지할 수 있다.

도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 평판 표시 장치의 제조 시스템의 선반부(100) 및 크레인(200)은 크린 영역(1000)에 설치되어 있으며, 크린 영역(1000)은 상부의 천정(1001)과 하부의 바닥(1002)에 의해 정의된다. 그리고, 크린 영역(1000)의 천정(1001)과 바닥(1002)은 수직 하강 기류(B)가 통과할 수 있도록 복수개의 격자(Grating)로 형성되어 있다.

크린 영역은 선반부(100)가 위치하는 영역(C, E)과 주행로(300)가 위치하는 영역(D)으로 구분된다. 주행로(300)가 위치하는 영역(D)의 천정에는 복수개의 제2 팬 필터 유니트(60)가 설치되어 있고, 선반부(100)가 위치하는 영역(C, E)의 천정에는 제2 팬 필터 유니트(60)가 설치되어 있지 않다. 주행로(300)가 위치하는 영역의 천정(1001)에 설치되어 있는 제2 팬 필터 유니트(60)는 수직 하강 기류(B)를 형성함으로써 이물질이 비산하는 것을 방지한다.

그리고, 선반부(100)가 위치하는 영역의 천정(1001)에는 제2 팬 필터 유니트(60)가 설치되어 수직 하강 기류(B)를 흘려도 선반부(100)가 위치하는 영역에는 선반부(100)에 의해 기류가 막히므로 정체 기류가 발생하기 쉽기 때문에 제2 팬 필터 유니트(60)를 설치하지 않을 수 있다. 이와 같이, 주행로(300)가 위치하는 영역의 천정(1001)에만 제2 팬 필터 유니트(60)를 설치함으로써 천정(1001)에 설치하는 제2 팬 필터 유니트(60)의 수량이 감소된다.

본 발명에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템은 복수개의 육면체 상자를 적층하여 선반부를 설치함으로써 공장 내 작업을 최소화하고 선반부의 설치 기간 및 설치 공정수를 감소시킨다.

또한, 육면체 상자의 측면에 제1 팬 필터 유니트를 설치함으로써 기판의 표면을 따라 공기가 흐르게 하여 기판에 이물질이 달라붙지 않도록 하며, 수평 방향으로 흐르는 기류가 선반부로부터 주행로 방향으로 흐르도록 함으로써 크레인 주행 시에 주행로 기류가 선반부로 유입되는 것을 차단한다.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 권리 범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.

Claims (5)

1. 복수개의 육면체 상자가 적층되어 이루어지며, 카세트가 상기 육면체 상자의 내부에 적재되는 선반부,

   상기 선반부 사이의 주행로를 따라 이동하며, 상기 카세트를 핸들링하는 크레인

   을 포함하는 평판 표시 장치의 제조 시스템.
2. 제1항에서,

   복수개의 제1 팬 필터 유니트가 상기 육면체 상자의 측면에 설치되어 있는 평판 표시 장치의 제조 시스템.
3. 제2항에서,

   상기 팬 필터 유니트는 상기 육면체 상자의 측면 중 상기 주행로에서 보다 먼거리에 위치하는 측면에 설치되어 있는 평판 표시 장치의 제조 시스템.
4. 제2항에서,

   상기 육면체 상자는

   서로 연결되어 육면체를 이루고 있는 복수개의 프레임,

   상기 복수개의 프레임에 의해 정의되는 육면 중 하나 이상의 면에 설치되어 있는 커버를 포함하는 평판 표시 장치의 제조 시스템.
5. 제1항에서,

   상기 선반부 및 크레인은 하부 바닥 및 상부 천정으로 정의되는 크린 영역 내에 설치되어 있으며,

   상기 크레인이 주행하는 주행로에 대응하는 상부 천정에는 복수개의 제2 팬 필터 유니트가 설치되어 있는 평판 표시 장치의 제조 시스템.

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