KR100505183B1 - 기판 이송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 생산량 증가에 따른 카세트 또는 기판의 이송장치에 관한 것으로, 상하로 배치된 제1 및 제2 공간; 상기 제1공간에 기판을 임시 저장하기 위해 설치된 제1그룹의 스토커; 상기 제2공간에 카세트를 임시 저장하기 위해 설치되고, 상기 제1그룹의 스토커와 수직으로 대응하는 위치에 배치된 제2그룹의 스토커; 및 상기 제1그룹의 스토커와 제2그룹의 스토커를 수직으로 연결하는 이송관을 포함하여 구성된 이송장치를 제공한다.

Description

기판 이송장치{SYSTEM FOR TRANSPORTING GLASS}

본 발명은 카세트 이송장치에 관한 것으로, 특히 액정표시소자의 생산량 증가함에 따라 카세트 또는 기판을 원활하게 이송할 수 있는 카세트 이송장치에 관한 것이다.

근래, 핸드폰(Mobile Phone), PDA, 노트북컴퓨터와 같은 각종 휴대용 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용할 수 있는 경박단소용의 평판표시장치(Flat Panel Display Device)에 대한 요구가 점차 증대되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등이 활발히 연구되고 있지만, 양산화 기술, 구동수단의 용이성, 고화질의 구현이라는 이유로 인해 현재에는 액정표시소자(LCD)가 각광을 받고 있다.

도 1은 일반적인 액정표시소자의 단면을 개략적으로 나타낸 것이다. 도면에 도시한 바와 같이, 액정표시소자(1')는 하부기판(5')과 상부기판(3') 및 상기 하부기판(5')과 상부기판(3') 사이에 형성된 액정층(7')으로 구성되어 있다. 하부기판(5')은 구동소자 어레이(Array)기판으로써, 도면에 상세하게 도시하지 않았지만, 상기 하부기판(5')에는 복수의 화소가 형성되어 있으며, 각각의 화소에는 박막트랜지스터(thin film transistor)와 같은 구동소자가 형성되어 있다. 상부기판(3')은 칼라필터(color filter)기판으로써, 실제 칼라를 구현하기 위한 칼라필터층이 형성되어 있다. 또한, 상기 하부기판(5') 및 상부기판(3')에는 각각 화소전극 및 공통전극이 형성되어 있으며 액정층(7')의 액정분자를 배향하기 위한 배향막이 도포되어 있다.

상기 하부기판(5') 및 상부기판(3')은 실링재(sealing material)(9')에 의해 합착되어 있으며, 그 사이에 액정층(7')이 형성되어 상기 하부기판(5')에 형성된 구동소자에 의해 액정분자를 구동하여 액정층을 투과하는 광량을 제어함으로써 정보를 표시하게 된다.

액정표시소자의 제조공정은 크게 하부기판(5')에 구동소자를 형성하는 구동소자 어레이기판공정과 상부기판(3')에 칼라필터를 형성하는 칼라필터기판공정 및 셀(cell)공정으로 구분될 수 있는데, 이러한 액정표시소자의 공정을 도 2를 참조하여 설명하면 다음과 같다.

우선, 구동소자 어레이공정에 의해 하부기판(5')상에 배열되어 화소영역을 정의하는 복수의 게이트라인(gate line) 및 데이터라인(date line)을 형성하고 상기 화소영역 각각에 상기 게이트라인과 데이터라인에 접속되는 구동소자인 박막트랜지스터를 형성한다(S101). 또한, 상기 구동소자 어레이공정을 통해 상기 박막트랜지스터에 접속되어 박막트랜지스터를 통해 신호가 인가됨에 따라 액정층을 구동하는 화소전극을 형성한다.

또한, 상부기판(3')에는 칼라필터공정에 의해 칼라를 구현하는 R,G,B의 칼라필터층과 공통전극을 형성한다(S104).

이어서, 상기 상부기판(3') 및 하부기판(5')에 각각 배향막을 도포한 후 상부기판(3')과 하부기판(5') 사이에 형성되는 액정층의 액정분자에 배향규제력 또는 표면고정력(즉, 프리틸트각(pre-tilt angel)과 배향방향)을 제공하기 위해 상기 배향막을 러빙(Rubbing)한다(S102,S105). 그 후, 하부기판(5')에 셀갭(Cell Gap)을 일정하게 유지하기 위한 스페이서(Spacer)를 산포하고 상부기판(3')의 외곽부에 실링재를 도포한 후 상기 하부기판(5')과 상부기판(3')에 압력을 가하여 합착한다(S103,S106,S107). 한편, 상기 하부기판(5')과 상부기판(3')은 대면적의 유리기판으로 이루어져 있다. 다시 말해서, 대면적의 유리기판에 복수의 패널(Panel)영역이 형성되고, 상기 패널영역 각각에 구동소자인 TFT 및 칼라필터층이 형성되기 때문에 낱개의 액정패널을 제작하기 위해서는 상기 유리기판을 절단, 가공해야만 한다(S108). 이후, 상기와 같이 가공된 개개의 액정패널에 액정주입구를 통해 액정을 주입하고 상기 액정주입구를 봉지하여 액정층을 형성한 후 각 액정패널을 검사함으로써 액정표시소자를 제작하게 된다(S109,S110).

상기와 같은 공정을 통해 제작되는 액정표시소자는 먼지와 같은 오염물질에 의해서 불량이 쉽게 발생되기 때문에 액정표시소자의 제조공간은 청정실(clean room)에서 이루어진다.

도 3은 종래 청정실(10) 내부를 개략적으로 나타낸 도면이다. 도면에 도시된 바와 같이, 청정실(10) 내부에는 공정특성별로 영역이 나뉘어져 있으며, 각각의 영역에는 공정진행을 위한 복수의 베이(bay;5)가 소정의 폭으로 형성되어 있다. 또한, 베이(5) 주변에는 공정진행을 위한 각종 설비(1)가 구비되어 있으며, 베이(5) 내에는 소정의 이동기능을 갖춘 로봇(미도시) 및 자동이동장치(automatic guided vehicle ; AGV)가 구비되어 베이(5) 내부를 주행하면서, 가공된 기판을 적절한 설비(1)로 이송시킨다.

그리고, 상기 각 베이(5)에 대해 베이(5)내에 공정을 마친 기판 또는 기판을 적재한 카세트를 다음 공정을 위해 임시 저장하는 스토커(3)가 설치되어 있다. 상기 스토커(3)와 스토커(3)간의 기판 이동은 자동이송장치(미도시)에 의해서 이루어지며, 자동이송장치는 운송라인(7)을 따라 진행한다.

도 4는 공정라인을 포함하고 있는 청정실의 사시도로써, 설명의 편의를 위하여 스토커(3a∼3f) 및 스토커들(3a∼3f) 간의 베이(5a∼5g)를 간략하게 나타낸 것이다.

도시된 바와 같이, 청정실(10)은 실질적으로 기판의 가공이 이루어지는 상부공간(10a)과 상부공간(10a)의 기류를 외부로 배출시키기 위한 하부공간(10b)으로 나뉘어져 있다.

상기 상부공간(10a)에 설치된 제1∼6스토커(3a∼3f)는 제1~7베이(5a∼5f)에 의해서 서로 연결되어 있으며, 상기 베이(5a∼5f)를 통해서 카세트 이송이 이루어진다. 즉, 제1스토커(3a)와 제2스토커(3b)사이의 카세트 이송은 제1베이(5a)를 통해서 이루어지고, 제2스토커(3b)와 제3스토커(3c)는 제2베이(5b)를 통해 이루어진다. 그리고, 제3스토커(3c)와 제4스토커(3d)사이의 카세트이송은 제3베이(5c)를 통해서 이루어지고, 제3스토커(3c)와 제5스토커(3e)는 제5베이(5e)를 통해 이루어진다. 또한, 제4스토커(3d)와 제6스토커(3f) 사이의 카세트이송은 제4베이(5d)를 통해서 이루어지며, 제5스토커(3e)와 제6스토커(6f)는 제5베이(5f)를 통해 이루어진다.

예를들어, 상기 제1스토커(3a)에서 제3스토커(3c)로 카세트를 이송할 경우, 자동이송장치가 상기 제1스토커(3a)에서 카세트를 취출하여 제1베이(5a)를 이동한 다음, 상기 제2스토커(3b)의 포트에 카세트를 올려놓게 된다. 이어서, 상기 제2 및 제3스토커(3b,3c) 사이를 운행하는 타 자동이송장치가 상기 제2스토커(3b)의 포트에 들어온 카세트를 실어 제2베이(5b)를 이동하여 제3스토커(5c)내에 상기 카세트를 취입함으로써, 상기 제1스토커(3a,3c)에서 제3스토커(3c)로 카세트를 이송하게 된다.

그러나, 상기와 같은 이송방법은 생산량 증가로 인해 카세트 및 기판의 이송량이 증가함에도 불구하고, 자동이송장치(AGV) 운행라인의 공간이 제한되어 있기 때문에 무인이송장치의 수를 일정 수 이상 설치하기 어려운 문제점이 있다. 따라서, 정해진 시간내에 이송이 완료되지 못하고 지연되어 공정장비로 들어오기 위한 대기시간이 증가하여 작업의 능률이 떨어지는 문제점이 있었다.

또한, 종래 이송방식은 기판을 한 장씩 이송하는 매엽이송방식 또는 여러장의 기판을 담은 카세트를 이송하는 카세트이송방식 중에 한가지 방식만을 선택해야 하는 문제점이 있었다. 즉, 매엽방식을 사용하게 되면, 자동이송장치가 필요 없으며, 운행라인이 모두 인라인 형태로 설치되어 있기 때문에 상기 운행라인이 이동함에 따라, 그 위에 놓인 기판을 한 장씩 이송된다. 한편, 카세트이송방식은 여러장의 기판을 카세트에 담은다음, 이를 자동이송장치에 실어 운행라인을 이동함으로써 기판이 이송된다. 따라서, 매엽방식 또는 카세트방식 중 한가지 방식만을 선택할 수 있다.

따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 생산량이 증대됨에 따라 카세트 또는 기판의 대기시간 없이 바로 공정장비로 투입될 수 있도록 하여 생산효율을 증대시킬 수 있는 기판이송장치를 제공하는데 있다.

또한, 본 발명은 매엽방식과 카세트방식을 혼합하여 사용할 수 있는 기판이송장치 및 이송방법을 제공하는데 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 상하로 배치된 제1 및 제2 공간; 상기 제1공간에 기판을 임시 저장하기 위해 설치된 제1그룹의 스토커; 상기 제2공간에 카세트를 임시 저장하기 위해 설치되고, 상기 제1그룹의 스토커와 수직으로 대응하는 위치에 배치된 제2그룹의 스토커; 및 상기 제1그룹의 스토커와 제2그룹의 스토커를 수직으로 연결하는 이송관을 포함하여 구성된 이송장치를 제공한다.

상기 제1그룹의 스토커들 사이를 연결하는 제1그룹의 베이 및 상기 제2그룹의 스토커들 사이를 연결하는 제2그룹의 베이를 추가로 포함하며, 상기 제1그룹의 베이 또는 제2그룹의 베이 주변에 공정장비들이 설치되어 있다. 여기서, 상기 공정장비들은 증착장비, 식각장비, 노광장비, 열처리장비 및 세정장비등을 포함한다.

그리고, 상기 제1그룹의 베이는 컨베이어시스템으로 구성되어 있으며, 상기 제1그룹 베이의 이동에 의해서 기판이 한 장씩 이송된다.

또한, 상기 이송관을 통해 기판이 제1그룹스토커 및 제2그룹스토커 사이를 이동하게 되며, 상기 이송관에는 기판을 수직방향으로 운행하는 리프터가 설치되어 있다.

그리고, 상기 제2그룹스토커들 간을 운행하며 목적지에 카세트를 이송하는 자동이송장치가 설치되어 있다.

또한, 본 발명은 상하로 배치된 제1 및 제2 공간; 상기 제1공간에 카세트를 임시 저장하기 위해 설치된 제1그룹의 스토커; 상기 제2공간에 기판을 임시 저장하기 위해 설치되고, 상기 제1그룹의 스토커와 수직으로 대응하는 위치에 배치된 제2그룹의 스토커; 및 상기 제1그룹의 스토커와 제2그룹의 스토커를 수직으로 연결하는 이송관을 포함하여 구성된 이송장치를 제공한다.

상기 제1그룹의 스토커들 사이를 연결하는 제1그룹의 베이 및 상기 제2그룹의 스토커들 사이를 연결하는 제2그룹의 베이를 추가로 포함하며, 상기 제1그룹의 베이 또는 제2그룹의 베이 주변에 공정장비들이 설치되어 있다. 여기서, 상기 공정장비들은 증착장비, 식각장비, 노광장비, 열처리장비 및 세정장비등을 포함한다.

그리고, 상기 제2그룹의 베이는 컨베이어시스템으로 구성되어 있으며, 상기 제2그룹 베이의 이동에 의해서 기판이 한 장씩 이송된다.

또한, 상기 이송관을 통해 기판이 제1그룹스토커 및 제2그룹스토커 사이를 이동하게 되며, 상기 이송관에는 기판을 수직방향으로 운행하는 리프터가 설치되어 있다.

그리고, 상기 제1그룹스토커들 간을 운행하며 목적지에 카세트를 이송하는 자동이송장치가 설치되어 있다.

이하, 참조한 도면을 통하여 상기와 같이 구성된 본 발명의 이송장치에 대하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 5는 본 발명에 의한 이송장치의 개략적인 사시도를 나타낸 도면으로, 설명의 편의를 위하여 임의의 베이 및 스토커만을 간단하게 나타낸 것이다.

도면에 도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 이송장치는 제1공간(20a) 및 제2공간(20b)으로 나뉘어진 청정실(20) 내부에 각각에 설치된다.

상기 제1공간(20a)에는 공정특성별로 영역이 나뉘어져 있으며, 공정별영역에는 공정진행을 위한 제1그룹의 베이(15a∼15g)가 소정의 폭으로 형성되어 있다. 그리고, 각 베이(15a∼15g)의 주변에는 공정장비들(미도시)(예를 들면, 증착장비, 식각장비, 노광장비, 열처리장비 및 세정장비)이 설치되어 있으며, 상기 공정장비로부터 나온 기판들은 제1그룹 베이(15a∼15g)를 통해 타공정장비로 이송된다.

또한, 임의 베이를 통해 특정공정별영역을 지나온 기판이 타공정영역으로 진입하기 전 임시 저장될 수 있는 제1그룹의 스토커(13a∼13e)가 베이(15a∼15g)들 사이에 설치되어 있다.

즉, 제1그룹의 제1스토커(13a)는 제1그룹의 제1 및 제7베이(15a,15g)에 의해 제2 및 제4스토커(13b,13d)와 각각 연결되어 있으며, 상기 제3스토커(13c)는 제2 및 제3베이(15b,15c)를 통해 제2 및 제4스토커(13b,13d)와 각각 연결되어 있다. 그리고, 상기 제5스토커(13e)는 제5 및 제6베이(15e,15f)를 통해 제3 및 제 6스토커(13c,13f)에 연결되어 있으며, 상기 제6스토커(13f)는 제4베이(15d)를 통해 제4스토커(13d)에 연결되어 있다.

상기 제1그룹의 베이(15a∼15g)는 컨베이어시스템으로 구성되어 있으며, 상기 베이 위에 올려진 기판은 베이의 이동에 의해서 자동으로 이송된다. 그리고, 특정영역의 공정을 마친 기판은 로봇에 의해서 스토커에 저장되며, 상기 스토커에 저장된 기판은 또 다른 공정영역으로 취입되기 위하여 로봇에 의해 타베이로 옮겨지게 된다.

또한, 상기 제2공간(20b)에는 상기 제1그룹스토커(13a∼13f)와 수직으로 대응하는 위치에 설치된 제2그룹스토커(23a∼23f)가 설치되어 있으며, 상기 제2그룹스토커(23a∼23f)는 제1 및 제6이송관(31a∼31f)을 통해 상기 제1그룹스토커(13a∼13f)와 연통되어 있다. 그리고, 상기 이송관(31a∼31f)에는 제1그룹스토커(13a∼13f)에 저장된 기판을 상,하부방향으로 이동시킬 수 있는 리트터장치(lifter system)가 설치되어 있다. 또한, 상기 제2그룹의 스토커(23a∼23f) 사이에는 각 스토커를 연결하는 베이(25a∼25h)가 마련되어 있으며, 상기 제2그룹스토커(23a∼23f) 간의 카세트 이송은 베이내를 이동하는 무인반송장치(미도시)에 의해서 이루어진다.

즉, 상기 제2그룹의 제1스토커(23a)는 제2그룹의 제1 및 제5베이(25a,25e)에 의해 제2 및 제4스토커(23b,23d)와 연결되어 있으며, 제2스토커(23b)는 제2 및 제6베이(25b,25f)에 의해 제3 및 제4스토커(23c,23d)에 연결되어 있다. 그리고, 상기 제3스토커(23c)는 제3베이(25c)에 의해 제5스토커(23e)에 연결되어 있으며, 상기 제6스토커(23f)는 제4 및 제8베이(25d,25h)에 의해 제4 및 제5스토커(23d,23e)와 연결되어 있다.

따라서, 상기 제2그룹 스토커(23a∼23f) 간을 서로 연결하는 제2그룹의 베이(25a∼25h)를 통하여 카세트이송이 이루어진다.

상기와 같이 구성된 이송장치는 다음과 같은 과정을 통하여 기판 또는 카세트를 이송하게 된다.

예를 들어, 제1그룹의 제1스토커(13a)에 저장된 기판을 제3스토커(13c)로 이송키는 방법으로는 제1공간(20a)에서만 이루어지는 제1이송방법과 제1 및 제2공간(20a,20b)을 통해 이루어지는 제2이송방법이 있다.

먼저, 상기 제1이송방법은 상기 제1스토커(13a)에 저장된 기판이 로봇에 의해 취출되어 상기 제1그룹의 제1베이(15a)에 올려진 다음, 상기 제1베이(15a)의 이동에 의해서 상기 제2스토커(13b) 근처까지 이송된다. 그리고, 상기 제2스토커(13b) 근처에 도달한 기판은 로봇에 의해 제2스토커(13b)를 통과하여 상기 제1그룹의 제2베이(15b)를 이동하게 된다. 제2베이(15b)의 이동에 의해 상기 기판이 제3스토커(13c) 근처에 이르면, 로봇에 의해 제3스토커(13c)에 취입된다. 이때, 기판이 상기 제2스토커(13b)를 통과하는 과정은 로봇에 의해서 이루어진다. 즉, 제2스토커(13b) 근처에 도달한 기판은 로봇에 제2스토커(13b)에 올려지게 되며, 상기 제2스토커(13b)에 올려진 기판은 다시 로봇에 의해 제2베이(15b)에 올려진다.

그리고, 상기 제2이송방법은 제1스토커(13a)에 저장된 기판이 로봇에 의해 취출되어 상기 제1그룹의 제1베이(15a)에 올려진 다음, 상기 제1베이(15a)의 이동에 의해서 상기 제2스토커(13b) 근처까지 이송된다. 상기 제2스토커(13b) 근처에 이송된 기판은 로봇에 의해 제2스토커(13b)에 저장된 다음, 상기 제1그룹의 제2스토커(13b)와 제2그룹의 제2스토커(23b)를 연결하는 제2이송관(31b)을 통해 상기 제2스토커(23b)로 이동된다. 이때, 상기 제2이송관(31b)에는 제1그룹 및 제2그룹의 제2스토커(13b,23b) 사이를 수직으로 이동할 수 있는 리프터(미도시)가 장착되어 있으며, 기판은 상기 리프터를 통해 제2그룹의 제2스토커(23b)에 이송된다. 상기와 같이, 제2그룹의 제2스토커(23b)에 도달한 기판은 다시 로봇에 의해 카세트에 적재되고, 상기 카세트는 제2그룹의 제2스토커(23b)와 제3스토커(23c) 사이를 이동하는 자동이송장치에 의해 제3스토커(23c)에 취입된다.

이때, 상기 자동이송장치는 자기부상방식에 의해서 구동되며, 리니어모터(linear motor)에 의해서 주행동작이 이루어진다.

도 6은 카세트(35)가 실린 자동이송장치(30)를 나타낸 도면이다. 도면에 도시된 바와 같이, 자동이송장치(30)는 베이내에 설치된 리니어모터(33)를 따라 운행하며, 카세트(35)를 이송하게 된다. 이때, 상기 카세트(35) 내부에는 복수의 기판이 적재되어 있다.

상기와 같이, 본 발명에 의한 기판 또는 카세트이송은 매엽방식 또는 카세트방식을 통해 이루어진다. 즉, 기판을 한 장씩 이송하는 매엽방식은 제1공간에서 이루어지며, 이것은 상기 베이를 컨베이어시스템으로 구성함으로써 이루어진다. 그리고, 여러장의 기판을 카세트에 담아 이송하는 카세트방식은 제2공간에서 이루어지며, 이것은 상기 베이내를 이동하는 자동이송장치에 의해서 이루어진다.

또는, 상기 제1공간을 카세트방식으로 사용하고, 제2공간을 매엽방식으로 사용하는 것도 가능하며, 상기 제1 및 제2공간을 모두 카세트방식 또는 매엽방식으로 사용할 수도 있다.

그러나, 실제 기판의 가공이 이루어지는 제1공간에서 자동이송장치를 이용한 카세트방식을 사용하게 되면, 공정장비간의 카세트 이동이 베이내를 운행하는 자동운송장치에 의해서 이루어지기 때문에 기판의 이송시간이 증가하게 되므로, 매엽방식보다 기판 이송시간이 증가하게 된다. 따라서, 실제 기판의 가공이 이루어지는 제1공간내에서는 매엽방식을 사용하는 것이 공정시간 측면에서 더욱 유리하다.

또한, 공정장비들이 제2공간의 제2그룹 베이내에 설치될 수도 있다.

또한, 본 발명은 상기 제1공간(20a)과 제2공간(20b)의 기판이송이 동시에 이루어질 수도 있다. 즉, 생산량의 증가로 인하여 제1공간(20a)의 이송장치만으로 정해진 시간내에 기판이송이 완료되지 못하는 경우, 상기 제2공간(20b)의 이송장치를 동시에 사용함으로써, 기판의 이송을 원활하게 할 수 있다.

또한, 도면에 상세하게 도시되진 않았지만, 상기 제1공간(20a)의 천정에는 팬필터유닛이 설치되어 상기 팬필터유닛에 의해 외기를 흡입한 후 필터링하여, 흡입된 공기를 제2공간(20b)으로 배출한다. 그리고, 상기 제2공간(20b)으로 배출된 공기는 다시 외부로 배출되거나 또다시 제1공간(20a)을 통해 순환하게 된다. 따라서, 상기 제1공간(20a) 및 제2공간(20b)의 경계면에는 공기의 흐름통로인 복수의 통공들이 균일한 밀도로 형성되어 있다.

상기한 바와 같이, 발명은 기판 또는 카세트 이송장치를 제공하며, 특히, 생산량 증대에 따른 공정효율의 증가를 위한 이송장치를 제공한다. 종래의 카세트방식을 채용한 이송장치는 자동이송장치(AGV) 운행라인의 공간이 제한되어 있기 때문에 무인이송장치의 수를 일정 수 이상 설치하기 어려우며, 이에 따라 정해진 시간내에 이송이 완료되지 못하고 지연되어 공정장비로 들어오기 위한 대기시간이 증가하여 작업의 능률이 떨어지는 문제점이 있었다. 반면에 본 발명에서는 기판 또는 카세트가 상하로 분리된 제1 및 제2공간에서 동시에 이루어지도록 이송장치를 구성함으로써, 정해진 시간내에 기판의 이송이 원하게 이루어지도록 함으로써, 공정효율을 증가시킨다. 즉, 상기 제1공간에는 각 베이를 컨베이어스트템으로 구성하여 매엽방식을 적용하고, 상기 제2공간에는 자동이송장치를 사용하여 카세트방식을 적용함으로써, 기판의 대기시간을 단축 할 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 기판의 이송장치는 제1 및 제2공간으로 분리하여 구성하고, 매엽방식과 카세트방식을 병행하여 기판을 이송함으로써, 공정장비의 대기시간을 줄여 생산효율을 더욱 향상시킬 수 있다.

도 1은 일반적인 액정표시소자의 구조를 개략적으로 나타낸 단면도.

도 2는 일반적인 액정표시소자의 공정흐름도를 나타낸 도면.

도 3은 종래 청정실 내부를 개략적으로 나타낸 도면.

도 4는 종래 청정실의 내부의 기판이송장치를 개략적으로 나타낸 사시도.

도 5는 본 발명에 의한 기판이송장치를 개략적으로 나타낸 사시도.

도 6은 자동이동장치를 나타낸 도면.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

13a∼13f: 제1그룹 스토커 23a∼23f: 제2그룹 스토커

15a∼15g: 제1그룹 베이 25a∼25h: 제2그룹 베이

31a∼31f: 이송관 30: 자동이송장치

33: 리니어모터 35: 카세트

Claims (20)

1. 상하로 배치된 제1 및 제2공간;

   상기 제1공간에 기판을 임시 저장하기 위해 설치된 제1그룹의 스토커;

   상기 제2공간에 카세트를 임시 저장하기 위해 설치되고, 상기 제1그룹의 스토커와 수직으로 대응하는 위치에 배치된 제2그룹의 스토커; 및

   상기 제1그룹의 스토커와 제2그룹의 스토커를 수직으로 연결하는 이송관을 포함하여 구성된 이송장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 제1그룹의 스토커들 사이를 연결하는 제1그룹의 베이 및 상기 제2그룹의 스토커들 사이를 연결하는 제2그룹의 베이를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 이송장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 제1그룹의 베이 주변에 공정장비들이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 이송장치.
4. 제2항에 있어서, 상기 제2그룹의 베이 주변에 공정장비들이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 이송장치.
5. 제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 공정장비들은 증착장비, 식각장비, 노광장비, 열처리장비 및 세정장비를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송장치.
6. 제3항에 있어서, 상기 제1그룹의 베이는 컨베이어시스템인 것을 특징하는 이송장치.
7. 제3항에 있어서, 상기 제1그룹 베이의 이동에 의해서 기판이 이송되는 것을 특징으로 하는 이송장치.
8. 제1항에 있어서, 상기 이송관을 통해 기판이 제1그룹스토커 및 제2그룹스토커 사이를 이동하는 것을 특징으로 하는 이송장치.
9. 제1항에 있어서, 상기 이송관에는 상하 이동이 가능한 리프터가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 이송장치.
10. 제1항에 있어서, 상기 제2그룹스토커들 간을 운행하며 목적지에 카세트를 이송하는 자동이송장치를 추가로 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 이송장치.
11. 상하로 배치된 제1 및 제2 공간;

    상기 제1공간에 카세트를 임시 저장하기 위해 설치된 제1그룹의 스토커;

    상기 제2공간에 기판을 임시 저장하기 위해 설치되고, 상기 제1그룹의 스토커와 수직으로 대응하는 위치에 배치된 제2그룹의 스토커; 및

    상기 제1그룹의 스토커와 제2그룹의 스토커를 수직으로 연결하는 이송관을 포함하여 구성된 이송장치.
12. 제11항에 있어서, 상기 제1그룹의 스토커들 사이를 연결하는 제1그룹의 베이 및 상기 제2그룹의 스토커들 사이를 연결하는 제2그룹의 베이를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 이송장치.
13. 제12항에 있어서, 상기 제1그룹의 베이 주변에 공정장비들이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 이송장치.
14. 제12항에 있어서, 상기 제2그룹의 베이 주변에 공정장비들이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 이송장치.
15. 제13항 및 제14항에 있어서, 상기 공정장비들은 증착장비, 식각장비, 노광장비, 열처리장비 및 세정장비를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송장치.
16. 제12항에 있어서, 상기 제2그룹의 베이는 컨베이어시스템인 것을 특징하는 이송장치.
17. 제12항에 있어서, 상기 제2그룹 베이의 이동에 의해서 기판이 이송되는 것을 특징으로 하는 이송장치.
18. 제11항에 있어서, 상기 이송관을 통해 기판이 제1그룹스토커 및 제2그룹스토커 사이를 이동하는 것을 특징으로 하는 이송장치.
19. 제11항에 있어서, 상기 이송관에는 상하이동이 가능한 리프터가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 이송장치.
20. 제11항에 있어서, 상기 제1그룹스토커들 간을 운행하며 목적지에 카세트를 이송하는 자동이송장치를 추가로 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 이송장치.