KR101497054B1 - 기판 처리 장치 - Google Patents

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준야 미나미다
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

기판 처리 장치의 제조 코스트나 소비 에너지를 저감시키는 것이다. 본 발명에서는, 캐리어(3)에 수용된 기판(2)을 전달하는 기판 반출입부(기판 전달실(12))와, 상기 기판 반출입부와 기판 반입출구(37(39))를 개재하여 연통하는 기판 반송실(14(25))과, 상기 기판 반송실(14(25))을 따라 배치된 복수의 기판 처리실(15 ~ 24(26 ~ 35))과, 상기 기판 반송실(14(25))의 내부에 수용되고, 상기 기판 반출입부와 상기 기판 처리실(15 ~ 24(26 ~ 35))의 사이에서 상기 기판(2)을 반송하기 위한 기판 반송 장치(36(38))와, 상기 기판 반송실(14(25))을 따라 청정 공기를 흘리기 위한 청정 공기 유동 수단(41(42))을 가지는 것으로 했다.

Description

기판 처리 장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
본 발명은, 예를 들면 반도체 웨이퍼 등의 기판에 세정 처리 등의 처리를 행하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
반도체 부품의 제조 프로세스 또는 플랫 패널 디스플레이(FPD)의 제조 프로세스에서는, 피처리 기판인 반도체 웨이퍼 또는 글라스 기판으로 처리액을 공급하여 세정 처리 또는 에칭 처리하기 위하여 기판 처리 장치가 많이 이용되고 있다.
이 기판 처리 장치는, 직사각형 상자 형상의 하우징의 중앙부에 연장(伸延)되는 기판 반송실을 형성하고 또한, 기판 반송실을 따라 좌우측방으로 복수의 기판 처리실을 배열하여 형성하고 있다.
그리고, 기판 처리 장치는 기판 반송실의 내부에 설치한 기판 반송 장치를 이용하여 기판을 각 기판 처리실로 반입하고, 각 기판 처리실에서 기판의 각종 처리를 행하고, 처리 후의 기판을 기판 반송 장치를 이용하여 각 기판 처리실로부터 반출하도록 하고 있다.
이러한 기판 처리 장치에서는, 내부의 공기를 항상 청정한 상태로 유지하기 위하여, 기판 반송실에 청정 공기 유동 수단으로서 천장부에 팬 필터 유닛을 장착하고 또한, 바닥부에 배기 유닛을 장착하고 있다.
그리고 이 기판 처리 장치에서는, 팬 필터 유닛으로부터 기판 반송실의 내부에 청정 공기를 흡입하고 또한 배기 유닛으로부터 배출하도록 하여, 기판 반송실의 내부에 상방으로부터 하방을 향하여 청정 공기를 흘리도록 하고 있다(예를 들어, 특허 문헌 1 참조.).
일본특허공개공보 2008-34490호
그런데, 상기 종래의 기판 처리 장치에서는, 향후 처리 능력을 향상시키기 위하여 기판 반송실의 측방에 설치된 기판 처리실의 개수를 증대시킨 경우, 그에 수반하여 기판 반송실에 설치한 팬 필터 유닛 또는 배기 유닛으로 이루어지는 청정 공기 유동 수단이 대형화되어, 소비 에너지의 증대나 제조 코스트의 증대가 발생할 우려가 있다.
또한, 기판 처리실이나 기판 반송실을 상하로 다단으로 중첩하여 배치한 경우, 청정 공기 유동 수단의 구조가 복잡화되어, 장치의 대형화나 제조 코스트의 증대가 발생할 우려가 있다.
그래서 본 발명에서는, 기판 처리 장치에 있어서, 캐리어에 수용된 기판을 전달하는 기판 반출입부와, 상기 기판 반출입부와 기판 반입출구를 개재하여 연통하는 기판 반송실과, 상기 기판 반송실을 따라 배치된 복수의 기판 처리실과, 상기 기판 반송실의 내부에 수용되고, 상기 기판 반출입부와 상기 기판 처리실의 사이에서 상기 기판을 반송하기 위한 기판 반송 장치와, 상기 기판 반송실을 따라 청정 공기를 흘리기 위한 청정 공기 유동 수단을 가지기로 했다.
또한 상기 청정 공기 유동 수단은, 상기 기판 반송실 내에 가로 방향의 청정 공기의 흐름을 형성하는 것으로 했다.
또한 상기 청정 공기 유동 수단은, 상기 기판 반송실의 일단측의 측벽에 설치한 급기 유닛과, 상기 기판 반송실의 타단측의 측벽에 설치한 배기 유닛으로 형성하는 것으로 했다.
또한 상기 급기 유닛은, 상기 기판 반송실의 상기 기판 반출입부측의 측벽에 설치되어 있는 것으로 했다.
또한 상기 급기 유닛은, 상기 기판 반입출구보다 상방에 설치하는 것으로 했다.
또한 상기 기판 반송실은, 상기 기판 전달실과의 사이를 밀폐 형상으로 구획하는 격벽에 상기 급기 유닛 및 상기 기판 반입출구만이 형성되어 있는 것으로 했다.
또한 상기 급기 유닛은, 상기 기판 반송 장치에 의해 기판이 반송되는 기판 반송 영역의 범위 내에 가로 방향의 청정 공기의 흐름을 형성하는 위치에 형성되어 있는 것으로 했다.
또한 상기 기판 반송실은, 상기 기판 반송 장치에 의해 기판이 반송되는 기판 반송 영역에 대응하는 높이의 범위 내에 상기 기판 반입출구를 형성하는 것으로 했다.
또한 상기 기판 반출입부는, 내부에서 상방으로부터 하방을 향하여 청정 공기를 흘리기 위한 청정 공기 유동 수단을 설치하고 또한, 상기 기판 반출입부 내의 압력을 상기 기판 반송실의 실내의 압력보다 높게 하기로 했다.
또한, 상기 복수의 기판 처리실 및 상기 기판 반송실은, 상하로 적층하여 다단으로 배설되고, 각 단의 기판 반송실에 상기 청정 공기 유동 수단을 각각 설치하기로 했다.
그리고, 본 발명에서는, 기판 반송실을 따라 복수의 기판 처리실을 배치한 기판 처리 장치에 있어서, 기판 반송실의 내부에서 기판 반송 장치의 이동 방향을 따라 청정 공기를 흘리기 위한 청정 공기 유동 수단을 설치하고 있기 때문에, 청정 공기 유동 수단의 소형화를 도모할 수 있어, 기판 처리 장치의 제조 코스트나 소비 에너지를 저감할 수 있다.
도 1은 기판 처리 장치를 도시한 평면도이다.
도 2는 기판 처리 장치를 도시한 측면 단면도이다.
도 3은 기판 반송실의 내부의 청정 공기의 흐름을 도시한 평면 설명도이다.
도 4는 기판 반송실의 내부의 청정 공기의 흐름을 도시한 측면 단면 설명도이다.
도 5는 기판 반송 영역을 도시한 설명도이다.
이하에, 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 구체적인 구성에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.
도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 기판 처리 장치(1)는, 전단부(前端部)에 기판(2)(여기서는 반도체 웨이퍼)을 복수매(예를 들어 25 매) 일괄적으로 캐리어(3)로 반입 및 반출하기 위한 기판 반입출대(4)를 형성하고, 기판 반입출대(4)의 후부에 캐리어(3)에 수용된 기판(2)을 1 매씩 반송하기 위한 직사각형 상자 형상의 기판 반출입 유닛(기판 반출입부)(5)을 형성하고, 기판 반출입 유닛(5)의 후부에 기판(2)의 세정이나 건조 등의 각종의 처리를 행하기 위한 직사각형 상자 형상의 기판 처리 유닛(6)을 형성하고 있다.
기판 반입출대(4)는, 4 개의 캐리어(3)를 기판 반출입 유닛(5)의 전벽(前壁)(7)에 밀착시킨 상태로 좌우로 간격을 두고 재치할 수 있도록 구성되고, 대기에 접하지 않고 기판(2)이 기판 반출입 유닛(5)으로 반송 가능하도록 되어 있다.
기판 반출입 유닛(5)은, 전측(前側)에 반송 장치(8)를 수용한 반송실(9)을 형성하고 또한, 후측에 2 개의 기판 전달대(10, 11)를 상하로 수용한 기판 전달실(12)을 형성하고 있고, 반송실(9)과 기판 전달실(12)은 전달구(기판 반출입구)(13)를 개재하여 연통 연결하고 있다.
그리고, 기판 반출입 유닛(5)은, 반송 장치(8)와, 그 상방에 설치된 청정 장치인 다운 플로우를 공급하는 팬·필터·유닛(급기 유닛)(43)을 가지고 있다. 반송 장치(8)는, 기판(2)을 보지(保持)하는 기판 보지 암(8a)을 가지고 있고, 이 기판 보지 암(8a)을 캐리어(3)의 배열 방향으로 X 축 방향으로 이동시키는 기구와, 캐리어(3)의 배열 방향과 수직의 방향인 Y 축 방향으로 이동시키는 기구와, 수직 방향(Z 축 방향)으로 이동시키는 기구를 가지고 있다. 이 반송 기구(8)에 의해 기판 반입출대(4)에 재치된 어느 하나의 캐리어(3)와 상하 어느 하나의 기판 전달대(10, 11)의 사이에서 기판(2)을 1 매씩 반송하도록 하고 있다.
기판 처리 유닛(6)은, 직육면체 형상의 하우징을 가지고, 그 하우징 내부에는, 중앙부 상측에 캐리어(3)의 배열 방향인 X 축 방향으로 직행하는 Y 축 방향을 따라 연장되는 제 1 기판 반송실(14)을 형성하고, 제 1 기판 반송실(14)의 좌측방에 제 1 ~ 제 4 기판 처리실(15 ~ 18)과, 제 1 기판 반송실(14)의 우측방에 제 5 ~ 제 8 기판 처리실(20 ~ 23)이 수평으로 배치되어 있다.
또한 기판 처리 유닛(6)은, 중앙부 하측에 제 1 기판 반송실(14)과 마찬가지로 Y 축 방향으로 연장되는 제 2 기판 반송실(25)을 형성하고, 제 2 기판 반송실(25)의 좌측방에 제 9 ~ 제 12 기판 처리실(26 ~ 29)과, 제 2 기판 반송실(25)의 우측방에 제 13 ~ 제 16 기판 처리실(31 ~ 34)이 각각 수평으로 배치되어 있다. 또한, 제 1 및 제 2 기판 반송실(14, 25)의 실내 압력보다 각 기판 처리실(15 ~ 18, 20 ~ 23, 26 ~ 29, 31 ~ 34)의 실내 압력을 낮게 하여, 각 기판 처리실(15 ~ 18, 20 ~ 23, 26 ~ 29, 31 ~ 34)의 실내 압력을 외부의 압력보다 약간 낮아지도록 하고 있어, 각 기판 처리실(15 ~ 18, 20 ~ 23, 26 ~ 29, 31 ~ 34)의 분위기가 기판 반송실(14, 25)로 확산되지 않도록 되어 있다.
여기서, 제 1 기판 반송실(14)은 내부에 Y 축 방향으로 이동 가능하게 구성한 제 1 기판 반송 장치(36)를 수용하고, 기판 전달실(12)의 상측의 기판 전달대(10)에 제 1 기판 반입출구(37)를 거쳐 연통하고 있다. 제 1 기판 반송 장치(36)는, 기판(2)을 보지 가능한 암(36a)과, 암(36a)을 제 1 기판 반송실(14)을 따라 Y 축 방향으로 이동시키는 기구와, X 축 방향으로 이동시키는 기구와, Z 축 방향(수직 방향)으로 이동시키는 기구와, 수평면 내에서 회전시키는 기구를 가지고 있다. 이러한 구성에 의해, 기판 전달대(10), 제 1 기판 반송실(14)의 양측에 설치된 복수의 기판 처리실(15 ~ 18, 20 ~ 23)에 액세스할 수 있도록 되어 있다. 또한, 제 2 기판 반송실(25)은, Y 축 방향으로 이동 가능하게 구성한 제 2 기판 반송 장치(38)를 수용하고 또한, 기판 전달실(12)의 하측의 기판 전달대(11)에 제 2 기판 반입출구(39)를 거쳐 연통하고 있다. 또한, 제 2 기판 반송 장치(38)도 제 1 기판 반송 장치(36)와 마찬가지로, 기판(2)을 보지 가능한 암(38a)과, 이 암을 Y 축 방향, X 축 방향, Z 축 방향으로 이동시키는 기구와, 암을 수평 방향으로 회전시키는 기구를 가지고, 기판 전달대(11)와, 복수의 처리의 기판 처리실(26 ~ 29, 31 ~ 34)에 액세스 가능하도록 되어 있다.
이와 같이, 기판 처리 유닛(6)은, 제 1 반송 처리실(14)을 따라 제 1 ~ 제 4 기판 처리실(15 ~ 18) 및 제 5 ~ 제 8 기판 처리실(20 ~ 23)을 나란히 배설(配設)하여 제 1 단째(제 1 기판 처리 유닛(6a))를 형성하고, 또한 제 2 반송 처리실(25)을 따라 제 9 ~ 제 12 기판 처리실(26 ~ 29) 및 제 13 ~ 제 16 기판 처리실(31 ~ 34)을 나란히 배설하는 제 2 단째(제 2 기판 처리 유닛(6b))를 형성하고, 전체적으로 상하로 2 단 구성으로 되어 있다.
그리고, 기판 처리 유닛(6)은, 제 1 또는 제 2 기판 반송 장치(36, 38)를 이용하여 기판 반출입 유닛(5)의 기판 전달실(12)과 각 기판 처리실(15 ~ 18, 20 ~ 23, 26 ~ 29, 31 ~ 34)의 사이에서 기판(2)을 1 매씩 수평으로 보지한 상태로 반송하고 또한, 각 기판 처리실(15 ~ 18, 20 ~ 23, 26 ~ 29, 31 ~ 34)에서 기판(2)을 1 매씩 처리하도록 하고 있다.
이 기판 처리 장치(1)에서는, 기판(2)에의 파티클 등의 부착을 방지하기 위하여 내부를 청정 공기로 채우고 있고, 상하 2 단 구성의 기판 처리 유닛(6)의 각각에 청정 공기를 흘리기 위한 청정 공기 유동 수단(41, 42)을 설치하고 있다.
기판 처리 유닛(6)의 상단(제 1 처리 유닛(6a))측에 설치한 청정 공기 유동 수단(41)은, 제 1 기판 반송실(14)의 전단부측(기판 반출입 유닛(5)측)의 측벽(50)의 제 1 기판 반입출구(37)의 상부(기판 전달실(12)의 상부)에 급기 유닛으로서의 팬 필터 유닛(44)을 장착하는 한편, 제 1 기판 반송실(14)의 후단부측의 측벽(51)에 배기 유닛(45)을 장착하고 있다. 이에 따라 기판 처리 장치(1)에서는, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 제 1 기판 반송실(14)에 대향하여 배치한 팬 필터 유닛(44)으로부터 배기 유닛(45)을 향하여 제 1 기판 반송실(14)을 따라 가로 방향의 청정 공기의 기류(사이드 플로우)를 발생하도록 하고 있다.
기판 처리 유닛(6)의 하단(제 2 처리 유닛(6b))측에 설치한 청정 공기 유동 수단(42)도 마찬가지로, 제 2 기판 반송실(25)의 전단부 측벽(52)의 제 2 기판 반입출구(39)의 상부(기판 전달실(12)의 중앙부)에 급기 유닛으로서의 팬 필터 유닛(46)을 장착하는 한편, 제 2 기판 반송실(25)의 후단부 측벽(53)에 배기 유닛(47)을 장착하고 있다. 이에 따라 기판 처리 장치(1)에서는, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 제 2 기판 반송실(25)에 대향하여 배치한 팬 필터 유닛(46)으로부터 배기 유닛(47)을 향하여 제 2 기판 반송실(25)을 따라 흐르는 가로 방향의 청정 공기의 기류를 발생하도록 하고 있다.
또한 기판 반출입 유닛(5)에는, 반송실(9)의 천장부에 급기 유닛으로서의 팬 필터 유닛(43)과 도시하지 않은 배기 유닛이 장착되어 있다. 이에 따라 기판 처리 장치(1)에서는, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 팬 필터 유닛(43)에 의해 상방으로부터 하방을 향하여 흐르는 청정 공기의 다운 플로우를 발생하여, 반송실(9) 내를 청정하게 유지하도록 되어 있다. 이 때, 반송실(9)의 압력을 제 1 및 제 2 기판 반송실(14, 25)보다 높아지도록 제어함으로써, 청정 공기 유동 수단(40)이 형성한 다운 플로우의 일부는 제 1 및 제 2 기판 전달대(10, 11)을 개재하여 제 1 및 제 2 기판 반송실(14, 25)에 유입되고, 제 1 기판 반송실, 제 2 기판 반송실(14, 25)에 설치된 배기 유닛(45, 47)을 향하여 도 4와 같은 가로 방향의 기류(사이드 플로우)를 형성하도록 되어 있다. 즉, 반송실(9)과 배기 유닛(45, 47)은 청정 공기 유동 수단으로서 기능하도록 되어 있다.
여기서, 기판 처리 유닛(6)은 제 1 및 제 2 기판 반송실(14, 25)과 기판 반출입 유닛(5)의 기판 전달실(12)과의 사이를 격벽(측벽(50, 52))으로 밀폐 형상으로 구획하고, 제 1 및 제 2 기판 반송실(14, 25)의 격벽(측벽(50, 52))에는 청정 공기 유동 수단(41, 42)의 팬 필터 유닛(44, 46)(또는 배기 유닛 45,47)과 팬 필터 유닛(44, 46)의 하방에는 제 1 및 제 2 기판 반입출구(37, 39)가 형성되어 있다.
여기서, 이 기판 처리 장치(1)에서는, 도 5에 도시한 바와 같은, 적어도 제 1 및 제 2 기판 반송실(14, 25)의 내부에 기판 반송 장치(36, 38)에 의해 기판(2)이 반송되는 기판 반송 영역(48, 49)(기판 반송 장치(36, 38)에서 반송되는 기판(2)의 가장 낮은 위치와 가장 높은 위치 간의 영역)을 포함한 영역에 사이드 플로우를 형성할 필요가 있다. 이 때문에, 제 1 및 제 2 기판 반입출구(37, 39)를 기판 반송 영역(48, 49)의 하측 부분에 대응하는 높이에 형성하고 또한, 팬 필터 유닛(44, 46)을 기판 반입출구(37, 39)의 상부, 즉 기판 반송 영역(48, 49)의 상측 부분에 대응하는 높이에 배치하는 한편, 배기 유닛(45, 47)을 기판 반송 영역(48, 49)의 전체에 대응하는 높이를 포함한 범위에 배치함으로써, 기판 반송 영역(48, 49)의 전체에 사이드 플로우를 형성할 수 있도록 되어 있다.
또한, 기판 반송 영역(48, 49)에 사이드 플로우를 형성하기 위해서는, 최소한 기판 반송 영역(48, 49)에 대응하는 높이에만 청정 공기 유동 수단인 팬 필터 유닛(44, 46) 혹은 기판 반출입구(37, 39)를 배치하면 좋지만, 본 실시예의 경우, 기판 반송 처리실(14, 25) 내의 기판 반송 영역보다 상방 전체 영역에 사이드 플로우를 형성하도록 하고 있다. 이와 같이 청정 공기 유동 수단인 팬 필터 유닛(44, 46) 또는 기판 반출입구(37, 39)를 배치함으로써, 기판 반송 영역(48, 49) 상방으로부터 파티클이 중력에 의해 낙하하여 기판 반송 영역(48, 49)에 혼입되는 것을 방지하는 것이 가능해진다.
또한, 팬 필터 유닛(44, 46) 또는 배기 유닛(45, 47)을 기판 반송 영역(48, 49)의 상류측 단부의 상측 또는 하류측 단부의 하측의 일부분을 포함한 범위에 배치하도록 해도 좋고, 또한 기판 반송실의 측벽 전체를 설치하도록 배치해도 좋다.
또한, 팬 필터 유닛(44, 46)이 형성하는 사이드 플로우의 유량, 유속과, 기판 반출입구(37, 39)로부터 공급되는 사이드 플로우의 유량, 유속이 실질적으로 동일하게 되도록 기판 반출입 유닛(5)에 설치된 팬 필터 유닛(43)의 유량, 유속, 기판 반출입 유닛에 설치된 배기 유닛(도시하지 않음)의 배기량, 기판 처리 유닛(6)에 설치된 팬 필터 유닛(44, 46)의 유량, 유속, 배기 유닛(45, 47)의 배기량을 제어한다. 이와 같이 제어함으로써, 청정 공기 유동 수단이 기판 반송실에는, 서로 간섭하지 않고 균일하고 또한 직진성이 높은 사이드 플로우를 형성하는 것이 가능해진다.
또한, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 다양한 변형이 가능하다. 예를 들면, 본 실시예에서는, 제 1, 제 2 기판 반송실(14, 25)의 전단부측(기판 반출입 유닛(5)측)으로부터 기판 반송실(14, 25)의 후단부측으로 가로 방향의 청정 공기를 형성하는 예를 나타냈지만, 제 1 및 제 2 기판 반송실(14, 25)의 내부에서 청정 공기를 후단부측으로부터 전단부측을 향하여 흘리도록 구성해도 좋다. 이 경우에는, 제 1 및 제 2 기판 반송실(14, 25)의 후단부측의 측벽(51, 53)에 팬 필터 유닛(44, 46)을, 전단부측의 측벽(50, 52)에 기판 반출입구(37, 39)와 배기 유닛(45, 47)을 각각 설치하고 또한, 제 1 및 제 2 기판 반송실(14, 25)의 실내의 압력보다 기판 반출입 유닛(5)의 실내의 압력이 낮아지도록 한다.
또한 본 실시예에서는, 청정 공기 유동 수단(41, 42)의 팬 필터 유닛(44, 46)으로부터 청정 공기를 공급하도록 구성하고 있지만, 이에 한정되지 않고, 기판 처리 장치(1)의 외부에서 생성시킨 청정 공기를 공급하도록 구성해도 좋다.
또한 본 실시예에서는, 기판 처리 유닛(6)은 상하 2 단(제 1 및 제 2 기판 처리 유닛(6a, 6b))의 경우에 대하여 설명했지만, 1 단뿐일 경우 또는 3 단 이상을 적층하도록 해도 상관없다. 또한 본 실시예에서는, 기판(2)으로서 반도체 웨이퍼를 이용한 경우에 대하여 나타냈지만, 액정 표시 장치(LCD)용으로 이용되는 기판 등 다른 기판에 적응 가능한 것은 말할 필요도 없다.
이상에서 설명한 바와 같이, 상기 기판 처리 장치(1)에서는, 청정 공기 유동 수단(41, 42)에 의해 제 1 또는 제 2 기판 반송실(14, 25)을 따라 청정 공기를 가로 방향으로 흘리도록 하고 있기 때문에, 제 1 또는 제 2 기판 반송실(14, 25)의 전후폭보다 짧은 상하폭의 범위에서 청정 공기 유동 수단(41, 42)을 형성할 수 있고, 종래와 같이 청정 공기를 상방으로부터 하방을 향하여 흘리는 구조로 하는 것보다 청정 공기 유동 수단(41, 42)의 소형화를 도모할 수 있고, 기판 처리 장치(1)의 제조 코스트나 소비 에너지를 저감할 수 있다.
또한 상기 기판 처리 장치(1)에서는, 상하 각 단의 제 1 또는 제 2 기판 반송실(14, 25)에 청정 공기 유동 수단(41, 42)을 각각 설치하고 있기 때문에, 기판 처리 장치(1)의 내부 구조를 간략화할 수 있고, 기판 처리 장치(1)의 제조 코스트를 저감할 수 있다.
또한 상기 기판 처리 장치(1)에서는, 기판 반입출부(기판 전달실(12))의 내부의 압력을 제 1 또는 제 2 기판 반송실(14, 25)의 실내의 압력보다 높게 하고 있기 때문에, 청정 공기 유동 수단(41, 42)으로부터 제 1 또는 제 2 기판 반송실(14, 25)의 내부로 공급되는 청정 공기와 기판 전달실(12)로부터 유입되는 청정 공기가 간섭하지 않고 제 1 또는 제 2 기판 반송실(14, 25)의 내부에서 청정 공기를 원활히 흘릴 수 있어, 청정 공기의 흐름이 흐트러짐으로써 파티클 등이 날아올라 기판(2)에 부착되는 것을 방지할 수 있다.
1 : 기판 처리 장치
2 : 기판
3 : 캐리어
4 : 기판 반입출대
5 : 기판 반입출 유닛
6 : 기판 처리 유닛
7 : 전벽
8 : 반송 장치
9 : 반송실
10, 11 : 기판 전달대
12 : 기판 전달실
13 : 전달구
14, 25 : 기판 반송실
15 ~ 18, 20 ~ 23, 26 ~ 29, 31 ~ 34 : 기판 처리실
36, 38 : 기판 반송 장치
37, 39 : 기판 반입출구
40 ~ 42 : 청정 공기 유동 수단
43, 44, 46 : 팬 필터 유닛
45, 47 : 배기 유닛
48, 49 : 기판 반송 영역
50 ~ 53 : 측벽

Claims (10)

  1. 캐리어에 수용된 기판을 전달하는 기판 반출입부와,
    상기 기판 반출입부와 기판 반입출구를 개재하여 연통하는 기판 반송실과,
    상기 기판 반송실을 따라 배치된 복수의 기판 처리실과,
    상기 기판 반송실의 내부에 수용되고, 상기 기판 반출입부와 상기 기판 처리실의 사이에서 상기 기판을 반송하기 위한 기판 반송 장치와,
    상기 기판 반송실을 따라 청정 공기를 흘리기 위한 청정 공기 유동 수단
    을 가지고,
    상기 청정 공기 유동 수단은, 상기 기판 반송실의 일단측의 측벽에 설치한 급기 유닛과, 상기 기판 반송실의 타단측의 측벽에 설치한 배기 유닛으로 형성하고,
    상기 급기 유닛은, 상기 기판 반입출구보다 상방에 설치한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  2. 캐리어에 수용된 기판을 전달하는 기판 반출입부와,
    상기 기판 반출입부와 기판 반입출구를 개재하여 연통하는 기판 반송실과,
    상기 기판 반송실을 따라 배치된 복수의 기판 처리실과,
    상기 기판 반송실의 내부에 수용되고, 상기 기판 반출입부와 상기 기판 처리실의 사이에서 상기 기판을 반송하기 위한 기판 반송 장치와,
    상기 기판 반송실을 따라 청정 공기를 흘리기 위한 청정 공기 유동 수단
    을 가지고,
    상기 청정 공기 유동 수단은, 상기 기판 반송실의 일단측의 측벽에 설치한 급기 유닛과, 상기 기판 반송실의 타단측의 측벽에 설치한 배기 유닛으로 형성하고,
    상기 기판 반송실과 기판 전달실과의 사이를 밀폐 형상으로 구획하는 격벽에 상기 급기 유닛 및 상기 기판 반입출구만이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 급기 유닛은, 상기 기판 반송 장치에 의해 기판이 반송되는 기판 반송 영역의 범위 내에 가로 방향의 청정 공기의 흐름을 형성하는 위치에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 기판 반송실은, 상기 기판 반송 장치에 의해 기판이 반송되는 기판 반송 영역에 대응하는 높이의 범위 내에 상기 기판 반입출구를 형성한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  5. 캐리어에 수용된 기판을 전달하는 기판 반출입부와,
    상기 기판 반출입부와 기판 반입출구를 개재하여 연통하는 기판 반송실과,
    상기 기판 반송실을 따라 배치된 복수의 기판 처리실과,
    상기 기판 반송실의 내부에 수용되고, 상기 기판 반출입부와 상기 기판 처리실의 사이에서 상기 기판을 반송하기 위한 기판 반송 장치와,
    상기 기판 반송실을 따라 청정 공기를 흘리기 위한 청정 공기 유동 수단
    을 가지고,
    상기 기판 반출입부는, 내부에서 상방으로부터 하방을 향하여 청정 공기를 흘리기 위한 청정 공기 유동 수단을 설치하고, 또한 상기 기판 반출입부 내의 압력을 상기 기판 반송실의 실내의 압력보다 높게 또는 낮게 한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  6. 제 1 항, 제 2 항 및 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 기판 처리실 및 상기 기판 반송실은, 상하로 적층하여 다단으로 배설되고, 각 단의 기판 반송실에 상기 청정 공기 유동 수단을 각각 설치한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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