JPH10291607A - 荷保管装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 クリーンルーム内における荷の収納効率を向
上させることができる荷保管装置を提供すること。 【解決手段】 ラックユニット３には荷収納部４が上下
に複数段形成されるとともに、その最下段部の下側にエ
ア通路６が形成される。ラックユニット３の外側に設け
られたブロアユニット２内にはメインフィルタ８及びフ
ァン９が各荷収納部４毎に対応して備えられとともに、
その下部にプレフィルタ１０がエア通路６と対応して備
えられる。又、ブロアユニット２内のメインフィルタ
８、ファン９及びプレフィルタ１０以外の空間は流路１
２を形成する。ファン９は流路１２内の第１エア２１を
吸引し荷収納部４内に通過させるとともに、荷収納部４
の内側から出た第２エア２３をエア通路６及びプレフィ
ルタ１０を介して流路１２内に吸引し、クリーンルーム
内のエアを循環させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体ウェ
ハ等の塵埃を極端に嫌う製品の保管に採用されるクリー
ンルーム内の荷保管装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体装置や液晶等は塵埃を極端
に嫌うため、極めて清浄度の高いクリーンルームに保管
する必要がある。図３に示すように、従来のクリーンル
ーム内の荷保管装置５１は、ブロアユニット５２、ラッ
クユニット５３及びメインフィルタユニット５４の３つ
のユニットから構成されている。この装置５１内には前
後方向（紙面直交方向）に走行可能なクレーン５５が備
えられ、クレーン５５を中心として左右対称に各ユニッ
ト５２，５３，５４がそれぞれ配置されている。詳述す
ると、下方に配置されたブロアユニット５２の上方に
は、該ブロアユニット５２を土台としてラックユニット
５３、及び、メインフィルタユニット５４が配置されて
いる。ラックユニット５３は複数の荷収納部５６を備
え、その荷収納部５６はクレーン５５側を内側として内
側が開放し、ブロアユニット５２のプレフィルタ５７を
介してブロア５８の吸引部５８ａと連通している。ブロ
ア５８の吐出部５８ｂはメインフィルタユニット５４の
流路５９と連通している。流路５９は荷収納部５６の外
側にそれぞれ配設されたメインフィルタ６０を介して荷
収納部５６と連通している。

【０００３】ブロア５８の吐出部５８ｂから吐出される
第１エア６１（図中に矢印で示す）は、流路５９内を上
昇するとともに、各メインフィルタ６０を通過して清浄
度の高いクリーンエア６２（図中に矢印で示す）とな
り、荷収納部５６に供給される。従って、荷収納部５６
内はクリーンエア６２により常に清浄度が高く保たれ
る。そして、荷収納部５６の内側から出た第２エア６３
（図中に矢印で示す）は、プレフィルタ５７を介してブ
ロア５８の吸引部５８ａに吸引される。このように、荷
保管装置５１は、荷収納部５６に常にクリーンエア６２
を供給するようにエアを循環させる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、第１エア６
１はブロア５８の吐出部５８ｂから上方に吐出されるた
め、流路５９内における第１エア６１は上方ほど高圧と
なる。従って、各メインフィルタ６０を通過する第１エ
ア６１の通過量は上方ほど多くなる。その結果、荷収納
部５６に供給されるクリーンエア６２の風速が上下の荷
収納部５６で異なり乱流を発生させる。この乱流は荷収
納部５６内に塵埃を溜める等の原因となる。従って、こ
のルーム内は乱流により荷収納部５６内の清浄度が低下
するという問題がある。

【０００５】又、各ユニット５２，５３，５４は鋼板
製、ステンレス製等の金属で形成されている。従って、
ネジ等により互いに各ユニット５２，５３，５４を接続
したとき、その接続した部分には僅かな隙間が生じる。
そして、流路５９内はブロア５８の吐出部５８ｂから吐
出される第１エア６１により比較的高圧となっているた
め、メインフィルタ６０を通過していない第１エア６１
が前記隙間から荷収納部５６に入り込むという虞があ
る。従って、特にラックユニット５３とメインフィルタ
ユニット５４との間には第１エア６１が荷収納部５６に
入り込むのを防止するためのシールを取付ける必要があ
る。さらに、各ユニット５２，５３，５４は前後方向
（紙面直交方向）に複数配列されており、必要に応じて
増設が可能となっている。従って、これら各ユニット５
２，５３，５４の前後方向の増設時にも、その接続した
部分にシールを取付ける必要がある。そして、これらシ
ールの取付作業は各ユニット５２，５３，５４を接続し
たときに行う必要があるため、現地での組付け作業を煩
雑にするとともに、組付作業に時間を要するという問題
がある。

【０００６】さらに、ブロア５８を備えたブロアユニッ
ト５２はラックユニット５３の土台として、ラックユニ
ット５３の下方に配置されているため、ラックユニット
５３の荷収納部５６が下方から配置できず荷の収納効率
が悪いという問題がある。また、ブロアユニット５２を
土台としているためラックユニット５３の重量及びラッ
クユニット５３の荷収納部５６に収納できる荷の重量が
限られてしまう。従って、荷収納部５６に重い荷を収納
することができないという問題がある。

【０００７】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたものであって、その第１の目的は、ルーム内の乱流
を防止し荷収納部内の清浄度を向上させることができる
荷保管装置を提供することにある。

【０００８】第２の目的は、組付作業を容易にし組付作
業時間を短縮することができる荷保管装置を提供するこ
とにある。第３の目的は、荷の収納効率を向上させるこ
とができる荷保管装置を提供することにある。

【０００９】第４の目的は、重い荷を収納することがで
きる荷保管装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、請求項１に記載の発明は、内外側が開放し、内側
から荷の出し入れが行われる複数の荷収納部と、前記荷
収納部の外側に設けられたメインフィルタと、エアを前
記メインフィルタを介して前記荷収納部内に通過させる
ためのエア循環手段とを備えた荷保管装置において、前
記エア循環手段をメインフィルタの外側に設けたことを
要旨としている。

【００１１】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の荷保管装置において、前記エア循環手段は前記荷収納
部毎に設けたことを要旨としている。請求項３に記載の
発明は、請求項１又は２に記載の荷保管装置において、
前記荷収納部はラックユニットに上下に複数段形成され
るとともに、そのラックユニットの最下段部の下側には
内外側が開放したエア通路を形成し、前記メインフィル
タ及び前記エア循環手段は前記ラックユニットの外側に
設けられたブロアユニット内に前記荷収納部に対応して
備えられるとともに、そのブロアユニットの下部には前
記エア通路と対応したプレフィルタを備え、同ブロアユ
ニット内のメインフィルタ、前記エア循環手段及び前記
プレフィルタ以外の空間を流路とし、前記エア循環手段
は前記流路内のエアを吸引し前記荷収納部内に通過させ
るとともに、前記荷収納部の内側から出たエアを前記エ
ア通路及び前記プレフィルタを介して前記流路内に吸引
することを要旨としている。

【００１２】請求項１に記載の発明によれば、エア循環
手段はエアをメインフィルタを介して荷収納部内に通過
させる。メインフィルタを通過したエアはクリーンエア
となり荷収納部の清浄度を高く保つ。そして、エアをメ
インフィルタを介して荷収納部内に通過させるためのエ
ア循環手段をメインフィルタの外側に設けたため、荷収
納部を下方まで形成することができる。よって、クリー
ンルーム内における荷の収納効率を向上させることがで
きる。また、荷収納部を形成するラックユニットをフロ
ア（地上面）に据付けることができる。よって、荷収納
部に重い荷を収納することができる。

【００１３】請求項２に記載の発明によれば、エア循環
手段を荷収納部毎に設けたため、メインフィルタを介し
て荷収納部内に通過させるエアの量、即ち荷収納部内に
供給されるクリーンエアの風速を荷収納部毎に制御でき
る。よって、クリーンエアの風速をクリーンルーム内に
乱流が生じないように制御できる。その結果、荷収納部
内の清浄度を向上させることができる。

【００１４】請求項３に記載の発明によれば、ラックユ
ニットには荷収納部が上下に複数段形成されるととも
に、その最下段部の下側にエア通路が形成される。ラッ
クユニットの外側に設けられたブロアユニット内にはメ
インフィルタ及びエア循環手段が荷収納部に対応して備
えられとともに、その下部にプレフィルタがエア通路と
対応して備えられる。又、ブロアユニット内のメインフ
ィルタ、エア循環手段及びプレフィルタ以外の空間は流
路を形成する。エア循環手段は流路内のエアを吸引し荷
収納部内に通過させるとともに、前記荷収納部の内側か
ら出たエアをエア通路及び前記プレフィルタを介して前
記流路内に吸引し、クリーンルーム内のエアを循環させ
る。

【００１５】よって、ラックユニット及びブロアユニッ
トを前後方向に複数配列させれば、容易に必要に応じた
規模のクリーンルームを組立てることができる。また、
荷収納部を形成するラックユニットはフロア（地上面）
に据付けられるため、荷収納部に重い荷を収納すること
ができる。さらに、エアが十分通るだけのエア通路を確
保すれば、荷収納部を下方まで形成することができる。
よって、クリーンルーム内における荷の収納効率を向上
させることができる。

【００１６】さらにまた、流路内のエアはエア循環手段
により吸引されるため、流路内は荷収納部内と比べて比
較的に低圧となる。よって、流路内のエアはブロアユニ
ットとラックユニットを接続組立てしたときに生じる僅
かな隙間から荷収納部内に入り込む力を持たない。その
結果、ブロアユニットとラックユニットを接続組立てし
たときに生じる僅かな隙間にシールを取付ける必要がな
くなり、組付け工数が削減でき、現地での組付け作業が
容易になる。また、組付作業時間を短縮することができ
る。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
の形態を図１及び図２に従って説明する。図１に示すよ
うにクリーンルーム内の荷保管装置１は、ブロアユニッ
ト２及びラックユニット３等から構成されている。ラッ
クユニット３は該装置１内において左右一対に配置さ
れ、ブロアユニット２は左右一対のラックユニット３の
外側にそれぞれ配置されている。そして、各ユニット
２，３は、図２（平断面図）に示すように前後方向（図
１において紙面直交方向）に複数配列されており、必要
に応じて前後方向に増設が可能となっている。なお、ブ
ロアユニット２の外側壁パネル２ａは取外し可能に構成
されている。

【００１８】ラックユニット３には、図１に示すように
内外側が開放した荷収納部４が上下方向に複数段形成さ
れている。この荷収納部４には荷５が収納される。ま
た、ラックユニット３の最下段部の下側には、エア通路
６が形成されている。

【００１９】ブロアユニット２には荷収納部４毎にファ
ンフィルタユニット７が配設されている。そして、ファ
ンフィルタユニット７はメインフィルタ８及びエア循環
手段としてのファン９から構成され、荷収納部４の外側
にメインフィルタ８が取着され、メインフィルタ８の外
側にファン９が配置されている。そして、ファン９が駆
動されるとブロアユニット２内のエアが吸引されメイン
フィルタ８を通って荷収納部４側に吐出されるようにな
っている。

【００２０】また、ブロアユニット２にはエア通路６と
流路１２との間にプレフィルタ１０が備えられている。
さらに、ブロアユニット２の底部には外気吸気用プレフ
ィルタ１１が備えられている。尚、流路１２はブロアユ
ニット２内のファンフィルタユニット７、プレフィルタ
１０及び外気吸気用プレフィルタ１１を除いた空間で形
成されている。

【００２１】つまり、複数の荷収納部４はエア通路６と
連通している。エア通路６はプレフィルタ１０を介して
流路１２と連通している。流路１２はファン９及びメイ
ンフィルタ８を介して荷収納部４と連通している。ま
た、流路１２は外気吸気用プレフィルタ１１を介して該
装置１の外部と連通している。

【００２２】左右一対のラックユニット３の間には前後
方向（図１において紙面直交方向）に延びる走行用レー
ル１３が敷設されている。また、その走行用レール１３
上には昇降キャリッジ１４ａ、フォーク装置１４ｂ等を
備えたクレーン１４が該レール１３上を走行可能に備え
られている。尚、クレーン１４は、該装置１の天井１５
の前後方向に設けられたレール１６にガイド輪１７を介
して連結されている。図２に示すようにクレーン１４
は、フォーク装置１４ｂ及び昇降キャリッジ１４ａ等に
より荷５を乗せ、荷収納部４と荷保管装置１内に形成さ
れた荷受部１８及び荷渡し部１９との間で荷の受渡しを
行う。

【００２３】このように構成されたクリーンルーム内の
荷保管装置１は、ファン９の駆動によりエアが循環す
る。ファン９が駆動しているとき、流路１２内の第１エ
ア２１（図中に矢印で示す）はファン９に吸引され、吸
引された第１エア２１は直にメインフィルタ８を通過し
て清浄度の高いクリーンエア２２（図中に矢印で示す）
となり、荷収納部４内に供給される。従って、荷収納部
４内はクリーンエア２２により常に清浄度が高く保たれ
る。

【００２４】一方、荷収納部４の内側から出た第２エア
２３はエア通路６に流れ込み、プレフィルタ１０を通過
して大まかな塵埃が取除かれた第１エア２１となり流路
１２内に吸引される。尚、このとき流路１２内に供給さ
れた第１エア２１は外気吸気用プレフィルタ１１を介し
て外部のエア２４（図中に矢印で示す）と混ざり合う。

【００２５】このように、クリーンルーム内の荷保管装
置１は、荷収納部４に常にクリーンエア２２を供給する
ようにエアを循環させる。次に、上記のような本実施の
形態の特徴的な効果を以下に述べる。

【００２６】（１）本実施の形態では、流路１２内の第
１エア２１はファン９によりメインフィルタ８を通過さ
せられ、清浄度の高いクリーンエア２２となって荷収納
部４内に供給される。よって、荷収納部４内はクリーン
エア２２により常に清浄度が高く保たれる。つまり、荷
５に塵埃等が溜まることがない。

【００２７】（２）本実施の形態では、クリーンルーム
内のエアを循環させるためのファン９がメインフィルタ
８と一体化されたファンフィルタユニット７として、荷
収納部４の一つ毎にそれぞれ配置されている。よって、
荷収納部４に供給されるクリーンエア２２の風力を荷収
納部４毎に制御することができる。その結果、ルーム内
に乱流が生じないように制御することができ、荷収納部
４内の清浄度を向上させることができる。また、荷５が
収納されていない荷収納部４のファン９を停止しておく
ことができるため、荷保管装置１のランニングコストを
荷５が収納されていない荷収納部４に応じて低減するこ
とができる。

【００２８】（３）本実施の形態では、クリーンルーム
内のエアを循環させるためのファン９がメインフィルタ
８と一体化されたファンフィルタユニット７として、荷
収納部４の外側に配置されている。よって、ラックユニ
ット３の最下段部に第２エア２３が十分通るだけのエア
通路６を確保すれば、荷収納部４をフォーク１４ｂが荷
５を持ち上げることが可能な最低の高さ、即ちクレーン
１４の構造上の理由に合わせて形成することができる。
その結果、荷収納部４を従来に比べ下方まで形成するこ
とができ、クリーンルーム内における荷の収納効率を向
上させることができる。

【００２９】（４）本実施の形態では、クリーンルーム
内のエアを循環させるためのファン９がメインフィルタ
８と一体化されたファンフィルタユニット７として、荷
収納部４の外側に配置されている。よって、ラックユニ
ット３をフロア（地上面）に据付けることができる。そ
の結果、ラックユニット３の荷収納部４を重い荷５が収
納できるような丈夫な構成とすることができる。従っ
て、このクリーンルーム内の荷保管装置１では、重い荷
５を収納することができる。

【００３０】（５）本実施の形態では、クリーンルーム
内のエアを循環させるためのファン９がメインフィルタ
８と一体化されたファンフィルタユニット７として、荷
収納部４の外側に配置されている。従って、ブロアユニ
ット２の流路１２内の第１エア２１はファン９に吸引さ
れ、流路１２内は荷収納部４内と比べて比較的に低圧と
なる。よって、第１エア２１はブロアユニット２どうし
を接続組立てしたときに生じる僅かな隙間から荷収納部
４側に入り込む力を持たない。つまり、ファン９に吸引
されメインフィルタ８を通過したクリーンエア２２以外
のエアが荷収納部４内に入り込むことがない。その結
果、ブロアユニット２どうしを接続組立てしたとき等に
生じる僅かな隙間にシールを取付ける必要がなくなり、
工数が削減し現地での組付け作業が容易になる。また、
組付作業時間を短縮することができる。

【００３１】（６）また、流路１２内は比較的に低圧と
なるため、流路１２内には外気吸気用プレフィルタ１１
を介して外部のエア２４が入り込むようになり、第１エ
ア２１と外部のエア２４とは積極的に混ざり合う。よっ
て、循環するエアの温度が高温となってしまうのを効率
よく防止することができる。その結果、特別に冷却装置
等を設けなくても、温度変化を避ける必要がある荷５を
保管することができる。

【００３２】（７）本実施の形態では、交換メンテナン
スが度々必要なメインフィルタ８、プレフィルタ１０及
び外気吸気用プレフィルタ１１がブロアユニット２内に
収まっている。よって、ブロアユニット２の外側壁パネ
ル２ａを外すだけで全てのフィルタ８，１０，１１の交
換が可能となる。

【００３３】（８）本実施の形態では、ブロアユニット
２及びラックユニット３を前後方向に複数配列させるだ
けで、必要に応じた規模のクリーンルームを組立てるこ
とができる。また、必要に応じて容易に増設できる。

【００３４】上記実施の形態は、以下のように変更して
実施してもよい。 ○上記実施の形態では、ブロアユニット２とラックユニ
ット３の２つのユニットにユニット化したが、ユニット
化しない構成としてもよい。ユニット化しなくても上記
（１）〜（６）と同様の効果を得ることができる。

【００３５】○上記実施の形態では、荷収納部４毎にメ
インフィルタ８とファン９がファンフィルタユニット７
として配置されているとしたが、荷収納部４毎でなくて
も、例えば、２つの荷収納部４毎にファンフィルタユニ
ット７を配置する等、複数の荷収納部４毎にファンフィ
ルタユニット７を配置してもよい。このようにしても、
上記（１），（３）〜（８）と同様の効果を得ることが
できる。

【００３６】○また、メインフィルタ８とファン９をユ
ニット化した構成としなくてもよい。そして、メインフ
ィルタ８を例えば、２つの荷収納部４毎に配置する等、
複数の荷収納部４毎に配置してもよい。また、ファン９
を例えば、２つの荷収納部４毎に配置する等、複数の荷
収納部４毎に配置してもよい。このようにしても、上記
（１），（３）〜（８）と同様の効果を得ることができ
る。

【００３７】○上記実施の形態では、ブロアユニット２
の底部には外気吸気用プレフィルタ１１が備えられてい
るとしたが、なくてもよい。このようにしても、上記
（１）〜（５），（７），（８）と同様の効果を得るこ
とができる。

【００３８】次に、上記実施の形態から把握できる請求
項以外の技術的思想について、以下にその効果とともに
記載する。 （イ）請求項３に記載のクリーンルーム内の荷保管装置
において、前記ブロアユニットは底部に外気吸気用プレ
フィルタを備えたことを特徴とする荷保管装置。

【００３９】このようにすると、流路内のエアはクリー
ンルーム外のエアと混ざり合う。よって、循環するエア
の温度が高温となってしまうのを防止することができ
る。その結果、温度変化を避ける必要がある荷を保管す
ることができる。

【００４０】

【発明の効果】以上詳述したように請求項１に記載の発
明によれば、クリーンルーム内における荷の収納効率を
向上させることができる荷保管装置を提供することがで
きる。

【００４１】請求項２に記載の発明によれば、クリーン
エアの風速をクリーンルーム内に乱流が生じないように
制御できる。その結果、荷収納部内の清浄度を向上させ
ることができる荷保管装置を提供することができる。

【００４２】請求項３に記載の発明によれば、荷収納部
に重い荷を収納することができる荷保管装置を提供する
ことができる。また、クリーンルーム内における荷の収
納効率を向上させることができる荷保管装置を提供する
ことができる。さらに、現地での組付け作業が容易にで
きるとともに、組付作業時間を短縮することができる荷
保管装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施の形態における荷保管装置を説明するため
の説明図。

【図２】実施の形態における荷保管装置を説明するため
の説明図。

【図３】従来技術における荷保管装置を説明するための
説明図。

【符号の説明】

１…荷保管装置、２…ブロアユニット、３…ラックユニ
ット、４…荷収納部、６…エア通路、８…メインフィル
タ、９…エア循環手段としてのファン、１０…プレフィ
ルタ、１２…流路、２１…流路内のエアとしての第１エ
ア、２２…クリーンエア、２３…荷収納部の内側から出
たエアとしての第２エア。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内外側が開放し、内側から荷の出し入れ
   が行われる複数の荷収納部と、 前記荷収納部の外側に設けられたメインフィルタと、 エアを前記メインフィルタを介して前記荷収納部内に通
   過させるためのエア循環手段とを備えた荷保管装置にお
   いて、 前記エア循環手段をメインフィルタの外側に設けたこと
   を特徴とする荷保管装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の荷保管装置において、 前記エア循環手段は前記荷収納部毎に設けたことを特徴
   とした荷保管装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は２に記載の荷保管装置にお
   いて、 前記荷収納部はラックユニットに上下に複数段形成され
   るとともに、そのラックユニットの最下段部の下側には
   内外側が開放したエア通路を形成し、前記メインフィル
   タ及び前記エア循環手段は前記ラックユニットの外側に
   設けられたブロアユニット内に前記荷収納部に対応して
   備えられるとともに、そのブロアユニットの下部には前
   記エア通路と対応したプレフィルタを備え、同ブロアユ
   ニット内のメインフィルタ、前記エア循環手段及び前記
   プレフィルタ以外の空間を流路とし、前記エア循環手段
   は前記流路内のエアを吸引し前記荷収納部内に通過させ
   るとともに、前記荷収納部の内側から出たエアを前記エ
   ア通路及び前記プレフィルタを介して前記流路内に吸引
   することを特徴とした荷保管装置。