JP2005311260A

JP2005311260A - 液晶基板の保管倉庫室

Info

Publication number: JP2005311260A
Application number: JP2004129941A
Authority: JP
Inventors: Takumi Sugiura; 匠杉浦; Matsuo Kamiya; 松雄神谷; Teiji Horimoto; 貞次堀本; Toshihiro Hashimoto; 敏浩橋本; Masaru Machida; 勝町田
Original assignee: Hitachi Kiden Kogyo Ltd; Hitachi Plant Technologies Ltd
Current assignee: Hitachi Kiden Kogyo Ltd; Hitachi Plant Technologies Ltd
Priority date: 2004-04-26
Filing date: 2004-04-26
Publication date: 2005-11-04

Abstract

【課題】保管倉庫室での塵埃の巻き上がりを防止することができる液晶基板の保管倉庫室を提供すること。
【解決手段】液晶基板を収納するカセット１を保管する保管棚２と、カセット１をレール３に沿って搬送するスタッカクレーン４と、保管棚２に清浄空気を供給する清浄空気吹出装置５とを備えるとともに、倉庫室の端部の床面付近に開口部６１を有し、この開口部６１から室内の空気を吸い込む端部レタンスペース６からなる吸込機構を設ける。
【選択図】図１

Description

本発明は、液晶ガラス基板等を保管する液晶基板の保管倉庫室に関し、特に、保管倉庫室での塵埃の巻き上がりを防止することができる液晶基板の保管倉庫室に関するものである。

従来、液晶ガラス基板等の液晶基板を一時保管する保管倉庫室は、図５に示すように、液晶基板を収納するカセット１を保管する保管棚２と、カセット１をレール３に沿って搬送する搬送装置４と、保管棚２に清浄空気Ａを供給する清浄空気吹出装置５とを備えている。
清浄空気吹出装置５は、半ば露出した状態でカセット１に収納される液晶基板を清浄に保つために、保管棚２に清浄空気を供給している。

ところで、近年、高スループットや需要者の要望等の観点から、液晶ガラス基板は、高速搬送や大型化といった方向で生産ラインが構築され、これに伴い、保管倉庫室も大型化してきている。
このような保管倉庫室においては、保管棚がある位置では清浄空気が保管棚側面から供給され、その周囲はクリーン度が維持されるが、保管棚がない部分には、一般的に清浄空気吹出装置を配設しないのでクリーン度が維持されにくい。
特に、スタッカクレーンが高速で走行することによる床面からの塵埃の巻き上がりが問題となってきている。

本発明は、液晶ガラス基板の大型化やスタッカクレーンの高速化に伴って生じる上記の問題点に鑑み、保管倉庫室での塵埃の巻き上がりを防止することができる液晶基板の保管倉庫室を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の液晶基板の保管倉庫室は、液晶基板を収納するカセットを保管する保管棚と、カセットをレールに沿って搬送する搬送装置と、保管棚に清浄空気を供給する清浄空気吹出装置とを備えた液晶基板の保管倉庫室において、倉庫室の端部の床面付近に開口部を有し、該開口部から室内の空気を吸い込む吸込機構を設けたことを特徴とする。

この場合において、吸込機構の開口部を複数箇所に設けることができる。

また、吸込機構を、送風機により強制的に室内空気を吸い込むように構成することができる。

また、送風機の風量を調整する風量調整機構を設けることができる。

また、風量調整機構を、搬送装置の位置を検出して風量を制御するように構成することができる。

本発明の液晶基板の保管倉庫室によれば、液晶基板を収納するカセットを保管する保管棚と、カセットをレールに沿って搬送する搬送装置と、保管棚に清浄空気を供給する清浄空気吹出装置とを備えた液晶基板の保管倉庫室において、倉庫室の端部の床面付近に開口部を有し、該開口部から室内の空気を吸い込む吸込機構を設けることから、倉庫室の床面から巻き上がる塵埃や、搬送装置下部からの発塵を速やかに除去することができる。

この場合、吸込機構の開口部を複数箇所に設けることにより、倉庫室の床面から巻き上がる塵埃や、搬送装置下部からの発塵をより効果的に除去することができる。

また、吸込機構を、送風機により強制的に室内空気を吸い込むように構成することにより、倉庫室の床面から巻き上がる塵埃や、搬送装置下部からの発塵をより効果的に除去することができる。

また、送風機の風量を調整する風量調整機構を設けることにより、塵埃の発生量に応じて風量調整を行い、効率的な吸込運転をすることができる。

また、風量調整機構を、搬送装置の位置を検出して風量を制御するように構成することにより、塵埃の発生量に応じて風量調整を行い、効率的な吸込運転をすることができる。

以下、本発明の液晶基板の保管倉庫室の実施の形態を、図面に基づいて説明する。

図１に、本発明の液晶基板の保管倉庫室の第１実施例を示す。
この液晶基板の保管倉庫室は、主に、液晶基板を収納するカセット１を保管する保管棚２と、カセット１をレール３に沿って搬送するスタッカクレーン４と、保管棚２に清浄空気を供給する清浄空気吹出装置５とを備えている。
そして、この液晶基板の保管倉庫室は、倉庫室の端部の床面付近に開口部６１を有し、該開口部６１から室内の空気を吸い込む吸込機構を設けており、該吸込機構は、倉庫室の端部の側壁７に沿って開口部６１を形成する端部レタンスペース６にて構成されている。

液晶基板は、半ば露出した状態でカセット１に収納されており、清浄空気吹出装置５は、この液晶基板を清浄に保つために保管棚２に清浄空気Ａを供給している。
なお、清浄空気Ａの吹出は、保管棚２にカセット１がある場合は、液晶基板面を汚れにくくするために水平吹出が一般的となっている。

この液晶基板の保管倉庫室の気流性状を説明すると、清浄空気吹出装置５から水平に吹き出された清浄空気Ａが、レタンスペース開口部８１を通じてレタンスペース８に吸い込まれ循環する経路と、端部レタンスペース６の開口部６１に吸い込まれる経路とに分かれる。
この場合、端部レタンスペース１は、清浄空気吹出装置５（又は他の空調機）に循環接続されており、この清浄空気吹出装置５の送風力により、戻り空気として室内の空気を吸い込むことができる。
なお、清浄空気Ａは、直付けされた製造装置９の内部にも一部が取り込まれる。

ところで、スタッカクレーン４は、倉庫室内でカセット１を保持しながら、製造装置９や保管棚２などの必要な箇所に移動するため、摺動部の発塵や床面からの塵埃の巻き上がりなどを起こす可能性がある。
従来においては、特に、室の端部には、保管棚２が少ないうえに清浄空気吹出装置や空気の吸込口がなく、スタッカクレーン４などの搬送装置による塵埃の巻き上げなどが現実に発生していた。
しかも最近では、搬送装置のスピードが高速化し、液晶基板も大型化してきており、益々室の端部での気流の乱れは大きくなっている。更に言えば、室端部の領域には、カセット１を保管倉庫室から搬入出するための例えばＯＨＶ（天井吊下式自動搬送車）の入出庫口があるため、頻繁に端部領域に移動しなくてはならない。
そこで、このスタッカクレーン４の端部領域への移動に対して、本実施例の端部レタンスペース６を倉庫室の端部の側壁７に配設することにより、塵埃の巻き上がり及び発塵を効率よく除去することができる。

一方、図２及び図３に示すように、室端部の吸込のための開口部６１及び端部レタンスペース６は、倉庫室の端部の複数箇所（図２では２箇所、図３では３箇所）に配設してもよい。こうすることで、室の端部での塵埃の巻き上がり、スタッカクレーン４下面からの発塵などに対して、図１に示す端部レタンスペース６の場合と同等に塵埃を除去することができる。
特に、レール３を両側から挟みこむ形で両端に開口部６１を設けることにより、室の床面からの巻き上がりやクレーン４下部からの発塵を速やかに除去することができる。
また、側壁７にメンテナンス用のドアを取付けたり、ＯＨＶ入出庫口を取付けることができるようになり、倉庫室の側壁７を有効に使えることとなる。
また、図３に示すように、倉庫室の端部近傍の側面側に、室端部の吸込のための開口部６１及び端部レタンスペース６を配設することにより、全長の長い倉庫室での塵埃の巻き上がりを有効に防止することができる。

また、図４（ａ）に示すように、端部レタンスペース６に風量の調整ができるような送風機１０を取付け、積極的に室端部の空気を吸い込むことで巻き上がり防止を図ることも可能である。
このときの吸込量は、レタンスペース８の吸込量とのバランスが重要で、端部レタンスペース６の吸込量が多いと倉庫室内が負圧となってしまうので注意が必要である。
なお、端部レタンスペース６に強制的に吸い込まれた室内空気は、本実施例では、室外に排気される。

また、図４（ｂ）に示すように、倉庫室の端部にスタッカクレーン４を検出するセンサー１１を設け、該センサー１１によりスタッカクレーン４の位置を検出し、コントローラ１２により、スタッカクレーン４が室の端部領域に到着したときにのみ、送風機１０を連動させて運転させてもよい。
これにより、スタッカクレーン４が室端部に近づいて、気流を乱す可能性のあるときにのみ送風機１０を動かせるため、省エネ運転が可能となる。
なお、送風機１０を連動して運転させるためのセンシングする信号としては、圧力や風速などを検出するようにしてもよい。

以上、本発明の液晶基板の保管倉庫室について、複数の実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、例えば、吸込機構は、室内の空気を床下に吸い込むようにすることもできるなど、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができる。

本発明の液晶基板の保管倉庫室は、保管倉庫室での塵埃の巻き上がりを防止するという特性を有していることから、例えば、大型の液晶基板の保管倉庫室に好適に用いることができる。

本発明の液晶基板の保管倉庫室の第１実施例を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図である。本発明の液晶基板の保管倉庫室の第２実施例を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図である。本発明の液晶基板の保管倉庫室の第３実施例を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図である。本発明の液晶基板の保管倉庫室を示し、（ａ）は第４実施例の断面図、（ｂ）は第５実施例の断面図である。従来の液晶基板の保管倉庫室を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図である。

符号の説明

１カセット
２保管棚
３レール
４スタッカクレーン（搬送装置）
５清浄空気吹出装置
６端部レタンスペース（吸込機構）
６１開口部
７側壁
８レタンスペース
８１開口部
９製造装置
１０送風機
１１センサー
１２コントローラ

Claims

液晶基板を収納するカセットを保管する保管棚と、カセットをレールに沿って搬送する搬送装置と、保管棚に清浄空気を供給する清浄空気吹出装置とを備えた液晶基板の保管倉庫室において、倉庫室の端部の床面付近に開口部を有し、該開口部から室内の空気を吸い込む吸込機構を設けたことを特徴とする液晶基板の保管倉庫室。
吸込機構の開口部を複数箇所に設けたことを特徴とする請求項１記載の液晶基板の保管倉庫室。
吸込機構を、送風機により強制的に室内空気を吸い込むように構成したことを特徴とする請求項１又は２記載の液晶基板の保管倉庫室。
送風機の風量を調整する風量調整機構を設けたことを特徴とする請求項３記載の液晶基板の保管倉庫室。
風量調整機構を、搬送装置の位置を検出して風量を制御するように構成したことを特徴とする請求項４記載の液晶基板の保管倉庫室。