JP2009030899A - 薄板処理装置及びクリーン薄板処理システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】可動部分21,25の下方にダクト構成部材27が配設され、ダクト構成部材27の上面に清浄空気を取入れ可能な取入口27tが形成され、取入口27tの上側近傍に清浄空気をダクト構成部材27の取入口27t側へ吸引する吸引ファン29が配設され、クリーンルーム5の床5fに設置されると、クリーンルーム5の床5fの一部によってダクト構成部材27の開口部27pが閉じられ、ダクト構成部材27とクリーンルーム5の床5fの一部によって、リターンダクト11に連通するように接続可能な接続ダクトCDが構成されるようになっていること。
【選択図】図1
Description
本発明の実施形態の変形例について図3を参照して説明する。
3 建屋
5 クリーンルーム
5c 天井
5f 床
7 天井チャンバー
9 送風ファン・フィルタユニット
11 リターンダクト
13 薄板保管処理装置
15 装置本体
17 支持台
17h 段付穴
19 側フレーム
21 ガイドレール
23 カセット
25 カセット支持部材
27 ダクト構成部材
27p 開口部
27t 取入口
29 吸引ファン
31 クリーン薄板処理システム
33 接続ダクト
33t 取入口
Claims (3)
- 発塵しうる可動部分を有し、クリーンな環境下で薄板に対して処理を行う薄板処理装置において、
前記可動部分の下方に配設され、清浄気体を取入れ可能な取入口が形成され、下側に開口部を有したダクト構成部材と、
清浄気体を前記ダクト構成部材の前記取入口側へ吸引する吸引ファンと、を備え、
クリーンルームの床に設置されると、前記クリーンルームの床の一部によって前記ダクト構成部材の前記開口部が閉じられ、前記ダクト構成部材と前記クリーンルームの床の一部によって、前記クリーンルーム内に立設されたリターンダクトに連通するように接続可能な接続ダクトが構成されるようになっていることを特徴とする薄板処理装置。 - 発塵しうる可動部分を有し、クリーンな環境下で薄板に対して処理を行う薄板処理装置において、
前記可動部分の下方に配設され、清浄気体を取入れ可能な取入口が形成され、クリーンルームに立設されたリターンダクトに連通するように接続可能な接続ダクトと、
清浄気体を前記接続ダクトの前記取入口側へ吸引する吸引ファンと、を備えたことを特徴とする薄板処理装置。 - 清浄気体の循環によってクリーンな環境を保ちつつ、クリーンな環境下で薄板に対して処理を行うクリーン薄板処理システムにおいて、
建屋内に構築されたクリーンルームと、
前記建屋内における前記クリーンルームの上側に配設され、気体を収容する天井チャンバーと、
前記クリーンルームの天井側に配設され、前記天井チャンバー内の気体を濾過して、清浄気体を下方向へ送風する送風ファン・フィルタユニットと、
前記クリーンルーム内に立設され、上端部が前記天井チャンバー内に連通したリターンダクトと、
前記クリーンルームの床に設置された請求項1又は請求項2に記載の発明特定事項からなる薄板処理装置と、を備えたことを特徴とするクリーン薄板処理システム。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63157436A (ja) * | 1986-12-22 | 1988-06-30 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | ウエハカセツト収納ボツクス |
JPH11141939A (ja) * | 1997-11-13 | 1999-05-28 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 電源装置 |
JPH11340301A (ja) * | 1998-05-29 | 1999-12-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2001093827A (ja) * | 1999-07-16 | 2001-04-06 | Tokyo Electron Ltd | 処理システム |
JP2002039583A (ja) * | 2000-07-24 | 2002-02-06 | Ricoh Elemex Corp | 空気清浄システム |
JP2005159141A (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 基板搬送装置及び基板保管搬送装置 |
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---|---|---|---|---|
JPH11337115A (ja) * | 1998-05-27 | 1999-12-10 | Fuji Denki Sosetsu Co Ltd | クリーンルームの局所空調システム |
US6426303B1 (en) * | 1999-07-16 | 2002-07-30 | Tokyo Electron Limited | Processing system |
JP2002174441A (ja) * | 2000-12-08 | 2002-06-21 | Mitsubishi Electric Corp | 空気清浄システム及び空気清浄ハウジング |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63157436A (ja) * | 1986-12-22 | 1988-06-30 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | ウエハカセツト収納ボツクス |
JPH11141939A (ja) * | 1997-11-13 | 1999-05-28 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 電源装置 |
JPH11340301A (ja) * | 1998-05-29 | 1999-12-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2001093827A (ja) * | 1999-07-16 | 2001-04-06 | Tokyo Electron Ltd | 処理システム |
JP2002039583A (ja) * | 2000-07-24 | 2002-02-06 | Ricoh Elemex Corp | 空気清浄システム |
JP2005159141A (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 基板搬送装置及び基板保管搬送装置 |
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