KR101289367B1 - 처리 장치 및 처리 장치를 포함하는 클린 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명의 클린 시스템은, 챔버를 에워싸는 천정과, 바닥면을 가지는 룸(room)과, 상기 챔버와 연통되고, 상기 챔버 내의 공기를 청정화하여 청정 공기를 공급하는 송풍 장치와, 상기 청정 공기를 수용하기 위해 배치된 장치 본체와, 상기 장치 본체를 지지하고, 상기 바닥면과의 사이에 통기 가능한 공간을 기밀하게 에워싸도록 구성된 테이블로서, 상기 공간과 연통된 도입구와, 상기 장치 본체를 통과한 상기 청정 공기를 상기 도입구를 경유하여 상기 공간으로 도입하는 흡인팬을 구비한 테이블과, 상기 공간과 상기 챔버를 연통시키기 위해, 상기 테이블 및 상기 천정과 기밀하게 결합된 환류(還流) 덕트를 포함한다.

Description

처리 장치 및 처리 장치를 포함하는 클린 시스템{PROCESSING APPARATUS AND CLEAN SYSTEM INCLUDING PROCESSING APPARATUS}

본 발명은, 디스플레이 장치의 제조 등의 청정 환경을 필요로 하는 공정에 바람직한 처리 장치, 및 이러한 처리 장치를 포함하여 구축되는 클린 시스템에 관한 것이다.

클린룸은, 디스플레이 장치의 제조와 같은 청정 환경을 필요로 하는 공정에 이용되고 있다. 클린룸은, 룸 안의 공기를 청정하게 유지하기 위해, 공기로부터 미세한 먼지 및 그 외의 오염 물질을 제거하는 특별한 필터를 사용한 송풍 장치를 사용한다. 높은 청정도를 유지하기 위해, 또한 필터의 열화를 방지하기 위해, 청정 공기는 사용 후 내보내지 않고, 환류(還流)하여 필터를 반복 통과시키는 것이, 통상 행해진다.

클린룸은, 이러한 목적 때문에 특별한 구조를 가진다. 즉, 전형적으로는, 클린룸의 천정은, 천정면과, 이 천정면보다 낮게 지지된 천정과의 이중 구조를 가지고, 이중 구조의 내부는 공기가 유통될 수 있는 챔버로 되어 있다. 클린룸의 바닥은, 바닥면과, 이 바닥면보다 높게 지지된 그레이팅(grating)을 구비하고, 바닥면과 그레이팅과의 사이도 챔버로 되어 있다. 천정 측의 챔버와 바닥 측의 챔버는, 환류 덕트에 의해 연통되어 있다. 필터 및 송풍 장치는, 통상, 천정에 설치되어, 천정 측 챔버와 연통되게 되어 있다. 클린룸 내의 각 장치는 그레이팅 상에 설치되고, 천정 측으로부터 공급된 청정 공기는, 각 장치를 통과하여 그레이팅을 지나, 바닥 측의 챔버로 흘러내린다. 바닥 측의 챔버 내로 흘러내린 청정 공기는, 환류 덕트에 의해 모아져 천정 측의 챔버로 환류된다.

관련된 기술이, 일본공개특허 1999-337115호 및 일본공개특허 1998-116758호에 개시되어 있다.

전술한 설명으로부터 이해할 수 있는 바와 같이, 종래의 클린룸은, 특별한 구조를 가지므로 용이하게 구축할 수는 없다. 또한, 천정 및 바닥에 챔버를 위한 공간을 필요로 하기 때문에, 장치를 설치할 수 없는 많은 데드 스페이스가 발생하여, 장치의 레이아웃에 제약이 따른다.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위해 행해진 것으로서, 그 목적은, 바닥면이 그레이팅이나 챔버가 부족해도, 그 바닥면에 직접 설치함으로써 간단하고 용이하게 구축할 수 있고, 또한 장치의 레이아웃에 큰 자유도를 제공할 수 있는, 클린 시스템을 제공하는 것이다.

본 발명의 제1 태양에 의하면, 처리 장치는, 청정 공기를 공급하는 송풍 장치와 바닥면을 가지는 룸(room)과 함께 사용된다. 상기 처리 장치는, 상기 청정 공기를 수용할 수 있는 장치 본체와, 상기 장치 본체를 지지하고, 상기 바닥면과의 사이에 통기 가능한 공간을 기밀하게 에워싸는 구조를 가지는 테이블 및 통기 가능한 공간을 기밀하게 에워싸 상기 바닥면에 설치하는 것이 가능한 테이블의 군으로부터 선택된 어느 하나의 테이블로서, 상기 공간과 연통된 도입구와, 상기 장치 본체를 통과한 상기 청정 공기를 상기 도입구를 경유하여 상기 공간으로 도입하는 흡인팬을 구비한 테이블을 포함한다.

바람직하게는, 상기 처리 장치는, 상기 테이블과 기밀하게 결합되고, 상기 공간으로 도입된 상기 청정 공기를 상기 송풍 장치로 환류(還流)할 수 있도록 구성된 환류 덕트를 더 포함한다.

본 발명의 제2 태양에 의하면, 클린 시스템은, 챔버를 에워싸는 천정과, 바닥면을 가지는 룸과, 상기 챔버와 연통되고 상기 챔버 내의 공기를 청정화하여 청정 공기를 공급하는 송풍 장치와, 상기 청정 공기를 수용하도록 배치된 장치 본체와, 상기 장치 본체를 지지하고 상기 바닥면과의 사이에 통기 가능한 공간을 기밀하게 에워싸는 구조를 가지는 테이블 및 통기 가능한 공간을 기밀하게 에워싸 상기 바닥면에 설치하는 것이 가능한 테이블의 군으로부터 선택된 어느 하나의 테이블로서, 상기 공간과 연통된 도입구와, 상기 장치 본체를 통과한 상기 청정 공기를 상기 도입구를 경유하여 상기 공간으로 도입하는 흡인팬을 구비한 테이블과, 상기 공간과 상기 챔버를 연통시키기 위해, 상기 테이블 및 상기 천정과 기밀하게 결합된 환류 덕트를 포함한다.

본 발명에 의하면, 간단하고 용이하게 청정 환경을 구축할 수 있어, 장치의 레이아웃에 큰 자유도를 제공할 수 있는 클린 시스템이 제공된다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 클린 시스템의 단면도이다.
도 2는 도 1의 II-II선에 따른 단면도이다.
도 3은 변형예에 의한 클린 시스템의 단면도이다.

본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 이하에 설명한다. 이하에서는, 디스플레이 장치의 소재인 유리 기판을 일시적으로 보관하여 하류의 장치에 공급하기 위한 보관 장치를 예로 들어 설명하지만, 본 발명의 실시예는 이에 한정되지 않는다.

본 발명의 실시예에 의한 클린 시스템(1)은, 도 1에 나타낸 바와 같이, 건물(3) 내의 룸(5)을 이용하여 구축된다. 룸(5)의 바닥면(5f)은, 발진을 방지하기 위해, 예를 들면, 모르타르에 폴리우레탄 수지 등으로 이루어지는 도료가 도포된 것이지만, 이에 한정되지 않는다. 룸(5)의 천정(5c)은 건물(3)의 천정면보다 낮고, 그 사이에 공기가 유통될 수 있는 천정 챔버(7)가 확보되어 있다. 천정(5c)은 개구부를 가지고 있고, 개구와 연통되어 아래쪽으로 청정 공기를 공급하는 송풍 장치(9)가 구비되어 있다. 청정 공기를 공급하는 송풍 장치(9)에는, 공기로부터 미세한 먼지 및 그 외의 오염 물질을 제거하는 필터와, 청정화된 공기를 송풍하는 팬을 구비한 것으로서, 클린룸에 적용할 수 있는 어떠한 공지의 장치라도 적용할 수 있다. 룸(5)은, 그 바닥면 부근과 천정 챔버(7)가 연락될 수 있도록, 대략 연직(鉛直)의 환류 덕트(11)를 구비한다. 환류 덕트(11)도 또한 공기를 유통시킬 수 있도록 구성되어 있다.

보관 장치(13)는, 장치 본체(15)와, 테이블(17)과, 한쌍의 프레임(19)과, 그 외의 부재를 구비한다. 테이블(17)은 바닥면(5f) 상에 설치되어 있고, 한쌍의 프레임(19)은 테이블(17) 상에 고정되고, 그 외의 부재는 프레임(19)에 의해 지지된다.

각 프레임(19)은 연직으로 연장되는 레일(21)을 구비하고, 레일(21)은 각각 지지 부재(25)를 승강 가능하게 지지하고 있다. 지지 부재(25)는, 전동 모터 등의 구동 장치(도시하지 않음)에 의해 구동되어 승강한다. 지지 부재(25)는, 또한 카세트(23)를 지지하고 있다. 카세트(23)는, 연직으로 적층된 복수 개의 수평으로 된 수납부를 구비하고 있고, 각각의 수납부는 유리판 W를 수납한다. 구동 장치의 구동을 제어함으로써, 수납된 복수 개의 유리판 중 임의의 유리판 W를 원하는 높이로 할 수 있고, 또한 상기 높이에 있어서 필요한 처리가 행해진다.

보관 장치(13)로서는, 공지의 장치가 이용 가능하며, 이러한 장치로서는 예를 들면, 일본공개특허 제2005-159141호 및 일본공개특허 제2005-175429호에 개시된 것을 예시할 수 있다.

테이블(17)은, 그 하면에 일체로 덕트 부재(27)를 구비한다. 덕트 부재(27)의 하면은 개구되어 있지만, 덕트 부재(27)가 바닥면(5f) 상에 직접 설치되면 바닥면(5f)에 의해 하면의 개구가 폐색(閉塞)되므로, 통기 가능한 덕트 CD를 구성한다. 즉, 덕트 부재(27)를 가지는 테이블(17)은, 바닥면(5f)과의 사이에서 통기 가능한 공간을 기밀하게 에워싸는 구조를 가진다. 덕트 부재(27)는, 또한 상기 공간과 연통된 복수 개의 도입구(27t)를 구비하고, 테이블(17)은, 상기 도입구(27t)와 각각 연통된 복수 개의 개구부(17h)를 구비한다. 개구부(17h)에는, 각각 흡인팬(29)이 설치되어 있고, 위쪽의 공기를 상기 공간으로 도입하도록 되어 있다.

덕트 CD는, 환류 덕트(11)와 기밀하게 결합되어 있고, 상기 공간으로 도입된 공기는 환류 덕트(11)를 경유하여 천정 챔버(7)로 환류시킬 수 있다.

천정 챔버(7) 중의 공기는, 송풍 장치(9)에 의해 청정화되어, 아래쪽으로 공급된다. 그러므로, 보관 장치(13)는 청정 공기를 수용하여, 그 주위에 청정 환경이 유지된다. 보관 장치(13)의 구동에 의해 약간의 먼지 내지 오염 물질이 생길 수 있지만, 이들을 포함하는 공기는 흡인팬(29)에 의해 흡인되어, 덕트 CD에 도입된다. 상기 공기는 덕트 CD 및 환류 덕트(11)를 경유하여 천정 챔버(7)로 환류되고, 다시 송풍 장치(9)에 의해 청정화된다.

본 실시예에 의하면, 그레이팅을 구비한 바닥과 같은 클린룸에 특별한 구조가 없는 룸이라도, 클린룸과 동등한 청정 환경을, 간단하고 용이하게 실현할 수 있다. 또한, 그레이팅 아래의 데드 스페이스가 없게 할 수 있으므로, 장치의 레이아웃에 큰 자유도가 제공된다.

전술한 실시예는, 각종의 변형이 가능하다. 예를 들면, 도 3에 나타낸 변형예에 의한 클린 시스템(31)과 같이, 하면이 개구된 덕트 부재(27)는, 하면의 개구부가 없이, 그 자체로 공기가 유통되는 공간을 기밀하게 에워싸는 덕트(33)로 대체해도 된다. 덕트(33)도 바닥면(5f)에 직접 설치할 수 있다. 그러므로, 이러한 변형예도, 청정 환경을 간단하고 용이하게 실현할 수 있어, 장치의 레이아웃에 큰 자유도를 제공한다.

본 발명을 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 상기 개시 내용에 기초하여, 본 기술 분야의 통상의 기술을 가지는 자가, 실시예의 수정 내지 변형에 의해 본 발명을 행할 수 있다.

Claims (3)

1. 청정 공기를 공급하는 송풍 장치와 바닥면을 가지는 룸(room)과 함께 이용되는 처리 장치로서,
   상기 청정 공기를 수용할 수 있는 장치 본체; 및
   상기 장치 본체를 지지하고, 상기 바닥면과의 사이에 통기 가능한 공간을 기밀하게 에워싸는 구조를 가지는 테이블로서, 상기 공간과 연통된 도입구와, 상기 장치 본체를 통과한 상기 청정 공기를 상기 도입구를 경유하여 상기 공간으로 도입하는 흡인팬을 구비한 상기 테이블
   을 포함하는, 처리 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 테이블과 기밀하게 결합되고, 상기 공간으로 도입된 상기 청정 공기를 상기 송풍 장치로 환류(還流)할 수 있도록 구성된 환류 덕트를 더 포함하는, 처리 장치.
3. 챔버를 에워싸는 천정과 바닥면을 가지는 룸과,
   상기 챔버와 연통되고, 상기 챔버 내의 공기를 청정화하여 청정 공기를 공급하는 송풍 장치와,
   상기 청정 공기를 수용하도록 배치된 장치 본체와,
   상기 장치 본체를 지지하고, 상기 바닥면과의 사이에 통기 가능한 공간을 기밀하게 에워싸도록 구성된 테이블로서, 상기 공간과 연통된 도입구와, 상기 장치 본체를 통과한 상기 청정 공기를 상기 도입구를 경유하여 상기 공간으로 도입하는 흡인팬을 구비한 상기 테이블과,
   상기 공간과 상기 챔버를 연통시키기 위해, 상기 테이블 및 상기 천정과 기밀하게 결합된 환류 덕트
   를 포함하는, 클린 시스템.

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