JP2006275349A - クリーンブース、およびクリーンブースのクリーン度調整方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 簡易な構成でブース内エアーのクリーン度を調整することができるクリーンブース等を提供することを課題とする。
【解決手段】 天井部１２に設けたファンフィルタユニット２０と、少なくとも側壁１４，１５の一部を構成するカーテン３０と、カーテン３０を、上げ下げ自在に開閉させる昇降手段４０と、昇降手段４０を制御し、カーテン３０により構成される開口部３３の開口面積を調整して、ブース２内エアーのクリーン度を調整する制御手段と、を備えた。
【選択図】 図１

Description

本発明は、半導体製品等の精密部品の製造装置等を収容するクリーンブース、およびクリーンブースのクリーン度調整方法に関するものである。

従来、天井部に設けた吸気ファンおよびフィルタ（ＨＥＰＡフィルタ）を有し、フィルタを介してブース内にクリーンエアーを供給することで清浄空間を形成し、精密部品の製造装置等を収容するクリーンブースが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特開平６−２７２９２１号公報

ところで、半導体製品等の製造工程では、工程毎に要求されるクリーン度が異なるため、クリーンブースについても、ブース内エアーのクリーン度を調整できることが求められている。この点、吸気ファンの吸気速度（回転速度）を変更すれば、ある程度クリーン度を変更ことが可能であるが、その変更幅には限界がある。そのため、クリーン度を大幅に調整する場合には、吸気ファンおよびフィルタの交換や増設等が必要となっていた。

本発明は、簡易な構成でブース内エアーのクリーン度を調整することができるクリーンブース、およびクリーンブースのクリーン度調整方法を提供することを目的とする。

本発明のクリーンブースは、天井部に設けた吸気ファンおよびフィルタと、少なくとも側壁の一部を構成するカーテンと、カーテンを、上げ下げ自在に開閉させる昇降手段と、昇降手段を制御し、カーテンにより構成される開口部の開口面積を調整して、ブース内エアーのクリーン度を調整する制御手段と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、カーテンにより構成される開口部の開口面積が大きい場合には、吸気ファンからフィルタを介して供給されるクリーンエアーの大部分は、クリーンブースの下部へ流れることなく、開口部から排気される。これに対し、開口部の開口面積が小さい場合には、クリーンエアーの大部分は、開口部から排気される前に、ブース内の上部から下部へ流れ、塵や埃等が効率良く排出されることになる。したがって、カーテンにより構成される開口部の開口面積を大きくすることで、ブース内エアーのクリーン度を低くし、開口部の開口面積を小さくすることで、クリーン度を高くすることができる。つまり、カーテンによる開口部の開口面積を調整するという簡易な構成で、ブース内エアーのクリーン度を調整することができる。
さらに、この場合、要求されるクリーン度が低くてもよい場合には、開口部の開口面積を大きくすることで、クリーンブース内での処理対象物の搬出入を容易に行うことができる。

この場合、カーテンは、ボトムバー付きのロールカーテンであることが好ましい。

この構成によれば、巻き上げられたカーテンをコンパクトに収めることができるため、天井部にスペース的な制約がある場合にも、これを容易に設置することができる。

この場合、昇降手段は、ロールカーテンを巻取り・繰出し自在に巻回した巻取り軸と、巻取り軸を正逆回転させるモータと、を有することが好ましい。

この構成によれば、ロールカーテンを簡易且つ正確に巻取り・繰出しすることができ、ロールカーテンの開口面積の調整を適切に行うことができる。

これらの場合、カーテンは、対面する両側壁を構成する一対のもので構成され、
これに対応して、昇降手段は一対のもので構成されていることが好ましい。

この構成によれば、カーテンにより構成される開口部（換気口）が対面する両側壁に形成されるため、ブース内の換気が促されると共に、ブース内にクリーンエアーが偏在することがなく、いわゆるエアー溜りが生じ難くなる。このため、クリーン度の調整を迅速且つ適切に行うことができる。

本発明の他のクリーンブースは、天井部に設けた吸気ファンおよびフィルタと、床部に設けた排気ファンと、吸気ファンおよび排気ファンの駆動を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、吸気ファンおよび排気ファンを駆動する第１種換気動作と、吸気ファンのみを駆動する第２種換気動作と、を切り替えて、ブース内エアーのクリーン度を調整することを特徴とする。

この構成によれば、第１種換気動作では、排気ファンによりブース内のエアーを強制排気しながら吸気ファンを駆動することで、吸気ファンのみを駆動する第２種換気動作に比べて、クリーンエアーの圧力損失が抑えられ、その気流速度が速くなる。このため、第１種換気動作と、第２種換気動作とを切り替えることで、クリーンエアーの気流速度を切り替えることができ、簡易な構成でブース内エアーのクリーン度を調整することができる。

本発明の他のクリーンブースは、天井部に設けた吸気ファンおよびフィルタと、床部に設けた排気ファンと、吸気ファンおよび排気ファンの駆動を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、吸気ファンおよび排気ファンを駆動する第１種換気動作と、吸気ファンのみを駆動する第２種換気動作と、排気ファンのみを駆動する第３種換気動作と、を切り替えて、ブース内エアーのクリーン度を調整することを特徴とする。

この構成によれば、上記したように、第１種換気動作では、クリーンエアーの気流速度が速くなり、第２種換気動作では、クリーンエアーの気流速度が遅くなる。さらに、第３種換気動作では、排気ファンのみが駆動するため、ブース内エアーの強制排気に伴って、外気が吸気ファンから緩やかに流れ込み、ブース内には、より一層遅い速度のクリーンエアーが供給される。このため、第１種換気動作と、第２種換気動作と、第３種換気動作とを切り替えることで、クリーンエアーの気流速度を多段階的に切り替えることができ、簡易な構成でブース内エアーのクリーン度を調整することができる。

これらの場合、吸気ファンおよびフィルタは、天井部に構成した吸気チャンバに収容され、排気ファンは、床部に構成した排気チャンバに収容されていることが好ましい。

この構成によれば、吸気ファンから流入した外気は、直接ブース内に流れ込むことなく吸気チャンバを介すことで、均一且つ下方への直進性を持ってブース内に供給される。同様に、ブース内のクリーンエアーは、直接ブース外へ流れ出すことなく、排気チャンバを介して排気ファンから排出される。したがって、クリーエアーをブース内の上部から下部へ均一な流速で流すことができる。

これらの場合、吸気ファンは、天井部の両短辺側に離反して配設した一対のもので構成され、排気ファンは、床部の両短辺側に離反して配設した一対のもので構成されていることが好ましい。

この構成によれば、一対の吸気ファンおよび一対の排気ファンを、それぞれ天井部および床部の両短辺側に離反して配設したことで、ブース内の換気が促されると共に、ブース内にクリーンエアーが偏在することがなく、いわゆるエアー溜りが生じ難くなる。このため、クリーン度の調整を迅速且つ適切に行うことができる。

本発明のクリーンブースのクリーン度調整方法は、側壁開口部の開口面積を調整することにより、ブース内エアーのクリーン度を調整することを特徴とする。

この構成によれば、側壁開口部の開口面積が大きい場合には、供給されるクリーンエアーの大部分が側壁開口部から速やかに排気されるのに対し、側壁開口部の開口面積が小さい場合には、クリーンエアーの大部分は側壁開口部から排気される前に、ブース内の上部から下部へ流れることになる。したがって、側壁開口部の開口面積を大きくすることで、ブース内エアーのクリーン度を低くし、側壁開口部の開口面積を小さくすることで、クリーン度を高くすることができる。つまり、側壁開口部の開口面積を調整するという簡易な操作により、ブース内エアーのクリーン度を調整することができる。
さらに、この場合、要求されるクリーン度が低くてもよい場合には、側壁開口部の開口面積を大きくすることで、クリーンブース内での処理対象物の搬出入を容易に行うことができる。

本発明の他のクリーンブースのクリーン度調整方法は、機械換気による換気量を調整することにより、ブース内エアーのクリーン度を調整することを特徴とする。

この構成によれば、機械換気による換気量を調整するという簡易な操作により、クリーンエアーの気流速度が調整され、ブース内エアーのクリーン度を調整することができる。

以下、添付の図面を参照して、本発明を適用したクリーンブースおよびそれを用いた生産システムについて説明する。この生産システムは、半導体装置の製造工程に組み込まれるものであって、複数の製造工程のうち、ある程度のクリーン度が要求される製造工程に用いられるものである。

図１に示すように、生産システムＳは、半導体装置の任意の１の製造工程に用いられる製造装置１と、その製造装置１を収容するクリーンブース２と、製造装置１の処理対象物３（半導体装置の部品等）の搬出入に用いられる収納ボックス４とを備えている。収納ボックス４は、処理対象物３に塵・埃等が付着することを避けるため、処理対象物３を清浄な雰囲気に密閉した状態で、収納可能に構成されている。

前製造工程から本製造工程（生産システムＳ）に搬送される処理対象物３は、収納ボックス４に収納された状態で、クリーンブース２内に搬入され、収納ボックス４から製造装置１にセットされ、製造装置１により所定の処理が行われる。処理対象後の処理対象物３は、製造装置１から収納ボックス４に移載され、収納ボックス４に収納された状態で、クリーンブース２外へ搬出され、次の製造工程へと搬送される。

続いて、本発明に係るクリーンブース２について説明する。図２に示すように、第１実施形態のクリーンブース２は、アングル材により直方体のフレーム１１を構成し、これにステンレス板で構成される天壁１２と、塩化ビニルシートで構成される正面壁１３、背面壁（図示省略）、左側壁１４および右側壁１５（図１参照）とを取り付けて組み上げたものである。正面壁１３、背面壁および右側壁１５は、各下端縁が床面との間に僅かに間隙を存するように設けられており、また、左側壁１４は、上げ下げ自在に開閉するロールカーテン３０で構成されている（詳細は後述する）。なお、フレーム１１の４本の縦材１１ａの下部には、キャスタ（図示省略）が取り付けられている。

天壁１２の上面中央部には、クリーンブース２内にクリーンエアーを供給するファンフィルタユニット２０が装着され、天壁１２には、ファンフィルタユニット２０を装着するための装着開口（図示省略）が形成されている。また、天壁１２上面の右前隅部には、図示しないが、クリーンブース２の機械装置を制御する配電盤（操作パネル）が取り付けられている。

ファンフィルタユニット２０は、図示省略したが、外気をクリーンブース２内に強制送気する吸気ファンと、取り込んだ外気を清浄化するためのフィルタ（ＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ等）と、これらを収容するケーシングとを有している。吸気ファンは、ターボファン等で構成されており、吸気ファンにより取り込まれた外気は、フィルタを通過することで清浄化（粒子の除去）され、クリーンエアーとしてクリーンブース２内に供給される。なお、吸気ファンの駆動源は、ＤＣブラシレスモータ等により構成されており、吸気ファンの回転速度を、所定の範囲内で、きめ細かく制御可能となっている。

左側壁１４は、ロールカーテン３０で構成されており、天壁１２の左辺部には、ロールカーテン３０を上げ下げ自在に開閉させる昇降機構４０が設けられている。ロールカーテン３０は、塩化ビニル製で静電防止仕様のカーテン本体３１と、カーテン本体３１の幅より若干長く形成され、カーテン本体３１の一端（下端）の縁部に取り付けられたボトムバー（図示省略）とから構成されている。また、昇降機構４０は、カーテン本体３１の他端（上端）の縁部が固着された巻取り軸４１と、減速ギア機構等で構成され動力伝達機構（図示省略）を介して、巻取り軸４１を正逆回転させる巻取りモータ４２とが設けられている。なお、左側壁１４を形成する２本の縦材１１ａの相互に対向する面には、ボトムバーの左右各端部が係合し、ボトムバーの上下動を案内するガイド溝（図示省略）がそれぞれ形成されている。

そして、巻取りモータ４２を正転させると、巻取り軸４１が正転してロールカーテン３０が繰り出され、下降する。他方、巻取りモータ４２を逆転させると、巻取り軸４１が逆転してロールカーテン３０が巻き取られ、上昇する。そのため、巻取りモータ４２の正転量および逆転量を制御することで、ロールカーテン３０の下降幅、上昇幅を調整でき、ロールカーテン３０により構成される開口部３３の開口面積を調整することができる。これによれば、ロールカーテン３０を簡易且つ正確に巻取り・繰出しすることができ、ロールカーテン３０の開口面積の調整を適切に行うことができる。

なお、本実施形態では、ロールカーテン３０は、左側壁１４の全体を構成しているが、左側壁１４の一部を構成するものであってもよい。すなわち、左側壁１４を、一部に開口を形成したシート材と、その開口を開閉するロールカーテン３０とで構成してもよい。また、本実施形態では、ロールカーテン３０の開閉操作を、モータ駆動により行う構成であるが、昇降コードを取り付ける等して、手動で行うようにしてもよい。

さらに、本実施形態のようにロールカーテン３０を用いることで、巻き上げられたカーテン本体３１をコンパクトに収めることができる。もっとも、天壁１２の上部にスペース的な制約がない場合には、ロールカーテン３０以外のカーテンにより左側壁１４を構成してもよく、例えば、カーテン本体を巻き取ることなく、伸ばされた状態のまま、左側壁１４から天壁１２の上部（天井部）に向かって引き上げるようにしてもよい。

ここで、図１を参照して、第１実施形態のクリーンブース２のクリーン度調整方法について説明する。なお、同図に示すクリーンブース２は、図２に示したクリーンブース２と略同様の構成であるが、左側壁１４および右側壁１５を構成する一対のロールカーテン３０を有し、これに対応して、天壁１２の左辺部および右辺部には、各ロールカーテン３０を上げ下げ自在に開閉させるための一対の昇降機構４０（図２参照）が取り付けられている。

図１（ａ）に示すように、ロールカーテン３０により構成される開口部３３の開口面積を大きくすると、吸気ファンからフィルタを介して供給されるクリーンエアーの大部分は、クリーンブース２の下部へ流れることなく、開口部３３から排気される。一方、同図（ｂ）に示すように、開口部３３の開口面積を小さくすると、クリーンエアーの大部分は開口部３３から排気される前に、クリーンブース２内の上部から下部へ流れ、塵や埃等が効率良く排出されることになる。

したがって、クリーンブース２内のクリーン度を低くしたい（低くてもよい）場合（例えば、クラス１００，０００）には、ロールカーテン３０を上昇させて、開口部３３の開口面積が大きくなるようにし（同図（ａ）参照）、クリーンブース２内のクリーン度を高くしたい場合（例えば、クラス１００）には、ロールカーテン３０を下降させて、開口部３３の開口面積が小さくなるようにする（同図（ｂ）参照）。このように、開口部３３の開口面積を調整するという簡易な操作により、クリーンブース２内エアーのクリーン度を調整することができる。しかも、要求されるクリーン度が低くてもよい場合には、開口部３３の開口面積を大きくすることで、クリーンブース２内での収納ボックス４の搬出入を容易に行うことができる。

さらに、開口部３３（換気口）が対面する両側壁１４，１５に形成されるため、クリーンブース２内の換気が促されると共に、クリーンブース２内のクリーンエアーが偏在することがなく、いわゆるエアー溜りが生じ難くなる。このため、クリーン度の調整を迅速且つ適切に行うことができる。

続いて、第２実施形態のクリーンブースについて説明する。図３に示すように、第２実施形態のクリーンブース１０２は、アングル材により直方体のフレームを構成し、これにステンレス板や樹脂板等のパネル材で構成される天壁１１２、正面壁（図示省略）、背面壁（図示省略）、左側壁１１４、右側壁１１５および床壁（図示省略）を、エアータイト材で相互にシールして組み上げたものであり、図示しないが、下部に分散配置したアジャストボルト付きの複数の支持脚を有している。また、天壁１１２上面の隅部には、図示省略したが、クリーンブース１０２の機械装置を制御する配電盤（操作パネル）が取り付けられている。

クリーンブース１０２内の下部には、床壁に平行な下部隔壁１１６が設けられており、下部隔壁１１６の上面に、上記の製造装置１や収納ボックス４が設置される。この下部隔壁１１６は、根太状に組んだ下地枠に、グレーチングパネルを着脱自在に複数枚敷き詰めて構成されており、後述する上部隔壁１１８の吹出し口（図示省略）から吹き出したクリーンエアーが垂直に流れる（層流を形成する）ようになっているため、塵や埃が効率良く排出される。さらに、この下部隔壁１１６により、後述する排気ファン１２１を配設する排気チャンバ１１７が形成されている。

一方、クリーンブース１０２内の上部には、天壁１１２に平行な上部隔壁１１８が設けられており、この上部隔壁１１８により、後述する吸気ファン１２２およびフィルタユニット１２３を配設する吸気チャンバ１１９が形成されている。

左側壁１１４および右側壁１１５の下端部には、排気ファン１２１を取り付けるための排気ファン取付口（図示省略）がそれぞれ形成され、左側壁１１４および右側壁１１５の上端部には、吸気ファン１２２を取り付けるための吸気ファン取付口（図示省略）がそれぞれ形成されている。すなわち、排気チャンバ１１７には、床壁の左右両短辺側に離反して、一対の排気ファン１２１，１２１が排気ファン取付口に設けられ、吸気チャンバ１１９には、天壁１１２の左右両短辺側に離反して、一対の吸気ファン１２２，１２２が吸気ファン取付口に設けられている。

そして、一対の吸気ファン１２２，１２２と一対の排気ファン１２１，１２１とは、一対の吸気ファン１２２，１２２および一対の排気ファン１２１，１２１を駆動する第１種換気動作と、一対の吸気ファン１２２，１２２のみを駆動する第２種換気動作とを切替可能に構成されており、この切替操作により、クリーンブース１０２内のクリーン度を調整するようになっている（詳細は後述する）。

また、上部隔壁１１８には、吸気ファン１２２から取り込んだ外気の吹出し口が左右に並べて２個形成されている。そして、各吹出し口には、ＨＥＰＡフィルタ等で構成されたフィルタユニット１２３が着脱自在に装着されており、吹出し口からは、フィルタユニット１２３により清浄化されたクリーンエアーが吹き出すようになっている。

そして、吸気ファン１２２から流入した外気は、直接クリーンブース１０２内に流れ込むことなく吸気チャンバ１１９を介すことで、均一且つ下方への直進性を持ってクリーンブース１０２内に供給される。また、上部隔壁１１８の吹出し口から吹き出したクリーンエアーは、下部隔壁１１６（グレーチング床）に向かって垂直に流れ、直接クリーンブース１０２外へ流れ出すことなく、排気チャンバ１１７を介して排気ファン１２１から排出される。これによれば、クリーンエアーをブース内の上部から下部へ均一な流速で流すことができる。

また、上記のように一対の吸気ファン１２２，１２２および一対の排気ファン１２１，１２１を、それぞれ天壁１１２および床壁の両短辺側に離反して配設したことで、クリーンブース１０２内の換気が促されると共に、クリーンブース１０２内にクリーンエアーが偏在することがなく、いわゆるエアー溜りが生じ難くなる。このため、クリーン度の調整を迅速且つ適切に行うことができる。

ここで、第２実施形態のクリーンブース１０２のクリーン度調整方法について説明する。第１種換気動作では、一対の排気ファン１２１，１２１によりクリーンブース１０２内のエアーを強制排気しながら一対の吸気ファン１２２，１２２を駆動することで、一対の吸気ファン１２２，１２２のみを駆動する第２種換気動作に比べて、クリーンエアーの圧力損失が抑えられ、その気流速度が速くなる。つまり、第１種換気動作では、第２種換気動作に比べ、クリーンエアーの気流速度が速くなる。そして、クリーンエアーの気流速度が速くなるほど、クリーンブース１０２内のクリーン度が高くなるため、第１種換気動作では、第２種換気動作に比べ、クリーンブース１０２内のクリーン度が高くなる。

したがって、クリーンブース１０２内のクリーン度を低くしたい（低くてもよい）場合（例えば、クラス１００，０００）には、第２種換気動作に切り替え（図３（ａ）参照）、クリーン度を高くしたい場合（例えば、クラス１００）には、第１種換気動作に切り替えるようにする（同図（ｂ）参照）。このように、第１種換気動作と、第２種換気動作とを切り替えるという簡易な操作により、ブース内エアーのクリーン度を調整することができる。

なお、一対の吸気ファン１２２，１２２と一対の排気ファン１２１，１２１とは、上記の第１種換気動作と、第２種換気動作とに加え、一対の排気ファン１２１，１２１のみを駆動する第３種換気動作との間で、切替可能に構成してもよい。この場合、第３種換気動作では、一対の排気ファン１２１，１２１のみが駆動するため、クリーンブース１０２内の強制排気に伴って、外気が一対の吸気ファン１２２，１２２から緩やかに流れ込み、クリーンブース１０２内には、第２種換気動作の場合と比較して、より一層遅い速度のクリーンエアーが供給され、クリーン度はさらに低くなる。つまり、第１種換気動作、第２種換気動作、第３種換気動作の順に、クリーンエアーの気流速度が遅くなり、この順に、クリーン度が低くなる。

したがって、第１種換気動作と、第２種換気動作と、第３種換気動作とを切り替えることで、クリーンエアーの気流速度を多段階的に切り替えることができ、簡易な構成でブース内エアーのクリーン度を調整することができる。

以上のように、第１実施形態および第２実施形態のクリーンブースによれば、簡易な構成でブース内エアーのクリーン度を調整することができ、半導体装置等の各製造工程に適したクリーン度を実現することができる。

第１実施形態に係るクリーンブースおよびこれを適用した生産システムの概念図であって、（ａ）はクリーン度が低い状態を表す図、（ｂ）はクリーン度が高い状態を表す図である。 第１実施形態に係るクリーンブースの外観斜視図である。 第２実施形態に係るクリーンブースおよびこれを適用した生産システムの概念図であって、（ａ）はクリーン度が低い状態を表す図、（ｂ）はクリーン度が高い状態を表す図である。

符号の説明

２…クリーンブース １４…左側壁 ２０…ファンフィルタユニット ３０…ロールカーテン ３３…開口部 ４０…昇降機構 ４１…巻取り軸 ４２…巻取りモータ １０２…クリーンブース １１７…排気チャンバ １１９…吸気チャンバ １２１…排気ファン １２２…吸気ファン １２３…フィルタユニット

Claims (10)

1. 天井部に設けた吸気ファンおよびフィルタと、
   少なくとも側壁の一部を構成するカーテンと、
   前記カーテンを、上げ下げ自在に開閉させる昇降手段と、
   前記昇降手段を制御し、前記カーテンにより構成される開口部の開口面積を調整して、ブース内エアーのクリーン度を調整する制御手段と、
   を備えたことを特徴とするクリーンブース。
2. 前記カーテンは、ボトムバー付きのロールカーテンであることを特徴とする請求項１に記載のクリーンブース。
3. 前記昇降手段は、
   前記ロールカーテンを巻取り・繰出し自在に巻回した巻取り軸と、
   前記巻取り軸を正逆回転させるモータと、
   を有することを特徴とする請求項２に記載のクリーンブース。
4. 前記カーテンは、対面する両側壁を構成する一対のもので構成され、
   これに対応して、前記昇降手段は一対のもので構成されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のクリーンブース。
5. 天井部に設けた吸気ファンおよびフィルタと、
   床部に設けた排気ファンと、
   前記吸気ファンおよび前記排気ファンの駆動を制御する制御手段と、を備え、
   前記制御手段は、前記吸気ファンおよび前記排気ファンを駆動する第１種換気動作と、前記吸気ファンのみを駆動する第２種換気動作と、を切り替えて、ブース内エアーのクリーン度を調整することを特徴とするクリーンブース。
6. 天井部に設けた吸気ファンおよびフィルタと、
   床部に設けた排気ファンと、
   前記吸気ファンおよび前記排気ファンの駆動を制御する制御手段と、を備え、
   前記制御手段は、前記吸気ファンおよび前記排気ファンを駆動する第１種換気動作と、前記吸気ファンのみを駆動する第２種換気動作と、前記排気ファンのみを駆動する第３種換気動作と、を切り替えて、ブース内エアーのクリーン度を調整することを特徴とするクリーンブース。
7. 前記吸気ファンおよび前記フィルタは、前記天井部に構成した吸気チャンバに収容され、
   前記排気ファンは、前記床部に構成した排気チャンバに収容されていることを特徴とする請求項５または６に記載のクリーンブース。
8. 前記吸気ファンは、天井部の両短辺側に離反して配設した一対のもので構成され、
   前記排気ファンは、床部の両短辺側に離反して配設した一対のもので構成されていることを特徴とする請求項５ないし７のいずれかに記載のクリーンブース。
9. 側壁開口部の開口面積を調整することにより、ブース内エアーのクリーン度を調整することを特徴とするクリーンブースのクリーン度調整方法。
10. 機械換気による換気量を調整することにより、ブース内エアーのクリーン度を調整することを特徴とするクリーンブースのクリーン度調整方法。

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