JPH09155209A - クリーンベンチ - Google Patents
クリーンベンチInfo
- Publication number
- JPH09155209A JPH09155209A JP33997895A JP33997895A JPH09155209A JP H09155209 A JPH09155209 A JP H09155209A JP 33997895 A JP33997895 A JP 33997895A JP 33997895 A JP33997895 A JP 33997895A JP H09155209 A JPH09155209 A JP H09155209A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure chamber
- blower
- air
- positive pressure
- clean bench
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Ventilation (AREA)
- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 低騒音且つ低コストであり、簡単な操作で的
確な風量調整を行うことができるクリーンベンチを提供
する。 【解決手段】 作業台、該作業台上に形成され一部に作
業用開口部を有する作業空間、該作業空間外部の空気取
入部にプレフィルターを設けた陰圧チャンバー、該陰圧
チャンバー内に吸込口を開口した送風機、該送風機の吐
出口を接続した陽圧チャンバー、該陽圧チャンバーの作
業空間に対向した空気吹出口に設けたメインフィルター
を備えたクリーンベンチにおいて、上記陽圧チャンバー
の内部に送風機吐出口に沿って吐出空気流を横断する方
向に摺動可能なスライドダンパーを設け、該スライドダ
ンパーを摺動して送風機吐出口の開口面積を制限するこ
とにより清浄空気の吹出風量を調整可能とした。
確な風量調整を行うことができるクリーンベンチを提供
する。 【解決手段】 作業台、該作業台上に形成され一部に作
業用開口部を有する作業空間、該作業空間外部の空気取
入部にプレフィルターを設けた陰圧チャンバー、該陰圧
チャンバー内に吸込口を開口した送風機、該送風機の吐
出口を接続した陽圧チャンバー、該陽圧チャンバーの作
業空間に対向した空気吹出口に設けたメインフィルター
を備えたクリーンベンチにおいて、上記陽圧チャンバー
の内部に送風機吐出口に沿って吐出空気流を横断する方
向に摺動可能なスライドダンパーを設け、該スライドダ
ンパーを摺動して送風機吐出口の開口面積を制限するこ
とにより清浄空気の吹出風量を調整可能とした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンベンチに
関するものである。
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】無塵，無菌の状態を必要とする実験や作
業をクリーンルームではない通常の環境において行うた
めのクリーンベンチは、例えば図３に示す如く、作業台
３１上に、前面にのみ作業用の開口部３２を設けた作業
空間３３を形成し、その天井部に設けた高性能フィルタ
ー３４を通して清浄化された空気を常時作業空間３３に
流下させ、シャッター３５を付設した開口部３２から流
出させることにより、作業空間３３を清浄に保つもので
あり、３６は陽圧チャンバー３７に空気を圧送する送風
機，３８は空気取入口にプレフィルター３９を設けた陰
圧チャンバーである。
業をクリーンルームではない通常の環境において行うた
めのクリーンベンチは、例えば図３に示す如く、作業台
３１上に、前面にのみ作業用の開口部３２を設けた作業
空間３３を形成し、その天井部に設けた高性能フィルタ
ー３４を通して清浄化された空気を常時作業空間３３に
流下させ、シャッター３５を付設した開口部３２から流
出させることにより、作業空間３３を清浄に保つもので
あり、３６は陽圧チャンバー３７に空気を圧送する送風
機，３８は空気取入口にプレフィルター３９を設けた陰
圧チャンバーである。
【０００３】このようなクリーンベンチにおいて、作業
台３１上で行う実験や作業の内容によっては、清浄空気
の吹出風量を抑える必要がある。この清浄空気の吹出風
量を調整する方法としては、プレフィルタ３９にスラ
イド式のスリット４１を設ける、送風機３６の吸込口
に制限板４２を設ける、送風機３６の吐出口に揺動式
ダンパー４３を設けることが考えられる。
台３１上で行う実験や作業の内容によっては、清浄空気
の吹出風量を抑える必要がある。この清浄空気の吹出風
量を調整する方法としては、プレフィルタ３９にスラ
イド式のスリット４１を設ける、送風機３６の吸込口
に制限板４２を設ける、送風機３６の吐出口に揺動式
ダンパー４３を設けることが考えられる。
【０００４】しかし、上記、においては、いずれも
風切音が大きく、尚且つ、作業者の近傍にあるプレフィ
ルタ３９を通して風切音が聞こえ易いという問題があ
り、更には風量の微調整も困難である。また、上記に
おいては、風量を絞る際、ダンパー４３の揺動方向に対
向して送風機３６の吹出圧力が直接作用するためダンパ
ー４３の揺動に大きな力を必要とし、操作に手間を要し
た。
風切音が大きく、尚且つ、作業者の近傍にあるプレフィ
ルタ３９を通して風切音が聞こえ易いという問題があ
り、更には風量の微調整も困難である。また、上記に
おいては、風量を絞る際、ダンパー４３の揺動方向に対
向して送風機３６の吹出圧力が直接作用するためダンパ
ー４３の揺動に大きな力を必要とし、操作に手間を要し
た。
【０００５】吹出風量を調整する方法としては、これら
機械的方式以外に、インバータ制御，モータ極数切換等
によりファンモータの回転数を加減する電気的方式があ
るが、インバータ制御は高周波ノイズによる外部機器へ
の影響があり、また、概して電気的方式は動作特性の良
いものは高価で、自動制御を必要とせず且つ、風量調整
を行う頻度がそれ程高くないクリーンベンチには不向き
である。
機械的方式以外に、インバータ制御，モータ極数切換等
によりファンモータの回転数を加減する電気的方式があ
るが、インバータ制御は高周波ノイズによる外部機器へ
の影響があり、また、概して電気的方式は動作特性の良
いものは高価で、自動制御を必要とせず且つ、風量調整
を行う頻度がそれ程高くないクリーンベンチには不向き
である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は従来の技術の
これらの点に鑑みて、低騒音且つ低コストであり、簡単
な操作で的確な風量調整を行うことができるクリーンベ
ンチを提供することを課題としてなされたものである。
これらの点に鑑みて、低騒音且つ低コストであり、簡単
な操作で的確な風量調整を行うことができるクリーンベ
ンチを提供することを課題としてなされたものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】作業台、該作業台上に形
成され一部に作業用開口部を有する作業空間、該作業空
間外部の空気取入部にプレフィルターを設けた陰圧チャ
ンバー、該陰圧チャンバー内に吸込口を開口した送風
機、該送風機の吐出口を接続した陽圧チャンバー、該陽
圧チャンバーの作業空間に対向した空気吹出口に設けた
メインフィルターを備えたクリーンベンチにおいて、上
記陽圧チャンバーの内部に送風機吐出口に沿って吐出空
気流を横断する方向に摺動可能なスライドダンパーを設
け、該スライドダンパーを摺動して送風機吐出口の開口
面積を制限することにより清浄空気の吹出風量を調整可
能とした。
成され一部に作業用開口部を有する作業空間、該作業空
間外部の空気取入部にプレフィルターを設けた陰圧チャ
ンバー、該陰圧チャンバー内に吸込口を開口した送風
機、該送風機の吐出口を接続した陽圧チャンバー、該陽
圧チャンバーの作業空間に対向した空気吹出口に設けた
メインフィルターを備えたクリーンベンチにおいて、上
記陽圧チャンバーの内部に送風機吐出口に沿って吐出空
気流を横断する方向に摺動可能なスライドダンパーを設
け、該スライドダンパーを摺動して送風機吐出口の開口
面積を制限することにより清浄空気の吹出風量を調整可
能とした。
【０００８】また、スライドダンパーに、その摺動方向
と平行にラック部材を固定し、該ラック部材に噛合する
ピニオンを、機外から陽圧チャンバー内部まで貫通した
回動軸の一端に固定すると共に、該回動軸の機外側端部
には風量調整ハンドルを設けた。そして、スライドダン
パーを内設した陽圧チャンバー基端部、送風機及び、そ
れらを囲むように形成した陰圧チャンバーが作業台の下
側に配置され、且つ、プレフィルターを設けた空気取入
部を陰圧チャンバーの下面に配置した。
と平行にラック部材を固定し、該ラック部材に噛合する
ピニオンを、機外から陽圧チャンバー内部まで貫通した
回動軸の一端に固定すると共に、該回動軸の機外側端部
には風量調整ハンドルを設けた。そして、スライドダン
パーを内設した陽圧チャンバー基端部、送風機及び、そ
れらを囲むように形成した陰圧チャンバーが作業台の下
側に配置され、且つ、プレフィルターを設けた空気取入
部を陰圧チャンバーの下面に配置した。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１は、本発明を垂直気流型のク
リーンベンチとして実施した代表的な実施形態を示すも
のである。図において、本発明のクリーンベンチは、作
業台１上に、シャッター２を付設した前面開口部３を有
し、背面パネル４と両側面の強化ガラス５で囲まれた作
業空間６を形成し、該作業空間６の天井部の清浄空気吹
出部７にはＨＥＰＡフィルタからなるメインフィルター
８を設けている。そして、作業台１の下部から背面パネ
ル４の背後、及び天井部にかけて陽圧チャンバー９を形
成している。
リーンベンチとして実施した代表的な実施形態を示すも
のである。図において、本発明のクリーンベンチは、作
業台１上に、シャッター２を付設した前面開口部３を有
し、背面パネル４と両側面の強化ガラス５で囲まれた作
業空間６を形成し、該作業空間６の天井部の清浄空気吹
出部７にはＨＥＰＡフィルタからなるメインフィルター
８を設けている。そして、作業台１の下部から背面パネ
ル４の背後、及び天井部にかけて陽圧チャンバー９を形
成している。
【００１０】陽圧チャンバー９の作業台１の下面側に位
置した基端部９ａと陰圧チャンバー１０とは隔壁１１
ａ，１１ｂで仕切られ、一方の隔壁１１ａには送風機１
２の吐出口１２ａを接続している。陰圧チャンバー１０
は、前面パネル１３ａ、下面パネル１３ｂ及び両側板で
送風機１２を囲むようにして形成され、下面パネル１３
ｂにはプレフィルタ１４を持つ空気取入部を設けてい
る。
置した基端部９ａと陰圧チャンバー１０とは隔壁１１
ａ，１１ｂで仕切られ、一方の隔壁１１ａには送風機１
２の吐出口１２ａを接続している。陰圧チャンバー１０
は、前面パネル１３ａ、下面パネル１３ｂ及び両側板で
送風機１２を囲むようにして形成され、下面パネル１３
ｂにはプレフィルタ１４を持つ空気取入部を設けてい
る。
【００１１】そして、陽圧チャンバー９の内部には、送
風機１２の吐出口１２ａに沿って水平面内で摺動可能に
スライドダンパー１５を設けている。スライドダンパー
１５は、平板状をなし、図２に示す如く、モータ１７の
両側に設けた送風機１２の各吐出口１２ａ，１２ａに対
応した位置関係で２個の開口部１５ａ，１５ａを形成し
ており、前記隔壁１１ａの上面に対向して設けた一対の
ガイドレール１６，１６により吐出空気流を横断する矢
印Ａ方向に摺動可能に支持され、図２は、各開口部１５
ａ，１５ａが各吐出口１２ａ，１２ａと一致している状
態を示している。上記スライドダンパー１５及びガイド
レール１６，１６は樹脂材（例えば塩化ビニル樹脂）等
の低摩擦材料を用い、且つ、発塵を防止するために、そ
れぞれ同じ材質の樹脂材を用いることが有利である。
風機１２の吐出口１２ａに沿って水平面内で摺動可能に
スライドダンパー１５を設けている。スライドダンパー
１５は、平板状をなし、図２に示す如く、モータ１７の
両側に設けた送風機１２の各吐出口１２ａ，１２ａに対
応した位置関係で２個の開口部１５ａ，１５ａを形成し
ており、前記隔壁１１ａの上面に対向して設けた一対の
ガイドレール１６，１６により吐出空気流を横断する矢
印Ａ方向に摺動可能に支持され、図２は、各開口部１５
ａ，１５ａが各吐出口１２ａ，１２ａと一致している状
態を示している。上記スライドダンパー１５及びガイド
レール１６，１６は樹脂材（例えば塩化ビニル樹脂）等
の低摩擦材料を用い、且つ、発塵を防止するために、そ
れぞれ同じ材質の樹脂材を用いることが有利である。
【００１２】また、スライドダンパー１５の上面には、
摺動方向Ａに平行にラック部材１８を設けると共に、該
ラック部材１８と噛合するピニオン１９を回転軸２０の
一端に固定している。上記ラック部材１８は、特に限定
されるものではないが、タイミングベルトとして一般に
使用されている樹脂製歯付ベルトを必要な長さだけ切取
ったものを直接、または適宜の補強部材に固着したもの
を用いると共に、ピニオン１９に同規格の歯付ベルトプ
ーリを使用することにより、製造コストを大幅に低減で
きる。回動軸２０は、陽圧チャンバー９の隔壁１１ｂと
陰圧チャンバー１０の作業台下面パネル１３ｃとを貫通
して設けられ、隔壁１１ｂとパネル１３ｃとに固定した
ブラケット２１により回転自在に支持され、且つ、作業
台下側の機外に達している端部にはハンドル２２を設け
ている。
摺動方向Ａに平行にラック部材１８を設けると共に、該
ラック部材１８と噛合するピニオン１９を回転軸２０の
一端に固定している。上記ラック部材１８は、特に限定
されるものではないが、タイミングベルトとして一般に
使用されている樹脂製歯付ベルトを必要な長さだけ切取
ったものを直接、または適宜の補強部材に固着したもの
を用いると共に、ピニオン１９に同規格の歯付ベルトプ
ーリを使用することにより、製造コストを大幅に低減で
きる。回動軸２０は、陽圧チャンバー９の隔壁１１ｂと
陰圧チャンバー１０の作業台下面パネル１３ｃとを貫通
して設けられ、隔壁１１ｂとパネル１３ｃとに固定した
ブラケット２１により回転自在に支持され、且つ、作業
台下側の機外に達している端部にはハンドル２２を設け
ている。
【００１３】上記の如く構成されたクリーンベンチは、
送風機１２を作動状態とすると、プレフィルター１４を
通して外部の空気が陰圧チャンバー１０内に吸引され、
更に、送風機１２の吐出口１２ａから陽圧チャンバー９
内に吐出され、該陽圧チャンバー９内の圧力上昇に伴い
メインフィルター８を通して清浄化された空気が作業空
間６内に流下し、前面開口部３から常時外部に流出する
空気流を形成する。
送風機１２を作動状態とすると、プレフィルター１４を
通して外部の空気が陰圧チャンバー１０内に吸引され、
更に、送風機１２の吐出口１２ａから陽圧チャンバー９
内に吐出され、該陽圧チャンバー９内の圧力上昇に伴い
メインフィルター８を通して清浄化された空気が作業空
間６内に流下し、前面開口部３から常時外部に流出する
空気流を形成する。
【００１４】そして、メインフィルター８からの清浄空
気の吹出風量を調整する場合は、ハンドル２２を回動し
ピニオン１９，ラック部材１８を介してスライドダンパ
ー１５を矢印Ａ方向に摺動すれば該スライドダンパー１
５の開口部１５ａ，１５ａと送風機１２の吐出口１２
ａ，１２ａとの重合状態に応じて、該吐出口１２ａ，１
２ａの開口面積が変化し所望する吹出風量が得られる。
この際、吐出口１２ａ，１２ａが２個（またはそれ以
上）であっても、ハンドル２２の操作により同条件で一
斉に吹出風量を調整できる。
気の吹出風量を調整する場合は、ハンドル２２を回動し
ピニオン１９，ラック部材１８を介してスライドダンパ
ー１５を矢印Ａ方向に摺動すれば該スライドダンパー１
５の開口部１５ａ，１５ａと送風機１２の吐出口１２
ａ，１２ａとの重合状態に応じて、該吐出口１２ａ，１
２ａの開口面積が変化し所望する吹出風量が得られる。
この際、吐出口１２ａ，１２ａが２個（またはそれ以
上）であっても、ハンドル２２の操作により同条件で一
斉に吹出風量を調整できる。
【００１５】そして、水平面内で摺動自在に設けられて
いるスライドダンパー１５に対して、送風機１２の吹出
し方向がほぼ垂直であるため、吹出圧力はスライドダン
パー１５と、それを支持するガイドレール１６，１６と
にのみ作用し、ラック部材１８，ピニオン１９等の回動
機構には作用しない。このため、スライドダンパー１５
の摺動時には、上記吹出圧力を垂直抗力として生じる摩
擦力が摺動抵抗として作用することになるが、この摺動
抵抗は図３に示したダンパー４３を吐出口に対向して移
動させる場合の風圧抵抗に比べてはるかに小さい。特
に、スライドダンパー１５及びガイドレール１６，１６
に樹脂材等の低摩擦材料を用いることにより摺動抵抗は
更に低減される。
いるスライドダンパー１５に対して、送風機１２の吹出
し方向がほぼ垂直であるため、吹出圧力はスライドダン
パー１５と、それを支持するガイドレール１６，１６と
にのみ作用し、ラック部材１８，ピニオン１９等の回動
機構には作用しない。このため、スライドダンパー１５
の摺動時には、上記吹出圧力を垂直抗力として生じる摩
擦力が摺動抵抗として作用することになるが、この摺動
抵抗は図３に示したダンパー４３を吐出口に対向して移
動させる場合の風圧抵抗に比べてはるかに小さい。特
に、スライドダンパー１５及びガイドレール１６，１６
に樹脂材等の低摩擦材料を用いることにより摺動抵抗は
更に低減される。
【００１６】従って、作業者が通常の作業時の着座姿勢
でクリーンベンチの前面開口部３から吹き出される風量
（風圧）を感知しながら、片手でハンドル２２を回動す
ることにより容易に所望の吹出風量に調整することがで
きる。そして通常状態では、先述の摩擦力によりスライ
ドダンパー１５の不要な摺動が抑制されるため、スライ
ドダンパー１５は任意の摺動位置で停止可能であり、調
整した吹出風量が安定的に保持される。
でクリーンベンチの前面開口部３から吹き出される風量
（風圧）を感知しながら、片手でハンドル２２を回動す
ることにより容易に所望の吹出風量に調整することがで
きる。そして通常状態では、先述の摩擦力によりスライ
ドダンパー１５の不要な摺動が抑制されるため、スライ
ドダンパー１５は任意の摺動位置で停止可能であり、調
整した吹出風量が安定的に保持される。
【００１７】更に、スライドダンパー１５は、陽圧チャ
ンバー９の内部に設けられているため風量を絞った際に
発生する風切り音が外部に伝わり難くなっている。特
に、図１に示すクリーンベンチでは、陽圧チャンバー９
の基端部９ａが陰圧チャンバー１０で囲まれると共に、
プレフィルター１４が下面パネル１３ｂに設けられてい
るため、上記風切り音や送風機１２の作動音が作業者に
一層伝わり難く、非常に静かである。また、プレフィル
ター１４を下面パネル１３ｂに設けたことにより、該プ
レフィルター１４に向かう吸引気流が床面２３近傍にの
み生じるため、図３に示した従来のクリーンベンチの如
く作業者の脚部が吸引気流に曝されることが無く、作業
を快適に行える。
ンバー９の内部に設けられているため風量を絞った際に
発生する風切り音が外部に伝わり難くなっている。特
に、図１に示すクリーンベンチでは、陽圧チャンバー９
の基端部９ａが陰圧チャンバー１０で囲まれると共に、
プレフィルター１４が下面パネル１３ｂに設けられてい
るため、上記風切り音や送風機１２の作動音が作業者に
一層伝わり難く、非常に静かである。また、プレフィル
ター１４を下面パネル１３ｂに設けたことにより、該プ
レフィルター１４に向かう吸引気流が床面２３近傍にの
み生じるため、図３に示した従来のクリーンベンチの如
く作業者の脚部が吸引気流に曝されることが無く、作業
を快適に行える。
【００１８】尚、本発明は垂直気流型のクリーンベンチ
のみならず、図１の背面パネル４部分にメインフィルタ
及び清浄空気の吹出口を設けた水平気流型のクリーンベ
ンチ等にも実施可能である。
のみならず、図１の背面パネル４部分にメインフィルタ
及び清浄空気の吹出口を設けた水平気流型のクリーンベ
ンチ等にも実施可能である。
【００１９】
【発明の効果】本発明のクリーンベンチは、上述の通り
構成されているので、以下に記載されるような効果を奏
する。
構成されているので、以下に記載されるような効果を奏
する。
【００２０】風量調整に伴う風切り音や動作音が機外、
特に作業者に伝わり難く、低騒音であるため、快適に実
験や作業が行える。また、風量調整に要する部品点数が
少なく、且つ、その構造・機構も簡素で、製造コストを
低く抑えることができる。
特に作業者に伝わり難く、低騒音であるため、快適に実
験や作業が行える。また、風量調整に要する部品点数が
少なく、且つ、その構造・機構も簡素で、製造コストを
低く抑えることができる。
【００２１】クリーンベンチの作動中に作業者が通常作
業時の着座姿勢において、吹出し風量を感知しながら、
機外のハンドルを回動するという簡単な操作で的確な風
量調整を速やかに行うことができると共に、送風機とそ
の吐出口が複数であってもそれらの調整を同条件で一斉
に行うことができる。
業時の着座姿勢において、吹出し風量を感知しながら、
機外のハンドルを回動するという簡単な操作で的確な風
量調整を速やかに行うことができると共に、送風機とそ
の吐出口が複数であってもそれらの調整を同条件で一斉
に行うことができる。
【００２２】スライドダンパーは基本的に平板状であ
り、送風機の吐出口を開口した陽圧チャンバーの壁面に
沿って摺動するため、殆ど設置スペースが要らず、構造
設計上有利である。
り、送風機の吐出口を開口した陽圧チャンバーの壁面に
沿って摺動するため、殆ど設置スペースが要らず、構造
設計上有利である。
【図１】本発明実施形態のクリーンベンチを示す側断面
図である。
図である。
【図２】本発明実施形態のクリーンベンチのスライドダ
ンパー付近を示す斜視図である。
ンパー付近を示す斜視図である。
【図３】従来のクリーンベンチの概略を示す側断面図で
ある。
ある。
１ 作業台 ６ 作業空間 ８ メインフィルタ ９ 陽圧チャンバー １０ 陰圧チャンバー １２ 送風機 １２ａ 吐出口 １４ プレフィルタ １５ スライドダンパー １６ ガイドレール １８ ラック部材 １９ ピニオン ２０ 回動軸 ２２ ハンドル
Claims (3)
- 【請求項１】 作業台、該作業台上に形成され一部に作
業用開口部を有する作業空間、該作業空間外部の空気取
入部にプレフィルターを設けた陰圧チャンバー、該陰圧
チャンバー内に吸込口を開口した送風機、該送風機の吐
出口を接続した陽圧チャンバー、該陽圧チャンバーの作
業空間に対向した空気吹出口に設けたメインフィルター
を備えたクリーンベンチにおいて、上記陽圧チャンバー
の内部に送風機吐出口に沿って吐出空気流を横断する方
向に摺動可能なスライドダンパーを設け、該スライドダ
ンパーを摺動して送風機吐出口の開口面積を制限するこ
とにより清浄空気の吹出風量を調整可能としたことを特
徴とするクリーンベンチ。 - 【請求項２】 スライドダンパーに、その摺動方向と平
行にラック部材を固定し、該ラック部材に噛合するピニ
オンを、機外から陽圧チャンバー内部まで貫通した回動
軸の一端に固定すると共に、該回動軸の機外側端部には
風量調整ハンドルを設けたことを特徴とする請求項１記
載のクリーンベンチ。 - 【請求項３】 スライドダンパーを内設した陽圧チャン
バー基端部、送風機及び、それらを囲むように形成した
陰圧チャンバーが作業台の下側に配置され、且つ、プレ
フィルターを設けた空気取入部を陰圧チャンバーの下面
に配置したことを特徴とする請求項１または２記載のク
リーンベンチ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07339978A JP3084605B2 (ja) | 1995-12-04 | 1995-12-04 | クリーンベンチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07339978A JP3084605B2 (ja) | 1995-12-04 | 1995-12-04 | クリーンベンチ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09155209A true JPH09155209A (ja) | 1997-06-17 |
| JP3084605B2 JP3084605B2 (ja) | 2000-09-04 |
Family
ID=18332576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07339978A Expired - Fee Related JP3084605B2 (ja) | 1995-12-04 | 1995-12-04 | クリーンベンチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3084605B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003260373A (ja) * | 2002-03-12 | 2003-09-16 | Shimazu Rika Kikai Kk | 機器固定レール付実験台 |
| US7013902B2 (en) | 2003-02-07 | 2006-03-21 | Applied Materials, Inc. | Wet cleaning mobile workbench |
| JP2010084989A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Airtech Japan Ltd | クリーンベンチ |
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