JP2003287253A - クリーンルーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】機器エリアを高い清浄度に維持することのでき
るクリーンルームを提供することを目的とする。 【解決手段】機器エリア３０には傾動式アイリッド３８
が設けられ、側壁２０には開閉扉４４を有した吸込口４
２が設けられている。人感センサ５０によって作業空間
３０Ａ内に作業者が検出されると傾動式アイリッド３８
が傾動され、清浄エアの一部を作業者の上部から吹き下
ろす気流とし、作業者から発生した塵埃を側壁下部の幅
木吸込口４３から排出させる。また、作業空間３０Ａ上
部に滞留していた塵埃を、吸込口４２からリターン通路
１６に吸気させて排出させる。これにより機器エリア３
０を高い清浄度に維持できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はクリーンルームに係
り、特に精密機器の製造ラインなどに用いられる低コス
トのクリーンルームに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体素子の高集積化、微細化に
伴い、クリーンルームに要求される清浄度が厳しくなる
とともに、その一方で、半導体製造機器によってはさほ
どの清浄度を要求しない場合があり、このような場合に
は、省エネルギーや低コスト化が図られた比較的低清浄
度のローカルリターン方式のクリーンルームが提案され
ている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】図４に示されるように
従来のクリーンルーム８０では、天井８５に設置された
ファンフィルタユニット９４から供給される気流は、天
井８５に垂設されたアイリッド９５によって整流される
ため、機器エリア８２を室中央のエリアよりも高い清浄
度に維持できる。しかし、機器９２の影響で水平方向の
気流が発生したり、側壁８３の影響で上向きの気流が発
生したりする。これにより、側壁８３と機器９２との間
の空間上部に塵埃が滞留し、その塵埃が機器９２まで到
達して機器９２周りの清浄度を低下させるという欠点が
あった。また、側壁８３と機器９２との間の空間には作
業者が立ち入って作業する場合があり、作業者に付着し
ていた塵埃が巻き上がるという問題があった。

【０００４】このように、従来のクリーンルーム８０で
は、機器が配置された機器エリアの清浄度が不十分であ
るという欠点があった。

【０００５】本発明はこのような事情に鑑みて成された
もので、機器エリアを高い清浄度に維持することのでき
るクリーンルームを提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明は
前記目的を達成するために、室内に配置された機器と、
該室の側壁との間に作業者が立ち入り可能な作業空間を
有し、該室の天井面に設置された吹出装置から前記室内
に供給された清浄エアを、該室の側壁下部に設けられた
吸込口から吸い込むとともに、側壁裏のリターン通路か
ら天井チャンバにリターンさせて、前記吹出装置にエア
を供給するクリーンルームにおいて、天井面から第１の
アイリッドが垂下され、前記室内の上部空間を側壁側の
機器エリアと前記室の中央側の通路エリアとに仕切り、
前記機器エリアに第２のアイリッドを前記第１のアイリ
ッドと平行に天井面から垂下させるとともに人感センサ
を設け、前記人感センサが前記作業空間内の作業者を検
知すると、第２のアイリッドの上端を第１のアイリッド
側に移動させることによって第２のアイリッドを傾動さ
せ、前記吹出装置から供給される清浄エアの一部を側壁
側に案内するようにしたことを特徴とする。

【０００７】本発明によれば、人感センサが側壁と機器
との間の作業空間に作業者が入ったことを検知すると、
清浄エアの一部を側壁方向に案内するように第２のアイ
リッドを傾動させる。これにより、清浄エアの一部が作
業者の上部から吹き下ろす気流となるので、作業者から
発生した塵埃は作業空間の上部に舞い上がって滞留する
ことなく、側壁下部の吸込口から排出される。これによ
り、機器が配置される機器エリアを高い清浄度に維持す
ることができる。

【０００８】また、請求項２に記載の発明は、側壁上部
に開閉扉を有する吸込口を形成し、人感センサが作業者
を検知したときには開閉扉を開いて、エアの一部を吸込
口からリターン通路に排気するようにしたので、作業空
間の上部に滞留していた塵埃は吸込口から排出される。
これにより、作業空間の上部に滞留した塵埃を、吸込口
から排出することができ、これにより、機器エリアが高
い清浄度に保てる。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、添付図面に従って本発明に
係るクリーンルームの好ましい実施の形態について説明
する。図１は本発明に係るクリーンルーム１０を示す側
断面図である。

【００１０】クリーンルーム１０は天井チャンバ１２、
室を構成する作業エリア１４、リターン通路１６などか
ら構成されている。また、作業エリア１４は、側壁２０
側の機器エリア３０と、室中央側の通路エリア３２から
構成されている。

【００１１】機器エリア３０内部には、精密機器などの
製造機器２８が、側壁２０との間に作業者が立ち入り可
能な作業空間３０Ａを有して設置されている。

【００１２】天井チャンバ１２には、吹出装置を構成す
るファンフィルタユニット（以下：ＦＦＵ）２６，２６
…が複数設けられ、これらＦＦＵ２６，２６…は天井１
８に敷設されている。ＦＦＵ２６の内部には、天井チャ
ンバ１２のエアを作業エリア１４に送気するファン２７
と、送気されるエアを除塵するＨＥＰＡ（High Efficie
ncy Particle Air-filter ）またはＵＬＰＡ（Ultra Lo
w Penetration Air ）フィルタなどからなる清浄フィル
タ２９とが備えられている。このＦＦＵ２６を駆動する
ことによって、天井１８に形成された清浄エア吹出口２
４を介し、作業エリア１４内に清浄エアが供給される。

【００１３】作業エリア１４の床面は、開口のない平坦
な床（いわゆるべた床）で形成されており、作業エリア
１４の側壁２０の下部には幅木吸込口４３が形成されて
いる。したがって、作業エリア１４内のエアは幅木吸込
口４３からリターン通路１６に排気される。リターン通
路１６に排気された塵埃エアは、一部が外部に排気さ
れ、残りのエアが天井チャンバ１２まで戻される。な
お、天井チャンバ１２には、不図示の空調機に接続され
た供給ライン（不図示）が設けられ、この空調機によっ
て温湿度調整されるとともに除塵された外気が供給ライ
ンによって天井チャンバ１２に供給される。

【００１４】上記の如く構成されたクリーンルーム１０
の機器エリア３０は、比較的高い清浄度（例えばクラス
１００）に設定され、通路エリア３２では、機器エリア
３０よりも低い清浄度（例えばクラス１０００）に設定
されている。各エリアの天井１８には、その設定環境に
応じた台数のＦＦＵ２６が設置されており、機器エリア
３０には、通路エリア３２よりもＦＦＵ２６が密に設置
されている。これにより、機器エリア３０と通路エリア
３２とを、夫々必要な清浄度に維持することができると
ともに、クリーンルーム１０全体として、ＦＦＵ２６の
総数を減らしてコストを削減できる。

【００１５】天井１８には第１のアイリッド３４が垂設
され、作業エリア１４の上部空間を機器エリア３０と通
路エリア３２とに仕切っている。

【００１６】さらに、機器エリア３０の天井１８には、
第２のアイリッドを構成する傾動式アイリッド３８が設
けられ、清浄エア吹出口２４に近接するように配置され
ている。この傾動式アイリッド３８は、主に整流板３９
および傾動モータ３６からなり、整流板３９が傾動モー
タ３６の駆動軸４０に取り付けられることで、整流板３
９は駆動軸４０を支点として傾動される。なお、この傾
動式アイリッド３８は、天井１８から垂設された支持部
材４１によって天井１８に取り付けられている。

【００１７】側壁２０には人感センサ５０が設けられて
いる。この人感センサ５０は、作業空間３０Ａ内で作業
する作業者を検知する。

【００１８】側壁２０上部には、機器エリア３０とリタ
ーン通路１６とを連通して形成された吸込口４２が設け
られている。また、吸込口４２には、開閉モータ４６に
よって開閉駆動される開閉扉４４が設けられている。吸
込口４２の開閉扉４４が開口されている場合には、機器
エリア３０のエアがリターン通路１６に吸込口４２を介
して排気される。

【００１９】天井１８には制御装置５２が設けられてい
る。前述した人感センサ５０と、この制御装置５２と
は、図示しない配線を介して接続されており、人感セン
サ５０の検出信号が制御装置５２に送信される。また、
制御装置５２からは、図示しない配線を介して傾動式ア
イリッド３８の傾動モータ３６、および開閉扉４４の開
閉モータ４６に駆動信号が出力される。これにより、傾
動モータ３６および開閉モータ４６は、制御装置５２に
よって夫々駆動され、人感センサ５０からの検出信号に
基いて制御される。

【００２０】以下、本発明に係るクリーンルーム１０の
作用を説明する。

【００２１】図１において、ＦＦＵ２６を駆動させて機
器エリア３０内に清浄エアを供給する。機器エリア３０
において、作業者による作業が行われていない場合、す
なわち人感センサ５０にて作業者が検出されない場合に
は、同図の如く、傾動式アイリッド３８の整流板３９は
略鉛直方向に保持される。ＦＦＵ２６から供給される清
浄エアによって、機器エリア３０内の清浄度が維持され
るとともに、幅木吸込口４３によって機器エリア３０内
の塵埃エアが排気される。この際、ＦＦＵ２６から供給
された清浄エアは、傾動式アイリッド３８および第１の
アイリッド３４によって整流化されて送風され、これに
より、機器エリア３０が他のエリアと比較して高い清浄
度（例えばクラス１００）に維持される。幅木吸込口４
３によって排気された塵埃エアは、リターン通路１６か
ら天井チャンバ１２までリターンされ、ＦＦＵ２６，２
６…によって、塵埃を高効率で除去（除塵）された後、
機器エリア３０内に清浄エアとして再供給される。な
お、上述したように、作業者による作業が行われていな
い場合には、吸込口４２は開閉扉４４によって閉じられ
る。

【００２２】図２に示すように、作業空間３０Ａ内に作
業者が立ち入ると、人感センサ５０によって作業者が検
出され、図示しない配線を介して人感センサ５０から制
御装置５２に検出信号が送信される。

【００２３】制御装置５２から傾動式アイリッド３８の
傾動モータ３６に駆動信号が出力され、傾動モータ３６
が駆動し、整流板３９の上端が第１のアイリッド３４側
に移動し、整流板３９が傾斜する。ＦＦＵ２６から供給
される清浄エアの一部の気流が側壁２０方向に向けて案
内される。これにより、清浄エアが作業者上方から供給
されるため、作業者から発生される塵埃の巻き上がりが
防止されるとともに、作業者からの塵埃は幅木吸込口４
３まで搬送され、幅木吸込口４３によって排出される。

【００２４】さらに、制御装置５２から開閉モータ４６
に駆動信号が出力され、開閉扉４４が回転されて吸込口
４２が開口される。これにより、側壁２０と機器２８と
の間の作業空間の上部に滞留していた塵埃は、吸込口４
２からリターン通路１６に速やかに排出される。これに
より、作業空間の上部に滞留した塵埃を除去することが
でき、機器エリア３０を高い清浄度に維持できる。

【００２５】人感センサ５０の検出範囲から作業者が退
去すると、制御装置５２によって傾動モータ３６が駆動
され、図１に示したように、傾動式アイリッド３８が元
の位置まで戻される。これとともに、制御装置５２によ
って開閉扉４４が駆動され、吸込口４２が閉じられる。
これによって、機器エリア３０内の清浄度が引き続き維
持される。

【００２６】以上、詳説したように本発明の実施の形態
に係るクリーンルームによれば、傾動式アイリッド３８
を傾動させて、清浄エアの一部を作業者の上部から吹き
下ろす気流とし、作業者から発生した塵埃を側壁下部の
幅木吸込口４３から排出させる。また、作業空間３０Ａ
の上部に滞留していた塵埃を、吸込口４２からリターン
通路１６に排出させる。これにより機器エリア３０を高
い清浄度に維持できる。

【００２７】ここで、制御手段５２は、人感センサ５０
が作業者を検知することで、傾動式アイリッド３８およ
び開閉扉４４を駆動したが、これに限ることなく、人感
センサが作業者を検知しないときでも定期的に傾動式ア
イリッド３８および開閉扉４４を駆動するようにしても
よく、これにより作業空間の上部に滞留した塵埃を、幅
木吸込口４３から定期的に排出できる。

【００２８】なお、本発明に係るクリーンルームは、前
記実施の形態に限定されるものではない。例えば本実施
の形態では、傾動式アイリッド３８は支持部材４１によ
って天井１８に取り付けられたが、これに限ることな
く、図３に示すように、レール６０とガイドブロック６
２とを天井１８に設けるとともに、このガイドブロック
６２に傾動式アイリッド６４を取り付けてもよい。ガイ
ドブロック６２をレール６０に沿って移動させることに
より、傾動式アイリッド６４が傾動し、ＦＦＵ２６から
吹き出される清浄エアの一部を作業空間３０Ａに案内す
る。

【００２９】さらに、前記吸込口４２、開閉扉４４の取
付位置は、本実施の形態で示した側壁２０に限定され
ず、天井１８の一部に設けてもよい。

【００３０】

【発明の効果】以上、詳説したように本発明の実施の形
態に係るクリーンルームによれば、作業者による作業時
には、吹出装置によって供給される清浄エアの一部を側
壁方向に案内するように第２のアイリッドを傾動させ、
清浄エアの一部を作業者の上部から吹き下ろす気流とし
て、作業者から発生した塵埃を側壁下部の吸込口から排
出させる。これにより、機器エリアを高い清浄度に維持
することができる。

【００３１】また、側壁上部に開閉扉を有する吸込口を
形成し、制御手段には人感センサが作業者を検知したと
きには少なくとも開閉扉を開くようにしたので、側壁と
機器との間の作業空間の上部に滞留した塵埃を、吸込口
から排出することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係るクリーンルームを示
す側断面図

【図２】本発明の実施の形態に係るクリーンルームの作
用を示す側断面図

【図３】本発明の実施の形態に係るクリーンルームの別
実施形態を示す側断面図

【図４】従来のクリーンルームの実施形態を示す側断面
図

【符号の説明】

１０…クリーンルーム、１２…天井チャンバ、１４…作
業エリア（室）、１８…天井、２０…側壁、２６…ＦＦ
Ｕ（吹出装置）、２８…機器、３０…機器エリア、３０
Ａ…作業空間、３４…第１のアイリッド、３８…傾動式
アイリッド（第２のアイリッド）、４２…吸込口、４３
…（幅木）吸込口、４４…開閉扉、５０…人感センサ、
５２…制御装置（制御手段）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】室内に配置された機器と、該室の側壁との
   間に作業者が立ち入り可能な作業空間を有し、該室の天
   井面に設置された吹出装置から前記室内に供給された清
   浄エアを、該室の側壁下部に設けられた吸込口から吸い
   込むとともに、側壁裏のリターン通路から天井チャンバ
   にリターンさせて、前記吹出装置にエアを供給するクリ
   ーンルームにおいて、 天井面から第１のアイリッドが垂下して、前記室内の上
   部空間を側壁側の機器エリアと前記室の中央側の通路エ
   リアとに仕切り、 前記機器エリアに第２のアイリッドを前記第１のアイリ
   ッドと平行に天井面から垂下させるとともに人感センサ
   を設け、 前記人感センサが前記作業空間内の作業者を検知する
   と、第２のアイリッドの上端を第１のアイリッド側に移
   動させることによって第２のアイリッドを傾動させ、前
   記吹出装置から供給される清浄エアの一部を側壁側に案
   内するようにしたことを特徴とするクリーンルーム。
2. 【請求項２】前記側壁上部に開閉扉を有する吸込口を形
   成し、前記人感センサが前記作業者を検知したときには
   前記開閉扉を開いて、エアの一部を前記吸込口からリタ
   ーン通路に排気することを特徴とする請求項１に記載の
   クリーンルーム。