TW200909751A - Processing apparatus and clean system including processing apparatus - Google Patents

Description

200909751 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於適用於製造顯示裝置等的要求清淨環境 的製程之處理裝置，以及含有該處理裝置而構築成之無塵 系統。 【先前技術】 無塵室，係應用於像製造顯示裝置等之要求清淨環境 的製程。無塵室，爲了將其中的空氣保持清淨，係利用採 用特別的過濾器（用來從空氣除去微細的塵埃及其他污染 物質）的送風裝置。爲了維持高度的清淨度，且爲了防止 過濾器的劣化，清淨空氣並不是用過即丟，一般都是讓其 回流而反覆通過過濾器。 爲達成前述目的，無塵室具有特別的構造。亦即，典 型的無塵室的天花板，具有由天花板面、被支承成比天花 板面更低之天花板所組成之二層構造，二層構造的內部成 爲讓空氣流通的空室（chamber )。無塵室的地板，係具 備：地板面、被支承成比地板面更高的格柵板（grating ) ，在地板面和格柵板之間也是成爲空室。天花板側的空室 和地板側的空室是經由回流導管來連通。過濾器及送風裝 置，通常是設於天花板而和天花板側空室連通。無塵室內 的各裝置是設置在格柵板上，從天花板側供應的清淨空氣 ，係通過各裝置而流過格柵板，再往地板側向下流。流入 地板側的空室內之清淨空氣，經由回流導管收集而往天花 -4- 200909751 板側空室回流。 相關的技術係揭示於日本特開平1 1 -3 3 7 1 1 5號及特開 平 1 0- 1 1 675 8 號。 【發明內容】 根據上述說明可理解到，習知的無塵室，因此具有特 別的構造而不容易構築。又由於在天花板及地板需要形成 空室的空間，會產生無法設置裝置之龐大的無效空間，而 使裝置的佈局受到限制。 本發明係有鑑於上述課題而構成者，其目的是提供一 種無塵系統，即使未在地板面設置格柵板和空室，仍可直 接設置在該地板面而簡單地構築出，且對於裝置的佈局可 提供更大的自由度。 依據本發明的第1態樣，處理裝置，是和具有送風裝 置（用來供應清淨空氣）及地板面的房間一起使用。前述 處理裝置，係具備可收容前述清淨空氣的裝置本體以及用 來支承前述裝置本體的台；該台，係選自：在其與前述地 板面之間將可通氣的空間氣密包圍的台、以及將可通氣的 空間氣密包圍且可置於前述地板面的台所構成群中之任一 者，該台係具備：連通於前述空間之取入口、將通過前述 裝置本體的前述清淨空氣經由前述取入口導入前述空間之 吸引風扇。 較佳爲，前述處理裝置進一步具備回流導管，其和前 述台氣密結合，用來使導入前述空間的前述清淨空氣往前 -5- 200909751 述送風裝置回流。 依據本發明的第2態樣，無塵系統係具備：具有包圍 空室的天花板及地板面之房間、連通於前述空室且將前述 空室內的空氣清淨化以供應清淨空氣之送風裝置、用來收 容前述清淨空氣之裝置本體、用來支承前述裝置本體的台 、以及回流導管；該台，係選自：在其與前述地板面之間 將可通氣的空間氣密包圍的台、以及將可通氣的空間氣密 包圍且可置於前述地板面的台所構成群中之任一者，該台 係具備：連通於前述空間之取入口、將通過前述裝置本體 的前述清淨空氣經由前述取入口導入前述空間之吸引風扇 :該回流導管，係爲了連通前述空間和前述空室，而和前 述台及前述天花板氣密結合。 【實施方式】 以下參照圖式來說明本發明的實施形態。以下所說明 的例子，係用來暫時貯留玻璃基板（顯示裝置的材料）並 將其供應至下游裝置的保管裝置，但本發明的實施並不限 於此。 本發明的實施形態之無塵系統1，如第1圖所示，係 利用建築物3內的房間5來構築出。房間5的地板面5 f， 爲了防止發生粉塵，例如是在水泥漿塗布聚胺酯樹脂等的 構成的塗料，但不限於此。房間5的天花板5 c比建築物3 的天花板面低，以在其間確保能讓空氣流通的天花板室7 。天花板5 c具有開口，並具備連通於開口而往下方供應 -6- 200909751 清淨空氣的送風裝置9。用來供應清淨空氣的送風裝置9 ’係具備··從空氣將微細塵埃和其他的污染物質除去之過 據器、以及用來吹送清淨化後的空氣之風扇，只要是適用 於無塵室的公知裝置都能採用。房間5係具備：用來連絡 地板面附近和天花板室7之大致垂直的回流導管1 1。回流 導管1 1也是構成能讓空氣流通。 保管裝置13係具備：裝置本體15'台17、一對框架 1 9、以及其他構件。台1 7設置於地板面5 f上，一對框架 19固定於台17上，其他構件是藉由框架19支承。 各框架19具備垂直延伸的軌道21，各軌道21分別將 支承構件2 5支承成可昇降。支承構件2 5係藉由電動馬達 等的驅動裝置（未圖示）驅動而進行昇降。支承構件25 是用來支承收納匣23。收納匣23，係具備沿垂直方向積 層的複數個水平收納部，在各收納部收納玻璃板W。藉由 控制驅動裝置的驅動，可將所收納之複數個玻璃板當中任 意的玻璃板W昇降至期望的高度，並進一步在前述高度 進行必要的處理。 作爲保管裝置1 3，可利用公知的裝置，例如可使用日 本特開2005-159141號及特開2005-175429號所揭示者。 在台17的下面具備設成一體的導管構件27。在導管 構件27的下面形成開口，若將導管構件27直接設置於地 板面5 f上，其下面的開口會被地板面5 f封閉，而構成可 通氣的導管CD。亦即，具有導管構件27的台17，是在其 和地板面7f之間將可通氣的空間氣密包圍。導管構件27 -7- 200909751 ，係具備和前述空間連通的複數個取入口 2 7t，台1 7係具 備分別和各取入口 27t連通之複數個開口 1 7h。在各開口 1 7h分別設置吸引風扇29，以將上方的空氣導入前述空間 〇 導管CD是和回流導管1 1氣密結合，導入前述空間的 空氣可經由回流導管1 1而往天花板室7回流。 天花板室7中的空氣，藉由送風裝置9清淨化後向下 供應。因此保管裝置13會收容清淨空氣而在其周圍維持 清淨環境。藉由驅動保管裝置13會產生微量的塵埃乃至 污染物質，而藉由吸引風扇29來吸引含有該污染等的空 氣並導入導管CD。前述空氣經由導管CD及回流導管11 而往天花板室7回流，並再度藉由送風裝置9實施清淨化 〇 依據本實施形態，就算不是在地板具備格柵板之無麈 室特有的構造的房間，仍可簡單地實現與無塵室同等級的 清淨環境。又能避免格柵板下方的無效空間，而對裝置的 佈局可提供更大的自由度。 上述實施形態可作各種的變形。例如，在第3圖所示 的變形例的無塵系統3 1，前述下面開口的導管構件27， 不是在下面形成開口’而是用本身可將供空氣流通的空間 氣密包圍的導管33來代替。導管33亦可直接設置於地板 面5f。因此，該變形例也能簡單地實現出清淨環境’而對 裝置的佈局可提供更大的自由度。 以上雖是參照較佳實施形態來說明本發明，但本發明 200909751 並不限於上述實施形態。根據上述揭不內谷’在本發明的 技術領域具有通常知識者，可將實施形態予以修正乃至變 形來實施本發明。 本發明提供的無塵系統，能簡單地構築出清淨環境’ 且對裝置的佈局可提供更大的自由度。 【圖式簡單說明】 第1圖係本發明的一實施形態之無塵系統的截面圖。 第2圖係第1圖的11 -11線的截面圖。 第3圖係變形例之無塵系統的截面圖。 【主要元件符號說明】 1 :無塵系統 3 :建築物 5 :房間 5 c :天花板 5 f :地板面 7 :天花板室 9 :送風裝置 Π :回流導管 1 3 :保管裝置 1 5 :裝置本體 17 :台 :開口 -9 - 200909751 1 9 :框架 2 1 :軌道 2 3 :收納匣 2 5 :支承構件 2 7 :導管構件 2 71 :取入口 29 :吸引風扇 3 1 :無塵系統 33 :導管 3 3 t :取入口 W :玻璃板 CD :導管 -10-

Claims (1)

1. 200909751 十、申請專利範圍 1. 一種處理裝置，是和具有送風裝置（用來供應清 淨空氣）及地板面的房間一起使用之處理裝置； 該處理裝置係具備可收容前述清淨空氣的裝置本體以 及用來支承前述裝置本體的台； 該台，係選自：在其與前述地板面之間將可通氣的空 間氣密包圍的台、以及將可通氣的空間氣密包圍且可置於 前述地板面的台所構成群中之任一者， 該台係具備：連通於前述空間之取入口、將通過前述 裝置本體的前述清淨空氣經由前述取入口導入前述空間之 吸引風扇。 2. 如申請專利範圍第1項記載之處理裝置，其中進 一步具備回流導管，其和前述台氣密結合，用來使導入前 述空間的前述清淨空氣往前述送風裝置回流。 3. 一種無塵系統，係具備： 具有包圍空室的天花板及地板面之房間、 連通於前述空室且將前述空室內的空氣清淨化以供應 清淨空氣之送風裝置、 用來收容前述清淨空氣之裝置本體、 用來支承前述裝置本體的台、 以及回流導管； 該台，係選自：在其與前述地板面之間將可通氣的空 間氣密包圍的台、以及將可通氣的空間氣密包圍且可置於 前述地板面的台所構成群中之任一者， -11 - 200909751 該台係具備：連通於前述空間之取入口 裝置本體的前述清淨空氣經由前述取入口導 吸引風扇； 該回流導管，係爲了連通前述空間和前 前述台及前述天花板氣密結合。 將通過前述 前述空間之 空室，而和 -12-