JP4899939B2 - クリーンルーム用ストッカ - Google Patents
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Description
以上は、本発明の好適な実施の形態についての説明であるが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、課題を解決するための手段に記載された内容の限りにおいて様々な変更が可能なものである。
101,102 送風装置
103 天井板
104,105 側板
110 棚装置
110a 開口
111 棚
900 ストッカ
901 送風装置
903 天井板
904 側板
910 棚装置
911 棚
920 ダクト
921 風量調整シャッタ
Claims (3)
- 天井板と、
前記天井板の下方に内包空間を前記天井板と共に画定するように、前記内包空間の周囲に配置された複数の側板と、
鉛直方向に関して配列されてそれぞれに容器が載置される複数の棚を有しており、前記内包空間内に、水平方向に関して互いに対向すると共に前記天井板との間に装置・天井板間空間を隔てるように配置された複数の棚装置と、
水平方向に関して前記棚装置に対向するように前記側板に固定されており、前記内包空間内の空気を取り込んで、前記側板から前記棚装置へと向かう気流を前記内包空間内に発生させる第1の気流発生手段と、
前記天井板に固定され、前記内包空間外の空気を前記内包空間内に取り込むと共に、下方に向かう気流を前記内包空間内に発生させる第2の気流発生手段と、
前記棚装置が載置された床面に形成され、前記内包空間から前記内包空間外へと空気を排出する排気口と、
を備えており、
前記棚装置には、当該棚装置と前記側板との間の装置・側板間空間と鉛直方向に関して前記棚同士に挟まれた棚間空間とを連通させる一方の開口と、当該棚装置とその隣りの前記棚装置との間の装置間空間と前記棚間空間とを連通させる他方の開口とが、これら一方及び他方の開口を通じて前記装置・側板間空間と前記装置間空間とが連通するように、前記棚間空間ごとに形成されており、
前記装置・側板間空間内には、前記第1の気流発生手段から前記一方の開口までを結ぶ直線経路に沿った気体の流路が、全ての前記一方の開口に関して確保されており、
前記棚間空間内には、前記一方の開口から前記他方の開口へと向かう気体の流路が、全ての前記一方及び他方の開口に関して確保されており、
前記第2の気流発生手段から前記装置・天井板間空間内及び前記装置間空間内を経て前記床面へと向かう気体の流路が確保されていることを特徴とするクリーンルーム用ストッカ。 - 前記側板に、鉛直方向に関する位置が互いに異なる複数の前記第1の気流発生手段が固定されていることを特徴とする請求項1に記載のクリーンルーム用ストッカ。
- 前記第1の気流発生手段に、発生させた気流を鉛直方向に拡散させる送風ガイドが設けられており、1つの前記第1の気流発生手段から複数の前記棚間空間に向かって気流が形成されることを特徴とする請求項1又は2に記載のクリーンルーム用ストッカ。
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