JP4884486B2 - 基板バッファユニット - Google Patents

Description

本発明は、基板搬送路を搬送される、例えばフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられるガラス基板を一時的に基板搬送路から退避させるための基板バッファユニットに関し、特にバッファ装置内空間の空気洗浄を効率的に行うことのできる基板バッファユニットに関する。

ＦＰＤの製造においては、ＦＰＤ用のガラス基板上に回路パターンを形成するためにフォトリソグラフィ技術が用いられる。フォトリソグラフィによる回路パターンの形成は、ガラス基板上にレジスト液を塗布してレジスト膜を形成し、回路パターンに対応するようにレジスト膜を露光し、これを現像処理するといった手順で行われている。回路パターンの形成には、レジスト液の塗布や現像処理などの処理を行う各処理ユニットを搬送ライン（基板搬送路）に沿って設置した製造ラインが用いられている。ガラス基板は、搬送ラインを搬送されつつ、各処理ユニットで所定の処理が施されていくこととなる。

ところで、前記製造ラインでは通常、各処理ユニット間での基板の受け取り、及び引き渡しのタイミング調整を行うため、ガラス基板を搬送ラインから一時的に退避させて保管するバッファ装置が設置される。
このようなバッファ装置として、本願出願人は、ガラス基板を多段に載置可能な棚部を昇降させることにより基板の搬入出を行うエレベータ式のバッファ装置（以下、エレベータバッファ装置と呼ぶ）を特許文献１において開示している。

特許文献１に開示のエレベータバッファ装置の基板退避動作について図９に基づき簡単に説明する。図９（ａ）〜図９（ｃ）に示すエレベータバッファ装置２００は、搬送ライン途中に設けられており、多段に設けられた基板の載置部２０２ａ〜２０２ｆを有する棚部２０５と、この棚部２０５を昇降移動可能に支持する昇降機構２０６とを備えている。
エレベータバッファ装置２００に基板を退避させる必要が生じると、Ｘ方向下流側の補助コンベア機構２１０の駆動が停止される。さらに、図９（ａ）に示すようにＸ方向上流側から搬送されてきた最初の基板Ｇ１が筐体２０１の搬入口２０１ａを通過し、基板全体が載置部２０２ａ上に載ると、コンベヤ機構２５０ａが停止される。これにより基板Ｇ１が載置部２０２ａ上に載置された状態となる。

次いで、Ｘ方向上流側から次の基板Ｇ２が搬送されてくると、コンベヤ機構２５０ａとその駆動源との接続が解除される。
そして、載置部２０２ｂ〜２０２ｆのいずれか、例えば図９（ｂ）に示すように、載置部２０２ｂが搬送ラインの高さに一致するよう昇降機構２０６により棚部２０５を上昇させ、載置部２０２ｂのコンベヤ機構２５０ｂをその駆動部に接続して駆動させる。ここで、基板Ｇ１は、載置部２０２ａごと搬送ラインから退避した状態となる。そして、基板Ｇ２の全体が載置部２０２ｂ上に載ると、コンベヤ機構２５０ｂの駆動が停止される。
このような工程を繰り返すことにより、基板搬送の待機状態が解除されるまで、搬送ラインを搬送されてきた後続の基板Ｇ３、Ｇ４、・・・がそれぞれ、載置部２０２ｃ、２０２ｄ、・・・上に載置されて保管されることとなる（図９（ｃ）参照）。

ところで、前記エレベータバッファ装置２００は、他のユニットと共にクリーンルーム内に設置される。クリーンルームの天井部には、ＦＦＵ（ファン・フィルタ・ユニット）と呼ばれる清浄空気供給装置が設置され、これにより、下方に空気が流れる垂直層流（ダウンフロー）が形成される。
従来、このダウンフローによりルーム内の清浄度、ひいては基板が収容される棚部２０５内の清浄度が確保されている。

従来のエレベータバッファ装置内を清浄化するための構成について、図１０のバッファ装置の断面図を用いて具体的に説明する。尚、図１０にあっては、図９において同等の機能を有するものは同じ符号を用いて説明する。
図１０において、外装パネルである筐体２０１内には、複数の基板を多段に収容可能な棚部２０５と、この棚部２０５を下方から昇降移動可能に支持する昇降機構２０６とが設けられている。尚、棚部２０５にあっては、図中、紙面に向かって手前側から奥に基板搬入がなされるものとする。

筐体２０１の天板２０１ａには、上方から下方に流れる清浄空気を筐体内２０１に取り込むためのスリット（図示せず）が形成され、筐体２０１の下部側面には、排気のためのスリット（図示せず）が形成されている。このため、筐体２０１内に矢印に示すように、上方から棚部２０５の上面に当たった清浄空気は、棚部２０５の周囲に回り込み、下方へ流れて排気される。
ここで、基板収容部である棚部２０５内には、棚部２０５の周囲に回り込んだ前記清浄空気が一方の側面（空気導入面２０５ａ）から導入されて、反対側面側を通って排気され、棚部２０５内が清浄化されるようになされている。

特開２００７−２５０６７１号公報

しかしながら、クリーンルームの天井から降りてくるダウンフローを効率よく利用するには、ＦＦＵがバッファ装置２００の直上に位置する必要があり、製造ラインの設置の際にクリーンルーム内の設備配置の制約を受ける虞があった。
また、バッファ装置２００の直上にＦＦＵが設置されていても、ダウンフローの風量がエレベータバッファ装置に到達するまでに大幅に弱まり、筐体２０１内では、棚部２０５内に清浄空気を十分に供給できるだけの風量を得ることができなかった。
このため、従来は、図１０に示すように、棚部２０５内に大量の清浄空気を引き込み、バッファ装置２００外に排気するための排気装置２２０を設けることにより対応していた。
しかしながら、排気装置２２０を設けると、排気装置２２０からクリーンルーム外に排気するための配管設備を設ける必要があり、設備コストが嵩むという課題があった。

また、棚部２０５は昇降機構２０６により筐体２０１内で昇降移動するが、それに伴い棚部２０５下方の空間の容積が変化する。このため、棚部２０５の昇降移動の度に昇降機構２０６の周囲の空間が圧縮膨張され、昇降機構２０６からのダストの巻き上げが生じ、ダストが棚部２０５内に流れ込む虞があった。
このような課題に対し、従来は、図示するように昇降機構２０６をケーシング２１２で囲い込み、ケーシング２１２内の空気を排気装置２２０で吸引して排気処理していた。
しかしながら、この場合もクリーンルーム側に配管設備を設ける必要があり、コストが嵩むという課題があった。

さらに、従来の棚部２０５の構造にあっては、空気導入面２０５ａから導入された清浄空気は、基板搬送の駆動部である搬送駆動機構２１３を通過し、排気装置２２０から排出される。
しかしながら、排気装置２２０の排気動作が停止すると、棚部２０５内が陰圧状態となって空気が逆流し、搬送駆動機構２１３から生じたダストが載置部に流れ込むという課題があった。

本発明は、前記したような事情の下になされたものであり、基板搬送路を一方向に搬送される基板を一時的に退避させる基板バッファユニットにおいて、バッファ空間の空気洗浄を効率的に行い、且つ、コストを低減することのできる基板バッファユニットを提供することを目的とする。

前記した課題を解決するために、本発明に係る基板バッファユニットは、基板搬送路を搬送される基板を一時的に収容し、前記基板搬送路から退避させる基板バッファユニットにおいて、前記基板バッファユニットの筐体上面に形成される空気導入スリット部と、前記筐体下部に形成される排気スリット部と、前記基板搬送路の途中に設けられ、基板を載置する複数の載置部を有すると共に、前記基板搬送路から外れた所定位置に昇降移動可能な箱状の棚部と、前記筐状の棚部を、前記基板バッファユニットの筐体内で昇降移動させる昇降機構と、前記箱状の棚部の上面または側面に設けられ、基板バッファユニットの筐体内の空気を取り込んで、浄化された清浄空気を前記箱状の棚部の載置部に供給する清浄空気供給手段と、前記清浄空気供給手段と前記棚部の一側面とを接続する通風路とを備え、前記清浄空気供給手段から供給された清浄空気は、前記箱状の棚部の一側面に設けられた空気導入口から前記載置部毎に供給され、前記箱状の棚部における前記空気導入口とは反対側の側面に前記載置部毎に設けられた空気導出口から排気されることに特徴を有する。

このように構成することにより、棚部の下流側に排気装置を設けなくても、各段の載置部に十分な流量の清浄空気の流れを形成し、棚部内の清浄度を確保することができる。
したがって、従来のようにクリーンルームにおけるＦＦＵの配置を考慮しなくてもよく、クリーンルーム側の制約を受けずに製造ラインを設置することができる。
また、排気装置を設ける必要が無いため、設備コストの増加を抑制し、且つ、清浄空気供給手段の下流となる棚部内を陽圧状態とすることができるため、排気装置を設けることにより生じる不具合（稼働停止時の逆流等）を無くすことができる。

また、前記箱状の棚部は、箱状のケーシングを有しその内部に複数の前記載置部が多段に設けられ、清浄空気を前記複数の空気導入口に分配する分配整流部材が前記通風路に設けられていることが望ましい。
このような分配整流部材を設けることにより、各段の空気導入口への分流量を均等化することができる。

また、前記空気導入口に設けられ、該空気導入口から前記載置部上に供給される清浄空気を、上から見て扇状に拡げる拡張整流部材を備えることが望ましい。
この拡張整流部材を設けることにより、各載置部に導入された清浄空気を扇状に拡げ、載置部に気流滞留が生じない状態とすることができる。
また、扇状に拡がる流れにより、基板搬入出口からの空気の流れ込みを抑制するだけでなく、基板搬入出口からの排気を可能とすることができる。

また、前記空気導出口は、前記箱状の棚部における前記空気導入口とは反対側の側面に複数形成されると共に、その断面は中空構造であって、前記箱状の棚部は、前記載置部に対する基板の搬入出を行うための基板搬送手段と、前記載置部上に供給される清浄空気の下流側に設けられ、前記基板搬送手段を駆動する搬送駆動手段と、前記中空構造の空気導出口と分離され、前記搬送駆動手段に供給された清浄空気のみを排気する駆動系排気手段を備えることが望ましい。
空気導出口をこのような中空構造とすることにより、パイプ内が排気の下流側よりも陽圧状態となり、排気された空気の逆流、及び棚部外からの空気の流れ込みを防止することができる。
また、排気経路を分離して整流することにより、搬送駆動手段から生じるダストの載置部への流れ込みを防止することができる。

また、前記複数の空気導出口にはそれぞれ、該空気導出口を流れる空気流量を制限する流量絞り手段が設けられていることが望ましい。
前記流量絞り手段を各空気導出口において調整することにより、全ての空気導出口からの排気量を均等化することができる。

また、前記筐体と前記箱状のケーシングとの間の隙間空間において、前記空気導入口と前記空気導出口とが それぞれ形成された棚部の一側面と、該一側面に対向する前記筐体の内側面との間の隙間空間をそれぞれ独立に形成するための仕切り部材が、前記筐体の内壁またはケーシングの外壁に設けられることが望ましい。
この仕切り部材が設けられることにより、空気導出口からの排気がケーシングの他の側面側に回り込むことがなく、基板搬入出口からの載置部への排気の流れ込みを防ぐことができる。

本発明によれば、基板搬送路を一方向に搬送される基板を一時的に退避させる基板バッファユニットにおいて、バッファ空間の空気洗浄を効率的に行い、且つ、コストを低減することのできる基板バッファユニットを得ることができる。

図１は、本発明に係る基板バッファユニットの側断面図である。 図２は、図１のＡ−Ａ矢視断面図（ユニット筐体内の平面図）である。 図３は、図２のＢ−Ｂ矢視断面図である。 図４は、図２のＣ−Ｃ矢視断面図である。 図５は、図１のＤ−Ｄ矢視断面図である。 図６は、分配整流部材の断面図である。 図７は、拡張整流部材の斜視図である。 図８は、流量絞り部材の断面図である。 図９は、エレベータバッファ装置の基板退避動作について説明するための図である。 図１０は、従来のエレベータバッファ装置内を清浄化するための構成について説明するための断面図である。

以下、本発明の基板バッファユニットの実施形態について図に基づき詳細に説明する。本発明の基板バッファユニットは、例えばフォトリソグラフィ工程により回路パターンを形成する製造ライン途中に設けられ、被処理基板であるＦＰＤ用のガラス基板を一時的に収容し退避させるものである。
また、本発明に係る基板バッファユニットは、図９を例に説明したエレベータ式のバッファ装置に好適に用いることができる。以下の実施形態においては、エレベータバッファ装置に適用した例について説明する。

図１は、本発明に係る基板バッファユニットの側断面図、図２は図１のＡ−Ａ矢視断面図（ユニット筐体内の平面図）、図３は図２のＢ−Ｂ矢視断面図、図４は図２のＣ−Ｃ矢視断面図、図５は図２のＤ−Ｄ矢視断面図である。
図示する基板バッファユニット１００は、ユニット筐体１内に被処理基板のガラス基板Ｇを多段（図では６段）に載置可能な箱状の棚部２と、この棚部２を下方から支持すると共に昇降移動させる昇降機構３とを備える。

この基板バッファユニット１００に対し、ガラス基板Ｇは例えば図３，４に示すユニット筐体１の搬入口１ａから搬入され、棚部２に収容後、適宜、反対側の搬出口１ｂから搬出される。
前記筐体１における搬入口１ａ及び搬出口１ｂは、バッファユニット１００の上流及び下流に設けられた所謂平流し方式の基板搬送ライン（基板搬送路）の高さ位置に合わせて設けられている。
図１に示すように棚部２は、箱状のケーシング２０を有し、このケーシング２０内に例えば６段に基板Ｇの載置部６（６ａ〜６ｆ）が設けられている。図３，４に示すようにケーシング２０において、前記筐体１の搬入出口１ａ，１ｂに臨む側面には、各段の載置部６に対応して複数の基板搬入口２ａと搬出口２ｂとが設けられている。

棚部２（ケーシング２０）は筐体１内で昇降機構３により昇降移動可能であるため、所定の段の載置部６に対してガラス基板Ｇの搬入出を行う場合には、その所定の段の載置部６が前記搬入口１ａ及び搬出口１ｂの高さとなるよう昇降機構３により棚部２が昇降移動される。
また、所定の載置部６に基板Ｇを載置した後、昇降機構３により、棚部２を基板搬送ラインから外れた所定位置まで昇降移動させることで、その基板Ｇを基板搬送ラインから退避させることができる。
尚、図１、図５に示すように、各載置部６には、基板搬送を行うための複数のコロ搬送シャフト１３（基板搬送手段）が並列に設けられており、各シャフト１３の一端部には、各シャフト１３を回転駆動するためのモータ等からなるシャフト回転駆動機構１４（搬送駆動手段）が設けられている。

このバッファユニット１００において、棚部２のケーシング２０上面には、図２に示すように複数（図では４基）のＦＦＵ（ファンフィルタユニット）４ａ〜４ｄ（まとめてＦＦＵ４とする）が設置される。これらＦＦＵ４は、それぞれ所定方向に回転駆動されるファンを有し、ファンの回転により上方から空気を取り入れ、フィルタを介することによって浄化された空気（清浄空気）を生成し、下方に吹き出すユニットである。即ち、ＦＦＵ４は清浄空気供給手段として機能する。

各ＦＦＵ４の下方には、下方に吹き出された清浄空気の流路となる通風路５（５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ）が設けられ、この通風路５は棚部２において前記基板搬入出口１ａ，１ｂが設けられた側面と直交する一側面に連通している。
より具体的に説明すると、図３に示す棚部２への清浄空気の導入は、前記通風路５が連通する前記棚部２の一側面に形成された複数のエア導入口７（空気導入口）からなされる。これらエア導入口７は、例えば縦方向に載置部の段数と同じ６段、横方向に６個の全３６個が設けられている。即ち、１段の載置部６につき、６個のエア導入口７がその側方に設けられている。

この実施形態の場合、全３６箇所のエア導入口７は、棚部２の上部に設けられたＦＦＵ４の数に合わせ、４つのグループに分けられる。即ち図３に示すように、上３段の載置部６ａ、６ｂ、６ｃに対応するエア導入口７は、グループ７Ａ、７Ｂの左右２つに分けられ、下３段の載置部６ｄ、６ｅ、６ｆに対応するエア導入口７は、グループ７Ｃ、７Ｄの左右２つに分けられる。
このうち、ＦＦＵ４ａにより供給される清浄空気はグループ７Ａの９つのエア導入口７から供給され、ＦＦＵ４ｂにより供給される清浄空気はグループ７Ｂの９つのエア導入口７から供給される。また、ＦＦＵ４ｃにより供給される清浄空気はグループ７Ｃの９つのエア導入口７から供給され、ＦＦＵ４ｄにより供給される清浄空気はグループ７Ｄの９つのエア導入口７から供給される。
ここで、各ＦＦＵ４からそれぞれ縦３段のエア導入口７に清浄空気が供給されるが、その分流量をより均等とするために、通風路５における導入口手前において、図６に示すように気流を３段の導入口７に合わせて分配する分配整流部材１０が設けられる。
尚、図６に示すように、この分配整流部材１０の分配壁１０ａ、１０ｂは、その位置が図中矢印に示す方向に移動自在に設けられており、その位置調整により３段のエア導入口７に導入される清浄空気の流量が調整され、より均等化される構成となされている。

さらに、ＦＦＵ４から供給された清浄空気の流れは、エア導入口７から載置部に導入されると、図５に矢印で示すように、扇状に広がり、載置部６の隅々まで清浄空気が行き届く状態が望ましい。
そのため、各載置部６につき、左右両端側のエア導入口７には、例えば図７の斜視図に示すような左右方向に気流の向きを拡げるための拡張整流部材１２が設けられる。この拡張整流部材１２が設けられることにより、各載置部６上に導入された清浄空気は、図５に示すように扇状に拡がり、載置部６に気流滞留が生じない状態となされる。
また、扇状に拡がる空気の流れにより、基板搬入出口２ａ、２ｂからの空気の流れ込みを抑制するだけでなく、基板搬入出口２ａ、２ｂから排気を行うことができる。

一方、各載置部６に供給された空気を排気するエア導出口８は、ケーシング２０において前記複数のエア導入口７が形成された側面とは反対側の側面に、載置部６の段毎に設けられる。即ち、図４に示すように、縦方向に載置部６の段数と同じ６段、横方向に６個のエア導出口８（各載置部６につき、６個のエア導出口８）が設けられている。
このうち、図４において左右両端列のエア導出口８ａは、筐体２の側壁に偏平状の孔が開けられ形成されている。
また、前記左右両端列のエア導出口８ａの間に設けられた４つのエア導出口８ｂは、図１、図２に示すように排気方向に所定の長さ延設され、その断面が中空構造（例えば偏平状のパイプ構造）となされている。

このような中空構造のエア導出口８ｂは、図５に示すように各載置部６において複数のシャフト１３をそれぞれ回転駆動するシャフト回転駆動機構１４の付近に設けられている。
詳しく説明すると、複数のシャフト回転駆動機構１４は、カバー部材１５（駆動系排気手段）により覆われ、前記中空構造のエア導出口８ｂは、図５に示すように、このカバー部材１５内を突き抜けるように挿設されている。カバー部材１５の下部には、図１、図４に示すように下方に延びる排気管１６（駆動系排気手段）が設けられ、その先端は、昇降機構３近傍で開放されている。

即ち、載置部６を通過した清浄空気が、主に中空構造のエア導出口８ｂを流れ、シャフト回転駆動機構１４を通らずに排気される構造となされている。また、シャフト回転駆動機構１４を流れる清浄空気は、排気管１６から排気される。このように排気経路を分離して整流することにより、シャフト回転駆動機構１４から生じるダストの載置部６への流れ込みを防止することができる。

また、前記のようにエア導出口８ｂが偏平状であって、所定長さの中空構造となされ、さらには、図８の断面図に示すように各導出口８ｂの先端部分には、空気流量を制限する絞り手段としての板状の流量絞り部材１１が設けられている。
これにより、前記中空構造内が排気の下流側よりも陽圧状態となり、排気された空気の逆流、及び棚部２外からの空気の流れ込みが防止される。
また流量絞り部材１１の傾斜角度を各導出口８ｂにおいて調整することにより、全てのエア導出口８からの排気量をより均等にすることができる。

また、このようなバッファユニット１００がクリーンルーム内に設置され、その天井から清浄空気がダウンフローにより供給される場合、図１に示すように筐体１の上面には空気導入のためのスリット１ｃが形成されているため、筐体１の上方から筐体１内に清浄空気が供給される。また、筐体１の下部には、排気スリット１ｄが形成されているため、供給された清浄空気は棚部２の周囲に回り込み、筐体１下部の排気スリット１ｄから排気される。
ここで、図２に示すように、筐体１内の四隅付近における内壁面（もしくはケーシング２０の外壁面でもよい）には、棚部２の各側面と筐体１の内面とが対向する各空間を仕切る仕切り板１２（仕切り部材）が設けられる。
この仕切り部材１２が設けられることにより、空気導出口８からの排気がケーシング２０の他の側面側に回り込むことがなく、基板搬入出口２ａ，２ｂからの載置部６への排気の流れ込みを防ぐことができる。

また、エア導入口７から棚部２内に導入された清浄空気は、ケーシング２０に設けられた基板搬入出口２ａ、２ｂからも排気される。この排気流は、筐体１とケーシング２０との間の隙間空間を流れ、筐体１下部の排気スリット１ｄから排気される。このため、クリーンルームから供給される清浄空気のみよりも筐体１内を効率的に空気洗浄することができる。
また、各載置部６に対して基板Ｇの搬入出を行う際、昇降機構３により棚部２が筐体１内で昇降移動すると、昇降機構３の周囲空間が圧縮膨張するため空気の巻き上がりが生じる。しかしながら、この空気の巻き上がりが生じても、各載置部６には、ＦＦＵ４により十分な流量の清浄空気が流れ、各間口から排気されているため、棚部２内へダストが流れ込むことはない。
また、ＦＦＵ４が稼働停止しても、ＦＦＵ４の下流に位置する棚部４内は陽圧状態であるため、ダストの流れ込みが防止される。

以上のように、本発明に係る実施の形態によれば、バッファユニット１００においては、ＦＦＵ４の作動により清浄空気が生成され、清浄空気は通風路５を通ってエア導入口７から棚部５の各載置部６に供給され、供給された清浄空気は主に、各段に設けられたエア導出口８から排気される。
この構成により下流側に排気装置を設けなくても、各段の載置部６には十分な流量の清浄空気の流れを形成し、棚部２内の清浄度を確保することができる。
したがって、従来のようにクリーンルームにおけるＦＦＵの配置を考慮しなくてもよく、クリーンルーム側の制約を受けずに製造ラインを設置することができる。
また、排気装置を設ける必要が無いため、設備コストの増加を抑制し、且つ、排気装置を設けることにより生じる不具合（稼働停止時の逆流等）を無くすことができる。

尚、前記実施の形態においては、清浄空気供給手段としてのＦＦＵ４が棚部２の（ケーシング２０の）上面に設けられた例を示したが、本発明に係る基板バッファユニットにあっては、その形態に限定されるものではない。例えば、清浄空気供給手段としての前記ＦＦＵ４は棚部２の（ケーシング２０の）側面に設けられてもよい。
また、本発明を多段式のエレベータバッファ装置に適用する例を示したが、本発明は、その形態に限定されるものではない。例えば、多段式でなくても一段の基板バッファ装置でもよく、また、棚部２の昇降機構３を用いず、ロボットアーム等により複数の基板の搬入出を行うバッファ装置にも適用することができる。

１ 筐体
２ 棚部
３ 昇降機構
４ ＦＦＵ（清浄空気供給手段）
５ 通風路
６ 載置部
７ エア導入口（空気導入口）
８ エア導出口（空気導出口）
１２ 仕切り部材
１３ コロ搬送シャフト（基板搬送手段）
１４ シャフト回転駆動機構（搬送駆動手段）
１５ カバー部材（駆動系排気手段）
１６ 排気管（駆動系排気手段）
２０ ケーシング
１００ 基板バッファユニット
Ｇ ガラス基板（基板）

Claims (7)

1. 基板搬送路を搬送される基板を一時的に収容し、前記基板搬送路から退避させる基板バッファユニットにおいて、
   前記基板バッファユニットの筐体上面に形成される空気導入スリット部と、
   前記筐体下部に形成される排気スリット部と、
   前記基板搬送路の途中に設けられ、基板を載置する複数の載置部を有すると共に、前記基板搬送路から外れた所定位置に昇降移動可能な箱状の棚部と、
   前記箱状の棚部を、前記基板バッファユニットの筐体内で昇降移動させる昇降機構と、
   前記箱状の棚部の上面または側面に設けられ、基板バッファユニットの筐体内の空気を取り込んで、浄化された清浄空気を前記箱状の棚部の載置部に供給する清浄空気供給手段と、
   前記清浄空気供給手段と前記棚部の一側面とを接続する通風路とを備え、
   前記清浄空気供給手段から供給された清浄空気は、前記箱状の棚部の一側面に設けられた空気導入口から前記載置部毎に供給され、前記箱状の棚部における前記空気導入口とは反対側の側面に前記載置部毎に設けられた空気導出口から排気されることを特徴とする基板バッファユニット。
2. 前記箱状の棚部は、箱状のケーシングを有しその内部に複数の前記載置部が多段に設けられ、
   前記ケーシングの一側面において、前記空気導入口が多段に設けられた各載置部に対応して複数設けられ、
   清浄空気を前記複数の空気導入口に分配する分配整流部材が前記通風路に設けられていることを特徴とする請求項１に記載された基板バッファユニット。
3. 前記筐体と前記箱状のケーシングとの間の隙間空間において、
   前記空気導入口と前記空気導出口とがそれぞれ形成された棚部の一側面と、該一側面に対向する前記筐体の内側面との間の隙間空間をそれぞれ独立に形成するための仕切り部材が、前記筐体の内壁に設けられることを特徴とする請求項２に記載された基板バッファユニット。
4. 前記筐体と前記箱状のケーシングとの間の隙間空間において、
   前記空気導入口と前記空気導出口とがそれぞれ形成された棚部の一側面と、該一側面に対向する前記筐体の内側面との間の隙間空間をそれぞれ独立に形成するための仕切り部材が、前記ケーシングの外壁に設けられることを特徴とする請求項２に記載された基板バッファユニット。
5. 前記空気導入口に設けられ、該空気導入口から前記載置部上に供給される清浄空気を、上から見て扇状に拡げる拡張整流部材を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載された基板バッファユニット。
6. 前記空気導出口は、前記箱状の棚部における前記空気導入口とは反対側の側面に複数形成されると共に、その断面は中空構造であり、
   前記箱状の棚部は、
   前記載置部に対する基板の搬入出を行うための基板搬送手段と、
   前記載置部上に供給される清浄空気の下流側に設けられ、前記基板搬送手段を駆動する搬送駆動手段と、
   前記中空構造の空気導出口と分離され、前記搬送駆動手段に供給された清浄空気のみを排気する駆動系排気手段とを備えることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載された基板バッファユニット。
7. 前記複数の空気導出口にはそれぞれ、該空気導出口を流れる空気流量を制限する流量絞り手段が設けられていることを特徴とする請求項６に記載された基板バッファユニット。

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