JP2018174259A - ロボット搬送装置 - Google Patents
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Abstract
Description
第2の発明では、仕切部材がスリットを有し、搬送ロボットの搬送部と走行部とを接続した接続部がスリットの内側を移動することから、搬送空間と走行空間とが連通する部分を低減できる。
第4の発明では、搬送空間のガスが走行空間に流れやすくなり、搬送空間から走行空間への方向の流れを確保しやすくなる。
第6の発明では、搬送空間と走行空間の圧力差により、搬送空間のガスが走行空間に流れやすい。したがって、走行空間からのパーティクルが搬送空間に逆流する可能性が低くなり、搬送空間の清浄度維持がしやすくなる。
本実施形態のロボット搬送装置では、筐体2の内部において、搬送ロボット11の搬送部11aが配置された搬送空間C2aと走行部11bが配置された走行空間C2bとが仕切部材16により仕切られることから、搬送ロボット11が移動した場合のパーティクルが搬送空間C2aに移動するのを防止できる。
2 筐体
3 ファンフィルタユニット
4 ファン
5 フィルタ
8 ガイド部材
11 搬送ロボット
11a 搬送部
11b 走行部
11c 接続部
16、116、216 仕切部材
16a、116a、216a スリット
D 循環流路
Claims (6)
- ファン及びフィルタを有するファンフィルタユニットが収容された筐体と、
上記筐体の内部に配置されたガイド部材に沿って移動可能に構成された搬送ロボットとを備え、
上記搬送ロボットは、
搬送物を保持した状態で搬送する搬送部と、
上記搬送部より下方に配置され、上記ガイド部材に対し移動可能に支持された走行部とを有し、
上記筐体の内部は、仕切部材により、上記搬送部が配置された搬送空間と上記走行部が配置された走行空間とが仕切られることを特徴とするロボット搬送装置。 - 上記仕切部材は、上記筐体の内周面から内側に向かって延び、且つ、上記ガイド部材に沿って形成されたスリットを有し、
上記搬送ロボットが上記ガイド部材に沿って移動する場合、上記搬送部と上記走行部とを接続した接続部が上記スリットの内側を移動することを特徴とする請求項1に記載のロボット搬送装置。 - 上記走行空間のガスを上記ファンフィルタユニットより上流側空間に循環させる循環流路を有することを特徴とする請求項1または2に記載のロボット搬送装置。
- 上記仕切部材は、上記スリットに近づくにつれて低くなるように傾斜することを特徴とする請求項1−3のいずれかに記載のロボット搬送装置。
- 上記仕切部材は、上記筐体の内周面近傍に配置されたガス通過部を有することを特徴とする請求項1−4のいずれかに記載のロボット搬送装置。
- 上記搬送空間の圧力は、上記走行空間の圧力より高いことを特徴とする請求項1−5のいずれかに記載のロボット搬送装置。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111714939A (zh) * | 2019-03-19 | 2020-09-29 | Fsp流动系统合伙控股股份公司 | 装置、组件和用于检测过滤器元件的方法 |
KR102208017B1 (ko) * | 2019-08-14 | 2021-01-27 | 로체 시스템즈(주) | 기판 반송 장치 |
CN112687598A (zh) * | 2019-10-17 | 2021-04-20 | 细美事有限公司 | 基板传送设备和基板处理设备 |
JP2022505473A (ja) * | 2018-10-26 | 2022-01-14 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 前面ダクト式機器フロントエンドモジュール、側面ストレージポッド、及びそれらの操作方法 |
JP2022016097A (ja) * | 2020-07-10 | 2022-01-21 | 株式会社日立ハイテク | 基板搬送装置 |
WO2022197951A1 (en) * | 2021-03-18 | 2022-09-22 | Applied Materials, Inc. | Increased number of load ports on factory interface with robot that moves on track |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04182222A (ja) * | 1990-11-16 | 1992-06-29 | Sanki Eng Co Ltd | リニアクリーンチューブ搬送装置 |
JPH10213334A (ja) * | 1997-01-29 | 1998-08-11 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2003060001A (ja) * | 2001-08-17 | 2003-02-28 | Hirata Corp | 基板処理装置及び搬送装置 |
JP2011241020A (ja) * | 2010-05-17 | 2011-12-01 | Hitachi Plant Technologies Ltd | カセットストッカ |
JP2015146349A (ja) * | 2014-01-31 | 2015-08-13 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | Efem |
JP2016066767A (ja) * | 2014-09-26 | 2016-04-28 | 大陽日酸株式会社 | 気相成長装置 |
WO2017022366A1 (ja) * | 2015-08-04 | 2017-02-09 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法および記録媒体 |
-
2017
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04182222A (ja) * | 1990-11-16 | 1992-06-29 | Sanki Eng Co Ltd | リニアクリーンチューブ搬送装置 |
JPH10213334A (ja) * | 1997-01-29 | 1998-08-11 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2003060001A (ja) * | 2001-08-17 | 2003-02-28 | Hirata Corp | 基板処理装置及び搬送装置 |
JP2011241020A (ja) * | 2010-05-17 | 2011-12-01 | Hitachi Plant Technologies Ltd | カセットストッカ |
JP2015146349A (ja) * | 2014-01-31 | 2015-08-13 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | Efem |
JP2016066767A (ja) * | 2014-09-26 | 2016-04-28 | 大陽日酸株式会社 | 気相成長装置 |
WO2017022366A1 (ja) * | 2015-08-04 | 2017-02-09 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法および記録媒体 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022505473A (ja) * | 2018-10-26 | 2022-01-14 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 前面ダクト式機器フロントエンドモジュール、側面ストレージポッド、及びそれらの操作方法 |
JP7365408B2 (ja) | 2018-10-26 | 2023-10-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 前面ダクト式機器フロントエンドモジュール、側面ストレージポッド、及びそれらの操作方法 |
CN111714939A (zh) * | 2019-03-19 | 2020-09-29 | Fsp流动系统合伙控股股份公司 | 装置、组件和用于检测过滤器元件的方法 |
KR102208017B1 (ko) * | 2019-08-14 | 2021-01-27 | 로체 시스템즈(주) | 기판 반송 장치 |
CN112687598A (zh) * | 2019-10-17 | 2021-04-20 | 细美事有限公司 | 基板传送设备和基板处理设备 |
KR20210046098A (ko) * | 2019-10-17 | 2021-04-28 | 세메스 주식회사 | 기판 반송 장치 및 기판 처리 장치 |
KR102278078B1 (ko) * | 2019-10-17 | 2021-07-19 | 세메스 주식회사 | 기판 반송 장치 및 기판 처리 장치 |
US11699599B2 (en) | 2019-10-17 | 2023-07-11 | Semes Co., Ltd. | Substrate transfer apparatus and substrate treating apparatus |
JP2022016097A (ja) * | 2020-07-10 | 2022-01-21 | 株式会社日立ハイテク | 基板搬送装置 |
JP7464471B2 (ja) | 2020-07-10 | 2024-04-09 | 株式会社日立ハイテク | 基板搬送装置 |
WO2022197951A1 (en) * | 2021-03-18 | 2022-09-22 | Applied Materials, Inc. | Increased number of load ports on factory interface with robot that moves on track |
US12076854B2 (en) | 2021-03-18 | 2024-09-03 | Applied Materials, Inc. | Increased number of load ports on factory interface with robot that moves on track |
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Publication number | Publication date |
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