KR20240041902A - 이에프이엠 - Google Patents

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KR20240041902A
KR20240041902A KR1020240040343A KR20240040343A KR20240041902A KR 20240041902 A KR20240041902 A KR 20240041902A KR 1020240040343 A KR1020240040343 A KR 1020240040343A KR 20240040343 A KR20240040343 A KR 20240040343A KR 20240041902 A KR20240041902 A KR 20240041902A
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KR
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inert gas
transfer chamber
supply
chamber
efem
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KR1020240040343A
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Inventor
도시히로 가와이
겐고로 오구라
Original Assignee
신포니아 테크놀로지 가부시끼가이샤
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Publication date
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Abstract

EFEM은, 격벽에 설치된 개구에 로드 포트가 접속됨으로써 폐쇄되고, 기판을 반송하기 위한 반송실을 내부에 구성하는 하우징과, 상기 반송실 내에 배치되고, 상기 기판의 반송을 행하는 기판 반송 장치와, 상기 하우징 내에 설치되고, 상기 반송실의 상방에 상부 공간을 구성하기 위한 구획 부재와, 상기 상부 공간에 불활성 가스를 공급하기 위한 불활성 가스 공급 수단과, 상기 구획 부재에 형성되고, 상기 반송실과 상기 상부 공간을 연통시키는 연통구와, 상기 연통구를 덮도록 배치되고, 상기 연통구를 거쳐서 상기 상부 공간의 불활성 가스를 상기 반송실에 보내기 위한 송풍기를 구비하고 있고, 상기 불활성 가스 공급 수단은, 상기 상부 공간 내에 있어서 상기 하우징을 평면으로 본 때의 길이 방향을 따라서 배치된 공급관을 구비하고, 상기 공급관은 불활성 가스를 공급하기 위한 복수의 공급구를 갖고 있다.

Description

이에프이엠{ＥＦＥＭ}
본 발명은, 폐쇄된 반송실에 불활성 가스를 공급하여 불활성 가스 분위기로 치환하는 것이 가능한 EFEM(Equipment Front End Module)에 관한 것이다.
특허문헌 1에는, 웨이퍼(반도체 기판)가 수용되는 FOUP(Front-Opening Unified Pod)가 적재되는 로드 포트와, 전면벽에 마련된 개구에 로드 포트가 접속됨으로써 폐쇄되며, 웨이퍼의 반송이 행해지는 반송실이 형성된 하우징을 포함하고, 웨이퍼에 소정의 처리를 실시하는 처리 장치와 FOUP 사이에서 웨이퍼의 수수를 행하는 EFEM에 대하여 기재되어 있다.
종래, 웨이퍼 상에서 제조되는 반도체 회로에 대한 반송실 내의 산소나 수분 등의 영향은 적었지만, 근년, 반도체 회로의 한층 더한 미세화에 수반하여, 그것들의 영향이 현재화되어 왔다. 그래서, 특허문헌 1에 기재된 EFEM은, 불활성 가스인 질소로 반송실 내가 채워지도록 구성되어 있다. 구체적으로는 EFEM은, 하우징의 내부에서 질소를 순환시키기 위한, 반송실과 가스 귀환로로 구성된 순환 유로와, 가스 귀환로의 상부 공간에 질소를 공급하는 가스 공급 수단과, 가스 귀환로의 상부 공간에 배치되어 불활성 가스를 반송실에 송출하는 복수의 팬과, 가스 귀환로의 하부로부터 질소를 배출하는 가스 배출 수단을 갖는다. 질소는 순환 유로 내의 산소 농도 등의 변동에 따라서 적절히 공급 및 배출된다. 이에 의해, 반송실 내를 질소 분위기로 유지하는 것이 가능해진다.
일본 특허 공개 제2015-146349호 공보
그러나 상기 특허문헌 1에 기재된 EFEM에 있어서는, 가스 공급 수단이 가스 귀환로의 상부 공간에 접속되고, 그 접속 개소, 즉, 1개소의 공급구로부터 불활성 가스가 공급되기 때문에, 상부 공간 내에 있어서 팬의 흡입측의 압력이 팬마다 변동되고, 각 팬으로부터 반송실로의 공급량에 변동이 발생한다. 즉, 복수의 팬의 배열 방향의 일방측으로부터 불활성 가스가 공급되는 경우, 한쪽 팬에는 충분한 양의 불활성 가스가 공급되기는 하지만, 다른 쪽 팬으로의 불활성 가스의 공급량이 한쪽에 비해 적어진다. 즉, 상부 공간 내에 있어서 한쪽 팬의 흡입측의 압력이 다른 쪽 팬보다도 커지고, 각 팬으로부터의 반송실로의 불활성 가스의 공급량에 변동이 발생한다. 이 결과, 반송실에 있어서의 불활성 가스의 기류에 흐트러짐이 발생하고, 진애가 날아오르기 쉬워진다는 문제가 발생한다.
그래서, 본 발명의 목적은, 불활성 가스를 반송실 내에 수직으로 흐르게 하기 쉬워지고, 진애가 날아오르기 어렵게 하는 것이 가능한 EFEM을 제공하는 것이다.
본 발명의 EFEM은, 격벽에 설치된 개구에 로드 포트가 접속됨으로써 폐쇄되고, 기판을 반송하기 위한 반송실을 내부에 구성하는 하우징과, 상기 반송실 내에 배치되고, 상기 기판의 반송을 행하는 기판 반송 장치와, 상기 하우징 내에 설치되고, 상기 반송실의 상방에 상부 공간을 구성하기 위한 구획 부재와, 상기 상부 공간에 불활성 가스를 공급하기 위한 불활성 가스 공급 수단과, 상기 구획 부재에 형성되고, 상기 반송실과 상기 상부 공간을 연통시키는 연통구와, 상기 연통구를 덮도록 배치되고, 상기 연통구를 거쳐서 상기 상부 공간의 불활성 가스를 상기 반송실에 보내기 위한 송풍기를 구비하고 있고, 상기 불활성 가스 공급 수단은, 상기 상부 공간 내에 있어서 상기 하우징을 평면으로 보았을 때의 길이 방향을 따라서 배치된 공급관을 구비하고, 상기 공급관은 불활성 가스를 공급하기 위한 복수의 공급구를 갖고 있다.
이것에 의하면, 불활성 가스 공급 수단으로부터 상부 공간에 공급되는 불활성 가스를, 복수의 공급구로부터 분산시켜 공급하는 것이 가능해진다. 이 때문에, 상부 공간에 전체에 걸쳐 골고루 불활성 가스를 공급하는 것이 가능해지고, 상부 공간에 있어서의 복수의 송풍기의 흡입측의 압력의 변동이 작아진다. 따라서, 각 송풍기로부터 반송실로의 불활성 가스의 공급량에 변동이 발생하기 어려워진다. 이 결과, 반송실 내에 있어서, 불활성 가스를 수직으로 흐르게 하기 쉬워지고, 진애가 날아오르기 어려워진다.
본 발명에 있어서, 상기 반송실의 하부에 설치되고, 해당 반송실의 불활성 가스를 흡인하는 가스 흡인구와, 상기 가스 흡인구로부터 흡인된 불활성 가스를 상기 상부 공간에 귀환시키는 가스 귀환로를 더 구비한다.
본 발명에 있어서, 상기 복수의 공급구는, 상기 가스 귀환로와 상기 상부 공간의 접속부 상부를 피하여 분산 배치된다.
본 발명에 있어서, 상기 복수의 공급구는, 상기 송풍기보다도 상류로부터 불활성 가스를 공급한다.
본 발명에 있어서, 상기 공급관은, EFEM의 측면으로부터 연장되어 있다.
본 발명에 있어서, 상기 복수의 공급구는, 상기 송풍기의 상부를 피하여 배치된다.
본 발명의 EFEM에 의하면, 상부 공간에 전체에 걸쳐 골고루 불활성 가스를 공급하는 것이 가능해지고, 상부 공간에 있어서의 복수의 송풍기의 흡입측의 압력의 변동이 작아진다. 따라서, 각 송풍기로부터 반송실로의 불활성 가스의 공급량에 변동이 발생하기 어려워진다. 이 결과, 반송실 내에 있어서, 불활성 가스를 수직으로 흐르게 하기 쉬워지고, 진애가 날아오르기 어려워진다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 관한 EFEM 및 그 주변의 개략 구성을 나타내는 평면도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 EFEM의 전기적 구성을 나타내는 도면이다.
도 3은 도 1에 나타내는 하우징을 전방으로부터 보았을 때의 정면도이다.
도 4는 도 3에 나타내는 IV-IV선에 따른 단면도이다.
도 5는 도 3에 나타내는 V-V선에 따른 단면도이다.
도 6은 도 3에 나타내는 VI-VI선에 따른 단면도이다.
도 7은 도어가 폐쇄된 상태를 나타내는 로드 포트의 측단면도이다.
도 8은 도어가 개방한 상태를 나타내는 로드 포트의 측단면도이다.
이하, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 EFEM1에 대해서, 도 1 내지 도 8을 참조하면서 이하에 설명한다. 또한, 설명의 편의상, 도 1에 나타내는 방향을 전후 좌우 방향으로 한다. 즉, 본 실시 형태에 있어서는, EFEM(Equipment Front End Module)(1)과 기판 처리 장치(6)가 나열되어 있는 방향을 전후 방향으로 하고, EFEM(1)측을 전방, 기판 처리 장치(6)측을 후방으로 한다. 또한, 전후 방향과 직교하는, 복수의 로드 포트(4)가 나열되어 있는 방향을 좌우 방향으로 한다. 또한, 전후 방향 및 좌우 방향의 양쪽과 직교하는 방향을 상하 방향으로 한다.
(EFEM 및 그 주변의 개략 구성)
먼저, EFEM(1) 및 그 주변의 개략 구성에 대해서, 도 1 및 도 2를 사용하여 설명한다. 도 1은, 본 실시 형태에 관한 EFEM(1) 및 그 주변의 개략 구성을 나타내는 평면도이다. 도 2는, EFEM(1)의 전기적 구성을 나타내는 도면이다. 도 1에 도시한 바와 같이, EFEM(1)은, 하우징(2)과, 반송 로봇(3)(기판 반송 장치)과, 3개의 로드 포트(4)와, 제어 장치(5)를 포함한다. EFEM(1)의 후방에는, 웨이퍼(W)(기판)에 소정의 처리를 실시하는 기판 처리 장치(6)가 배치되어 있다. EFEM(1)은, 하우징(2) 내에 배치된 반송 로봇(3)에 의해, 로드 포트(4)에 적재된 FOUP(Front-Opening Unified Pod)(100)와 기판 처리 장치(6) 사이에서 웨이퍼(W)의 수수를 행한다. FOUP(100)는, 복수의 웨이퍼(W)를 상하 방향으로 나열하여 수용 가능한 용기이며, 후단부(전후 방향에 있어서의 하우징(2)측의 단부)에 개폐 가능한 덮개(101)가 설치되어 있다. FOUP(100)는, 예를 들어 공지된 OHT(천장 주행식 무인 반송차: 도시하지 않음)에 의해 반송된다. OHT와 로드 포트(4) 사이에서, FOUP(100)의 수수가 행해진다.
하우징(2)은, 3개의 로드 포트(4)와 기판 처리 장치(6)를 접속시키기 위한 것이다. 하우징(2)의 내부에는, 외부 공간에 대하여 거의 밀폐되어, 웨이퍼(W)를 외기에 노출시키지 않고 반송하기 위한 반송실(41)이 형성되어 있다. EFEM(1)이 가동하고 있을 때, 반송실(41)은 질소로 채워져 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는, 반송실(41)은 질소로 채워져 있지만, 불활성 가스라면 질소 이외의 것(예를 들어, 아르곤 등)이어도 된다. 하우징(2)은, 반송실(41)을 포함하는 내부 공간에 있어서, 질소가 순환하도록 구성되어 있다(상세에 대해서는 후술함). 또한, 하우징(2)의 후단부에는 개폐 가능한 도어(2a)가 설치되어 있고, 반송실(41)은 도어(2a)를 이격하여 기판 처리 장치(6)와 접속되어 있다.
반송 로봇(3)은 반송실(41) 내에 배치되고, 웨이퍼(W)의 반송을 행한다. 반송 로봇(3)은, 위치가 고정된 베이스부(90)(도 3 참조)와, 베이스부(90)의 상방에 배치되고, 웨이퍼(W)를 유지하여 반송하는 암 기구(70)(반송부. 도 3 참조)와, 로봇 제어부(11)(도 2 참조)를 갖는다. 반송 로봇(3)은 주로, FOUP(100) 내의 웨이퍼(W)를 취출하여 기판 처리 장치(6)에 넘겨주는 동작이나, 기판 처리 장치(6)에 의해 처리된 웨이퍼(W)를 수취하여 FOUP(100)로 복귀시키는 동작을 행한다.
로드 포트(4)는 FOUP(100)를 적재하기(도 7 참조) 위한 것이다. 복수의 로드 포트(4)는 도 1 및 도 5에 도시한 바와 같이, 하우징(2)의 전방측의 격벽(33)을 따라서, 좌우 방향으로 나열하여 배치되어 있다. 각 로드 포트(4)는, 후단부에 있는 베이스(51)(도 7 참조)에서 하우징(2)의 격벽(33)에 형성된 3개의 개구(33a1)(도 4 참조)를 각각 폐쇄하고 있다. 이에 의해, 하우징(2) 내에 반송실(41)이 거의 밀폐 공간으로 구성된다. 또한, 로드 포트(4)는 FOUP(100) 내의 분위기를 질소로 치환 가능하도록 구성되어 있다. 로드 포트(4)의 후단부에는, 후술하는 개폐 기구(54)의 일부인 도어(4a)가 설치되어 있다. 도어(4a)는 도어 구동 기구(55)(개폐 기구(54)의 일부)에 의해 개폐된다. 도어(4a)는 FOUP(100)의 덮개(101)의 로크를 해제 가능하고, 또한 덮개(101)를 유지 가능하게 구성되어 있다. 로크가 해제된 덮개(101)를 도어(4a)가 유지하고 있는 상태에서, 도어 구동 기구(55)가 도어(4a)를 엶으로써, 덮개(101)가 열린다. 이에 의해, FOUP(100) 내의 웨이퍼(W)가 반송 로봇(3)에 의해 취출 가능해진다. 또한, 반송 로봇(3)에 의해 웨이퍼(W)를 FOUP(100) 내에 수납 가능해진다.
도 2에 도시한 바와 같이, 제어 장치(5)는, 반송 로봇(3)의 로봇 제어부(11), 로드 포트(4)의 로드 포트 제어부(12), 기판 처리 장치(6)의 제어부(도시하지 않음)와 전기적으로 접속되어 있고, 이들 제어부와의 통신을 행한다. 또한, 제어 장치(5)는, 하우징(2) 내에 설치된 산소 농도계(85), 압력계(86), 습도계(87) 등과 전기적으로 접속되어 있고, 이들 계측 기기의 계측 결과를 수신하여, 하우징(2) 내의 분위기에 관한 정보를 파악한다. 또한, 제어 장치(5)는 공급 밸브(112) 및 배출 밸브(113)(후술)와 전기적으로 접속되어 있고, 이들 밸브 개방도를 조절함으로써, 하우징(2) 내의 질소 분위기를 적절히 조절한다.
도 1에 도시한 바와 같이, 기판 처리 장치(6)는, 예를 들어 로드 로크실(6a)과 처리실(6b)을 갖는다. 로드 로크실(6a)은, 하우징(2)의 도어(2a)를 이격하여 반송실(41)과 접속된, 웨이퍼(W)를 일시적으로 대기시키기 위한 방이다. 처리실(6b)은 도어(6c)를 이격하여 로드 로크실(6a)과 접속되어 있다. 처리실(6b)에서는, 도시하지 않은 처리 기구에 의해, 웨이퍼(W)에 대하여 소정의 처리가 실시된다.
(하우징 및 그 내부의 구성)
이어서, 하우징(2) 및 그 내부의 구성에 대해서, 도 3 내지 도 6을 사용하여 설명한다. 도 3은, 하우징(2)을 전방으로부터 보았을 때의 정면도이다. 도 4는, 도 3에 나타내는 IV-IV선에 따른 단면도이다. 도 5는, 도 3에 나타내는 V-V선에 따른 단면도이다. 도 6은, 도 3에 나타내는 VI-VI선에 따른 단면도이다. 또한, 도 3 및 도 6에 있어서는, 격벽의 도시를 생략하였다. 또한, 도 5에 있어서는, 반송 로봇(3) 등의 도시를 생략하고, 로드 포트(4)에 대해서는 2점 쇄선으로 나타내었다.
하우징(2)은 전체로서 대략 직육면체 형상을 갖고 있다. 도 3 내지 도 5에 도시한 바와 같이, 하우징(2)은 기둥(21 내지 26)과, 연결관(27)과, 격벽(31 내지 36)을 갖는다. 상하 방향으로 연장되는 기둥(21 내지 26)에 격벽(31 내지 36)이 설치되어 있고, 하우징(2)의 내부 공간(반송실(41) 및 FFU 설치실(42))이 외부 공간에 대하여 거의 밀폐로 구성되어 있다.
보다 구체적으로는, 도 4에 도시한 바와 같이, 하우징(2)의 전단부에 있어서, 기둥(21 내지 24)이 좌측 방향으로부터 우측 방향을 향해 서로 이격시키면서 순서대로 배치되어 있다. 즉, 4개의 기둥(21 내지 24)은 좌우 방향을 따라서 배열되어 있다. 또한, 기둥(21 내지 24)은 도 3에 도시한 바와 같이, 상하 방향을 따르도록 기립 설치되어 있다. 기둥(21, 24)은, 하측에 배치된 제1 부분(21b, 24b)과, 상측에 배치된 제2 부분(21c, 24c)으로 구성되어 있다. 제1 부분(21b, 24b)은 격벽(31) 상에 기립 설치되고, 그 상단이 연결관(27)에 접속되어 있다. 또한, 기둥(22, 23)도 격벽(31) 상에 기립 설치되고, 그 상단이 연결관(27)에 접속되어 있다. 이들 제1 부분(21b, 24b) 및 기둥(22, 23)은, 그 상하 방향의 길이가 대략 동일한 길이로 되어 있다. 제2 부분(21c, 24c)은, 연결관(27) 상에 있으며 제1 부분(21b, 24b)과 상하 방향을 따라서 겹치는 위치에 기립 설치되어 있다. 하우징(2)의 후단부의 좌우 양측에는, 2개의 기둥(25, 26)이 상하 방향을 따라서 기립 설치되어 배치되어 있다. 연결관(27)은 좌우 방향(4개의 기둥(21 내지 24)의 배열 방향)으로 연장되고, 4개의 기둥(21 내지 24)과 서로 접속되어 있다.
도 3에 도시한 바와 같이, 하우징(2)의 저부에 격벽(31)이, 천장부에 격벽(32)이 배치되어 있다. 도 4에 도시한 바와 같이, 전단부에 격벽(33)이, 후단부에 격벽(34)이, 좌측 단부에 격벽(35)이, 우측 단부에 격벽(36)이 각각 배치되어 있다. 격벽(33)에는, 전술한 3개의 개구(33a1)가 형성되어 있다. 이들 3개의 개구(33a1)는, 좌우 방향에 있어서 4개의 기둥(21 내지 24) 사이에 배치되어 있고, 로드 포트(4)의 베이스(51)에 의해 폐쇄된다. 하우징(2)의 우측 단부에는, 후술하는 얼라이너(84)가 적재되는 적재부(83)(도 3 참조)가 설치되어 있다. 얼라이너(84) 및 적재부(83)도 하우징(2)의 내측에 수용되어 있다(도 4 참조).
도 5에 도시한 바와 같이, 하우징(2) 내의 상측 부분이며 연결관(27)의 후단부측에는, 수평 방향으로 연장되는 지지판(37)(구획 부재)이 배치되어 있다. 이에 의해, 하우징(2)의 내부는, 전술한 반송실(41)과, 반송실(41)의 상방에 형성된 FFU 설치실(42)로 나뉘어져 있다. 즉, 지지판(37)에 의해, 하우징(2)의 내부 공간에 있어서, 반송실(41)의 상방에 상부 공간으로서의 FFU 설치실(42)이 구성된다.
FFU 설치실(42) 내에는, 후술하는 3개의 FFU(팬 필터 유닛)(44)가 배치되어 있다. 지지판(37)의 전후 방향에 있어서의 중앙부이며 FFU(44)와 상하 방향에 대향하는 위치에는, 반송실(41)과 FFU 설치실(42)을 연통시키는 3개의 연통구(37a)가 형성되어 있다. 이들 3개의 연통구(37a)는 도 6에 나타내는 바와 같이, 좌우 방향을 따라서 나열되어 배치되어 있다. 또한, 3개의 연통구(37a)는 좌우 방향에 있어서, 4개의 기둥(21 내지 24) 사이에 배치되어 있다. 또한, 하우징(2)의 격벽(33 내지 36)은 반송실(41)용 하부벽과 FFU 설치실(42)용 상부벽으로 나뉘어져 있다(예를 들어, 도 5에 있어서의 전단부의 격벽(33a, 33b) 및 후단부의 격벽(34a, 34b)을 참조). 각 FFU(44)는, 후술하는 반송 영역(200)에서의 기류 속도가 원하는 값이 되도록 미리 회전수가 결정된다. 반송 영역(200)에 있어서의 기류 속도로서는, 1m/s 미만이고, 바람직하게는 0.1m/s 내지 0.7m/s이며, 보다 바람직하게는 0.2m/s 내지 0.6m/s이며, 목표의 값에 따라서 각 FFU의 회전수가 결정된다.
이어서, 하우징(2)의 내부의 구성에 대하여 설명한다. 구체적으로는 하우징(2) 내에서 질소를 순환시키기 위한 구성 및 그 주변 구성, 그리고 반송실(41) 내에 배치된 기기 등에 대하여 설명한다.
하우징(2) 내에서 질소를 순환시키기 위한 구성 및 그 주변 구성에 대해서, 도 3 내지 도 6을 사용하여 설명한다. 도 5에 도시한 바와 같이, 하우징(2)의 내부에는, 질소를 순환시키기 위한 순환로(40)가 형성되어 있다. 순환로(40)는 반송실(41)과, FFU 설치실(42)과, 귀환로(43)(가스 귀환로)에 의해 구성되어 있다. 순환로(40)에 있어서는, FFU 설치실(42)로부터 청정한 질소가 각 연통구(37a)를 통해 하방으로 송출되고, 반송실(41)의 하단부까지 도달한 후, 귀환로(43)를 통해 상승하고, FFU 설치실(42)로 복귀되도록 되어 있다(도 5의 화살표 참조). 이하, 상세하게 설명한다.
FFU 설치실(42)에는, 도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 지지판(37) 상에 배치된 3개의 FFU(44)와, FFU(44) 상에 배치된 3개의 케미컬 필터(45)가 설치되어 있다. 각 FFU(44)는, 도 5에 도시한 바와 같이, 팬(44a)(송풍기)과 필터(44b)를 가지고, 연통구(37a)를 덮도록 하여 지지판(37) 상에 배치되어 있다. FFU(44)는, 도 6 중 화살표로 나타낸 바와 같이, 팬(44a)에 의해 FFU 설치실(42) 내의 질소를 FFU(44)의 주위로부터 흡입하여 하방에 송출하면서, 질소에 포함되는 파티클(도시하지 않음)을 필터(44b)에 의해 제거한다. 케미컬 필터(45)는, 예를 들어 기판 처리 장치(6)로부터 순환로(40) 내에 들어온 활성 가스 등을 제거하기 위한 것이다. FFU(44) 및 케미컬 필터(45)에 의해 청정화된 질소는, FFU 설치실(42)로부터, 지지판(37)에 형성된 연통구(37a)를 통해 반송실(41)에 송출된다. 반송실(41)에 송출된 질소는 층류를 형성하고, 하방으로 흐른다.
귀환로(43)는, 하우징(2)의 전단부에 배치된 기둥(21 내지 24)(도 5에 있어서는 기둥(23)) 및 연결관(27)에 형성되어 있다. 기둥(21, 24)의 제1 부분(21b, 24b), 기둥(22, 23) 및 연결관(27)의 내부는 중공으로 되어 있으며, 서로 질소가 유통 가능한 공간(21a 내지 24a, 27a)이 각각 형성되어 있다(도 4 참조). 기둥(21, 24)의 제1 부분(21b, 24b)은, 도 4에 도시한 바와 같이, 좌우 방향의 폭이 기둥(22, 23)보다도 크게 되어 있다. 즉, 공간(21a, 24a)(제1 유로)의 평면 사이즈(즉, 제1 부분(21b, 24b)의 개구 면적)가, 공간(22a, 23a)(기둥(22, 23)의 개구 면적)보다도 크게 되어 있다. 또한, 공간(21a 내지 24a)(제1 유로)은 상하 방향으로 연장되어 형성되어 있고, 모두 기둥(21 내지 24)의 하단으로부터 연결관(27)의 위치까지 연장되어 있다.
연결관(27)은 하우징(2)의 전단부에 배치되어 있다. 연결관(27)의 공간(27a)(제2 유로)은 좌우 방향으로 연장되어 있다. 또한, 연결관(27)의 하면에는, 도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 공간(21a 내지 24a)과 공간(27a)을 서로 연통시키기 위한 연통구(27b 내지 27e)가 형성되어 있다. 또한, 연결관(27)의 상면에는, 도 6에 나타내는 바와 같이, FFU 설치실(42)을 향해(즉, 상방을 향해) 개구된 3개의 송출구(27f 내지 27h)가 형성되어 있다. 이들 3개의 송출구(27f 내지 27h)는 좌우 방향에 있어서, 4개의 기둥(21 내지 24) 사이에 배치되어 있고, 서로 좌우 방향으로 긴 직사각형 평면 형상을 갖고 있다. 또한, 3개의 송출구(27f 내지 27h)는 하우징(2)의 전단부에 배치되어 있다. 이렇게 연결관(27)은 4개의 공간(21a 내지 24a)으로부터 유입되어 온 질소를 일단 합류시킨 후, 3개의 송출구(27f 내지 27h)로부터 FFU 설치실(42)에 송출하는 것이 가능하도록 구성되어 있다. 질소가 공간(21a 내지 24a)으로부터 공간(27a)에 흐를 때, 그 기류의 방향이 상방으로부터 좌우 방향으로 변경되고, 또한 공간(27a)으로부터 송출구(27f 내지 27h)를 통해 FFU 설치실(42)에 유입될 때에 그 기류의 방향이 좌우 방향으로부터 상방으로 변경된다. 이러한 공간(21a 내지 24a, 27a)에 의해 귀환로(43)가 구성되어 있다. 또한, 3개의 송출구(27f 내지 27h)는 FFU(44)와 전후 방향을 따라서 겹치는 위치에 배치되어 있다. 즉, 전후 방향에 인접하는 송출구(27f 내지 27h)와 FFU(44)가 각각 대응한다. 그리고, 3개의 송출구(27f 내지 27h)는 좌우 방향으로 길게 형성되고, 비교적 큰 개구 면적을 갖고 있다. 이 때문에, 각 송출구(27f 내지 27h)로부터 FFU 설치실(42)에 송출되는 가스의 흐름이 완만해져, 3개의 FFU(44)의 흡입측(상방측)의 압력의 변동이 작아진다. 또한, 송출구(27f 내지 27h)로부터 FFU 설치실(42)에 송출되는 가스는, 도 5에 도시한 바와 같이, 격벽(33)과 FFU(44) 사이를 통해 상방으로 흐른다.
귀환로(43)에 대해서, 도 5를 참조하면서, 더욱 구체적으로 설명한다. 또한, 도 5에는 기둥(23)이 나타나 있지만, 다른 기둥(21, 24)의 제1 부분(21b, 24b) 및 기둥(22)에 대해서도 동일하다. 기둥(23)의 하단부에는, 반송실(41) 내의 질소를 귀환로(43)(공간(23a))에 유입시키기 쉽게 하기 위한 도입 덕트(28)가 설치되어 있다. 도입 덕트(28)는 다른 기둥(21, 22, 24)에도 동일하게 설치되어 있다. 또한, 기둥(21, 24)은 기둥(23)보다도 좌우 방향으로 광폭으로 형성되어 있기 때문에, 설치되는 도입 덕트(28)에 있어서도 광폭으로 형성되어 있지만, 이외에는 동일한 구성이다. 도입 덕트(28)에는 개구(28a)가 형성되고, 반송실(41)의 하단부에 도달한 질소가 귀환로(43)에 유입 가능하게 되어 있다. 즉, 개구(28a)는 반송실(41) 내의 질소를 귀환로(43)에 흡인하는 가스 흡인구이다. 또한, 개구(28a)는 하방을 향해 구성되어 있다. 이 때문에, 상방으로부터 격벽(31)에 달한 기체를, 상방으로부터의 기체의 흐름을 흐트러지게 하는 일없이 원활하게 흡입하는 것이 가능해진다. 나아가 개구(28a)에서 흡입한 기체를, 상방으로 기류 방향을 변화시키지 않고 흐르게 하는 것이 가능해진다.
도입 덕트(28)의 상부에는, 하방으로 향할수록 후방으로 넓어지는 확대부(28b)가 형성되어 있다. 도입 덕트(28) 내이며 확대부(28b)의 하방에는, 팬(46)이 배치되어 있다. 팬(46)은 도시하지 않은 모터에 의해 구동되고, 반송실(41)의 하단부에 도달한 질소를 귀환로(43)(도 5에 있어서는 공간(23a))에 흡입하여 상방으로 송출하고, 질소를 FFU 설치실(42)로 복귀시킨다. FFU 설치실(42)로 복귀된 질소는, 케미컬 필터(45)의 상면으로부터 FFU(44)측에 흡입되어, 이들 FFU(44)나 케미컬 필터(45)에 의해 청정화되고, 다시 연통구(37a)를 통해 반송실(41)에 송출된다. 이상과 같이 하여, 질소가 순환로(40) 내를 순환 가능하게 되어 있다.
또한, 도 3에 도시한 바와 같이, FFU 설치실(42)의 후단 상부(즉, 하우징(2)의 후단부)에는, FFU 설치실(42)(순환로(40)) 내에 질소를 공급하기 위한 공급관(47)이 배치되어 있다. 공급관(47)은 질소의 공급원(111)에 접속된 외부 배관(48)과 접속되어 있다. 외부 배관(48)의 도중 부위에는, 질소의 단위 시간당 공급량을 변경 가능한 공급 밸브(112)가 설치되어 있다. 이들 공급관(47), 외부 배관(48), 공급 밸브(112) 및 공급원(111)에 의해, 불활성 가스 공급 수단이 구성되어 있다. 또한, 불활성 가스 공급 라인이 공장 등에 설치되어 있는 경우에는, 당해 공급 라인과 공급관(47)을 접속하면 된다. 이 때문에, 불활성 가스 공급 수단은 공급관(47)만으로 구성되어 있어도 된다.
공급관(47)은 도 3 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 좌우 방향을 따라서 연장되어 있으며, 3개의 공급구(47a)가 형성되어 있다. 3개의 공급구(47a)는 좌우 방향을 따라서 서로 이격하여 배치되어 있고, 공급관(47)으로부터 FFU 설치실(42) 내에 질소를 공급한다. 이들 3개의 공급구(47a)는 도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 공급관(47)의 하단에 형성되어 있고, 지지판(37)의 공급관(47)과 상하 방향에 대향하는 영역(37b)(즉, 지지판(37)의 공급구(47a)까지의 거리가 가장 가까운 영역)을 향해 질소가 공급되도록 구성되어 있다. 또한, 3개의 공급구(47a)는 좌우 방향에 있어서, FFU(44)의 중심과 동일한 위치 관계에 배치되어 있다. 이에 의해, 3개의 공급구(47a)는 전후 방향에 있어서, 송출구(27f 내지 27h)와의 사이에 있어서 팬(44a)을 사이에 두는 위치에 배치되어 있다.
이러한 공급관(47)의 3개의 공급구(47a)로부터 FFU 설치실(42)에 질소가 공급되면, 3개의 공급구(47a)가 FFU 설치실(42) 내에 있어서 분산되어 배치되어 있기 때문에, 질소가 FFU 설치실(42) 전체에 골고루 공급된다. 예를 들어, 하우징(2)의 우측 단부에 접속된 외부 배관(48)의 하나의 공급구로부터 FFU 설치실(42) 내에 직접적으로 질소가 공급된 경우, FFU 설치실(42)의 우측 방향 부분의 압력이 상승한다. 즉, 가장 우측 방향에 배치된 FFU(44)의 흡입측의 압력이 다른 2개의 FFU(44)보다도 커진다. 이렇게 FFU(44)의 흡입측의 압력에 큰 변동이 발생하면, 3개의 FFU(44)로부터 반송실(41)로의 질소의 공급량에 변동이 발생하기 쉬워진다. 그러나, 본 실시 형태에 있어서는, 좌우 방향으로 서로 이격하여 배치된 3개의 공급구(47a)로부터 질소가 공급되기 때문에, 3개의 FFU(44)의 흡입측의 압력의 변동이 작아진다. 따라서, 3개의 FFU(44)로부터 반송실(41)로의 질소의 공급량이 안정되고, 반송실(41)에 송출된 질소가 층류를 형성하며, 하방으로 흐른다.
또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 로드 포트(4)의 하단에는, 순환로(40) 내의 기체를 배출하기 위한 배출관(49)이 접속되어 있다. 또한, 로드 포트(4)는, 후술하는 바와 같이 도어 구동 기구(55)가 수용된 수용실(60)이 베이스(51)에 형성된 슬릿(51b)을 통해 연통되어 있다(도 7 참조). 그리고, 배출관(49)이 수용실(60)에 접속되어 있다. 배출관(49)은 예를 들어 도시하지 않은 배기 포트에 연결되어 있으며, 그 도중 부위에는, 순환로(40) 내의 기체의 단위 시간당 배출량을 변경 가능한 배출 밸브(113)가 설치되어 있다. 이들 배출관(49) 및 배출 밸브(113)에 의해, 가스 배출 수단이 구성되어 있다.
공급 밸브(112) 및 배출 밸브(113)는 제어 장치(5)와 전기적으로 접속되어 있다(도 2 참조). 이에 의해, 순환로(40)에 질소를 적절히 공급 및 배출하는 것이 가능하게 되어 있다. 예를 들어, EFEM(1)을 시동할 때(예를 들어, EFEM(1)을 유지 관리한 후에 시동할 때 등 포함함), 순환로(40) 내의 산소 농도가 상승하고 있을 경우, 공급원(111)으로부터 외부 배관(48) 및 공급관(47)을 통해 순환로(40)에 질소를 공급하고, 배출관(49)을 통해 순환로(40) 및 수용실(60) 내의 기체(가스: 질소 및 산소 등을 포함함)를 배출함으로써 산소 농도를 낮출 수 있다. 즉, 순환로(40) 및 수용실(60) 내를 질소 분위기로 치환할 수 있다. 또한, EFEM(1)을 가동시키고 있을 때, 순환로(40) 내의 산소 농도가 상승한 경우에도, 순환로(40)에 질소를 일시적으로 많이 공급하고, 배출관(49)을 통해 질소와 함께 산소를 배출함으로써 산소 농도를 낮출 수 있다. 예를 들어, 질소를 순환시키는 타입의 EFEM(1)에 있어서는, 순환로(40)로부터 외부로의 질소의 누출을 억제하면서, 외부로부터 순환로(40)로의 대기의 침입을 확실하게 억제하기 위해서, 순환로(40) 내의 압력을 외부의 압력보다도 조금 높게 유지할 필요가 있다. 구체적으로는 1Pa(G) 내지 3000Pa(G)의 범위 내이며, 바람직하게는 3Pa(G) 내지 500Pa(G), 보다 바람직하게는 5Pa(G) 내지 100Pa(G)이다. 이 때문에, 제어 장치(5)는, 순환로(40) 내의 압력이 소정의 범위로부터 벗어나면, 배출 밸브(113)의 개방도를 변경함으로써 질소의 배출 유량을 변경하고, 압력이 소정의 목표 압력이 되도록 조절한다. 이와 같이, 산소 농도에 기초하여 질소의 공급 유량이 조절되고, 압력에 기초하여 질소의 배출 유량이 조절됨으로써, 산소 농도 및 압력이 제어된다. 본 실시 형태에서는, 10Pa(G)의 차압이 되도록 조정하고 있다.
이어서, 반송실(41) 내에 배치된 기기 등에 대해서, 도 3 및 도 4를 사용하여 설명한다. 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 반송실(41) 내에는, 상술한 반송 로봇(3)과, 제어부 수용 상자(81)와, 계측 기기 수용 상자(82)와, 얼라이너(84)가 배치되어 있다. 제어부 수용 상자(81)는 예를 들어 반송 로봇(3)의 베이스부(90)(도 3 참조)의 좌측 방향에 설치되고, 암 기구(70)(도 3 참조)에 의해 웨이퍼(W)가 반송되는 반송 영역(200)보다도 하방에 배치되어 있다. 제어부 수용 상자(81)에는, 상술한 로봇 제어부(11)나 로드 포트 제어부(12)가 수용되어 있다. 계측 기기 수용 상자(82)는, 예를 들어 베이스부(90)의 우측 방향에 설치되고, 암 기구(70)의 반송 영역(200)보다도 하방에 배치되어 있다. 계측 기기 수용 상자(82)에는, 상술한 산소 농도계(85), 압력계(86), 습도계(87) 등의 계측 기기(도 2 참조)가 수용 가능하게 되어 있다. 제어부 수용 상자(81) 및 계측 기기 수용 상자(82)가 본 발명의 설치물에 상당한다. 상술한 도입 덕트(28)(도 4 참조)는 베이스부(90), 제어부 수용 상자(81) 및 계측 기기 수용 상자(82)의 전방에 배치되어 있다. 즉, 개구(28a)는 상하 방향(연직 방향)으로부터 보았을 때, 베이스부(90), 제어부 수용 상자(81) 및 계측 기기 수용 상자(82)의 어느 것과도 겹치지 않는 위치에 배치되어 있다(도 4, 도 5 참조).
얼라이너(84)는, 반송 로봇(3)의 암 기구(70)(도 3 참조)에 유지되어 있는 웨이퍼(W)의 유지 위치가, 목표 유지 위치로부터 얼마나 어긋나 있는지 검출하기 위한 것이다. 예를 들어, 상술한 OHT(도시하지 않음)에 의해 반송되는 FOUP(100)(도 1 참조)의 내부에서는, 웨이퍼(W)가 미묘하게 움직일 우려가 있다. 그래서, 반송 로봇(3)은, FOUP(100)로부터 취출한 처리 전의 웨이퍼(W)를 일단 얼라이너(84)에 적재한다. 얼라이너(84)는, 웨이퍼(W)가 반송 로봇(3)에 의해 목표 유지 위치로부터 얼마나 어긋난 위치에서 유지되어 있었는지 계측하고, 계측 결과를 로봇 제어부(11)에 송신한다. 로봇 제어부(11)는 상기 계측 결과에 기초하여, 암 기구(70)에 의한 유지 위치를 보정하고, 암 기구(70)을 제어하여 목표 유지 위치에서 웨이퍼(W)를 유지시키고, 기판 처리 장치(6)의 로드 로크실(6a)까지 반송시킨다. 이에 의해, 기판 처리 장치(6)에 의한 웨이퍼(W)의 처리를 정상적으로 행할 수 있다.
(로드 포트의 구성)
이어서, 로드 포트의 구성에 대해서, 도 7 및 도 8을 참조하면서 이하에 설명한다. 도 7은, 도어가 폐쇄된 상태를 나타내는 로드 포트의 측단면도이다. 도 8은, 도어가 개방된 상태를 나타내는 로드 포트의 측단면도이다. 또한, 도 7 및 도 8은, 적재대(53)의 하방에 위치하는 외부 커버(4b)(도 5 참조)를 떼어낸 상태로 그려져 있다.
도 7에 나타내는 바와 같이, 로드 포트(4)는, 상하 방향을 따라서 기립 설치된 판상 베이스(51)와, 이 베이스(51)의 상하 방향의 중앙 부분으로부터 전방을 향해 돌출되어 형성된 수평 기초부(52)를 갖고 있다. 수평 기초부(52)의 상부에는, FOUP(100)를 적재하기 위한 적재대(53)가 설치되어 있다. 적재대(53)는 FOUP(100)를 적재한 상태에서, 적재대 구동부(도시하지 않음)에 의해 전후 방향으로 이동하는 것이 가능해져 있다.
베이스(51)는, 반송실(41)을 외부 공간으로부터 격리시키는 격벽(33)의 일부를 구성한다. 베이스(51)는 전방으로부터 보아, 상하 방향으로 긴 대략 직사각형 평면 형상을 갖고 있다. 또한, 베이스(51)는, 적재된 FOUP(100)와 전후 방향에 대향 가능한 위치에 창부(51a)가 형성되어 있다. 또한, 베이스(51)는, 상하 방향에 있어서, 수평 기초부(52)보다도 하방 위치에 후술하는 지지 프레임(56)이 이동 가능한 상하 방향으로 연장된 슬릿(51b)이 형성되어 있다. 슬릿(51b)은, 지지 프레임(56)이 베이스(51)를 관통한 상태에서 상하로 이동 가능 범위에만 형성되어 있고, 좌우 방향의 개구폭이 작게 되어 있다. 이 때문에, 슬릿(51b)으로부터 수용실(60)의 파티클이 반송실(41)에 침입하기 어렵게 되어 있다.
로드 포트(4)는, FOUP(100)의 덮개(101)를 개폐 가능한 개폐 기구(54)를 갖고 있다. 개폐 기구(54)는, 창부(51a)를 폐쇄하는 것이 가능한 도어(4a)와, 도어(4a)를 구동시키기 위한 도어 구동 기구(55)를 갖고 있다. 도어(4a)는 창부(51a)를 폐쇄 가능하도록 구성되어 있다. 또한, 도어(4a)는 FOUP(100)의 덮개(101)의 로크를 해제 가능하고, 또한 덮개(101)를 유지 가능하게 구성되어 있다. 도어 구동 기구(55)는, 도어(4a)를 지지하기 위한 지지 프레임(56)과, 슬라이드 지지 수단(57)을 통해 지지 프레임(56)을 전후 방향으로 이동 가능하게 지지하는 가동 블록(58)과, 이 가동 블록(58)을 베이스(51)에 대하여 상하 방향으로 이동 가능하게 지지하는 슬라이드 레일(59)을 포함한다.
지지 프레임(56)은 도어(4a)의 후부 하방을 지지하는 것이며, 하방을 향해 연장된 후에, 베이스(51)에 설치된 슬릿(51b)을 통과하여 베이스(51)의 전방을 향해 돌출된 대략 크랭크 형상의 판상 부재이다. 그리고, 이 지지 프레임(56)을 지지하기 위한 슬라이드 지지 수단(57), 가동 블록(58) 및 슬라이드 레일(59)은 베이스(51)의 전방에 설치되어 있다. 즉, 도어(4a)를 이동시키기 위한 구동 개소가 하우징(2)의 외측이며, 수평 기초부(52)의 하방에 설치된 수용실(60)에 수용되어 있다. 수용실(60)은 수평 기초부(52)와, 수평 기초부(52)로부터 하방을 향해 연장되는 대략 상자 형상의 커버(61)와 베이스(51)로 둘러싸여 구성되고, 거의 밀폐 상태로 되어 있다.
커버(61)의 저벽(61a)에는, 상술한 배출관(49)이 접속되어 있다. 즉, 수용실(60)과 배출관(49)이 접속되어 있다. 본 실시 형태에 있어서는, 3개의 로드 포트(4)의 어느 경우에 있어서도, 수용실(60)과 배출관(49)이 접속되어 있다. 이에 의해, 수용실(60)을 통해 순환로(40)의 기체를 배출관(49)으로부터 배출하는 것이 가능해진다. 배출관(49)으로부터 기체를 배출할 때, 수용실(60) 내에 존재하는 파티클도 기체와 함께 배출하는 것이 가능해진다. 또한, 수용실(60) 내이며 저벽(61a) 상에는, 배출관(49)과 대향하는 팬(62)이 설치되어 있다. 이렇게 팬(62)이 수용실(60) 내에 설치되어 있음으로써, 파티클의 날아오름을 억제하면서, 수용실(60)로부터 배출관(49)으로 기체를 배출하기 쉬워진다. 가령 반송실(41) 내의 기체를 수용실(60)을 향해 송출하는 팬이 설치되어 있는 경우, 반송실(41) 내의 기류에 흐트러짐이 발생하기 쉬워져, 반송실(41) 내의 파티클이 날아오르기 쉬워지지만, 본 실시 형태에 있어서는 수용실(60) 내에 팬(62)이 배치되어 있기 때문에, 반송실(41) 내의 파티클이 날아오르는 것을 억제하는 것이 가능해진다.
계속해서, FOUP(100)의 덮개(101) 및 도어(4a)의 개폐 동작에 대해서, 이하에 설명한다. 우선, 도 7에 나타내는 바와 같이, 베이스(51)로부터 이격된 상태에서 적재대(53) 상에 적재된 FOUP(100)를, 적재대(53)를 후방을 향해 이동시키고, 덮개(101)와 도어(4a)를 맞닿게 한다. 이 때, 개폐 기구(54)의 도어(4a)로 FOUP(100)의 덮개(101)의 로크를 해제하고, 또한 덮개(101)를 유지시킨다.
이어서, 도 8에 나타내는 바와 같이, 지지 프레임(56)을 후방을 향해 이동시킨다. 이에 의해, 도어(4a) 및 덮개(101)가 후방으로 이동한다. 이렇게 함으로써, FOUP(100)의 덮개(101)가 개방됨과 함께 도어(4a)가 개방되고, 하우징(2)의 반송실(41)과 FOUP(100)가 연통된다.
이어서, 도 8에 나타내는 바와 같이, 지지 프레임(56)을 하방으로 이동시킨다. 이에 의해, 도어(4a) 및 덮개(101)가 하방으로 이동한다. 이렇게 함으로써, FOUP(100)가 반출 입구로서 크게 개방되고, FOUP(100)와 EFEM(1) 사이에서 웨이퍼(W)의 이동을 행하는 것이 가능해진다. 또한, 덮개(101) 및 도어(4a)를 폐쇄하는 경우에는, 상술한 것과 반대의 동작을 행하면 된다. 또한, 로드 포트(4)의 일련 동작은 로드 포트 제어부(12)에 의해 제어된다.
이상에 설명한 것 같이, 본 실시 형태의 EFEM(1)에 의하면, 3개의 공급구(47a)가 FFU 설치실(42) 내에 있어서 분산되어 배치되어 있기 때문에, FFU 설치실(42) 전체에 걸쳐 골고루 질소를 공급하는 것이 가능해진다. 이 때문에, FFU 설치실(42)에 있어서의 3개의 FFU(44)의 팬(44a)(송풍기)의 흡입측의 압력의 변동이 작아진다. 따라서, 각 팬(44a)으로부터 반송실(41)로의 질소의 공급량이 안정되고, 반송실(41) 내에 있어서, 질소를 수직으로 흐르게 하기 쉬워져(질소가 층류를 형성함), 진애가 날아오르기 어려워진다.
또한, 배출관(49)이 각 로드 포트(4)의 수용실(60)과 접속되어 있고, 순환로(40)의 외부로의 기체의 배출이, 복수의 배출관(49) 및 복수의 수용실(60)을 통해 행해진다. 이 때문에, 배출관(49)이 1개만 설치되어 있는 경우에 비해, 반송실(41) 내에서 하방으로 흐른 기체를 빠짐없이 배출할 수 있다. 이에 의해, 반송실(41)에 있어서 질소가 형성하는 층류에 대한 영향이 작아진다. 또한, 반송실(41)에 있어서 질소가 형성하는 층류는, 적어도 웨이퍼(W)의 반송 영역(200) 및 그 상방에 형성되어 있으면 된다.
또한, 반송실(41)에는, 반송 영역(200)보다도 하방에 제어부 수용 상자(81) 및 계측 기기 수용 상자(82)(설치물)가 배치되고, 개구(28a)는 연직 방향으로부터 보았을 때, 베이스부(90) 및 설치물의 어느 것과도 겹치지 않는 위치에 설치되어 있어도 된다.
또한, 본원 발명자는, 층류 가시화의 실험에 의해, 반송 로봇(3)의 상방, 제어부 수용 상자(81)의 상방 및 계측 기기 수용 상자(82)의 상방의 3개소(도 3의 점(201, 202, 203) 참조)에 있어서, 기류 속도를 측정하고, 층류의 형성 상태를 확인하였다. 본 실시 형태에서는, 반송 영역에 있어서의 기류 속도가 0.3m/s가 되도록 각 FFU의 회전수를 미리 결정하였다. 그 결과, 가스가 반송 로봇(3) 등에 충돌하는 것에 의한 반송 영역(200)으로의 가스의 역류는 일어나지 않는 것이 확인되었다. 또한, 공급원(111)(도 3 참조)으로부터의 질소의 공급량이나 팬(46)(도 5 참조)의 회전수를 변화시켜도, 상술한 3개소 사이에서, 기체의 유량 차가 30％ 미만이 되는 것이 확인되었다. 즉, 반송 영역(200) 내에 설치물이 설치되어 있어도, 적어도 반송 영역(200) 및 그 상방에서는, 안정된 층류가 형성되어 있는 것이 확인되었다.
또한, 공급구(47a)는, 지지판(37)의 공급구(47a)까지의 거리가 가장 가까운 영역(37b)을 향해 질소가 공급되도록 구성되어 있다. 이에 의해, 공급구(47a)로부터 공급된 질소가 우선은 지지판(37)의 영역(37b)에 있어서, 그 기세가 약해짐과 함께, 지지판(37)을 따라서 흐른다. 이 때문에, 송출구(27f 내지 27h)로부터 FFU(44)에 흐르는 FFU 설치실(42) 내의 기류가 흐트러지기 어렵게 되어, FFU 설치실(42)에 있어서의 FFU(44)의 흡입측의 압력의 변동이 작아진다. 따라서, 각 FFU(44)의 팬(44a)으로부터 반송실(41)로의 질소의 공급량의 변동이 보다 억제된다.
변형예로서, 공급구(47a)는, 하우징(2)의 천장부의 격벽(32) 또는 후단부의 격벽(34)을 향해 질소가 공급되도록 구성되어 있어도 된다. 이것에 있어서도, 전술과 동일하게, 공급구(47a)로부터 공급된 질소의 기세가 약하게 되어 흐르고, 각 FFU(44)의 팬(44a)으로부터 반송실(41)로의 질소의 공급량의 변동이 보다 억제된다.
귀환로(43)가, 4개의 공간(21a 내지 24a)(제1 유로)과 접속되는 공간(27a)(제2 유로)을 가지고, 공간(27a)을 갖는 연결관(27)에 송출구(27f 내지 27h)가 형성되어 있는 점에서, 반송실(41)로부터의 가스가 4개의 공간(21a 내지 24a)을 통해 일단, 공간(27a)으로 흐르고 나서 FFU 설치실(42)로 흐른다. 보다 상세하게는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 공간(21a)으로부터의 가스가 공간(27a)을 통해 송출구(27f)를 향하며, 공간(22a)으로부터의 가스가 공간(27a)을 통해 좌우의 송출구(27f, 27g)를 향하고, 공간(23a)으로부터의 가스가 공간(27a)을 통해 좌우의 송출구(27g, 27h)를 향하고, 공간(24a)으로부터의 가스가 공간(27a)을 통해 송출구(27h)를 향하여 흐른다. 이렇게 4개의 공간(21a 내지 24a)으로부터의 가스를 일단 공간(27a)으로 흐르게 함으로써, 4개의 공간(21a 내지 24a) 사이에서의 가스의 유통량의 변동을 흡수하는 것이 가능해진다. 본 실시 형태에 있어서는, 공간(21a, 24a)의 개구 면적이 공간(22a, 23a)보다도 크게 되어 있으며, 공간(21a, 24a)쪽이 가스의 유통량이 많아지지만, 공간(27a)에서 각 공간(21a 내지 24a)으로부터의 가스가 합류되고, 각 송출구(27f 내지 27h)로부터 FFU 설치실(42)에 송출된다. 이 때문에, 각 공간(21a 내지 24a)으로부터 직접, FFU 설치실(42)에 가스가 송출될 때보다도, 송출구(27f 내지 27h)로부터의 가스의 송출량이 안정되고, 각 팬(44a)의 흡입측의 압력의 변동도 억제되어, 각 팬(44a)으로부터 반송실(41)로의 질소의 공급량의 변동이 보다 억제된다.
각 송출구(27f 내지 27h)는 좌우 방향에 있어서, 인접하는 2개의 공간(21a 내지 24a) 사이에 각각 배치되어 있기 때문에, 당해 인접하는 2개의 공간(21a 내지 24a)으로부터의 가스의 유통량에 변동이 있어도 송출구(27f 내지 27h)로부터의 가스의 송출량이 보다 안정된다. 이 때문에, 팬(44a)으로부터 반송실(41)로의 질소의 공급량의 변동이 한층 더 억제된다.
또한, 각 송출구(27f 내지 27h)는 전후 방향에 있어서, 공급구(47a) 사이에서 팬(44a)을 사이에 두는 위치에 배치되어 있다. 이에 의해, 귀환로(43)로부터 팬(44a)에 흐르는 FFU 설치실(42) 내의 기류가 흐트러지기 어렵게 되어, 각 팬(44a)으로부터 반송실(41)로의 질소의 공급량의 변동이 한층 더 억제된다.
이상, 본 발명의 적합한 실시 형태에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상술한 실시 형태에 한정되는 것은 아니고, 특허 청구 범위에 기재한 한에 있어서 각종 변경이 가능한 것이다. 전술한 실시 형태에 있어서는, 공급관(47)에 형성된 3개의 공급구(47a)가 FFU 설치실(42)에 있어서, 분산되어 배치되어 있었지만, 공급관(47)에 2 또는 4 이상의 공급구(47a)가 FFU 설치실(42)에 있어서, 분산되어 배치되어 있어도 된다. 또한, 공급관(47) 대신에, 다공질관(예를 들어, 에어 스톤 등)이 FFU 설치실(42)에 배치되어 있어도 된다. 이것에 있어서도 다공질관의 복수의 공급구가 FFU 설치실(42)에 있어서 분산되어 배치되고, 전술한 실시 형태와 동일한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 복수의 공급구(47a)는 FFU 설치실(42)의 어디에 배치되어 있어도 된다. 즉, 하우징(2)의 전단부측에 배치되어 있어도 된다. 또한, 가스 흡인구로서의 개구(28a)는 반송실(41)의 하부보다도 상방에 배치되어 있어도 된다. 또한, 귀환로(43)는 제1 유로로서의 공간(21a 내지 24a)만으로 구성되고, 각 공간(21a 내지 24a)으로부터 FFU 설치실(42)에 직접, 가스가 송출되어도 된다. 이 경우, 제1 유로로서의 공간이 1 내지 3 또는 5 이상이어도 된다. 또한, 귀환로(43)가 제2 유로로서의 공간(27a)을 갖는 경우, 제1 유로로서의 공간이 2, 3 또는 5 이상이어도 된다.
또한, 각 송출구(27f 내지 27h)가 좌우 방향에 있어서, 인접하는 2개의 공간(21a 내지 24a) 사이에 배치되어 있지 않아도 된다. 팬(44a)(FFU(44))은 2 또는 4 이상 설치되어 있어도 된다. 이 경우, 연통구(37a)도 팬(44a)와 대응하여 지지판(37)에 형성되어 있으면 된다.
또한, 송출구(27f 내지 27h) 대신에, 예를 들어 다수의 구멍이 형성된 펀칭 메탈(도시하지 않음)을 연결관(27)의 상면 전체에 설치하거나 하여, 기체의 흐름을 바꾸어도 된다.
또한, 기둥(21 내지 24) 및 연결관(27)의 내부에 형성된 공간(21a 내지 24a, 27a)이 귀환로(43)인 것으로 하였지만, 이것에는 한정되지 않는다. 즉, 귀환로(43)는 다른 부재에 의해 형성되어 있어도 된다.
1: EFEM
2: 하우징
3: 반송 로봇(기판 반송 장치)
4: 로드 포트
21a 내지 24a: 공간(제1 유로)
27a: 공간(제2 유로)
27f 내지 27h: 송출구
28a: 개구(가스 흡인구)
33: 격벽
33a1: 개구
37: 지지판
37a: 연통구
37b: 영역
41: 반송실
42: FFU 설치실(상부 공간)
43: 귀환로(가스 귀환로)
44a: 팬(송풍기)
47: 공급관(불활성 가스 공급 수단)
47a: 공급구
49: 배출관(가스 배출 수단)
W: 웨이퍼(기판)

Claims (6)

  1. 격벽에 설치된 개구에 로드 포트가 접속됨으로써 폐쇄되고, 기판을 반송하기 위한 반송실을 내부에 구성하는 하우징과,
    상기 반송실 내에 배치되고, 상기 기판의 반송을 행하는 기판 반송 장치와,
    상기 하우징 내에 설치되고, 상기 반송실의 상방에 상부 공간을 구성하기 위한 구획 부재와,
    상기 상부 공간에 불활성 가스를 공급하기 위한 불활성 가스 공급 수단과,
    상기 구획 부재에 형성되고, 상기 반송실과 상기 상부 공간을 연통시키는 연통구와,
    상기 연통구를 덮도록 배치되고, 상기 연통구를 거쳐서 상기 상부 공간의 불활성 가스를 상기 반송실에 보내기 위한 송풍기를 구비하고 있고,
    상기 불활성 가스 공급 수단은, 상기 상부 공간 내에 있어서 상기 하우징을 평면으로 보았을 때의 길이 방향을 따라서 배치된 공급관을 구비하고,
    상기 공급관은 불활성 가스를 공급하기 위한 복수의 공급구를 갖고 있는 것을 특징으로 하는, EFEM.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 반송실의 하부에 설치되고, 해당 반송실의 불활성 가스를 흡인하는 가스 흡인구와, 상기 가스 흡인구로부터 흡인된 불활성 가스를 상기 상부 공간에 귀환시키는 가스 귀환로를 더 구비하는 것을 특징으로 하는, EFEM.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 복수의 공급구는, 상기 가스 귀환로와 상기 상부 공간의 접속부 상부를 피하여 분산 배치된 것을 특징으로 하는, EFEM.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 공급구는, 상기 송풍기보다도 상류로부터 불활성 가스를 공급하는 것을 특징으로 하는, EFEM.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 공급관은, EFEM의 측면으로부터 연장되어 있는 것을 특징으로 하는, EFEM.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 공급구는, 상기 송풍기의 상부를 피하여 배치되는 것을 특징으로 하는, EFEM.
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