JP7171410B2 - ウェーハ搬送装置 - Google Patents
ウェーハ搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7171410B2 JP7171410B2 JP2018235208A JP2018235208A JP7171410B2 JP 7171410 B2 JP7171410 B2 JP 7171410B2 JP 2018235208 A JP2018235208 A JP 2018235208A JP 2018235208 A JP2018235208 A JP 2018235208A JP 7171410 B2 JP7171410 B2 JP 7171410B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- foreign matter
- wafer
- foreign
- robot
- transfer robot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
ウェーハを搬送する搬送ロボットと、
空気清浄空間を形成するとともに前記搬送ロボットを収容する収容構造と、
前記搬送ロボットの移動に起因して動作し、異物を前記収容構造の外部に排出する異物排出機構と、
を備える。
図2に、本発明の実施例1に係るウェーハ搬送装置101(搬送装置)の構成の例を示す。図2(A)は内部の上視図(後述のファンフィルタユニット104側から見た図)であり、図2(B)は内部の側視図である。
実施例2は、実施例1において、気流ガイドを追加するものである。以下、実施例1との相違を説明する。
実施例3は、実施例1において蓋302の材料を変更し、通気性を持った蓋とするものである。以下、実施例1との相違を説明する。
実施例4は、実施例1において、異物排出機構201を能動的に開閉させる制御を可能にしたものである。以下、実施例1との相違を説明する。
実施例5は、実施例1において、搬送装置101内に追加のファンを設けるものである。追加のファンは、たとえば搬送装置101下部に設けられる。以下、実施例1との相違を説明する。
実施例6は、実施例5において、ファン801の向きを変更し、場合によっては動作タイミングも変更するものである。以下、実施例5との相違を説明する。
実施例7は、実施例1において異物排出機構201の構成を変更するものである。以下、実施例1との相違を説明する。
Claims (9)
- ウェーハ搬送装置であって、
ウェーハを搬送する搬送ロボットと、
空気清浄空間を形成するとともに前記搬送ロボットを収容する収容構造と、
前記搬送ロボットの移動に起因して動作し、異物を前記収容構造の外部に排出する異物排出機構と、
前記ウェーハ搬送装置の壁面内側を上向きに流れる気流を、外側に向けてガイドするための気流ガイドと、
を備え、
前記気流ガイドは、
庇状に形成され、前記異物排出機構の上方に設置される、或いは、
前記ウェーハ搬送装置の壁の内表面から、内側かつ下側に向かって延びるガイドとして形成される、
ウェーハ搬送装置。 - 請求項1に記載のウェーハ搬送装置において、
前記異物排出機構は、開口部と、前記開口部に配置される蓋とを備え、
前記蓋は、前記搬送ロボットの移動により発生する気圧差によって動作する、
ウェーハ搬送装置。 - 請求項1に記載のウェーハ搬送装置において、前記異物排出機構は、前記収容構造の内部から外部に向けて上向きに開口する鎧窓を備える、ウェーハ搬送装置。
- 請求項1に記載のウェーハ搬送装置において、前記気流ガイドは、平面状の板として形成されるとともに、前記ウェーハを格納する格納容器の下方に、当該格納容器の下端から100mm以上隔てた位置に設けられている、ウェーハ搬送装置。
- 請求項1に記載のウェーハ搬送装置において、前記異物排出機構は、空気を通過させるが前記異物は通過させないフィルタ素材を備える、ウェーハ搬送装置。
- 請求項1に記載のウェーハ搬送装置において、前記異物排出機構は、前記異物排出機構を制御および駆動する駆動機構を備える、ウェーハ搬送装置。
- 請求項1に記載のウェーハ搬送装置において、前記搬送ロボットが前記異物排出機構に向かって移動する場合に、前記異物排出機構に向かって気流を発生させるファンを備える、ウェーハ搬送装置。
- ウェーハを搬送する搬送ロボットと、
空気清浄空間を形成するとともに前記搬送ロボットを収容する収容構造と、
前記搬送ロボットの移動に起因して動作し、異物を前記収容構造の外部に排出する異物排出機構と、
前記異物排出機構以外の開口部と、
前記搬送ロボットが前記異物排出機構に向かって移動する場合に、前記異物排出機構以外の前記開口部に向けて気流を発生させるファンと、
を備える、ウェーハ搬送装置。 - 請求項1に記載のウェーハ搬送装置において、前記異物排出機構は、前記異物を吸着する吸着体を備える、ウェーハ搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018235208A JP7171410B2 (ja) | 2018-12-17 | 2018-12-17 | ウェーハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018235208A JP7171410B2 (ja) | 2018-12-17 | 2018-12-17 | ウェーハ搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020098809A JP2020098809A (ja) | 2020-06-25 |
JP7171410B2 true JP7171410B2 (ja) | 2022-11-15 |
Family
ID=71106193
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018235208A Active JP7171410B2 (ja) | 2018-12-17 | 2018-12-17 | ウェーハ搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7171410B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116344413B (zh) * | 2023-03-28 | 2024-03-22 | 上海广川科技有限公司 | 一种用于半导体晶圆传输系统的晶圆暂存单元结构 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004044989A (ja) | 2002-07-15 | 2004-02-12 | Rorze Corp | 薄板状電子部品搬送装置及び薄板状電子製品製造設備 |
JP2005311260A (ja) | 2004-04-26 | 2005-11-04 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 液晶基板の保管倉庫室 |
JP2010157550A (ja) | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Toshiba Corp | ウエハテストシステム |
JP2012116647A (ja) | 2010-12-03 | 2012-06-21 | Hitachi High-Tech Control Systems Corp | 局所クリーン化搬送装置 |
JP2016192507A (ja) | 2015-03-31 | 2016-11-10 | 株式会社Screenホールディングス | 基板搬送装置、基板処理装置および基板搬送方法 |
JP2018037475A (ja) | 2016-08-30 | 2018-03-08 | 株式会社日立ハイテクマニファクチャ&サービス | ウェーハ搬送装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0640333A (ja) * | 1992-07-23 | 1994-02-15 | Daifuku Co Ltd | クリーン装置付き台車 |
-
2018
- 2018-12-17 JP JP2018235208A patent/JP7171410B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004044989A (ja) | 2002-07-15 | 2004-02-12 | Rorze Corp | 薄板状電子部品搬送装置及び薄板状電子製品製造設備 |
JP2005311260A (ja) | 2004-04-26 | 2005-11-04 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 液晶基板の保管倉庫室 |
JP2010157550A (ja) | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Toshiba Corp | ウエハテストシステム |
JP2012116647A (ja) | 2010-12-03 | 2012-06-21 | Hitachi High-Tech Control Systems Corp | 局所クリーン化搬送装置 |
JP2016192507A (ja) | 2015-03-31 | 2016-11-10 | 株式会社Screenホールディングス | 基板搬送装置、基板処理装置および基板搬送方法 |
JP2018037475A (ja) | 2016-08-30 | 2018-03-08 | 株式会社日立ハイテクマニファクチャ&サービス | ウェーハ搬送装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020098809A (ja) | 2020-06-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107039322B (zh) | 微环境装置 | |
US7014672B2 (en) | Carrying vehicle, manufacturing apparatus, and carrying system | |
KR101178787B1 (ko) | 기판 수납 설비, 기판 처리 설비 및 기판 수납 설비의 작동방법 | |
TWI381982B (zh) | 基板處理方法 | |
US7694817B2 (en) | Container for storing substrate having ventilated lid and fan | |
KR101433068B1 (ko) | 기판 수납 장치 | |
JP2003249535A (ja) | 被処理体の導入ポート構造 | |
JP6674869B2 (ja) | ウェーハ搬送装置 | |
JP7171410B2 (ja) | ウェーハ搬送装置 | |
JP4029968B2 (ja) | 搬送車、製造装置及び搬送システム | |
JP7137047B2 (ja) | Efem、及び、efemにおけるガス置換方法 | |
TWI736662B (zh) | 容器收納設備 | |
JP2006019726A (ja) | ウェーハ移送システム及びシステム内の圧力調整方法 | |
TWI392049B (zh) | 收容盒搬運系統 | |
JP4364396B2 (ja) | 物品容器開閉・転送装置 | |
JPH06340304A (ja) | 筐体の収納棚及び筐体の搬送方法並びに洗浄装置 | |
JP4260298B2 (ja) | 半導体部品の製造方法 | |
JP2004269214A (ja) | 浄化空気通風式の保管設備 | |
JP2001102426A (ja) | 物品容器開閉・転送装置および物品容器開閉・転送方法 | |
JP2000085963A (ja) | クリーン作業装置 | |
JPH11238777A (ja) | カセット搬送装置及びこれを備えたカセット搬送システム | |
JP7464471B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
JP2002172569A (ja) | ハンド駆動機構およびそれを用いたロボット | |
JPH0285056A (ja) | 自己クリーン機能付搬送車 | |
KR101654619B1 (ko) | 기판 처리 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20201106 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210325 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220308 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220426 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220906 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220929 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20221018 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20221102 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7171410 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |