JP2000085963A - クリーン作業装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ケーシング１内のクリーン空間２に組立ロボ
ット１７が設置された組立ステーションＡをクリーント
ンネルＢで接続し、組立ステーションＡないしクリーン
トンネルＢ内の搬送コンベア１３，１３，…によりワー
クを搬送しながら組立ロボット１７により組立作業を行
う場合に、クリーン空間２のクリーン環境を良好に維持
しながら、クリーン空間２でのメンテナンス等の作業の
作業性を高める。 【解決手段】 組立ステーションＡのケーシング１前壁
に、ケーシング１外から作業用具を用いて作業するため
の作業用開口部１９を形成し、この開口部１９をメンテ
ナンス用扉２０により密閉する。クリーン空間２に、作
業用具を収納する用具収納箱２３を作業用開口部１９に
対応して配設し、クリーン空間２の圧力を高くした状態
で、メンテナンス用扉２０を開いて開口部１９により用
具収納箱２３内の作業用具を用いて作業するようにす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、クリーン空間でワ
ークの組立てを行う組立ステーションや搬送物を搬送す
るクリーントンネルに対し、そのクリーン空間でメンテ
ナンス等の作業を行うようにしたクリーン作業装置に関
する技術分野に属する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、ケーシング内のクリーン空間
に搬送コンベアが設置されかつクリーン空間の天井部に
クリーンエア供給用の給気ダクトと連通する給気口が形
成されたクリーンモジュールを設け、これら複数のクリ
ーンモジュールを、各々のクリーン空間同士が略気密状
に連通するように直列に接続して、搬送物を複数のクリ
ーンモジュールの搬送コンベア間に亘り順に受け渡しな
がら搬送することにより、クリーン度を要求される搬送
物を搬送するようにしたクリーントンネルは知られてい
る。

【０００３】例えば特許第２５１７１１２号に示される
ものでは、各クリーンモジュールの接続部に分割板を着
脱可能に設け、クリーンモジュールにおける搬送コンベ
ア等のメンテナンスや修理の作業を行うときには、その
クリーンモジュール内のクリーン空間を他のクリーンモ
ジュールのクリーン空間に対し分割板によって連結遮断
することにより、クリーントンネル全体のクリーン環境
を破壊することなく、メンテナンス等の作業を行い得る
ようになされている。

【０００４】また、特開平７―２８０３１３号公報に示
されるように、ケーシング内部のクリーン空間に組立ロ
ボットを有する複数の組立ステーション間をクリーント
ンネルにより接続し、この組立ステーションに亘ってク
リーントンネルを介してワーク（搬送物）を搬送しなが
ら各組立ステーションの組立ロボットによりワークの組
立てを行う場合、各組立ステーションのケーシング側壁
に開口部を設けて、その開口部をメンテナンス用扉によ
り密閉しておき、各組立ステーションで組立ロボットの
メンテナンス等の作業を行うときには、メンテナンス用
扉を開いて開口部から作業を行うとともに、組立ステー
ションのクリーン空間からの下方への排気流量を通常時
よりも低減してクリーン空間の圧力をケーシング外より
も高くし、ケーシング外の一般エアが開口部を経てクリ
ーン空間に侵入するのを防止することが提案されてい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記前者の
従来例（特許第２５１７１１２号）では、コンベアのメ
ンテナンス等を行う対象のクリーンモジュール両側の分
割板を閉じて、そのクリーンモジュール内のクリーン空
間と他のクリーンモジュールのクリーン空間との連通を
遮断し、そのクリーン空間をクリーンモジュール外の一
般エアに開放した状態でメンテナンス等の作業を行うの
で、その作業性に問題はない。

【０００６】しかし、その反面、作業を行う際、その対
象のクリーンモジュール全体のクリーン空間が一般に開
放されるので、クリーントンネルのクリーン環境を良好
に維持できるとは言い難い。また、このように作業中に
クリーンモジュールのクリーン空間がクリーン環境から
外れると、その作業後にクリーン空間を元のクリーン環
境に戻すのに時間がかかるという問題があった。

【０００７】一方、後者の従来例（特開平７―２８０３
１３号公報）では、組立ステーションのクリーン空間で
作業を行う際、そのケーシング側壁の開口部を開放する
だけであるので、上記前者の従来例に比べ、クリーン空
間のクリーン環境を良好に維持することができる。しか
し、メンテナンス用扉により開放された開口部を経て作
業用具をクリーン空間に持ち込む手間が必要であり、作
業性が今１つ不十分である。

【０００８】また、作業用具を開口部からクリーン空間
に持ち込むので、その作業用具に付着したダストにより
クリーン空間のクリーン環境が破壊される虞れがある。
従って、そのクリーン環境を維持するためには、作業用
具を清浄にしておかねばならず、その手間が面倒で改良
の余地があった。

【０００９】本発明は斯かる諸点に鑑みてなされたもの
で、その目的は、上記のようなクリーントンネル内や組
立ステーション内のクリーン空間の内部構造を改良する
ことにより、クリーン空間でメンテナンス等の作業を行
う際、そのクリーン環境を良好に維持しながら、又はク
リーン環境から外れても早期に元のクリーン環境に復帰
させながら、作業性を向上させ得るようにすることにあ
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成すべ
く、この発明では、クリーントンネルや組立ステーショ
ンのケーシングに密閉可能の作業用開口部を形成すると
ともに、ケーシング内のクリーン空間には、この作業用
開口部に対応した位置に作業用具の収納部を配置し、ケ
ーシング外から開口部により用具収納部の作業用具を用
いて作業を行い得るようにした。

【００１１】具体的には、請求項１の発明では、ケーシ
ング内に設けられてダウンフローのクリーンエアが供給
されるクリーン空間で所定の作業を行うようにしたクリ
ーン作業装置が対象である。

【００１２】そして、上記ケーシングの壁部に、ケーシ
ング外から作業用具（この発明では、例えば作業用の工
具の他に接着剤や部品をも含むものとする）を用いて作
業するための密閉可能の作業用開口部を開口する。ま
た、上記クリーン空間に、上記作業用具を収納する用具
収納部を上記作業用開口部に対応して配設する。

【００１３】この構成によれば、クリーン空間でメンテ
ナンス等の作業を行う場合、ケーシングの外側から作業
用開口部によりクリーン空間における用具収納部の作業
用具を用いて必要な作業を行えばよい。

【００１４】すなわち、例えば密閉されている作業用開
口部を開いて作業するときには、その作業用開口部は、
ケーシングの壁部のみに開口されている比較的小さなも
のであるので、作業中に作業用開口部からクリーン空間
に一般エアが多量に侵入することはなく、また、その作
業用開口部からの一般エアの侵入によってクリーン空間
のクリーン環境が外れたとしても、作業後に作業用開口
部を密閉することで、クリーン環境への復帰が素早く行
われる。一方、作業用開口部をグローブ等により密閉し
て作業するときには、作業中に作業用開口部からクリー
ン空間に一般エアが全く侵入しない。そして、上記用具
収納部の作業用具はクリーン空間に配置されているの
で、作業用具をクリーントンネル外から持ち込んで作業
をする場合に比べ、作業用具自体による汚染を防止する
ことができる。従って、これらによりクリーン空間を良
好なクリーン環境に保つことができる。

【００１５】また、上記用具収納部はクリーン空間にお
いて作業用開口部に対応して配設されているので、作業
者は作業用開口部から手を入れて、その作業用開口部の
近くの用具収納部の作業用具を容易に手にすることがで
きる。よってクリーントンネルでの作業を、クリーン環
境を維持したまま作業性よく行うことができ、クリーン
環境の維持と作業性の向上との両立を図ることができ
る。

【００１６】請求項２の発明では、上記用具収納部に多
数の通気用孔を開口させる。こうすると、ダウンフロー
のクリーンエアが用具収納部の通気用孔をスムーズに通
過するようになり、用具収納部と作業用具との接触や作
業用具同士の接触等により発塵しても、そのダストは用
具収納部下側に流れてクリーン空間から排出され、クリ
ーン空間のクリーン環境を良好に維持することができ
る。

【００１７】請求項３の発明では、上記クリーン空間に
搬送手段が設置され、この搬送手段の搬送部よりも下側
に用具収納部を配置する。すなわち、クリーン空間で
は、クリーンエアのダウンフローが生じているので、上
記用具収納部と作業用具との接触や作業用具同士の接触
等により生じたダストが用具収納部上側の搬送手段の搬
送部に移動しようとしても、その移動は上記ダウンフロ
ーのクリーンエアにより阻止され、よって搬送手段によ
り搬送される搬送物に対するクリーン度を良好に維持す
ることができる。

【００１８】請求項４の発明では、ケーシング外の一般
エアが作業用開口部を経てクリーン空間へ侵入するのを
規制する規制手段を設ける。こうすると、作業中に、ケ
ーシング外の一般エア中のダストが作業用開口部を経て
クリーン空間に持ち込まれるのを抑制でき、クリーン空
間のクリーン環境をさらに良好に維持することができ
る。

【００１９】請求項５の発明では、作業用開口部は開閉
体により開閉されるように構成する。そして、上記規制
手段は、上記開閉体が少なくとも開いた状態で作業用開
口部近くのクリーン空間の圧力をケーシング外よりも上
昇させるものとする。例えば作業用開口部近くのクリー
ン空間に供給されるクリーンエアの供給量を通常時より
も増加させたり、或いはクリーン空間から排出する排気
量を少なくしたりして、クリーン空間の圧力を高くする
ようにする。

【００２０】こうすれば、クリーン空間でメンテナンス
等の作業を行わない通常時には、作業用開口部を開閉体
により閉じておき、作業時には、開閉体により作業用開
口部を開き、その開口部を通して手を差し込んで作業を
行えばよい。その際、規制手段により、作業用開口部近
くのクリーン空間の圧力が高くされるので、開閉体を開
いたとしても、クリーン空間のエアが作業用開口部から
ケーシング外に流出するのみで、逆に、ケーシング外の
一般エアが作業用開口部からクリーン空間に侵入するの
は抑制され、その一般エアによるダストの持込みを防止
できる。よって、作業中であっても、クリーン空間の内
部を良好なクリーン環境に維持することができる。

【００２１】また、このように作業用開口部近くのクリ
ーン空間の圧力が高くされた状態で作業を行うので、こ
の作業中にクリーン空間のクリーン環境が外れたとして
も、そのクリーン環境への復帰がクリーン空間の圧力が
高い分だけ素早く行われ、クリーン環境を安定して維持
することができる。

【００２２】請求項６の発明では、規制手段は、作業用
開口部を密閉するグローブとする。この場合、作業を行
うときには、ケーシング外から作業用開口部のグローブ
に手を入れ、クリーン空間において作業用開口部に対応
している用具収納部の作業用具を掴んで作業を行えばよ
く、作業性を高めることができる。また、グローブはク
リーン空間とケーシング外との連通を遮断しているの
で、クリーン空間のクリーン環境が破壊されることはな
い。

【００２３】

【発明の実施の形態】（実施形態１）図１及び図２は本
発明の実施形態１を示し、Ａ，Ａ，…はクリーン環境下
で例えばハードディスク装置等のワーク（図示せず）の
組立てを順に行う複数の組立ステーションであって、こ
れら組立ステーションＡ，Ａ，…間はクリーントンネル
Ｂ，Ｂ，…により接続されており、この各クリーントン
ネルＢを介してワークを各組立ステーションＡに順に搬
送するとともに、その各組立ステーションＡでワークに
対し所定の組立作業を行うようになっている。

【００２４】上記組立ステーションＡ，Ａ，…は互いに
略同じもので、フロア上に設置された透明材料からなる
ケーシング１を備えている。このケーシング１の内部に
はクリーン空間２と、このクリーン空間２の下側に位置
し、クリーン空間２に対し隔壁３を介して仕切られた排
気空間４とが区画形成され、この排気空間４はケーシン
グ１下壁の排気孔（図示せず）によりケーシング１外に
開放されている。上記クリーン空間２の床部つまり隔壁
３には例えば多数の貫通孔等からなる排気口５が開口さ
れており、クリーン空間２は床部の排気口５を介して排
気空間４に連通している。

【００２５】上記ケーシング１内の上部にはＨＥＰＡ
（High Efficient Particle Arrester）フィルタ８がそ
の上側の空間をクリーン空間２と区画するように配置さ
れ、このＨＥＰＡフィルタ８の上側の空間にはブロア
９，９が設けられている。また、ケーシング１の上壁に
はエア吸入口１０が開口され、このエア吸入口１０には
プリフィルタ１１が嵌め込まれており、ケーシング１外
の一般エアをプリフィルタ１１で濾過して各ブロア９に
吸い込み、この各ブロア９からの吐出エアをＨＥＰＡフ
ィルタ８により濾過して例えばクラス１００（０．５μ
ｍを越える粒径の微粒子を１立方フィート当たり１００
個未満しか許容しないレベル）のクリーンエアとし、こ
のクリーンエアをクリーン空間２に供給するとともに、
このクリーン空間２のエアを排気口５ないし排気空間４
を介してケーシング１外に排出し、このことでクリーン
空間２にクリーンエアのダウンフローを生成するように
している。

【００２６】上記クリーン空間２の床部（隔壁３）上の
前側には左右方向（搬送方向）に延びる搬送手段として
の搬送コンベア１３が設置されている。この搬送コンベ
ア１３は、クリーン空間２下部に位置する前後のコンベ
アフレーム１４，１４間の左右端部にそれぞれ前後方向
の軸心をもって軸支された１対のローラ１５，１５と、
これら左右のローラ１５，１５間に巻き掛けられたコン
ベアベルト１６とを備えてなり、左右ローラ１５，１５
の回転によりコンベアベルト１６を回行させてその上側
スパン１６ａ上でワークを搬送するようにしている。

【００２７】また、ケーシング１内の下部にはクリーン
空間２で各種の組立作業を行う組立ロボット１７がハン
ド部１７ａをクリーン空間２に臨ませた状態で立設され
ており、クリーン空間２の搬送コンベア１３におけるコ
ンベアベルト１６の上側スパン１６ａ上を搬送されてき
たワークに対し組立ロボット１７により所定の組立作業
を行うようにしている。

【００２８】上記ケーシング１の図２右側の前壁には、
ケーシング１内のクリーン空間２をケーシング１外に連
通する作業用開口部１９が開口されている。また、ケー
シング１前面には、上記作業用開口部１９を開閉する開
閉体としてのメンテナンス用扉２０が作業用開口部１９
上側のケーシング１に蝶番２１，２１にて支持された状
態で配置され、このメンテナンス用扉２０を閉じたとき
に作業用開口部１９は略気密状に閉鎖され、その作業用
開口部１９によるクリーン空間２とケーシング１外との
連通が遮断される。

【００２９】また、上記クリーン空間２の床部（隔壁
３）の前端部、すなわち搬送コンベア１３よりも前側に
は、搬送コンベア１３の搬送部である、コンベアベルト
１６の上側スパン１６ａよりも下側に位置しかつ作業用
具（図示せず）を収納する用具収納箱２３が上記作業用
開口部１９に対応した状態、換言すれば作業用開口部１
９の内側下方に位置した状態で取付固定され、この用具
収納箱２３の底部には多数の通気用孔２３ａ，２３ａ，
…が開口されている。尚、上記作業用具は、例えば搬送
コンベア１３上のワークの引掛かり、搬送コンベア１３
や組立ロボット１７の故障等のトラブルをなくすために
使用されるもので、作業用の工具や接着剤、部品等であ
る。

【００３０】さらに、ケーシング１外の一般エアが上記
作業用開口部１９を経てクリーン空間２へ侵入するのを
規制する規制手段が設けられている。具体的には、この
規制手段は、上記メンテナンス用扉２０が開いた状態
で、ブロア９の回転数を通常時よりも増加させて、クリ
ーン空間２の圧力をケーシング１外よりも上昇させるよ
うに構成されている（尚、メンテナンス用扉２０の開閉
状態に関係なく常に、クリーン空間２の圧力をケーシン
グ１外よりも高くするようにすることもできる）。

【００３１】一方、上記各クリーントンネルＢは、左右
方向に延びる角筒状の透明材料からなるケーシング３１
を有し、このケーシング３１の左右開口端部は、各組立
ステーションＡのケーシング１の左右側壁にクリーン空
間２と連通するように開口した開口部（図示せず）に気
密状に接続されており、このことで、クリーントンネル
Ｂのケーシング３１内の空間は、組立ステーションＡの
クリーン空間２に連通するクリーン空間に形成されてい
る。そして、このクリーントンネルＢのケーシング３１
内の空間には、左右のローラ１５，１５間にコンベアベ
ルト１６を巻き掛けてなる搬送コンベア１３が各組立ス
テーションＡの搬送コンベア１３と同じ高さ位置にワー
クを移載可能に設置されており、このクリーントンネル
Ｂの搬送コンベア１３によりワークを組立ステーション
Ａの搬送コンベア１３に対し受け渡しながら搬送するよ
うにしている。

【００３２】次に、上記実施形態の作用について説明す
る。通常の状態では、各組立ステーションＡのメンテナ
ンス用扉２０は閉じて、ケーシング１前側の作業用開口
部１９は気密状に閉鎖されている。また、ブロア９，９
から吐出されたエアがＨＥＰＡフィルタ８により濾過さ
れてクリーンエアとなり、このクリーンエアはクリーン
空間２に供給される。そして、このクリーン空間２内の
エアは床部の排気口５ないし排気空間４を介してケーシ
ング１外に排出され、このようなエアの流れによりクリ
ーン空間２内にクリーンエアのダウンフローが生じる。
この状態で各組立ステーションＡ及び各クリーントンネ
ルＢの搬送コンベア１３，１３がそれぞれ作動し、ワー
クがこれら複数の搬送コンベア１３，１３，…に順に搬
送され、各組立ステーションＡの搬送コンベア１３上の
ワークに対し組立ロボット１７が所定の組立作業を行
う。

【００３３】このような動作中、組立ステーションＡに
おいて、例えば搬送コンベア１３にワークが引掛かって
搬送されなくなったり、或いは搬送コンベア１３が故障
したりする等のトラブルが発生したとき、そのことが透
明なケーシング１を透して、或いは組立ロボット１７に
よる動作異常のセンシング機能により検知される。その
ときには、まず、その対象の組立ステーションＡにおけ
る搬送コンベア１３の搬送作動自体を停止させ、次い
で、ブロア９，９の回転数を通常時よりも増加させてク
リーン空間２の圧力をケーシング１外の圧力よりも上昇
させる。その状態で、作業者がケーシング１前側のメン
テナンス用扉２０を開き操作して作業用開口部１９を開
き、この作業用開口部１９から手をクリーン空間２に入
れて、作業用開口部１９の内側下方に位置している用具
収納箱２３内の作業用具を取り出し、搬送コンベア１３
上のワークの引掛かりや搬送コンベア１３の故障等のト
ラブルをなくす作業を行う。

【００３４】その際、上記クリーン空間２の圧力がケー
シング１外よりも高くなっているので、上記の如く作業
用開口部１９が開いても、クリーン空間２のエアが作業
用開口部１９からケーシング１外に吹き出すのみとな
り、逆にケーシング１外の一般エアが作業用開口部１９
からクリーン空間２に侵入するのは抑えられる。このこ
とで、作業中、ケーシング１外の一般エア中のダストが
作業用開口部１９からクリーン空間２に侵入するのを防
止でき、そのクリーン空間２を通常時と同様の良好なク
リーン環境に維持することができる。

【００３５】また、このようにクリーン空間２の圧力が
上昇した状態で上記作業が行われるので、仮に、この作
業中に、クリーン空間２のクリーン環境が阻害されたと
しても、作業後に作業用開口部１９がメンテナンス用扉
２０により密閉されてからのクリーン環境への復帰は、
上記クリーン空間２の圧力が上昇している分だけ素早く
行われることとなり、よってクリーン環境を安定して維
持することができる。尚、このような作業の終了後は上
記と逆の動作を行った後に、搬送コンベア１３を搬送の
ために再作動させればよい。

【００３６】したがって、この実施形態では、組立ステ
ーションＡにおけるケーシング１内のクリーン空間２に
用具収納箱２３がケーシング１前壁の作業用開口部１９
に対応して設けられているので、上記のように、作業者
は作業用開口部１９から手を入れてその用具収納箱２３
内の作業用具を容易に取り上げることができる。よって
組立ステーションＡでの作業を、上記の如くクリーン環
境を維持したまま作業性よく行うことができ、組立ステ
ーションＡでのクリーン環境の維持と作業性の向上との
両立を図ることができる。

【００３７】また、上記用具収納箱２３の底壁に多数の
通気用孔２３ａ，２３ａ，…が開口されているので、ダ
ウンフローのクリーンエアが用具収納箱２３をスムーズ
に通過するようになり、用具収納箱２３とその内部の作
業用具との接触や作業用具同士の接触等により発塵して
も、そのダストは用具収納箱２３の下側に流れてクリー
ン空間２から排出される。よって、クリーン空間２のク
リーン環境をさらに良好に維持することができる。

【００３８】そして、このようにクリーン空間２に位置
する用具収納箱２３内に作業用具が収納されているの
で、この作業用具は、常にクリーン空間２内のクリーン
環境下に保持されることとなる。それ故、その作業用具
を組立ステーションＡ外からクリーン空間２に持ち込ん
で作業をする場合に比べ、作業用具自体による汚染を防
止でき、組立ステーションＡのクリーン環境をさらに良
好に維持できる。

【００３９】また、上記用具収納箱２３は、搬送コンベ
ア１３におけるコンベアベルト１６の上側スパン１６ａ
（搬送部）よりも下側に位置するので、上記用具収納箱
２３で生じたダストがコンベアベルト１６の上側スパン
１６ａまで移動しようとしても、それはクリーン空間２
のダウンフローのクリーンエアにより阻止される。よっ
て、ワークに対するクリーン度をも良好に維持すること
ができる。

【００４０】尚、上記実施形態では、ブロア９，９の回
転を通常時よりも上げることで、クリーン空間２の圧力
をケーシング１外よりも上昇させるようにしているが、
その他の規制手段によりクリーン空間２の圧力を上昇さ
せるようにしてもよい。例えば、クリーン空間２の床部
の排気口５を開閉してクリーン空間２から排気空間４へ
のエア排出量を調整する排気調整弁を配設し、通常時は
排気調整弁を全開状態に保つ一方、作業用開口部１９を
開いて作業するときには、排気調整弁を全閉状態に切り
換えて、クリーン空間２から排出されるエアの量を通常
時よりも少なくすることにより、クリーン空間２の圧力
を上昇させるようにしてもよい。

【００４１】或いは、クリーン空間２の天井部にＨＥＰ
Ａフィルタ８との間に給気口を開口させ、その給気口を
開閉してＨＥＰＡフィルタ８からクリーン空間２へのク
リーンエアの供給量を調整する給気調整弁を配設し、通
常時には、この給気調整弁を中程度の開度に保つ一方、
作業時には給気調整弁を全開状態に切り換え、そのクリ
ーン空間２に供給されるクリーンエアの量を増加させる
ことにより、クリーン空間２の圧力を上昇させるように
することもできる。

【００４２】また、作業用開口部１９はケーシング１の
前壁に部分的に開口されているものであるので、その開
かれた作業用開口部１９からの一般エアの侵入量はケー
シング１全体を開放するよりも少ない。そして、その一
般エアの侵入量が短時間であればある程度許容できる場
合は、上記のようにクリーン空間２の圧力をケーシング
１外よりも高くすることを不要としてもよい。

【００４３】（実施形態２）図３は本発明の実施形態２
を示し（尚、以下の各実施形態では、図１と同じ部分に
ついては同じ符号を付してその詳細な説明は省略す
る）、上記実施形態１では、作業用開口部１９をメンテ
ナンス用扉２０により密閉するようにしているのに対
し、作業用開口部１９をグローブにより密閉したもので
ある。

【００４４】すなわち、この実施形態では、ケーシング
１の前壁に開口されている作業用開口部１９はグローブ
２５により密閉され、そのグローブ２５の取付枠部２５
ａは作業用開口部１９周りに気密状に取付固定されてい
る。よって、グローブ２５は、ケーシング１外の一般エ
アが作業用開口部１９を経てクリーン空間２へ侵入する
のを規制する規制手段を構成している。その他の構成は
上記実施形態１と同様である。

【００４５】したがって、この実施形態において、組立
ステーションＡ内のクリーン空間２で作業を行う場合に
は、そのケーシング１の作業用開口部１９を密閉してい
るグローブ２５にケーシング１外から手を入れ、作業用
開口部１９の内側下方のクリーン空間２における用具収
納箱２３内の作業用具を用いて作業を行えばよく、その
作業性を高めることができる。

【００４６】また、上記グローブ２５は、組立ステーシ
ョンＡにおけるケーシング１内のクリーン空間２とケー
シング１外との連通を常時遮断しているので、作業中、
クリーン空間２のクリーン環境が破壊されることはな
い。よって、組立ステーションＡでのクリーン環境の維
持と作業性の向上との両立を図ることができる。

【００４７】尚、上記各実施形態では搬送コンベア１３
を組立ステーションＡ及びクリーントンネルＢに亘り複
数設けているが、搬送コンベア１３は１つでもよい。そ
の場合、作業を行う際は搬送コンベア１３全体を停止さ
せる必要がある。

【００４８】（実施形態３）図４及び図５は実施形態３
を示し、クリーントンネルＢの途中に作業用開口部１
９、メンテナンス用扉２０及び用具収納箱２３を設けた
ものである。すなわち、この実施形態では、クリーント
ンネルＢは、ハードディスク等のワーク（搬送物）をク
リーン環境下で搬送するために用いられるもので、その
ワーク搬送方向たる左右方向に延びる角筒状の透明材料
からなるケーシング３１の内部にはクリーン空間３２
と、このクリーン空間３２の上側に位置し、クリーン空
間３２に対し上隔壁３３を介して仕切られた給気ダクト
空間３４と、クリーン空間３２の下側に位置し、クリー
ン空間３２に対し下隔壁３５を介して仕切られた排気ダ
クト空間３６とが区画形成され、上記クリーン空間３２
の天井部つまり上隔壁３３は例えば多数の貫通孔等から
なる給気口３７が、また床部つまり下隔壁３５には同様
の排気口３８がそれぞれ開口されている。よって、クリ
ーン空間３２は天井部の給気口３７を介して給気ダクト
空間３４に、また床部の排気口３８を介して排気ダクト
空間３６にそれぞれ連通している。

【００４９】上記ケーシング３１の上面には複数のＨＥ
ＰＡフィルタ８，８，…（１つのみ図示する）がトンネ
ル長さ方向に所定間隔をあけて取付固定され、この各Ｈ
ＥＰＡフィルタ８は図外のブロアに接続されており、こ
のブロアから吐出されてＨＥＰＡフィルタ８により濾過
されたクリーンエアを給気ダクト空間３４に流して給気
口３７からクリーン空間３２に供給するとともに、この
クリーン空間３２のエアを排気口３８を介して排気ダク
ト空間３６に排出することで、クリーン空間３２にクリ
ーンエアのダウンフローを生成している。

【００５０】上記クリーン空間３２の床部（下隔壁３
５）上には左右方向（搬送方向）に延びる搬送手段とし
ての例えば１つ（複数であってもよい）の搬送コンベア
１３が設置されている。

【００５１】また、上記ケーシング３１の前壁（図５で
右側のもの）には複数の作業用開口部１９，１９，…が
トンネル長さ方向に所定間隔をあけて形成され、この各
作業用開口部１９はそれぞれケーシング３１前面のメン
テナンス用扉２０により密閉されている。

【００５２】また、上記クリーン空間３２の床部（下隔
壁３５）の前端部、すなわち搬送コンベア１３よりも前
側には、搬送コンベア１３のコンベアベルト１６の上側
スパン１６ａ（搬送部）よりも下側に位置する用具収納
箱２３が作業用開口部１９に対応してその内側下方に固
定されている。その他の構成は上記実施形態１と同様で
ある。

【００５３】したがって、この実施形態においては、ク
リーントンネルＢによりワークを搬送する通常時、その
各作業用開口部１９はメンテナンス用扉２０により密閉
されている。そして、ブロアから吐出されたエアがＨＥ
ＰＡフィルタ８により濾過されてクリーンエアとなり、
このクリーンエアは給気ダクト空間３４に供給された
後、その給気ダクト空間３４から天井部の給気口３７を
経てクリーン空間３２に供給される。このクリーン空間
３２内のエアは床部の排気口３８を介して排気ダクト空
間３６に排出される。このようにクリーン空間３２内に
クリーンエアのダウンフローが生じた状態で搬送コンベ
ア１３が作動してワークが搬送される。

【００５４】このようなクリーントンネルＢによるワー
クの搬送中、例えば搬送コンベア１３でワークが引掛か
って搬送されなくなったり、或いは搬送コンベア１３が
故障したりする等のトラブルが発生したとき、そのこと
が透明なケーシング３１を透して検知される。そのとき
には、まず、その搬送コンベア１３の搬送作動自体を停
止させ、次いで、搬送コンベア１３のトラブル発生位置
に最も近いブロア９を通常よりも高い速度で回転させ
て、その部分のクリーン空間３２の圧力をケーシング３
１外よりも高くする。その後に、ケーシング３１前側の
複数のメンテナンス用扉２０，２０，…のうち、搬送コ
ンベア１３のトラブル発生位置に最も近いメンテナンス
用扉２０を開いて作業用開口部１９を開放し、この作業
用開口部１９から作業者が手をクリーン空間３２に入れ
て、作業用開口部１９に対応して配置されている用具収
納箱２３内の作業用具を取り出し、搬送コンベア１３上
のワークの引掛かりや搬送コンベア１３の故障等のトラ
ブルをなくす作業を行えばよい。よって、この実施形態
でも、クリーントンネルＢでの作業を、クリーン環境を
良好に維持したまま作業性よく行うことができ、クリー
ン環境の維持と作業性の向上との両立を図ることができ
る。

【００５５】尚、この実施形態３において、クリーント
ンネルＢのケーシング３１における各作業用開口部１９
を上記実施形態２と同様にグローブ２５により密閉する
ようにしてもよい。

【００５６】また、実施形態３では、給気ダクト空間３
４及び排気ダクト空間３６をそれぞれクリーントンネル
Ｂのケーシング３１内に区画形成しているが、この給気
ダクト空間３４及び排気ダクト空間３６の少なくとも一
方をクリーントンネルＢのケーシング３１外にダクトと
して設けてもよい。

【００５７】また、実施形態３において、上記の如く、
給気調整弁や排気調整弁の開度調整を行うことにより、
開いた作業用開口部１９近くのクリーン空間３２の圧力
を高くするようにしてもよい。

【００５８】

【発明の効果】以上説明した如く、請求項１の発明によ
ると、ダウンフローのクリーンエアが供給されるクリー
ン空間をケーシング内に有するクリーントンネルや組立
ステーション等において、そのクリーン空間で作業する
場合に、ケーシングの壁部に、クリーントンネル外から
作業用具を用いて作業するための作業用開口部を密閉可
能に設け、クリーン空間に、上記作業用具を収納する用
具収納部を作業用開口部に対応して配設したことによ
り、クリーン空間のクリーン環境を良好に維持しなが
ら、そのクリーン空間での作業を作業用開口部近くに位
置する用具収納部の作業用具により作業性よく行うこと
ができ、クリーン環境の維持と作業性の向上との両立を
図ることができる。

【００５９】請求項２の発明によると、上記用具収納部
に多数の通気用孔を開口したことにより、ダウンフロー
のクリーンエアを用具収納部の通気用孔をスムーズに通
過させて、用具収納部で生じたダストをクリーン空間か
ら排出でき、クリーン空間のクリーン環境を良好に維持
することができる。

【００６０】請求項３の発明によると、クリーン空間に
搬送手段が設置されている場合、上記用具収納部を搬送
手段の搬送部よりも下側に配置したことにより、用具収
納部で発生したダストが搬送手段の搬送部に移動するの
をクリーン空間のダウンフローのクリーンエアにより阻
止して、搬送物に対するクリーン度を良好に維持するこ
とができる。

【００６１】請求項４の発明によると、ケーシング外の
一般エアが上記作業用開口部を経てクリーン空間へ侵入
するのを規制するようにしたことにより、作業中に、ケ
ーシング外の一般エア中のダストが作業用開口部を経て
クリーン空間に持ち込まれず、クリーン空間のクリーン
環境をさらに良好に維持することができる。

【００６２】そして、請求項５の発明によると、作業用
開口部は開閉体により開閉されるものとし、この開閉体
が開かれたときに作業用開口部近くのクリーン空間の圧
力を上昇させ、ケーシング外の一般エアのクリーン空間
への侵入を規制するようにしたことにより、開閉体を開
いて作業用開口部により作業する際、作業用開口部近く
のクリーン空間の圧力を高くし、ケーシング外の一般エ
アが作業用開口部からクリーン空間に侵入するのを抑制
して、クリーン空間をクリーン環境に維持することがで
きるとともに、作業中に、クリーン空間のクリーン環境
が外れたとしても、クリーン空間の圧力が高い分だけク
リーン環境への復帰を素早く行って、クリーン環境を安
定して維持することができる。

【００６３】請求項６の発明によると、作業用開口部を
グローブにより密閉するようにしたことにより、作業性
の向上とクリーン環境の維持とを両立させることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態１を示す正面図である。

【図２】実施形態１に係る組立ステーションの一部破断
側面図である。

【図３】本発明の実施形態２を示す図２相当図である。

【図４】実施形態３に係るクリーントンネルの一部破断
斜視図である。

【図５】実施形態３に係るクリーントンネルを搬送方向
と直交する方向に沿って切断した拡大断面図である。

【符号の説明】

Ａ 組立ステーション １ ケーシング ２ クリーン空間 ８ ＨＥＰＡフィルタ １３ 搬送コンベア（搬送手段） １６ コンベアベルト １６ａ 上側スパン（搬送部） １７ 組立ロボット １９ 作業用開口部 ２０ メンテナンス用扉（開閉体） ２３ 用具収納箱（用具収納部） ２３ａ 通気用孔 ２５ グローブ Ｂ クリーントンネル ３１ ケーシング ３２ クリーン空間

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山下 富和 兵庫県西宮市田近野町６番107号 新明和 工業株式会社開発技術本部内 (72)発明者 福井 茂次 兵庫県西宮市田近野町６番107号 新明和 工業株式会社開発技術本部内 (72)発明者 槙本 博之 兵庫県宝塚市新明和町１番１号 新明和工 業株式会社産機システム事業部内 Ｆターム(参考） 3L058 BF03 BF05 BF08

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ケーシング内に設けられてダウンフロー
   のクリーンエアが供給されるクリーン空間で所定の作業
   を行うようにしたクリーン作業装置であって、 上記ケーシングの壁部に、ケーシング外から作業用具を
   用いて作業するための密閉可能の作業用開口部が開口さ
   れており、 上記クリーン空間に、上記作業用具を収納する用具収納
   部が上記作業用開口部に対応して配設されていることを
   特徴とするクリーン作業装置。
2. 【請求項２】 請求項１のクリーン作業装置において、 用具収納部に多数の通気用孔が開口されていることを特
   徴とするクリーン作業装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は２のクリーン作業装置にお
   いて、 クリーン空間に搬送手段が設置されており、 用具収納部は、上記搬送手段の搬送部よりも下側に配置
   されていることを特徴とするクリーン作業装置。
4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかのクリーン作業
   装置において、 ケーシング外の一般エアが作業用開口部を経てクリーン
   空間へ侵入するのを規制する規制手段を備えたことを特
   徴とするクリーン作業装置。
5. 【請求項５】 請求項４のクリーン作業装置において、 作業用開口部は開閉体により開閉されるように構成さ
   れ、 規制手段は、上記開閉体が少なくとも開いた状態で作業
   用開口部近くのクリーン空間の圧力をケーシング外より
   も上昇させるものであることを特徴とするクリーン作業
   装置。
6. 【請求項６】 請求項４のクリーン作業装置において、 規制手段は、作業用開口部を密閉するグローブであるこ
   とを特徴とするクリーン作業装置。