JP2009257680A - 作業設備および作業設備における局所クリーンルーム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】隣り合う工作機械のクリーン作業ルームユニット10同士を、必要に応じて互いに連結することで、周囲の空間に比較して高清浄度の作業空間を構成した局所クリーンルーム33を備える作業工程ラインを構築可能とする。
【選択図】図2
Description
すなわち特許文献1では、高清浄度雰囲気下のクリーン作業空間と、空気を清浄化してクリーン作業空間に供給すると共に、回収して清浄化し再びクリーン作業空間に供給するようにした空調手段と、クリーン作業空間および内部周辺を滅菌するための滅菌手段とを備え、クリーン作業空間を形成する外壁に横移動可能なスライドカバーを設けて、このスライドカバーに外部からクリーン作業空間に臨入させた作業用手袋を設けるとしている。
そして、空調室には、ファンを設けて、ヘパフィルタを配置している。
これにより、従来のクリーンルームによらず、無菌作業が可能なので、設備費自体も抑制することができるとしている。
例えば図7に示すように、ラインを設置後、ワークや材料を設備外に取り出す必要のある工程では、設備内部の清浄度を作業者領域でも確保する必要が有ることから、局所的に囲い3を設けて局所クリーンブース4とし、ファンフィルタユニット(HEPAフィルタを設けたファンユニットF)を天井に設置し、局所クリーンブース4を構成することで対応してきた(図8参照)。
しかしながら、以上のような局所クリーンブース4を設備エリア毎に設置し作業域の清浄度を確保する方式では、作業領域に加え加工機2全体も局所クリーンブース4で覆うことになるため、ブース内部の気流の制御が困難で設備から発生するパーティクル(ゴミの微粒子)を効率よくワーク加工エリアA2から隔離することが困難である(図8、図10参照)。
また、このような後付けの局所クリーンブース4は、ライン編成が変わる際には、局所クリーンブース4形状や大きさに過不足が生じ、ライン編成が変わるたびに局所クリーンブース4環境の再構築に多大な時間を要し、ラインの短期立ち上げを阻害する要因にもなっている(図9参照)。
このようなわずらわしさを避けるために、現実的には、クリーンルーム1全体の清浄度を高める方向に対応することが多く、過剰な清浄度を確保するために過剰なエネルギーを要している。
また、設置する設備に対しても、クリーンルーム1内の環境に合わせた清浄度を要求するため、加工エリアA2のみに必要な清浄度を設備全体に求めることとなり、過剰な清浄度を要求し、煩雑で高価な設備構成となっている。
さらに、CO2削減が求められている現在、局所クリーンブース4による省エネルギーなクリーン環境の構築は、急務の課題となっている。
本発明は、以上のような観点から提案されたものであって、設備と建屋を分けて考える従来の区分を見直し、ワークに必要な清浄度を確保する空間と、ワークや、材料が暴露されることの無い空間を綿密に分けることで、必要な清浄度を確保することができ、しかも、設備の再構築が容易で、ラインの短期立ち上げが可能な、作業設備および作業設備における局所クリーンルームを提供することを目的とする。
クリーン作業ルームユニット10は、高度に清浄化された雰囲気下で、作業員が所定の作業を施す、最小ルームユニットである。
また、作業エリア13の床面には、グレーチング17(すのこ状の板)と、グレーチング17直下に、表面を粘着シート(図示省略)で構成した床板18が配設されている。作業エリア13内空間に存在するパーティクル(微小な粒子状ごみ)を、グレーチング17を通して、表面が粘着シートの床板18上に落とし、再飛散させないように捕捉している。
そして、かかる作業エリア13のフロント、すなわち、施工エリア11における加工機や、組立機(図示省略)類が配される駆動部発塵エリア12の上方、正面16fには、作業エリア13内の空間に、清浄空気を送り込むファンフィルタユニット19が配設されている(図3参照)。このファンフィルタユニット19は、モータ20とファン21と高度な塵埃除去フィルタである、ヘパフィルタ22とで構成している。かかるファンフィルタユニット19を介して、作業エリア13内の空間に、加圧状態で、ルームユニット外から空気をヘパフィルタ22を通して清浄化して導入するようにしている。
これにより、作業エリア13内および駆動部発塵エリア12内の雰囲気は、ファンフィルタユニット19の押込み作用下に、駆動部等発塵エリア12における排気ファン15を通じて排気されるようになっている。
かかる作業設備30においては、四方を外壁31で囲ったクリーンルーム32内に、コ形状に各工機を列設してラインが形成され、矢印で示す方向に、加工すべきワークが進行して加工が施されるようになっている。またクリーンルーム32内は、コ形状に列設された各工作機械の正面側に面し、且つ作業者が行き来するクリーンゾーンCzと、各工作機械の背面側、すなわち、排気側に面するダーティゾーンDzとしている。なお、クリーンルーム32は、清浄度がクラス10000としている。
上述の作業設備30におけるクリーンルーム32では、半導体工場に見られるようなダウンフロー構造を採用していないことから、清浄度はクラス10000程度となり、プリント配線基板上の微細な回路パターンに対し清浄度が十分とはいえない。
局所クリーンルーム33内の作業エリア13が結合された作業空間内は、ファンフィルタユニット19により、加圧状態で、局所クリーンルーム33外から空気をヘパフィルタ22を通して導入しているため、作業員の出入りによって、清浄度が低下するようなことはない。
ここで、作業員から、例え、塵埃等、微小な異物が生じたとしても、ファンフィルタユニット19により、加圧状態で、局所クリーンルーム33外から空気をヘパフィルタ22を通して導入する一方、駆動部等発塵エリア12における排気ファン15を作動させているため、上記塵埃等は、駆動部発塵エリア12を画成する仕切壁14に設けた通気板23を通して駆動部発塵エリア12側にもたらされ、排気ファン15を通じて、局所クリーンルーム33外へ排出される。
排気ファン15を通じて排出されたパーティクルは、クリーンルーム32内の、コ形状ライン外周のダーティーゾーンDzにもたらされる。
その他、作業員からの塵埃等、微小な異物は、グレーチング17を通して落下し、グレーチング17直下の、表面が粘着シートの床板18によって、再飛散させないように捕捉することができる。
このため、上述の作業中に、治具j、加工機や、組立機から、パーティクルが生じたとしても、作業エリア13内および駆動部発塵エリア12内の雰囲気は、ファンフィルタユニット19の押込み作用下に、駆動部等発塵エリア12における排気ファン15を通じて排気されるため、局所クリーンルーム33を所定の清浄度に維持することができる。
特に、クリーンルーム全体の清浄度を維持するために要するエネルギーは、クリーン作業ルームユニット10を側面同士を介して連結する構成によって、高い清浄度の作業空間を限定的なものとしたことで、大幅に低減することができ、局所クリーン環境の構成(例えば、設備の前後に無人服の着替えとエヤーシャワーブースを連結)によっては、一般工場でも、清浄度の高い環境を実現することで高品質な生産ラインを構成することが可能となる。
また、ラインの構成によっては、ファンフィルタユニット19が過剰となる場合もあるため、清浄度を適正に保ちつつ前後設備とのファンフィルタユニット19の共有も可能である。
11 加工エリア
12 駆動部発塵エリア
13 作業エリア
14 仕切壁
15 排気ファン
16 カバー
16b 背面
16t 上面
16f 正面
17 グレーチング
18 床板
19 ファンフィルタユニット
20 モータ
21 ファン
22 ヘパフィルタ
23 通気板
24 通気性天板
25 側面扉
26 排気手段
30 作業設備
31 外壁
32 クリーンルーム
33 局所クリーンルーム
Cz クリーンゾーン
Dz ダーティゾーン
Claims (6)
- 複数の工作機械が配設された作業設備(30)であって、
前記複数の工作機械は、前記工作機械のベースに一体に設けられたクリーン作業ルームユニット(10)をそれぞれ備え、
隣り合う前記工作機械の前記クリーン作業ルームユニット(10)同士が連結されて、周囲の空間に比較して高清浄度の局所クリーンルーム(33)を構成し、
前記工作機械が、前記局所クリーンルーム(33)内に配置されることを特徴とする作業設備。 - 前記クリーン作業ルームユニット(10)は、少なくとも、前記工作機械により所定の作業を施す施工エリア(11)と、
前記工作機械の駆動部等を囲う駆動部等発塵エリア(12)と、
この駆動部等発塵エリア(12)に連通し、作業者が入室して作業を行う作業エリア(13)とを備え、
前記駆動部等発塵エリア(12)は排気手段(15)を備えると共に、
前記作業エリア(13)は、ファンフィルタユニット(18)を備え、
前記作業エリア(13)に、前記ファンフィルタユニット(18)を介して、加圧状態で外気を導入すると共に、前記駆動部等発塵エリア(12)における排気手段(15)を通じて排気する構成としたことを特徴とする請求項1に記載の作業設備。 - 前記クリーン作業ルームユニット(10)は、上面(16t)および背面(16b)を、静電シートを用いたカバー(16)で構成すると共に、床面にグレーチング(17)を配し、
側面は、各ユニット(10)間を連結可能に開口していることを特徴とする請求項1または2に記載の作業設備。 - 前記グレーチング(17)下方に排気手段(26)を接続したことを特徴とする請求項3に記載の作業設備。
- 前記グレーチング(17)下方に表面を粘着シートで構成した床板(18)を配設したことを特徴とする請求項3に記載の作業設備。
- 複数の工作機械が配設された作業設備(30)における局所クリーンルーム(33)において、
前記工作機械により所定の作業を施す施工エリア(11)と、
前記工作機械の駆動部等を囲う駆動部等発塵エリア(12)と、
この駆動部等発塵エリア(12)に連通し、作業者が入室して作業を行う作業エリア(13)とを備えたクリーン作業ルームユニット(10)同士が連結されて周囲の空間に比較して高清浄度を要する作業空間を構成することを特徴とする作業設備における局所クリーンルーム。
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