JP2006292290A - クリーンルームにおける空気清浄化システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 レターンシャフト11内の底部に架台40を設置し、該架台上に、底面に吸い込み口を有し上面に吹き出し口を有する縦形ケーシング内に送風機とケミカルフィルターを一体に組み込んだ構成のケミカルフィルターユニット20を設置する。架台上に複数台のケミカルフィルターユニットを並設可能とし、架台上面には作業用通路となる通風性床材43を敷設する。レターンシャフト内に架台を上下方向に多段に設け、各段の架台にそれぞれケミカルフィルターユニットを設置可能とする。
【選択図】 図3
Description
6 天井チャンバー
9 床下チャンバー
11 レターンシャフト
20 ケミカルフィルターユニット
20a ファンユニット
20b フィルターユニット
21 吸い込み口
22 吹き出し口
23 縦形ケーシング
23a ファンケーシング
23b フィルターケーシング
24 送風機
25 ケミカルフィルター
40 架台
43 通風性床材
45 作業用通路
Claims (3)
- 清浄空気を天井チャンバーからクリーンルーム内に下向きに吹き出し床下チャンバーからレターンシャフトを通して天井チャンバーに戻すように循環させつつ、その循環経路の途中に設置したケミカルフィルターによって循環空気中のケミカル物質を除去する構成の空気清浄化システムであって、
前記レターンシャフト内の底部に架台を設置して、該架台上に、底面に吸い込み口を有し上面に吹き出し口を有する縦形ケーシング内に送風機とケミカルフィルターを一体に組み込んだ構成のケミカルフィルターユニットを設置し、
床下チャンバーからレターンシャフトに吸い込んだ循環空気を前記ケミカルフィルターユニットによりケミカル物質を除去しつつレターンシャフト内に上向きに吹き出す構成としたことを特徴とするクリーンルームにおける空気清浄化システム。 - 請求項1記載の空気浄化システムであって、
架台上に複数台のケミカルフィルターユニットを並設可能とし、かつ架台上面には作業用通路となる通風性床材をケミカルフィルターユニットの設置位置を除いて敷設したことを特徴とするクリーンルームにおける空気清浄化システム。 - 請求項2記載の空気浄化システムであって、
レターンシャフト内に架台を上下方向に多段に設け、各段の架台にそれぞれケミカルフィルターユニットを設置可能としたことを特徴とするクリーンルームにおける空気清浄化システム。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106288059A (zh) * | 2016-08-05 | 2017-01-04 | 武汉华星光电技术有限公司 | 厂房通风除尘系统 |
CN110307610A (zh) * | 2019-07-23 | 2019-10-08 | 世源科技工程有限公司 | 一种洁净厂房 |
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JPH0914713A (ja) * | 1995-06-27 | 1997-01-17 | Shimizu Corp | クリーンルームにおける空気処理装置 |
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JP2003103127A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-08 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | フィルタユニット装置 |
-
2005
- 2005-04-12 JP JP2005114286A patent/JP4660816B2/ja active Active
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