JP2008045782A - クリーンルーム用局所排気装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のクリーンルーム用局所排気装置は、クリーンルーム内に設けられるものであって、クリーンルーム内に設置された設備から発生する熱排気を排出する構成において、一端部に吸入口が設けられると共に、他端部に排気口が設けられた筒状の排気装置本体14を備え、フリーアクセスフロアを構成する複数のパネルの中の1つであって、排気装置本体14に吸入される空気または排気装置本体14から排出される空気が流れる貫通孔13aが形成されると共に、排気装置本体14が取り付けられたパネル13を備えたものである。
【選択図】図1
Description
また、パネル13は、クリーンルーム内に設けられたフリーアクセスフロアを構成する複数(多数)枚のパネルの中の1つである。このパネル13には、図2に示すように、排気装置本体14の外径寸法とほぼ同じ内径寸法の貫通孔13aが形成されている。
Claims (3)
- 室内の温度や清浄度等が制御されたクリーンルーム内に設けられるものであって、前記クリーンルーム内に設置された設備から発生する熱排気を排出するクリーンルーム用局所排気装置において、
一端部に吸入口が設けられると共に、他端部に排気口が設けられた筒状の排気装置本体と、
前記クリーンルーム内のフリーアクセスフロアを構成する複数のパネルの中の1つであって、前記排気装置本体に吸入される空気または前記排気装置本体から排出される空気が流れる貫通孔が形成されると共に、前記排気装置本体が取り付けられたパネルとを備えたことを特徴とするクリーンルーム用局所排気装置。 - 前記排気装置本体の他端部の外周部にフランジ部を設けると共に、
前記パネルの上面に前記排気装置本体をその他端部の排気口が前記貫通孔に連通するようにして載置し、
前記排気装置本体のフランジ部を前記貫通孔の周縁部に当接させてねじ止めするように構成したことを特徴とする請求項1記載のクリーンルーム用局所排気装置。 - 前記排気装置本体の一端部の外周部に鍔部を設けると共に、
前記パネルの貫通孔内に前記排気装置本体をその他端部が下になるようにして挿入し、
前記排気装置本体の鍔部を前記貫通孔の周縁部に当接させてねじ止めするように構成したことを特徴とする請求項1記載のクリーンルーム用局所排気装置。
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