JP4844285B2 - クリーンルーム用局所排気装置 - Google Patents

Description

本発明は、室内の温度や清浄度等が制御されたクリーンルーム内に設けられるクリーンルーム用局所排気装置に関する。

半導体工場などの室内の温度、清浄度、湿度等を厳しく管理する工場（即ち、クリーンルーム）においては、その工場環境を維持するために、空気調和機や冷凍機などの電力消費量が大きい動力設備を運転しており、このような工場環境は非常に高価である。一方、工場内に設置された設備から発生する熱は、工場内の温度管理に影響があるため、工場外へ排気装置を用いて排出するように構成している。

しかし、上記排出した空気（熱排気）は、温度、清浄度、湿度等を調整したものであるから、この排出した空気を工場内の空気を循環する系に戻して再利用した方が、外気を用いて温度、清浄度、湿度等を調整するよりも、安価に調整することができる。そこで、熱排気は、工場外へ排出せずに、工場内の空気を循環する系に戻して再利用することが近年実行されている。

このような構成の一例を、図５に示す。この図５に示すように、工場（クリーンルーム）１内には、フリーアクセスフロア２と高性能フィルタ３とが配設されており、フリーアクセスフロア２と高性能フィルタ３との間の空間がクリーンエリア４となっている。この構成の場合、フリーアクセスフロア２の下方の空気は、温湿度コントロールユニット５により吸引されて温度や湿度等が調整される。そして、温度や湿度等が調整された空気は、温湿度コントロールユニット５から矢印で示すように循環され、高性能フィルタ３を通ってクリーンエリア４内へ吹き出されるように構成されている。

そして、フリーアクセスフロア２上には、種々の生産設備６が配設されており、この生産設備６で発生する熱（熱排気）は、排気ファン装置７によりフリーアクセスフロア２の下方へ排出される。上記排気ファン装置７は、フリーアクセスフロア２上に配設されており、排気ファン装置７の吸引口は生産設備６の排気口に配管８を介して接続されている。排気ファン装置７の排気口に接続された配管９は、フリーアクセスフロア２を貫通してフリーアクセスフロア２の下方へ配管されている。尚、クリーンルーム用のファン装置の一例を、特許文献１に示す。
特開平７−３１０９４０号公報

上記従来構成の場合、排気ファン装置７をフリーアクセスフロア２上に配設すると共に、配管９をフリーアクセスフロア２のパネルに貫通させる配管工事を行なうので、排気ファン装置７の配設面積と配管８の配管面積が必要になり、クリーンルーム内を有効に活用していないという問題点がある。

これに対して、図６に示すように、フリーアクセスフロア２の下方に排気ファン装置７を吊り金物１０を用いて吊り下げるように配設する構成が考えられている。しかし、この構成の場合、排気ファン装置７を吊り下げる工事がかなり面倒であり、コストが高くなるという問題点がある。特に、フリーアクセスフロア２上で、生産設備６を移動させる必要がある場合、排気ファン装置７も一緒に移動させて吊り下げ工事を実行しなければならず、移動に要するコストがかなり高くなるという不具合があった。

そこで、本発明の目的は、設備から発生する熱排気を排出するための装置を簡単に配設することができると共に、配設面積を極力小さくすることができるクリーンルーム用局所排気装置を提供するにある。

本発明のクリーンルーム用局所排気装置は、室内の温度や清浄度等が制御されたクリーンルーム内に設けられるものであって、前記クリーンルーム内のフリーアクセスフロア上に設置された設備から発生する熱等を含んだ空気を排気する構成において、内部にファン及びファンモータが配設され、一端部に吸入口が設けられると共に、他端部に排気口が設けられた筒状の排気装置本体と、前記フリーアクセスフロアを構成する複数のパネルの中の１つであって、前記排気装置本体の他端部の外径寸法とほぼ同じ内径寸法の貫通孔が形成されたパネルと、前記排気装置本体の他端部の外周部に設けられたフランジ部とを備え、前記パネルの上面に前記排気装置本体をその他端部の排気口が前記貫通孔に連通するようにして載置し、前記排気装置本体のフランジ部を前記貫通孔の周縁部に当接させてねじ止めして前記排気装置本体と前記パネルを一体化し、前記設備の熱排気を排出する排気口に接続されたダクトを前記排気装置本体の一端部の吸入口に接続するところに特徴を有する。

上記構成によれば、フリーアクセスフロアを構成する複数のパネルの中の１つのパネルに、排気装置本体に吸入された空気または排気装置本体から排気された空気が流れる貫通孔を形成すると共に、排気装置本体を取り付けるように構成したので、パネルを装着するだけで設備から発生する熱排気を排出するための装置を簡単に配設することができる。そして、排気装置本体の配設面積は、最大でもパネル１枚分であるから、該配設面積を極力小さくすることができる。

また、本発明の他のクリーンルーム用局所排気装置は、室内の温度や清浄度等が制御されたクリーンルーム内に設けられるものであって、前記クリーンルーム内に設置された設備から発生する熱排気を排出するクリーンルーム用局所排気装置において、内部にファン及びファンモータが配設され、一端部に吸入口が設けられると共に、他端部に排気口が設けられた筒状の排気装置本体と、前記クリーンルーム内のフリーアクセスフロアを構成する複数のパネルの中の１つであって、前記排気装置本体の他端部の外径寸法とほぼ同じ内径寸法の貫通孔が形成されたパネルと、前記排気装置本体の一端部の外周部に設けられた鍔部とを備え、前記パネルの貫通孔内に前記排気装置本体をその他端部が下になるようにして挿入し、前記排気装置本体の鍔部を前記貫通孔の周縁部に当接させてねじ止めして前記排気装置本体と前記パネルを一体化し、前記設備の熱排気を排出する排気口に接続されたダクトを前記排気装置本体の一端部の吸入口に接続するように構成したものである。

以下、本発明の第１の実施例について、図１及び図２を参照しながら説明する。まず、図１に示すように、本実施例のクリーンルーム用局所排気装置１１は、室内の温度や清浄度等が制御されたクリーンルーム内に設けられるものであり、排気装置１２とパネル１３とを備えて構成されている。

排気装置１２は、全体が円筒状の排気装置本体１４と、この排気装置本体１４の内部に配設されたファン及びファンモータ（いずれも図示しない）とから構成されている。尚、ファンは、軸流ファンや遠心ファン等で構成されている。排気装置本体１４の一端部である図１中の上端部に吸入口が設けられると共に、他端部である下端部に排気口が設けられている。そして、排気装置本体１４の下端部（他端部）の外周部には、フランジ部１５が設けられている
また、パネル１３は、クリーンルーム内に設けられたフリーアクセスフロアを構成する複数（多数）枚のパネルの中の１つである。このパネル１３には、図２に示すように、排気装置本体１４の外径寸法とほぼ同じ内径寸法の貫通孔１３ａが形成されている。

そして、パネル１３の上面に、排気装置本体１４をその下端部の排気口が貫通孔１３ａに連通するようにして載置した後、排気装置本体１４のフランジ部１５をパネル１３の貫通孔１３ａの周縁部に当接させてねじ１６止めすることにより、排気装置本体１４をパネル１３に取り付けている。この構成の場合、排気装置本体１４の排気口から排気された空気は、パネル１３の貫通孔１３ａを流れてフリーアクセルフロアの下方へ排出される構成となっている。

また、排気装置本体１４の上端部の吸入口には、ダクト１７の一端部が接続されており、バンド１８により固定されている。ダクト１７の他端部は、クリーンルーム内のフリーアクセスフロア上に設置された例えば生産設備の排気口に接続されている。尚、パネル１３の上面に、複数の取っ手を出没可能または着脱可能に配設することが好ましい。また、パネル１３の上面に、排気装置１２の運転状態を表示する表示装置や、排気装置１２の運転を開始・停止するための操作スイッチ等を配設することが好ましい。

このような構成の本実施例によれば、フリーアクセスフロアを構成する複数のパネルの中の１つのパネル１３に、排気装置本体１４から排気された空気が流れる貫通孔１３ａを形成すると共に、排気装置本体１４を取り付けるように構成したので、パネル１３を装着（着脱）するだけで、生産設備から発生する熱排気を排出するための装置（排気装置１２）を簡単に配設することができる。そして、排気装置本体１４の配設面積は、最大でもパネル１枚分であるから、該配設面積を極力小さくすることができる。また、上記実施例の場合、排気装置本体１４がパネル１３の上方に設置されているので、メンテナンス作業等を実行し易い。

図３及び図４は、本発明の第２の実施例を示すものである。尚、第１の実施例と同一構成には、同一符号を付している。この第２の実施例においては、排気装置本体１４の大部分を、パネル１３の下方に配設するように構成している。

具体的には、排気装置本体１４の上端部（エッジ部より少し下方の部位）の外周部に鍔部１９を設けると共に、パネル１３の貫通孔１３ｂの内径寸法を、排気装置本体１４が挿入可能且つ鍔部１９が挿入できない寸法になるように設定している。

そして、パネル１３の貫通孔１３ｂ内に排気装置本体１４を下端部（排気口）が下になるようにして挿入し、排気装置本体１４の鍔部１９を貫通孔１３ｂの周縁部に当接させてからねじ１６止めするように構成している。この構成の場合、パネル１３の貫通孔１３ａ内を、排気装置本体１４に吸入される空気が流れる構成となっている。

上述した以外の第２の実施例の構成は、第１の実施例の構成と同じ構成となっている。従って、第２の実施例においても、第１の実施例とほぼ同じ作用効果を得ることができる。特に、第２の実施例では、排気装置本体１４の大部分を、パネル１３の下方に配設するように構成したので、排気装置本体１４内のファン及びファンモータで発生する騒音が排気装置本体１４の外部へ漏れ出ても、フリーアクセスフロアの下方へ出るようになる。これにより、クリーンルーム内で聞こえる騒音を低減することができる。また、フリーアクセスフロア上がすっきりした形態となる。

本発明の第１の実施例を示すクリーンルーム用局所排気装置の斜視図 クリーンルーム用局所排気装置の側面図 本発明の第２の実施例を示す図１相当図 図２相当図 従来構成を示すクリーンルーム及び排気装置の縦断側面図 他の従来構成を示すクリーンルーム及び排気装置の部分縦断側面図

符号の説明

図面中、１１はクリーンルーム用局所排気装置、１２は排気装置、１３はパネル、１３ａは貫通孔、１４は排気装置本体、１５はフランジ部、１６はねじ、１７はダクト、１８はバンド、１９は鍔部を示す。

Claims (2)

1. 室内の温度や清浄度等が制御されたクリーンルーム内に設けられるものであって、前記クリーンルーム内に設置された設備から発生する熱排気を排出するクリーンルーム用局所排気装置において、
   内部にファン及びファンモータが配設され、一端部に吸入口が設けられると共に、他端部に排気口が設けられた筒状の排気装置本体と、
   前記クリーンルーム内のフリーアクセスフロアを構成する複数のパネルの中の１つであって、前記排気装置本体の他端部の外径寸法とほぼ同じ内径寸法の貫通孔が形成されたパネルと、
   前記排気装置本体の他端部の外周部に設けられたフランジ部とを備え、
   前記パネルの上面に前記排気装置本体をその他端部の排気口が前記貫通孔に連通するようにして載置し、前記排気装置本体のフランジ部を前記貫通孔の周縁部に当接させてねじ止めして前記排気装置本体と前記パネルを一体化し、
   前記設備の熱排気を排出する排気口に接続されたダクトを前記排気装置本体の一端部の吸入口に接続することを特徴とするクリーンルーム用局所排気装置。
2. 室内の温度や清浄度等が制御されたクリーンルーム内に設けられるものであって、前記クリーンルーム内に設置された設備から発生する熱排気を排出するクリーンルーム用局所排気装置において、
   内部にファン及びファンモータが配設され、一端部に吸入口が設けられると共に、他端部に排気口が設けられた筒状の排気装置本体と、
   前記クリーンルーム内のフリーアクセスフロアを構成する複数のパネルの中の１つであって、前記排気装置本体の他端部の外径寸法とほぼ同じ内径寸法の貫通孔が形成されたパネルと、
   前記排気装置本体の一端部の外周部に設けられた鍔部とを備え、
   前記パネルの貫通孔内に前記排気装置本体をその他端部が下になるようにして挿入し、前記排気装置本体の鍔部を前記貫通孔の周縁部に当接させてねじ止めして前記排気装置本体と前記パネルを一体化し、
   前記設備の熱排気を排出する排気口に接続されたダクトを前記排気装置本体の一端部の吸入口に接続することを特徴とするクリーンルーム用局所排気装置。

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