JP2003004273A - クリーンルーム内の除塵方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】クリーンルーム内で使用される各種機器（パソ
コンや精密機械）の可動部が擦過することにより発生す
る微粒子やこれらの機器へ送電線や通信ケーブルを接続
するためにクリーンルーム内に設置された分電盤内部に
蓄積した塵埃がクリーンルーム内で浮遊飛散することを
防止し、クルーンルーム内の清浄度を向上する。 【解決手段】 床面２をメッシュ状に床上げ形成され当
該床下に集塵ダクト４を配してなるクリーンルーム１に
おいて、クリーンルーム１内に設置される各種機器（パ
ソコン及び／又は精密機器・工作機械・ネットワーク機
器）１０に取付けられた冷却ファン９ａに排塵ダクト１
１を接続すると共に、クリーンルーム１内に設置された
分電盤ボックス１３の通気口１３ａに排塵ダクト１５を
接続し、これら排塵ダクト１１及び１５を床面下に引き
出して集塵排気する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体デバイスの
製造、無菌手術室、食品工場、薬品工場、精密機器組立
工場、サーバールーム等に利用されるクリーンルーム内
の塵埃を除去する方法、とくにクリーンルーム内で使用
される精密機器やパソコンの可動によって発生する塵埃
やクリーンルーム内に設置された分電盤から発生する塵
埃を除去する方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、電子・精密機器、医薬品、醸
造品、化粧品等の研究・製造室あるいはパソコンやネッ
トワーク機器等の精密機器が多数収容されたサーバール
ームにおいては、室内雰囲気中の塵埃を極限まで抑えた
クリーンルームが嘱望されている。これらのクリーンル
ーム内では、外部から塵埃が侵入しないように配慮する
ことはもとより、当該クリーンルーム内で従事する作業
者の人体からの発塵も防止する手段が講じられている。
また、クリーンルーム内の空気清浄度を上げるために、
室外から空気清浄フィルターを通して清浄した空気を室
内に送り、そして室内の床面、床下、壁面下部から汚染
された空気を集塵ダクトにより排気し室内の空気清浄度
を上げる方法が講じられている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、クリー
ンルーム内で使用される各種機器（パソコンや精密機
械）の可動部が擦過することにより発生する微粒子がク
リーンルーム内に飛散したり、これらの機器へ送電線や
通信ケーブルを接続する入線工事を行なうことにより発
生する塵埃が、クリーンルーム内に設置された分電盤内
部及び各種機器内部や天井裏・床下からクリーンルーム
内に飛散したり、精密機器等の搬入時に発生した塵埃、
若しくは集塵ダクトにより除去しきれずに堆積した塵埃
が、各種機器を冷却するための冷却ファンや分電盤の通
気口から排気される送風によってクリーンルーム内で浮
遊して飛散するおそれがある。

【０００４】その防止策として、クリーンルーム内で
は、その中で使用する機械・器具がアルコールで払拭す
る方法等により高度に清浄化されていることは無論のこ
と、これらの機器から発生する塵埃が周囲に飛散しない
ように防塵カバー等により被覆されて取り扱うようにさ
れている。しかし、機器の使用状態によっては可動部を
完全に覆うことは困難であり、防塵手段としては極めて
不完全なものであった。また、分電盤内や床下に蓄積す
る塵埃に到ってはほとんど無視されていると言っても過
言ではない。本発明は、上記課題のような従来技術の問
題点に鑑みてなされたものであり、クリーンルーム内で
使用される各種機器（パソコンやネットワーク機器等の
精密機械）の可動部が擦過することにより発生する微粒
子やこれらの機器へ送電線や通信ケーブルを接続するた
めにクリーンルーム内に設置された分電盤内部に蓄積し
た塵埃がクリーンルーム内で浮遊飛散することを防止
し、クルーンルーム内の清浄度を向上することができる
クリーンルームの除塵方法を提供することを目的とする
ものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】このため本発明では、床
面を床上げ形成され当該床下に集塵ダクトを配してなる
クリーンルームにおいて、クリーンルーム内に設置され
るパソコン及び／又は精密機器・工作機械・ネットワー
ク機器に取付けられた冷却ファンに排塵ダクトを接続
し、当該排塵ダクトを前記床面下に引き出して集塵排気
することを第１の特徴とする。また、クリーンルーム内
に設置された分電盤ボックスの通気口に排塵ダクトを接
続し、当該排塵ダクトを前記床面下に引き出して集塵排
気することを第２の特徴とする。さらに、クリーンルー
ム内に設置されるパソコン及び／又は精密機器・工作機
械・ネットワーク機器を被覆する函体を設けると共に、
当該函体に排塵ダクトを接続し、当該排塵ダクトを前記
床面下に引き出して集塵排気することを第３の特徴とす
る。尚、分電盤ボックス及び被覆函体においては、その
上部を区画して排塵ダクトを接続して集塵排気するもの
が好ましい。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を図
面に示す実施例に基づいて説明する。図１は本発明に係
るクリーンルームの一実施例を示す概略断面図、図２は
本発明に係るクリーンルームの他の実施例を示す概略断
斜視図である。

【０００７】

【実施例】以下、本発明のクリーンルーム内の除塵方法
について説明する。図１は、本発明に係るクリーンルー
ムの一実施例を示す概略断面図である。クリーンルーム
１は、床面より床上されたメッシュ状の床面２と内壁３
とからなる。そして、床面２の下方には床面２のメッシ
ュを通過して沈降する塵埃をクルーンルーム１の外部に
集塵排気する集塵ダクト４及び吸引ファン５が設けられ
ている。６は、空気清浄フィルタ７を介して天井に接続
された空調機であり、循環用ダクト８が接続されてい
る。

【０００８】すなわち、クリーンルーム１を画成する天
井に空調機６を設置し、この空調機６で浄化した空気を
クリーンルーム１内に供給し、クリーンルーム１内の空
気をメッシュ状の床面２から床下空間へ排出させること
により、クリーンルーム１内の空気を清浄するようにさ
れている。そして、循環用ダクト８でもって空調機５と
クリーンルーム１のメッシュ状床面２下部との間で室内
の空気の循環を行い、床下空間へ排出された空気が循環
用ダクト８路を経て、再び空気清浄フィルタ７及び空調
機６を介してクリーンルーム１内に送給されるようにさ
れている。

【０００９】図中、９はクリーンルーム１内に設置され
るパソコン１０のサーバーあるいは精密機器１０に取付
けられた冷却装置である。これらサーバーや冷却装置９
には各々冷却ファン９ａが取り付けられているが、本発
明ではこれら冷却ファン９ａに排塵ダクト１１及び吸引
ファン１２を接続している。また、クリーンルーム１内
にはこれらの機器へ送電線や通信ケーブル１４を接続す
るための分電盤ボックス１３ｂが収容された分電盤ボッ
クス１３が設置されているが、その内部には入線工事等
により天井裏や床下から塵埃が侵入して堆積している場
合がある。そこで、この分電盤ボックス１３の上部に設
けられた通気口１３ａにも排塵ダクト１５及び吸引ファ
ン１６を接続し、これら排塵ダクト１１及び１５を床面
２下に引き出して集塵排気するようにしている。尚、図
中１７は床下に堆積した塵埃を吸引するための排塵ダク
ト、１８はメンテナンス時に塵埃を除去するための集塵
ボックスであり、各々、循環用ダクト８の複数箇所に設
けられている。

【００１０】図２は、本発明に係るクリーンルームの他
の実施例を示す概略斜視図である。尚、前記実施例と同
様の構成要素には同一の符号を付して説明する。本実施
例では、床面２を床上げ形成され当該床下に集塵ダクト
４を配してなるクリーンルーム１において、クリーンル
ーム１内に設置された各種機器（パソコン及び／又は精
密機器・工作機械・ネットワーク機器）１０を被覆する
函体２０を設けると共に、この函体２０にフィルター付
吸気口２２及び排塵ダクト２３を接続し、この排塵ダク
ト２３を前記床面下に引き出して集塵排気するようにし
たものである。そして、この被覆函体２０においては、
その上部を区画して集塵スペース２１を設け、ここに排
塵ダクト２３を接続して排気するようにされている。す
なわち、各種機器１０の設置によって床下の排塵ダクト
４からの集塵に対する死角（デッドスペース）が生じる
ため、クリーンルーム１の空間上部を利用して集塵する
ことで、集塵効率を向上させるものである。同様に、分
電盤ボックス１３の上部にも集塵スペース１９を画成し
てフィルター付吸気口２４を設け、分電盤ボックス１３
内部と集塵スペース１９に各々排塵ダクト１５を接続す
ることにより、クリーンルーム１空間内と分電盤ボック
ス１３内部の除塵を効率良く行なうことができる。

【００１１】以上要するに、本発明は、クリーンルーム
内壁３に囲まれメッシュ状に床上げされた床面２を有す
る室内において、外気取込ダクト８から送給された空気
は、先ず空気清浄フィルタ７を介して塵埃が集塵され
る。そして、室内の上部から流入した空気は床面下部か
ら集塵ダクト４で吸引される空気の流れに沿って床面２
へと沈降していく。沈降してきた塵埃は、メッシュ状の
床面２を通過し、集塵ダクト４に集塵される。加えて、
クリーンルーム１内で使用される各種機器（パソコンや
ネットワーク機器等の精密機械）１０の可動部が擦過す
ることにより発生する微粒子やこれらの機器へ送電線や
通信ケーブルを接続するためにクリーンルーム１内に設
置された分電盤ボックス１３内部に蓄積した塵埃を、サ
ーバーや冷却装置９の冷却ファン１０に接続した排塵ダ
クト１１及び吸引ファン１２、分電盤ボックス１３の上
部に設けられた通気口１３ａに接続した排塵ダクト１５
及び吸引ファン１６でもって直接集塵するようにしたの
で、これら微粒子や塵埃がクリーンルーム１内で浮遊飛
散することを防止できる。尚、上記実施例では、床面が
メッシュ状にされたクリーンルームについて述べている
が、本発明はこれに限定されるものではなく、塵埃沈降
のための間隙がとくに形成されていない通常の床面を有
するクリーンルームにも適用できることは言うまでもな
い。

【００１２】

【発明の効果】本発明は以上のように構成したので、ク
リーンルーム内で使用される各種機器（パソコンや精密
機械）の可動部が擦過することにより発生する微粒子や
これらの機器へ送電線や通信ケーブルを接続するために
クリーンルーム内に設置された分電盤内部に蓄積した塵
埃がクリーンルーム内で浮遊飛散することを防止し、ク
ルーンルーム内の空気清浄度を向上することができると
いう優れた効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るクリーンルームの一実施例を示す
概略断面図である。

【図２】本発明に係るクリーンルームの他の実施例を示
す概略斜視図である。

【符号の説明】

１ クリーンルーム ２ メッシュ状床面 ３ 内壁 ４ 排塵ダクト ５ 吸引ファン ６ 空調機 ７ 空気清浄フィルタ ８ 循環用ダクト ９ パソコンのサーバー又は精密機器・工作機械・ネ
ットワーク機器の冷却装置 ９ａ 冷却ファン １０ パソコン及び／又は精密機器・工作機械・ネット
ワーク機器 １１ 排塵ダクト １２ 吸引ファン １３ 分電盤ボックス １３ａ通気口 １３ｂ分電盤 １４ 送電線又は通信ケーブル １５ 排塵ダクト １６ 吸引ファン １７ 床下排塵ダクト １８ 集塵ボックス １９ 集塵スペース ２０ 被覆函体 ２１ 集塵スペース ２２ フィルター付吸気口 ２３ 排塵ダクト ２４ フィルター付吸気口

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山田 美好 宮崎県宮崎市潮見町176番地１ (72)発明者 湯地 博幸 宮崎県宮崎郡田野町甲9889番地 (72)発明者 西本 正弘 宮崎県宮崎市吉村町冬治甲850番地23 (72)発明者 下吉 浩二 宮崎県宮崎郡佐土原町大字上田島8628番地 26 (72)発明者 横田 光広 宮崎県宮崎郡清武町正手１番27号 長友清 ＡＰ201 (72)発明者 小島 知子 宮崎県宮崎市新別府町城元354番地２ Ｆターム(参考） 3L058 BD01 BE02 BF01 BF05 BG03

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 床面を床上げ形成され当該床下に集塵ダ
   クトを配してなるクリーンルームにおいて、クリーンル
   ーム内に設置されるパソコン及び／又は精密機器・工作
   機械・ネットワーク機器に取付けられた冷却ファンに排
   塵ダクトを接続し、当該排塵ダクトを前記床面下に引き
   出して集塵排気することを特徴とするクリーンルーム内
   の除塵方法。
2. 【請求項２】 床面を床上げ形成され当該床下に集塵ダ
   クトを配してなるクリーンルームにおいて、クリーンル
   ーム内に設置された分電盤ボックスの通気口に排塵ダク
   トを接続し、当該排塵ダクトを前記床面下に引き出して
   集塵排気することを特徴とするクリーンルーム内の除塵
   方法。
3. 【請求項３】 床面を床上げ形成され当該床下に集塵ダ
   クトを配してなるクリーンルームにおいて、クリーンル
   ーム内に設置されるパソコン及び／又は精密機器・工作
   機械・ネットワーク機器を被覆する函体を設けると共
   に、当該函体に排塵ダクトを接続し、当該排塵ダクトを
   前記床面下に引き出して集塵排気することを特徴とする
   クリーンルーム内の除塵方法。
4. 【請求項４】 分電盤ボックスの上部を区画して排塵ダ
   クトを接続したことを特徴とする請求項２記載のクリー
   ンルーム内の除塵方法。
5. 【請求項５】 函体の上部を区画して排塵ダクトを接続
   したことを特徴とする請求項３記載のクリーンルーム内
   の除塵方法。