JPS629468Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、クリーンルーム用給気吹出口装置に
関し、更に詳細には、線状の垂直層状の流れを得
ることが可能なクリーンルーム用給気吹出口装置
に関する。

〔従来の技術〕

近年、半導体の製造、精密機器の加工、組立て
等の分野、あるいは製薬、製菓の分野等におい
て、その作業を行う部屋は充分に清浄であること
が必要であり、このようなクリーンルームと称さ
れる外部と遮断された清浄な空間は今後益々要望
されている。このクリーンルームは、外部の汚染
された空気を完全に遮断するのみならず、部屋内
部の作業者等によつて汚染された空気をも排除す
る必要があり、このためには常に清浄な空気を送
り込む必要があり、また、前記した半導体等の製
造あるいは精密機器の加工、組立てにおいては、
クリーンルームの中において、特に高度な清浄操
作を行うものとしてクリーンベンチと称される作
業装置が使用されている。前記したクリーンルー
ムに清浄な空気を送り込むには、天井部に設けた
給気ダクト等より超高精密空気過器（通常
HEPAフイルタと称されている）を内蔵した多数
のフイルタボツクスを介して給気ダクトよりの空
気を超高精密空気過器により清浄にしてそれぞ
れのフイルタボツクスよりクリーンルームに噴出
させることにより行われる。

上記したような、クリーンルームに清浄空気を
供給している状態を第１図、第２図に示す従来の
装置について説明すると、１，１ａはクリーンル
ーム内に適宜配置されたクリーンベンチと称され
る作業装置であり、２，２ａ，２ｂ……は天井４
に設けられた超高精密空気過器３を内蔵するフ
イルタボツクスで、これらの複数のフイルタボツ
クス２，２ａ，２ｂは清浄な空気をそれぞれ単独
で各別にクリーンルームに送り込んでいる。第１
図の従来の装置に示されるように、クリーンベン
チとクリーンベンチとの狭い帯状の空間あるいは
通路等の狭い帯状空間において、作業者等の発塵
源が存在した場合、それより発生する塵埃は、各
別に単独で空気を噴出する２個のフイルタボツク
スがあつたとき、各別に噴出する空気の流れは必
ずしも均一でなく、実験の結果によれば、その影
響で中央付近では発生した塵埃は気流の影響を受
けて上昇することがあり、そのため、塵埃は床等
より吸入されずに他所に飛散し、汚染が拡散する
可能性がある。

上記のような点に鑑みて、例えば特開昭54−
162840号公報に示されるような清浄な空気の供給
を行う給気口を包含して覆う曲線状輪郭の床面を
有する篭形のカバーを用いるとともに、このカバ
ーの床面積より小さい面積の流体抵抗板をカバー
の床面内部に設けて、空気流のデツドゾーン発生
を阻止するものが提案されているが、このように
単体のフイルタボツクスに抵抗板を床面内部に設
けたカバーで覆つてフイルタボツクスにより過
された給気は水平方向及び斜め方向へ前記のカバ
ーを介して吹き出すようにしたものが提案されて
いるが、この従来装置においても吹き出される清
浄な空気は乱流となり垂直層状の流れを得ること
ができないものである。

〔考案が解決しようとする問題点〕

本考案は前記した従来装置の欠点である給気口
より吹き出される清浄空気が乱流となることを避
け垂直層状の流れを得る給気吹出口装置の提供を
目的とするものである。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案は前記した目的を達成するために、超高
精密空気過器を内蔵したフイルタボツクスを天
井部に多数分散配設し、前記の多数のフイルタボ
ツクスから清浄な空気を吹出させるようにしたク
リーンルームにおいて、無数の小孔を穿設した多
孔板の四辺を折曲等して大略箱型状の清浄空気吹
出し用カバー体となし、前記した多数のフイルタ
ボツクスを複数台宛一組となし、該一組とされた
複数台のフイルタボツクスの吹出口を一括して前
記の清浄空気吹出し用カバー体にて覆つたことを
その特徴とするものである。

〔実施例〕 本考案を図面に示す実施例に基づいて説明する
が、前記した第１図，第２図に示した従来例と同
一又は均等の装置等については同一の符号で説明
することとする。

図において、１，１ａ，１ｂ，１ｃ……はクリ
ーンルーム内のクリーンベンチ等の作業装置、
２，２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ……は天井４に設け
られた超高精密空気過器（HEPAフイルタ）３
を内蔵したフイルタボツクスで、このフイルタボ
ツクス２，２ａ，２ｂ……から清浄な空気をクリ
ーンルーム内に送り込んでいる。５は床６に設け
られた空気を循環させるための吸込口である。７
は無数の小孔８，８，８……を穿孔した清浄空気
吹出し用カバー体であつて、該カバー体７は、そ
の幅を前記フイルタボツクス２，２ａ，２ｂ，…
…のそれぞれの吹出口を覆うことができる幅と
し、また、長手方向は複数台のフイルタボツクス
２，２ａ及び２ｂ，２ｃ，２ｄをそれぞれ一組宛
として、それら各一組とされた複数台のフイルタ
ボツクスの吹出口を一括して覆うことができる長
さを有するように四辺を折曲して大略箱状に形成
し、適宜の手段例えば取付金具等により天井に固
定される。そして、前記した多数のフイルタボツ
クスの中から複数台のフイルタボツクスを一組と
して選ぶには、クリーンベンチ１と１ａ及び１ｂ
と１ｃとの狭い帯状空間となる部分の上部に設置
される多数のフイルタボツクスより例えば各クリ
ーンベンチの長さに相当する部位の複数台のフイ
ルタボツクスを一組とするのがよい。

なお、図中９は螢光燈である。

本実施例は上述のように構成されるので、無数
の小孔８，８，……を穿つた清浄空気吹出し口カ
バー体７によつて、多数の超高精密空気過器３
を内蔵したフイルタボツクス２，２ａ及び２ｂ，
２ｃ，２ｄ等複数台のフイルタボツクスを一組と
し、各一組とされたフイルタボツクスの吹出口を
一括して覆うようにしたので、前記一組とされた
フイルタボツクス２，２ａ及び２ｂ，２ｃ，２ｄ
のそれぞれより吹出される清浄な空気は、清浄空
気吹出し用カバー体７によつて分布され、整流さ
れてクリーンルームに送り込まれるので、従来装
置のフイルタボツクスより送り込まれる空気のよ
うに乱流となり上昇気流を生ずることは全くなく
なり、したがつて、発塵体より発生する塵埃は、
清浄空気吹出し用カバー体７より分布され整流さ
れた垂直層流により飛散することなく床６等の下
方に設置された空気吸込口５より排除され、クリ
ーンルーム内は清浄に保たれる。

〔考案の効果〕

本考案に係るクリーンルーム用給気吹出口装置
は、無数の小孔を穿孔した多孔板の四辺を折曲等
して大略箱型状の清浄空気吹出し用カバー体を形
成し、天井に設置された多数のフイルタボツクス
を複数台宛一組となし、該一組とされた複数台の
フイルタボツクスの吹出口を一括して前記の一個
の清浄空気吹出し用カバー体で覆つたので、一組
とされた複数台のフイルタボツクスのそれぞれよ
り吹出される清浄な空気は、無数の小孔を有する
前記の清浄空気吹出し用カバー体によつて分布さ
れ、整流されて前記のカバー体より吹出されると
きには線状の垂直層状の流れを得ることができる
のでクリーンルーム内のクリーンベンチ等の作業
装置間の狭い帯状空間あるいは通路等の狭い帯状
の空間において作業者等の発塵源より発する塵埃
を上昇させ飛散させることを防止したものであ
り、その実用上の効果は大なるものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来のクリーンルームにおけるフイ
ルタボツクスの設置状態の平面図、第２図は従来
のクリーンルーム内の塵埃の飛散状態を示す断面
図、第３図乃至第６図は本考案の清浄空気吹出し
用カバー体を設けたクリーンルームのフイルタボ
ツクスの設置状態であつて、第３図はクリーンル
ームの平面図、第４図は断面図、第５図は要部断
面図、第６図はその側面図、第７図は清浄空気吹
出し用カバー体の斜視図である。 １：クリーンベンチ、２：フイルタボツクス、
７：清浄空気吹出し用カバー体。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 超高精密空気過器を内蔵したフイルタボツク
   スを天井部に多数分散配設し、前記多数のフイル
   タボツクスから清浄な空気を吹出させるようにし
   たクリーンルームにおいて、無数の小孔を穿孔し
   た多孔板の四辺を折曲等して大略箱型状の清浄空
   気吹出し用カバー体を形成し、前記した多数のフ
   イルタボツクスを複数台宛一組となし、該一組と
   された複数台のフイルタボツクスの吹出口を一括
   して前記の清浄空気吹出し用カバー体にて覆つた
   ことを特徴とするクリーンルーム用給気吹出口装
   置。