JP4055033B2 - クリーンルーム内の塵埃集塵方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルーム内の塵埃を集塵する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来クリーンルームでは、室内空気のクリーン度を上げるために、室内上部または壁面部からフィルターを通してクリーン度を上げた空気を室内に送り、そして室内の床面、床下、壁面下部から汚れた空気を吸引し室内のクリーン度を上げていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のクリーンルームでは、床面に落ちた塵埃が作業者の移動する際に発生する風圧や設備の動作風圧、エアサイレンサからの吹き出し等により巻き上げられ、室内のクリーン度を上げることができなかった。それにより、巻き上げられた塵埃が製品等に悪影響を及ぼすという課題がある。
また、上記の対策として、床面のグレーチングがあるが、床面を深く掘るため建築費用が高価になるという課題がある。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、作業者が移動する際に発生する風圧や設備の動作風圧、エアサイレンサからの吹き出し等による塵埃の巻き上げを防止して室内のクリーン度を上げ、製品の品質を向上させるクリーンルーム内の塵埃集塵方法を提供することを目的としたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、クリーンルーム内の床面を格子状または平行状にして床上げ形成するとともに、床上げした床面の下に液体を滞留または循環させる液体貯溜室を形成し、液体にクリーンルーム内の塵埃を付着させ集塵させてなるクリーンルーム内の塵埃集塵方法において、液体に水より沸点の高い油類を用いることを特徴とするクリーンルーム内の塵埃集塵方法である。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明の構成を実施例に対応する図１を用いて説明すると、本発明は、クリーンルーム内の床面を格子状または平行状にして床上げ形成するとともに、床上げした床面の下に液体を滞留または循環させる液体貯溜室を形成し、液体にクリーンルーム内の塵埃を付着させ集塵させてなるものである。
クリーンルーム内の塵埃は、上部または壁面部から送られた空気が床面および壁面下部から吸引される空気の流れに沿って床面へと沈降していく。床面は格子状または平行線状にして床上げし、その下に液体貯溜室を形成して液体を滞留または循環させる。本発明では、液体貯溜室の液体に水よりも表面張力の小さい液体を用いる。水よりも表面張力の小さい液体としては、水に界面活性剤を適量混合し表面張力を水より小さくしたり、水より沸点の高い油類、溶剤等が挙げられる。油類としてひまし油、溶剤としてポリアルキレングリコールエーテル類が例示され、その沸点は水より高い１００℃以上である。水よりも表面張力の小さい液体を用いることにより、塵埃の付着効果を高めることができ、特に沸点が水より高い油類、溶剤類を用いると、蒸発による室内の湿度の上昇や上昇気流の発生を防止できる。また、機器類の錆発生による腐食を防止することが出来る。溶剤類は沸点が高く、蒸気圧の極めて小さいものを用いる。
このようにすることにより、沈降してきた塵埃は、格子状または平行線状の床面を通り液体に付着する。液体に付着した塵埃は、作業者が移動する際に発生する風圧や設備の動作風圧、エアサイレンサからの吹き出し等による塵埃の巻き上げを防止し、室内のクリーン度を上げることができる。
【０００６】
液体は床面下で滞留させても、循環させてもよい。滞留させた場合、定期的な液体の洗浄を行う必要がある。又、循環させた場合回収した液体の塵埃をフィルタにより集塵することにより液体のクリーン度を維持することができる。
また、液体の温度は室温と同等またはそれ以下とすることが望ましい。水深は１ｃｍ程度でよい。
【０００７】
【実施例】
以下、本発明のクリーンルーム内の塵埃集塵方法について説明する。
（実施例）
図１は本発明の実施例を示す略断面図である。
クリーンルーム１２は、床面より床上げされた格子状または平行状の床面２と内壁１とからなる。そして、格子状または平行状の床面２の下部には液体貯溜室８が形成され、液体貯溜室８には水よりも表面張力が低い液体として油類であるひまし油を循環させ集塵させるための循環ポンプ１０及び循環用フィルタ１１を備えた液体循環用パイプ９が接続されている。４は、エアー用フィルタ３を介して天井に接続された送風ダクト４であり、送風ダクト４の上流側には空調機５を介して外気取り込みダクト６が接続されている。そして、空調機５とクリーンルーム１２の格子状または平行状の床面２下部との間には室内の空気の循環を行う循環用ダクト７が形成されている。
【０００８】
クリーンルーム内壁１に囲まれ格子状または平行状に床上げされた床面２の室内において、外気取り込みダクト６、空調機５及び送風ダクト４からなる空気循環装置により送られた空気は先ずエアー用フィルタ３を介して塵埃が集塵される。そして、室内の上部から流入した空気は、床面及び壁面下部から循環用ダクト７で吸引される空気の流れに沿って床面へと沈降していく。沈降してきた塵埃は、格子状または平行状の床面を通り、液体貯溜室８の液体面に落下または接触し集塵される。液体面に付着した塵埃は、作業者が移動する際に発生する風圧や設備の動作風圧、エアサイレンサからの吹き出し等により塵埃を巻き上げることがなくクリーンルーム内のクリーン度が向上する。
【０００９】
【発明の効果】
本発明は、クリーンルーム内の床面を格子状または平行状にして床上げ形成するとともに、床上げした床面の下に液体を滞留または循環させる液体貯溜室を形成する場合において、液体に水よりも表面張力の低い液体を用いるためクリーンルーム内の塵埃の集塵効果を向上し、作業者が移動する際に発生する風圧や設備の動作風圧、エアサイレンサからの吹き出し等による塵埃の巻き上げを防止すると共に水より表面張力が小さい液体を用いるため塵埃が付着しやすく室内のクリーン度を上げ、製品の品質を向上させることができる。また、本実施例のように水より表面張力が小さい液体として水より沸点が高い液体である油類を用いることにより、蒸発による上昇気流の発生及び湿度の上昇が防止できる。これにより、グレーチングを設けることと同等の効果が発生するためクリーンルームの建築も安価に提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施例を示す略断面図である。
【符号の説明】
１．クリーンルーム内壁 ２．格子状または平行状の床面
３．エアー用フィルタ ４．送風ダクト
５．空調機 ６．外気取り込みダクト
７．循環用ダクト ８．液体貯溜室
９．液体循環用パイプ １０．循環ポンプ
１１．循環用フィルタ １２．クリーンルーム
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルーム内の塵埃を集塵する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来クリーンルームでは、室内空気のクリーン度を上げるために、室内上部または壁面部からフィルターを通してクリーン度を上げた空気を室内に送り、そして室内の床面、床下、壁面下部から汚れた空気を吸引し室内のクリーン度を上げていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のクリーンルームでは、床面に落ちた塵埃が作業者の移動する際に発生する風圧や設備の動作風圧、エアサイレンサからの吹き出し等により巻き上げられ、室内のクリーン度を上げることができなかった。それにより、巻き上げられた塵埃が製品等に悪影響を及ぼすという課題がある。
また、上記の対策として、床面のグレーチングがあるが、床面を深く掘るため建築費用が高価になるという課題がある。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、作業者が移動する際に発生する風圧や設備の動作風圧、エアサイレンサからの吹き出し等による塵埃の巻き上げを防止して室内のクリーン度を上げ、製品の品質を向上させるクリーンルーム内の塵埃集塵方法を提供することを目的としたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、クリーンルーム内の床面を格子状または平行状にして床上げ形成するとともに、床上げした床面の下に液体を滞留または循環させる液体貯溜室を形成し、液体にクリーンルーム内の塵埃を付着させ集塵させてなるクリーンルーム内の塵埃集塵方法において、液体に水より沸点の高い油類を用いることを特徴とするクリーンルーム内の塵埃集塵方法である。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明の構成を実施例に対応する図１を用いて説明すると、本発明は、クリーンルーム内の床面を格子状または平行状にして床上げ形成するとともに、床上げした床面の下に液体を滞留または循環させる液体貯溜室を形成し、液体にクリーンルーム内の塵埃を付着させ集塵させてなるものである。
クリーンルーム内の塵埃は、上部または壁面部から送られた空気が床面および壁面下部から吸引される空気の流れに沿って床面へと沈降していく。床面は格子状または平行線状にして床上げし、その下に液体貯溜室を形成して液体を滞留または循環させる。本発明では、液体貯溜室の液体に水よりも表面張力の小さい液体を用いる。水よりも表面張力の小さい液体としては、水に界面活性剤を適量混合し表面張力を水より小さくしたり、水より沸点の高い油類、溶剤等が挙げられる。油類としてひまし油、溶剤としてポリアルキレングリコールエーテル類が例示され、その沸点は水より高い１００℃以上である。水よりも表面張力の小さい液体を用いることにより、塵埃の付着効果を高めることができ、特に沸点が水より高い油類、溶剤類を用いると、蒸発による室内の湿度の上昇や上昇気流の発生を防止できる。また、機器類の錆発生による腐食を防止することが出来る。溶剤類は沸点が高く、蒸気圧の極めて小さいものを用いる。
このようにすることにより、沈降してきた塵埃は、格子状または平行線状の床面を通り液体に付着する。液体に付着した塵埃は、作業者が移動する際に発生する風圧や設備の動作風圧、エアサイレンサからの吹き出し等による塵埃の巻き上げを防止し、室内のクリーン度を上げることができる。
【０００６】
液体は床面下で滞留させても、循環させてもよい。滞留させた場合、定期的な液体の洗浄を行う必要がある。又、循環させた場合回収した液体の塵埃をフィルタにより集塵することにより液体のクリーン度を維持することができる。
また、液体の温度は室温と同等またはそれ以下とすることが望ましい。水深は１ｃｍ程度でよい。
【０００７】
【実施例】
以下、本発明のクリーンルーム内の塵埃集塵方法について説明する。
（実施例）
図１は本発明の実施例を示す略断面図である。
クリーンルーム１２は、床面より床上げされた格子状または平行状の床面２と内壁１とからなる。そして、格子状または平行状の床面２の下部には液体貯溜室８が形成され、液体貯溜室８には水よりも表面張力が低い液体として油類であるひまし油を循環させ集塵させるための循環ポンプ１０及び循環用フィルタ１１を備えた液体循環用パイプ９が接続されている。４は、エアー用フィルタ３を介して天井に接続された送風ダクト４であり、送風ダクト４の上流側には空調機５を介して外気取り込みダクト６が接続されている。そして、空調機５とクリーンルーム１２の格子状または平行状の床面２下部との間には室内の空気の循環を行う循環用ダクト７が形成されている。
【０００８】
クリーンルーム内壁１に囲まれ格子状または平行状に床上げされた床面２の室内において、外気取り込みダクト６、空調機５及び送風ダクト４からなる空気循環装置により送られた空気は先ずエアー用フィルタ３を介して塵埃が集塵される。そして、室内の上部から流入した空気は、床面及び壁面下部から循環用ダクト７で吸引される空気の流れに沿って床面へと沈降していく。沈降してきた塵埃は、格子状または平行状の床面を通り、液体貯溜室８の液体面に落下または接触し集塵される。液体面に付着した塵埃は、作業者が移動する際に発生する風圧や設備の動作風圧、エアサイレンサからの吹き出し等により塵埃を巻き上げることがなくクリーンルーム内のクリーン度が向上する。
【０００９】
【発明の効果】
本発明は、クリーンルーム内の床面を格子状または平行状にして床上げ形成するとともに、床上げした床面の下に液体を滞留または循環させる液体貯溜室を形成する場合において、液体に水よりも表面張力の低い液体を用いるためクリーンルーム内の塵埃の集塵効果を向上し、作業者が移動する際に発生する風圧や設備の動作風圧、エアサイレンサからの吹き出し等による塵埃の巻き上げを防止すると共に水より表面張力が小さい液体を用いるため塵埃が付着しやすく室内のクリーン度を上げ、製品の品質を向上させることができる。また、本実施例のように水より表面張力が小さい液体として水より沸点が高い液体である油類を用いることにより、蒸発による上昇気流の発生及び湿度の上昇が防止できる。これにより、グレーチングを設けることと同等の効果が発生するためクリーンルームの建築も安価に提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施例を示す略断面図である。
【符号の説明】
１．クリーンルーム内壁 ２．格子状または平行状の床面
３．エアー用フィルタ ４．送風ダクト
５．空調機 ６．外気取り込みダクト
７．循環用ダクト ８．液体貯溜室
９．液体循環用パイプ １０．循環ポンプ
１１．循環用フィルタ １２．クリーンルーム
Claims (1)
- クリーンルーム内の床面を格子状または平行状にして床上げ形成するとともに、床上げした床面の下に液体を滞留または循環させる液体貯溜室を形成し、液体にクリーンルーム内の塵埃を付着させ集塵させてなるクリーンルーム内の塵埃集塵方法において、液体に水より沸点の高い油類を用いることを特徴とするクリーンルーム内の塵埃集塵方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30694798A JP4055033B2 (ja) | 1998-10-28 | 1998-10-28 | クリーンルーム内の塵埃集塵方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30694798A JP4055033B2 (ja) | 1998-10-28 | 1998-10-28 | クリーンルーム内の塵埃集塵方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000126532A JP2000126532A (ja) | 2000-05-09 |
| JP4055033B2 true JP4055033B2 (ja) | 2008-03-05 |
Family
ID=17963200
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30694798A Expired - Fee Related JP4055033B2 (ja) | 1998-10-28 | 1998-10-28 | クリーンルーム内の塵埃集塵方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4055033B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008229830A (ja) | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Showa Denko Kk | 円盤状基板の製造方法 |
| CN107525151A (zh) * | 2017-09-21 | 2017-12-29 | 马根昌 | 除尘净化式空调内机系统 |
-
1998
- 1998-10-28 JP JP30694798A patent/JP4055033B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JP2000126532A (ja) | 2000-05-09 |
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