JPH11156135A - クリンルーム内の塵埃集塵方法 - Google Patents
クリンルーム内の塵埃集塵方法Info
- Publication number
- JPH11156135A JPH11156135A JP32554997A JP32554997A JPH11156135A JP H11156135 A JPH11156135 A JP H11156135A JP 32554997 A JP32554997 A JP 32554997A JP 32554997 A JP32554997 A JP 32554997A JP H11156135 A JPH11156135 A JP H11156135A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- liquid
- dust
- wind pressure
- clean room
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Ventilation (AREA)
- Separation Of Particles Using Liquids (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 クリーンルーム内において作業者の移動によ
る風圧や設置設備の動作風圧、エアサイレンサからの吹
き出し等による塵埃の巻き上げを防止して室内のクリー
ン度を上げることができるクリーンルーム内の塵埃集塵
方法を提供する。 【解決手段】 クリンルーム１２内の床面を床上げ形成
するとともに、格子状または平行状に床上げした床面２
の下に液体を滞留または循環させる液体貯溜室８を形成
し、液体にクリンルーム１２内の塵埃を付着させて集塵
させる。
る風圧や設置設備の動作風圧、エアサイレンサからの吹
き出し等による塵埃の巻き上げを防止して室内のクリー
ン度を上げることができるクリーンルーム内の塵埃集塵
方法を提供する。 【解決手段】 クリンルーム１２内の床面を床上げ形成
するとともに、格子状または平行状に床上げした床面２
の下に液体を滞留または循環させる液体貯溜室８を形成
し、液体にクリンルーム１２内の塵埃を付着させて集塵
させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリンルーム内の
塵埃を集塵する方法に関するものである。
塵埃を集塵する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来クリーンルームでは、室内空気のク
リーン度を上げるために、室内上部または壁面部からフ
ィルターを通してクリーン度を上げた空気を室内に送
り、そして室内の床面、床下、壁面下部から汚れた空気
を吸引し室内のクリーン度を上げていた。
リーン度を上げるために、室内上部または壁面部からフ
ィルターを通してクリーン度を上げた空気を室内に送
り、そして室内の床面、床下、壁面下部から汚れた空気
を吸引し室内のクリーン度を上げていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
クリーンルームでは、床面に落ちた塵埃が作業者が移動
する際に発生する風圧や設備の動作風圧、エアサイレン
サからの吹き出し等により巻き上げられ、室内のクリー
ン度を上げることができなかった。それにより、巻き上
げられた塵埃が製品等に悪影響を及ぼすという課題があ
る。また、上記の対策として、床面のグレーチングがあ
るが、床面を深く掘るため建築費用が高価になるという
課題がある。本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
であり、作業者が移動する際に発生する風圧や設備の動
作風圧、エアサイレンサからの吹き出し等による塵埃の
巻き上げを防止して室内のクリーン度を上げ、製品の品
質を向上させるクリーンルーム内の塵埃集塵方法を提供
することを目的としたものである。
クリーンルームでは、床面に落ちた塵埃が作業者が移動
する際に発生する風圧や設備の動作風圧、エアサイレン
サからの吹き出し等により巻き上げられ、室内のクリー
ン度を上げることができなかった。それにより、巻き上
げられた塵埃が製品等に悪影響を及ぼすという課題があ
る。また、上記の対策として、床面のグレーチングがあ
るが、床面を深く掘るため建築費用が高価になるという
課題がある。本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
であり、作業者が移動する際に発生する風圧や設備の動
作風圧、エアサイレンサからの吹き出し等による塵埃の
巻き上げを防止して室内のクリーン度を上げ、製品の品
質を向上させるクリーンルーム内の塵埃集塵方法を提供
することを目的としたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、クリンルーム
内の床面を格子状または平行状にして床上げ形成すると
ともに、床上げした床面の下に液体を滞留または循環さ
せる液体貯溜室を形成し、液体にクリンルーム内の塵埃
を付着させ集塵させてなることを特徴とするクリンルー
ム内の塵埃集塵方法である。
内の床面を格子状または平行状にして床上げ形成すると
ともに、床上げした床面の下に液体を滞留または循環さ
せる液体貯溜室を形成し、液体にクリンルーム内の塵埃
を付着させ集塵させてなることを特徴とするクリンルー
ム内の塵埃集塵方法である。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明の構成を実施例に対応する
図１を用いて説明すると、本発明は、クリンルーム内の
床面を格子状または平行状にして床上げ形成するととも
に、床上げした床面の下に液体を滞留または循環させる
液体貯溜室を形成し、液体にクリンルーム内の塵埃を付
着させ集塵させてなるものである。クリーンルーム内の
塵埃は、上部または壁面部から送られた空気が床面およ
び壁面下部から吸引される空気の流れに沿って床面へと
沈降していく。床面は格子状または平行線状にして床上
げし、その下に液体貯溜室を形成して液体を滞留または
循環させる。このようにすることにより、沈降してきた
塵埃は、格子状または平行線状の床面を通り液体に付着
する。液体に付着した塵埃は、作業者が移動する際に発
生する風圧や設備の動作風圧、エアサイレンサからの吹
き出し等による塵埃の巻き上げを防止し、室内のクリー
ン度を上げることができる。
図１を用いて説明すると、本発明は、クリンルーム内の
床面を格子状または平行状にして床上げ形成するととも
に、床上げした床面の下に液体を滞留または循環させる
液体貯溜室を形成し、液体にクリンルーム内の塵埃を付
着させ集塵させてなるものである。クリーンルーム内の
塵埃は、上部または壁面部から送られた空気が床面およ
び壁面下部から吸引される空気の流れに沿って床面へと
沈降していく。床面は格子状または平行線状にして床上
げし、その下に液体貯溜室を形成して液体を滞留または
循環させる。このようにすることにより、沈降してきた
塵埃は、格子状または平行線状の床面を通り液体に付着
する。液体に付着した塵埃は、作業者が移動する際に発
生する風圧や設備の動作風圧、エアサイレンサからの吹
き出し等による塵埃の巻き上げを防止し、室内のクリー
ン度を上げることができる。
【０００６】液体は床面下で滞留させても、循環させて
もよい。滞留させた場合定期的な液体の洗浄を行う必要
がある。又、循環させた場合回収した液体の塵埃をフィ
ルタにより集塵することにより液体のクリーン度を維持
することができる。また、液体の温度は室温と同等また
はそれ以下とすることが望ましい。水深は１ｃｍ程度で
よい。
もよい。滞留させた場合定期的な液体の洗浄を行う必要
がある。又、循環させた場合回収した液体の塵埃をフィ
ルタにより集塵することにより液体のクリーン度を維持
することができる。また、液体の温度は室温と同等また
はそれ以下とすることが望ましい。水深は１ｃｍ程度で
よい。
【０００７】
【実施例】以下、本発明のクリンルーム内の塵埃集塵方
法について説明する。 （実施例）図１は本発明の実施例を示す略断面図であ
る。クリーンルーム１２は、床面より床上げされた格子
状または平行状の床面２と内壁１とからなる。そして、
格子状または平行状の床面２の下部には液体貯溜室８が
形成され、液体貯溜室８には液体を循環させ集塵させる
ための循環ポンプ１０及び循環用フィルタ１１を備えた
液体循環用パイプ９が接続されている。４は、エアー用
フィルタ３を介して天井に接続された送風ダクト４であ
り、送風ダクト４の上流側には空調機５を介して外気取
り込みダクト６が接続されている。そして、空調機５と
クリンルーム１２の格子状または平行状の床面２下部と
の間には室内の空気の循環を行う循環用ダクト７が形成
されている。
法について説明する。 （実施例）図１は本発明の実施例を示す略断面図であ
る。クリーンルーム１２は、床面より床上げされた格子
状または平行状の床面２と内壁１とからなる。そして、
格子状または平行状の床面２の下部には液体貯溜室８が
形成され、液体貯溜室８には液体を循環させ集塵させる
ための循環ポンプ１０及び循環用フィルタ１１を備えた
液体循環用パイプ９が接続されている。４は、エアー用
フィルタ３を介して天井に接続された送風ダクト４であ
り、送風ダクト４の上流側には空調機５を介して外気取
り込みダクト６が接続されている。そして、空調機５と
クリンルーム１２の格子状または平行状の床面２下部と
の間には室内の空気の循環を行う循環用ダクト７が形成
されている。
【０００８】クリンルーム内壁１に囲まれ格子状または
平行状に床上げされた床面２の室内において、外気取り
込みダクト６、空調機５及び送風ダクト４からなる空気
循環装置により送られた空気は先ずエアー用フィルタ３
を介して塵埃が集塵される。そして、室内の上部から流
入した空気は、床面及び壁面下部から循環用ダクト７で
吸引される空気の流れに沿って床面へと沈降していく。
沈降してきた塵埃は、格子状または平行状の床面を通
り、液体貯溜室８の液体に落下または接触し集塵され
る。液体に付着した塵埃は、作業者が移動する際に発生
する風圧や設備の動作風圧、エアサイレンサからの吹き
出し等により塵埃を巻き上げることがなくクリーンルー
ム内のクリーン度が向上する。
平行状に床上げされた床面２の室内において、外気取り
込みダクト６、空調機５及び送風ダクト４からなる空気
循環装置により送られた空気は先ずエアー用フィルタ３
を介して塵埃が集塵される。そして、室内の上部から流
入した空気は、床面及び壁面下部から循環用ダクト７で
吸引される空気の流れに沿って床面へと沈降していく。
沈降してきた塵埃は、格子状または平行状の床面を通
り、液体貯溜室８の液体に落下または接触し集塵され
る。液体に付着した塵埃は、作業者が移動する際に発生
する風圧や設備の動作風圧、エアサイレンサからの吹き
出し等により塵埃を巻き上げることがなくクリーンルー
ム内のクリーン度が向上する。
【０００９】
【発明の効果】本発明は、クリンルーム内の床面を格子
状または平行状にして床上げ形成するとともに、床上げ
した床面の下に液体を滞留または循環させる液体貯溜室
を形成し、液体にクリンルーム内の塵埃を付着させ集塵
させる構成としたので、作業者が移動する際に発生する
風圧や設備の動作風圧、エアサイレンサからの吹き出し
等による塵埃の巻き上げを防止して室内のクリーン度を
上げ、製品の品質を向上させることができる。これによ
り、グレーチングを設けることと同等の効果が発生する
ためクリンルームの建築も安価に提供できる。
状または平行状にして床上げ形成するとともに、床上げ
した床面の下に液体を滞留または循環させる液体貯溜室
を形成し、液体にクリンルーム内の塵埃を付着させ集塵
させる構成としたので、作業者が移動する際に発生する
風圧や設備の動作風圧、エアサイレンサからの吹き出し
等による塵埃の巻き上げを防止して室内のクリーン度を
上げ、製品の品質を向上させることができる。これによ
り、グレーチングを設けることと同等の効果が発生する
ためクリンルームの建築も安価に提供できる。
【図１】 本発明の実施例を示す略断面図である。
１．クリンルーム内壁 ２．格子状また
は平行状の床面 ３．エアー用フィルタ ４．送風ダクト ５．空調機 ６．外気取り込
みダクト ７．循環用ダクト ８．液体貯溜室 ９．液体循環用パイプ １０．循環ポンプ １１．循環用フィルタ １２．クリンル
ーム
は平行状の床面 ３．エアー用フィルタ ４．送風ダクト ５．空調機 ６．外気取り込
みダクト ７．循環用ダクト ８．液体貯溜室 ９．液体循環用パイプ １０．循環ポンプ １１．循環用フィルタ １２．クリンル
ーム
Claims (1)
- 【請求項１】 クリンルーム内の床面を格子状または平
行状にして床上げ形成するとともに、床上げした床面の
下に液体を滞留または循環させる液体貯溜室を形成し、
液体にクリンルーム内の塵埃を付着させ集塵させてなる
ことを特徴とするクリンルーム内の塵埃集塵方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32554997A JPH11156135A (ja) | 1997-11-27 | 1997-11-27 | クリンルーム内の塵埃集塵方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32554997A JPH11156135A (ja) | 1997-11-27 | 1997-11-27 | クリンルーム内の塵埃集塵方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11156135A true JPH11156135A (ja) | 1999-06-15 |
Family
ID=18178141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32554997A Pending JPH11156135A (ja) | 1997-11-27 | 1997-11-27 | クリンルーム内の塵埃集塵方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11156135A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006015279A (ja) * | 2004-07-02 | 2006-01-19 | Think Laboratory Co Ltd | 感光膜塗布装置及び製版工場 |
-
1997
- 1997-11-27 JP JP32554997A patent/JPH11156135A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006015279A (ja) * | 2004-07-02 | 2006-01-19 | Think Laboratory Co Ltd | 感光膜塗布装置及び製版工場 |
| JP4522766B2 (ja) * | 2004-07-02 | 2010-08-11 | 株式会社シンク・ラボラトリー | 感光膜塗布装置及び製版工場 |
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