JP3383671B2 - コーナー材 - Google Patents
コーナー材Info
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- corner material
- vacuum pipe
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルームの清浄
化を維持するために、クリーンルーム内の壁面と床面に
より構成されるコーナー部に配設されるコーナー材に関
する。 【０００２】 【従来の技術】近年、清浄作業環境が必要とされる産業
では、室内の空気が清浄化されたクリーンルームにおい
て作業が行われている。この様なクリーンルームは、フ
ィルター等の清浄化装置の高性能化とともに、清浄度が
向上され高品位のものとなっている。 【０００３】この様なクリーンルームでは、高い清浄度
を保つために、室内の維持・管理が重要となっている。
この維持・管理が十分に行われなければ、クリーンルー
ムの機能がまったく果たされないものとなる。維持・管
理のひとつには、発生塵埃を速やかに除去するための室
内の清掃があり、これは定期的に行われている。例え
ば、クラス１００００のクリーンルームの場合には、床
・作業面・ごみ箱については毎日、窓は毎週、壁・天井
については毎月の頻度で清掃を行っている。特に、塵埃
は床面に集積しやすく、この集積された塵埃は、床から
の反跳気流や気流の巻込みにより舞上がり、図４の汚染
域に示されるように、クリーンルームを汚染することに
なる。このため、床面の清掃は発塵を押さえるために丁
寧に行われ、クラス１００００のクリーンルームの場合
には、真空除塵及び水ぶきを毎日、洗剤ぶきを毎月とな
る頻度である。ここで、真空除塵は、通常、中央集塵装
置により真空集塵されている。また、水ぶきは、薄膜フ
ィルタによりろ過された水を用いて拭き取る方法で、洗
剤ぶきは、薄膜フィルタによりろ過された希釈中性洗剤
を用いて拭き取る方法である。 【０００４】しかし、以上の様な清掃を行っても、クリ
ーンルーム内の維持・管理が十分とはいえない。すなわ
ち、クリーンルーム内には装置類が設置され、作業者が
入室するため、機器の発熱による熱じょう乱や、機器の
作動による誘引気流、作業者の動きによる気流、生産排
気に伴う吸引気流等の室内気流を乱す要因がいくつもあ
る。このような気流により、塵埃がクリーンルームの床
面と壁面とに構成されるコーナー部に集積しやすくな
る。さらに、気流を乱す要因が多いほど、コーナー部に
集積した塵埃を舞上げることが多くなる。これに対応す
るためには、コーナー部に慎重な対策が必要となる。し
かし、従来の清掃方法では、コーナー部の細部まで十分
に清掃を行うことは困難であった。このように、コーナ
ー部の除塵が不十分となるため、汚染域を広げることに
なっていた。 【０００５】このため、コーナー部の除塵清掃作業を容
易にするための手段として、コーナー材を配設すること
が提案されている。すなわち、図５に示すように、壁面
２１と床面２２とのコーナー部に、緩やかな曲面の形成
されたコーナー材２３を配設することより、コーナー部
の除塵作業を容易としている。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、コーナ
ー部にコーナー材２３を配設しても、塵埃はコーナー材
２３近傍に集積することになる。従来に比べて除塵作業
は容易になるが、室内に設置された機器等が清掃の妨げ
となる等により、コーナー材２３近傍に集積する塵埃を
完全に除去することは無理である。したがって、コーナ
ー材２３を設けることだけでは、清浄化を大幅に改善す
ることにはなっていない。このように、従来技術では、
集積された塵埃を十分に除去し、クリーンルームを高い
清浄度で維持することは困難なことである。 【０００７】本発明は、上記のような従来技術の欠点を
解決するために提案されたもので、その目的は、クリー
ンルーム内の塵埃集積箇所となるコーナー部の清掃を自
動的に行うことにより、コーナー部の塵埃を完全に除去
することができ、クリーンルームの清浄度を高い状態で
維持することのできるコーナー材を提供することであ
る。 【０００８】 【課題を解決するための手段】前記の様な課題を解決す
るために、本発明のコーナー材は次の様な手段がとられ
る。 【０００９】すなわち、請求項１記載の発明では、クリ
ーンルーム内の壁面と床面により構成されるコーナー部
に配設されるコーナー材において、前記コーナー材に、
前記壁面から前記床面にかけてなだらかな曲線が形成さ
れるような曲線部が設けられ、前記コーナー材の前記曲
線部に、前記コーナ部近傍で生じる気流が前記曲線部の
曲線に沿って流動される通気自在の開口部が設けられ、
前記壁面内部には吸引装置に接続された真空配管が埋め
込まれるとともに、該壁面下部には通気自在の吸い込み
孔が設けられ、前記真空配管と前記コーナー材の開口部
とが前記吸い込み孔を介して連通されていること、を特
徴とする。 【００１０】 【００１１】 【作用】上記のような構成を有する本発明のコーナー材
の作用は次の通りである。 【００１２】すなわち、請求項１記載の本発明では、ク
リーンルーム内の壁面と床面により構成されるコーナー
部に配設されたコーナー材の曲線部によって、壁面から
床面にかけてなだらかな曲線が形成される。この曲線部
には、コーナ部近傍で生じる気流が該曲線部の曲線に沿
って流動される通気自在の開口部が設けられているた
め、コーナー部に集積している塵埃を該気流とともにコ
ーナー材の開口部内へ誘導することが可能となる。そし
て、このようなコーナー材の開口部と連通された真空配
管が壁内部に埋め込まれているため、クリーンルーム内
部に配管が露出することがなく、コーナー部の塵埃を完
全且つ容易に除去することができる。よって、配管が露
出することによって、その部分の周辺に対する新たな清
掃の必要性が生じない。 【００１３】 【００１４】 【実施例】以下本発明のコーナー材の一実施例を図面に
もとづいて説明する。 【００１５】まず、図１の左部分（Ａ）に、クリーンル
ーム内の床面と壁面により構成されるコーナー部を示
す。また、この図の右部分（Ｂ）に、アールの形成され
たコーナー材の設けられたコーナー部を示す。 【００１６】クリーンルームに設けられた本実施例のコ
ーナー材は次のようになる。すなわち、クリーンルーム
の側面周囲は断熱効果を有するパネル１により壁が構成
されている。このパネル１の下部は、巾木５を介してク
リーンルームの床面４に固定されている。また、パネル
１の内部には、上下方向に伸びる真空配管３が、打ち込
みにより一定間隔で配設されている。巾木５は、上方の
開口する略コ字形に形成され、その上部でパネル１の表
面を両側から挟持している。また、図２に示すように、
パネル１に真空配管３の設けられていない部分では、巾
木５の内面側は、上部のパネル１で覆われることにより
通気自在の略ロ字形の管６となっている。この略ロ字形
の管６は、パネル１内部の真空配管３と通気自在に接続
されている。また、巾木５の側面下部には、吸込孔８が
通気自在に形成されている。 【００１７】図１（Ａ）に示すように、パネル１と床面
４により構成されるコーナー部では、巾木５とパネル１
や床面４との接合部が、シリコンシーラー等の密閉剤１
４により密着されている。 【００１８】一方、図１（Ｂ）に示すように、コーナー
部にコーナー材７が設けられている場合には、このコー
ナー材７は巾木５と一体に設けられている。巾木５の下
面はコーナー材７の下端部まで設けられ、床面４を覆う
ように設けられている。また、巾木５とパネル１との接
合部は、シリコンシーラー等の密閉剤１４により密着さ
れている。この様なコーナー材７には、パンチング孔等
による吸込開口部９が巾木５の吸込孔８とともに通気自
在に形成されている。コーナー材７及び吸込開口部９
は、吸込時の気流がコーナー部に沿って容易に吸い込ま
れる様に形成されている。 【００１９】このようなコーナー部では、図１（Ａ），
（Ｂ）に示すように、パネル１内部の真空配管３と巾木
５の内部の吸込孔８とは通気自在に、且つその接合部が
密閉状態で接続されている。 【００２０】このようなコーナー部のパネル１内部に配
設された真空配管３は、図３に示すように天井内部に配
設された真空配管１０に接続されている。この真空配管
１０には、図示しないステッピングパルサー等の制御装
置により定期的に開閉する電磁弁１１が設けられてい
る。この真空配管１０は中央集塵装置１２に接続され、
真空ポンプ１３により真空集塵が行われるようになって
いる。 【００２１】以上のように構成される本発明のコーナー
材により、次のようにコーナー部の集塵が行われる。 【００２２】すなわち、パネル１内部の真空配管３は天
井内部の真空配管１０を介して中央集塵装置１２と接続
されている。常時真空状態となっている天井の真空配管
１０では、ステッピングパルサー等の制御装置により電
磁弁１１が開かれた時に、パネル１内部の真空配管３内
部の空気を吸引し、減圧状態とする。これにより、この
真空配管３に密閉接続される巾木５内面の略ロ字形の管
６が同様に減圧状態となり、巾木５に形成された吸込孔
８から、クリーンルーム室内空気を吸引することにな
る。この吸引により、吸込孔８の近傍のコーナー部に集
積している塵埃が中央集塵装置１２に吸引される。ま
た、コーナー材７が設けられている場合にも、コーナー
材７近傍に集積している塵埃が吸込開口部９から吸引さ
れ、吸込孔８から真空配管３，１０を通って中央集塵装
置に吸引される。 【００２３】以上のような本実施例のコーナー材をクリ
ーンルームに設けることにより、従来清掃が不十分とな
っていたコーナー部の塵埃を、完全に除去することがで
きる。また、真空配管がパネル内部に配設され、室内に
露出していないため、室内の清掃作業に影響は及ぼさな
い。すなわち、露出している場合には、その露出部と壁
面との間隙に塵埃が集積し易いことや壁面の清掃が不十
分になる等の問題があるが、パネル内部に配設されたこ
とにより、これらの問題は解決される。さらに、ステッ
ピングパルサー等の制御装置により、コーナー部の塵埃
を定期的に吸引除去することができる。また、本実施例
で使用される中央集塵装置は、従来の清掃の真空除塵用
装置を使用することが可能なため、新たな装置及びその
設置場所を用意する必要が無い。また、真空配管も壁及
び天井の内部に配設するため、自動清掃装置としての新
たな設置場所は必要としない。 【００２４】以上のように、本実施例のコーナー材によ
って、コーナー部に集積する塵埃を完全に除去すること
により、クリーンルームの清浄度を高い状態で維持する
ことができる。 【００２５】なお、本発明のコーナー材は上述した実施
例に限定されるものではなく、具体的な各部材の形状、
或いは各々の取付け位置及び方法は適宜変更可能であ
る。例えば、真空配管はパネル内部及び天井内部に配設
されることに限定されず、クリーンルームの外壁面等の
外部に配設しても問題ない。さらに、従来パネル内部に
設けられている電線管を真空配管として兼用することも
可能である。これらの配設方法により、従来のクリーン
ルームにも、本発明のコーナー材を後から設置すること
も可能となる。 【００２６】また、クリーンルームの壁を複数のパネル
により構成し、各パネルの接合部に真空配管を設けるこ
とも可能である。これにより、真空配管の配設が容易と
なり、また壁の形成も容易とすることができる。また、
この場合、一定の規格化されたパネルを組み合わせて用
いることにより、室内の大きさに限定されず安価な構成
とすることが可能となる。 【００２７】さらに、本発明のコーナー材は、自動制御
に限定されず手動で必要なときに作動させる制御手段に
対して取り付けられることも可能である。 【００２８】 【発明の効果】本発明のコーナー材によると、クリーン
ルーム内の塵埃集積箇所となるコーナー部の清掃を特に
十分に行うことが可能となり、コーナー部の塵埃を完全
且つ容易に除去することができ、クリーンルームの清浄
度を高い状態で維持することができる。
化を維持するために、クリーンルーム内の壁面と床面に
より構成されるコーナー部に配設されるコーナー材に関
する。 【０００２】 【従来の技術】近年、清浄作業環境が必要とされる産業
では、室内の空気が清浄化されたクリーンルームにおい
て作業が行われている。この様なクリーンルームは、フ
ィルター等の清浄化装置の高性能化とともに、清浄度が
向上され高品位のものとなっている。 【０００３】この様なクリーンルームでは、高い清浄度
を保つために、室内の維持・管理が重要となっている。
この維持・管理が十分に行われなければ、クリーンルー
ムの機能がまったく果たされないものとなる。維持・管
理のひとつには、発生塵埃を速やかに除去するための室
内の清掃があり、これは定期的に行われている。例え
ば、クラス１００００のクリーンルームの場合には、床
・作業面・ごみ箱については毎日、窓は毎週、壁・天井
については毎月の頻度で清掃を行っている。特に、塵埃
は床面に集積しやすく、この集積された塵埃は、床から
の反跳気流や気流の巻込みにより舞上がり、図４の汚染
域に示されるように、クリーンルームを汚染することに
なる。このため、床面の清掃は発塵を押さえるために丁
寧に行われ、クラス１００００のクリーンルームの場合
には、真空除塵及び水ぶきを毎日、洗剤ぶきを毎月とな
る頻度である。ここで、真空除塵は、通常、中央集塵装
置により真空集塵されている。また、水ぶきは、薄膜フ
ィルタによりろ過された水を用いて拭き取る方法で、洗
剤ぶきは、薄膜フィルタによりろ過された希釈中性洗剤
を用いて拭き取る方法である。 【０００４】しかし、以上の様な清掃を行っても、クリ
ーンルーム内の維持・管理が十分とはいえない。すなわ
ち、クリーンルーム内には装置類が設置され、作業者が
入室するため、機器の発熱による熱じょう乱や、機器の
作動による誘引気流、作業者の動きによる気流、生産排
気に伴う吸引気流等の室内気流を乱す要因がいくつもあ
る。このような気流により、塵埃がクリーンルームの床
面と壁面とに構成されるコーナー部に集積しやすくな
る。さらに、気流を乱す要因が多いほど、コーナー部に
集積した塵埃を舞上げることが多くなる。これに対応す
るためには、コーナー部に慎重な対策が必要となる。し
かし、従来の清掃方法では、コーナー部の細部まで十分
に清掃を行うことは困難であった。このように、コーナ
ー部の除塵が不十分となるため、汚染域を広げることに
なっていた。 【０００５】このため、コーナー部の除塵清掃作業を容
易にするための手段として、コーナー材を配設すること
が提案されている。すなわち、図５に示すように、壁面
２１と床面２２とのコーナー部に、緩やかな曲面の形成
されたコーナー材２３を配設することより、コーナー部
の除塵作業を容易としている。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、コーナ
ー部にコーナー材２３を配設しても、塵埃はコーナー材
２３近傍に集積することになる。従来に比べて除塵作業
は容易になるが、室内に設置された機器等が清掃の妨げ
となる等により、コーナー材２３近傍に集積する塵埃を
完全に除去することは無理である。したがって、コーナ
ー材２３を設けることだけでは、清浄化を大幅に改善す
ることにはなっていない。このように、従来技術では、
集積された塵埃を十分に除去し、クリーンルームを高い
清浄度で維持することは困難なことである。 【０００７】本発明は、上記のような従来技術の欠点を
解決するために提案されたもので、その目的は、クリー
ンルーム内の塵埃集積箇所となるコーナー部の清掃を自
動的に行うことにより、コーナー部の塵埃を完全に除去
することができ、クリーンルームの清浄度を高い状態で
維持することのできるコーナー材を提供することであ
る。 【０００８】 【課題を解決するための手段】前記の様な課題を解決す
るために、本発明のコーナー材は次の様な手段がとられ
る。 【０００９】すなわち、請求項１記載の発明では、クリ
ーンルーム内の壁面と床面により構成されるコーナー部
に配設されるコーナー材において、前記コーナー材に、
前記壁面から前記床面にかけてなだらかな曲線が形成さ
れるような曲線部が設けられ、前記コーナー材の前記曲
線部に、前記コーナ部近傍で生じる気流が前記曲線部の
曲線に沿って流動される通気自在の開口部が設けられ、
前記壁面内部には吸引装置に接続された真空配管が埋め
込まれるとともに、該壁面下部には通気自在の吸い込み
孔が設けられ、前記真空配管と前記コーナー材の開口部
とが前記吸い込み孔を介して連通されていること、を特
徴とする。 【００１０】 【００１１】 【作用】上記のような構成を有する本発明のコーナー材
の作用は次の通りである。 【００１２】すなわち、請求項１記載の本発明では、ク
リーンルーム内の壁面と床面により構成されるコーナー
部に配設されたコーナー材の曲線部によって、壁面から
床面にかけてなだらかな曲線が形成される。この曲線部
には、コーナ部近傍で生じる気流が該曲線部の曲線に沿
って流動される通気自在の開口部が設けられているた
め、コーナー部に集積している塵埃を該気流とともにコ
ーナー材の開口部内へ誘導することが可能となる。そし
て、このようなコーナー材の開口部と連通された真空配
管が壁内部に埋め込まれているため、クリーンルーム内
部に配管が露出することがなく、コーナー部の塵埃を完
全且つ容易に除去することができる。よって、配管が露
出することによって、その部分の周辺に対する新たな清
掃の必要性が生じない。 【００１３】 【００１４】 【実施例】以下本発明のコーナー材の一実施例を図面に
もとづいて説明する。 【００１５】まず、図１の左部分（Ａ）に、クリーンル
ーム内の床面と壁面により構成されるコーナー部を示
す。また、この図の右部分（Ｂ）に、アールの形成され
たコーナー材の設けられたコーナー部を示す。 【００１６】クリーンルームに設けられた本実施例のコ
ーナー材は次のようになる。すなわち、クリーンルーム
の側面周囲は断熱効果を有するパネル１により壁が構成
されている。このパネル１の下部は、巾木５を介してク
リーンルームの床面４に固定されている。また、パネル
１の内部には、上下方向に伸びる真空配管３が、打ち込
みにより一定間隔で配設されている。巾木５は、上方の
開口する略コ字形に形成され、その上部でパネル１の表
面を両側から挟持している。また、図２に示すように、
パネル１に真空配管３の設けられていない部分では、巾
木５の内面側は、上部のパネル１で覆われることにより
通気自在の略ロ字形の管６となっている。この略ロ字形
の管６は、パネル１内部の真空配管３と通気自在に接続
されている。また、巾木５の側面下部には、吸込孔８が
通気自在に形成されている。 【００１７】図１（Ａ）に示すように、パネル１と床面
４により構成されるコーナー部では、巾木５とパネル１
や床面４との接合部が、シリコンシーラー等の密閉剤１
４により密着されている。 【００１８】一方、図１（Ｂ）に示すように、コーナー
部にコーナー材７が設けられている場合には、このコー
ナー材７は巾木５と一体に設けられている。巾木５の下
面はコーナー材７の下端部まで設けられ、床面４を覆う
ように設けられている。また、巾木５とパネル１との接
合部は、シリコンシーラー等の密閉剤１４により密着さ
れている。この様なコーナー材７には、パンチング孔等
による吸込開口部９が巾木５の吸込孔８とともに通気自
在に形成されている。コーナー材７及び吸込開口部９
は、吸込時の気流がコーナー部に沿って容易に吸い込ま
れる様に形成されている。 【００１９】このようなコーナー部では、図１（Ａ），
（Ｂ）に示すように、パネル１内部の真空配管３と巾木
５の内部の吸込孔８とは通気自在に、且つその接合部が
密閉状態で接続されている。 【００２０】このようなコーナー部のパネル１内部に配
設された真空配管３は、図３に示すように天井内部に配
設された真空配管１０に接続されている。この真空配管
１０には、図示しないステッピングパルサー等の制御装
置により定期的に開閉する電磁弁１１が設けられてい
る。この真空配管１０は中央集塵装置１２に接続され、
真空ポンプ１３により真空集塵が行われるようになって
いる。 【００２１】以上のように構成される本発明のコーナー
材により、次のようにコーナー部の集塵が行われる。 【００２２】すなわち、パネル１内部の真空配管３は天
井内部の真空配管１０を介して中央集塵装置１２と接続
されている。常時真空状態となっている天井の真空配管
１０では、ステッピングパルサー等の制御装置により電
磁弁１１が開かれた時に、パネル１内部の真空配管３内
部の空気を吸引し、減圧状態とする。これにより、この
真空配管３に密閉接続される巾木５内面の略ロ字形の管
６が同様に減圧状態となり、巾木５に形成された吸込孔
８から、クリーンルーム室内空気を吸引することにな
る。この吸引により、吸込孔８の近傍のコーナー部に集
積している塵埃が中央集塵装置１２に吸引される。ま
た、コーナー材７が設けられている場合にも、コーナー
材７近傍に集積している塵埃が吸込開口部９から吸引さ
れ、吸込孔８から真空配管３，１０を通って中央集塵装
置に吸引される。 【００２３】以上のような本実施例のコーナー材をクリ
ーンルームに設けることにより、従来清掃が不十分とな
っていたコーナー部の塵埃を、完全に除去することがで
きる。また、真空配管がパネル内部に配設され、室内に
露出していないため、室内の清掃作業に影響は及ぼさな
い。すなわち、露出している場合には、その露出部と壁
面との間隙に塵埃が集積し易いことや壁面の清掃が不十
分になる等の問題があるが、パネル内部に配設されたこ
とにより、これらの問題は解決される。さらに、ステッ
ピングパルサー等の制御装置により、コーナー部の塵埃
を定期的に吸引除去することができる。また、本実施例
で使用される中央集塵装置は、従来の清掃の真空除塵用
装置を使用することが可能なため、新たな装置及びその
設置場所を用意する必要が無い。また、真空配管も壁及
び天井の内部に配設するため、自動清掃装置としての新
たな設置場所は必要としない。 【００２４】以上のように、本実施例のコーナー材によ
って、コーナー部に集積する塵埃を完全に除去すること
により、クリーンルームの清浄度を高い状態で維持する
ことができる。 【００２５】なお、本発明のコーナー材は上述した実施
例に限定されるものではなく、具体的な各部材の形状、
或いは各々の取付け位置及び方法は適宜変更可能であ
る。例えば、真空配管はパネル内部及び天井内部に配設
されることに限定されず、クリーンルームの外壁面等の
外部に配設しても問題ない。さらに、従来パネル内部に
設けられている電線管を真空配管として兼用することも
可能である。これらの配設方法により、従来のクリーン
ルームにも、本発明のコーナー材を後から設置すること
も可能となる。 【００２６】また、クリーンルームの壁を複数のパネル
により構成し、各パネルの接合部に真空配管を設けるこ
とも可能である。これにより、真空配管の配設が容易と
なり、また壁の形成も容易とすることができる。また、
この場合、一定の規格化されたパネルを組み合わせて用
いることにより、室内の大きさに限定されず安価な構成
とすることが可能となる。 【００２７】さらに、本発明のコーナー材は、自動制御
に限定されず手動で必要なときに作動させる制御手段に
対して取り付けられることも可能である。 【００２８】 【発明の効果】本発明のコーナー材によると、クリーン
ルーム内の塵埃集積箇所となるコーナー部の清掃を特に
十分に行うことが可能となり、コーナー部の塵埃を完全
且つ容易に除去することができ、クリーンルームの清浄
度を高い状態で維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のコーナー材の一実施例を示す要部側面
断面で、真空配管の設けられている部分を示す。（Ａ）
はコーナー材を用いないもの、（Ｂ）はコーナー材を用
いたものを示す図である。 【図２】図１の真空配管の設けられていない部分を示す
要部側面断面。 【図３】図１の配管を示す説明図。 【図４】クリーンルーム内の汚染域を示す説明図。 【図５】従来のコーナー材の設けられたクリーンルーム
のコーナー部を示す側面断面図。 【符号の説明】 １ パネル ３，１０ 真空配管 ４ クリーンルームの床面 ５ 巾木 ６ 略ロ字形の管 ７ コーナー材 ８ 吸込孔 ９ 吸込開口部 １１ 電磁弁 １２ 中央集塵装置 １３ 真空ポンプ １４ 密閉剤 ２１ 壁面 ２２ 床面 ２３ コーナー材
断面で、真空配管の設けられている部分を示す。（Ａ）
はコーナー材を用いないもの、（Ｂ）はコーナー材を用
いたものを示す図である。 【図２】図１の真空配管の設けられていない部分を示す
要部側面断面。 【図３】図１の配管を示す説明図。 【図４】クリーンルーム内の汚染域を示す説明図。 【図５】従来のコーナー材の設けられたクリーンルーム
のコーナー部を示す側面断面図。 【符号の説明】 １ パネル ３，１０ 真空配管 ４ クリーンルームの床面 ５ 巾木 ６ 略ロ字形の管 ７ コーナー材 ８ 吸込孔 ９ 吸込開口部 １１ 電磁弁 １２ 中央集塵装置 １３ 真空ポンプ １４ 密閉剤 ２１ 壁面 ２２ 床面 ２３ コーナー材
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フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F24F 7/04 - 7/06
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】【請求項１】 クリーンルーム内の壁面と床面により構
成されるコーナー部に配設されるコーナー材において、 前記コーナー材に、前記壁面から前記床面にかけてなだ
らかな曲線が形成されるような曲線部が設けられ、 前記コーナー材の前記曲線部に、前記コーナ部近傍で生
じる気流が前記曲線部の曲線に沿って流動される通気自
在の開口部が設けられ、 前記壁面内部には吸引装置に接続された真空配管が埋め
込まれるとともに、該壁面下部には通気自在の吸い込み
孔が設けられ、 前記真空配管と前記コーナー材の開口部とが前記吸い込
み孔を介して連通されていること、 を特徴とするコーナー材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26924491A JP3383671B2 (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | コーナー材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26924491A JP3383671B2 (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | コーナー材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05103737A JPH05103737A (ja) | 1993-04-27 |
| JP3383671B2 true JP3383671B2 (ja) | 2003-03-04 |
Family
ID=17469658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26924491A Expired - Lifetime JP3383671B2 (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | コーナー材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3383671B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4666382B2 (ja) * | 2006-08-03 | 2011-04-06 | 大成建設株式会社 | 部屋の中空パネル構造 |
| KR100919607B1 (ko) * | 2009-06-22 | 2009-09-29 | 주식회사 지앤에이건축사사무소 | 건축물 벽체에 매립되는 구석청소 보조장치 |
| CN108756317A (zh) * | 2018-06-20 | 2018-11-06 | 长兴云腾新能源科技有限公司 | 一种半导体无尘室 |
| JP7002709B2 (ja) * | 2018-07-23 | 2022-01-20 | 株式会社レブセル | 陽圧室内の不要物の排出方法、シェルター及び酸素カプセル |
| JP7407343B2 (ja) * | 2019-06-05 | 2024-01-04 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 集塵装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55121328U (ja) * | 1979-02-19 | 1980-08-28 | ||
| JPS61202028A (ja) * | 1985-03-06 | 1986-09-06 | Kiyohiro Eng:Kk | 除塵装置内蔵の壁部材 |
| JPH0610555B2 (ja) * | 1986-11-28 | 1994-02-09 | 清水建設株式会社 | 組立式クリ−ンル−ム |
| JPH01215350A (ja) * | 1988-02-22 | 1989-08-29 | Kajima Corp | 屋内組立式清浄室 |
| JPH0337070A (ja) * | 1989-07-05 | 1991-02-18 | Sanou:Kk | 紫外線空気滅菌ダクトを使用する室内還流滅菌システム及び方法 |
-
1991
- 1991-10-17 JP JP26924491A patent/JP3383671B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05103737A (ja) | 1993-04-27 |
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