JPH0415293Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は小形にして、かつ、狭い空間に有効な
掃除システムを構成できる空間部清浄装置に関す
るものである。

従来の技術 本考案の対象となる空間とは、例えば、床下や
天井裏など、建物の構造上充分なスペースが確保
できない所、あるいは装置内部の狭小き部分を指
す。従来このような部分に対しては、人間が活動
できる空間的な高さが確保されている場合は、人
手による雑巾がけ、小形掃除機による塵埃の収集
等で清浄性が維持されている。しかし、例えば床
下の配線、配管スペース等は通常10〜50cm程度の
狭小な高さしか認められないことが多く、又装置
内部にいたつては10cm以下の幅しかない場合があ
り、先の人手によつて清浄することが困難であつ
た。もちろん、床面や装置の側壁等を部分的に取
りはずしのできるパネル構造とすれば幾分の解決
を与えるが、床上の物の配置や部品の取付けに制
約が生ずるという不便が新たに生じていた。

考案が解決しようとする問題点 このような問題が深刻な所としては、１立方フ
イート（0.0283立方メートル）中に0.1μm以上の
大きさの塵が数個以下の超清浄度（いわゆるクラ
ス10）を必要とするLSI製造用クリーンルームを
挙げることができるので、以下これを例として説
明を進める。一般にこの種のクリーンルームは常
に天井から床下に向う清浄な空気の流れ（層流）
が設けられ、室内で発生した埃をただちにクリー
ンルーム外（床下）へ流し去る工夫がなされてい
る。このため、床下には極めて埃が溜り易いとい
う問題があつた。この問題は、室内での埃の発生
が多い所ほど対策が必要である。以下具体的な例
を挙げて説明を進める。

通常、クリーンルームには前室と呼ばれる室が
設けられるが、この室内ではクリーンルームに入
る作業者、研究者がいわゆる無塵衣を装着する。
無塵衣自体は低発塵性であるが、その下に着用し
ている通常の服は極めて発塵性が高いことは良く
知られた事実である。この更衣中の動作によつて
多量の埃が空間に流れ出すこととなるが、これを
無塵衣の表面に付着させないため、天井から床下
に向う層流が設けられている。床面は層流に乗つ
て流されてきた埃を溜めないため格子となつてい
ることが多い。従つて、通常の場合は、清浄度を
必要とする前室内には埃が溜らず、その床下に溜
ることとなる。この埃は、普段は何ら問題を生じ
ないが、扉の開閉にともなう前室内の圧力変動で
床下から前室内に向う空気の流れが生じた場合、
人あるいは物の移動、又は地震等による過度の振
動が生じた時、床上に舞い上ることとなる。この
舞い上る塵埃による無塵服の汚染を防ぐため、床
下は定期的に清浄することが望ましい。しかし、
床の格子パネルは機械的強度を持たせるため、鉄
又はSUS製であり、数Kg〜数十Kgの重量を有す
る。従つてこれらを移動して人手で清掃すること
は大変な労苦を要する。

この問題を解決すべく実用化されているのが斜
視図で示す第５図の清掃システムを構成する清浄
装置である。

この図において、床面は金属製の格子１（分り
易くするため一部のみ描く。）とし、この下に移
動式の掃除機２が設置されている。掃除機２は床
下をガイド３に沿つて往復運動をし、床下面４の
塵をまんべんなく収集する。ガイド３は掃除機２
の吸い込んだ空気及び埃を床下から取り出す排気
系（ダクト）となつていることが多い。第６図に
は掃除機２の本体の第５図のＸ−X′線の断面図
を示した。掃除機２の下部には埃を巻き上げて吸
い取り易くするための細い樹脂製のブラシ５が備
えられている。又、掃除機２の中には塵を空気と
共に吸い込むためのフアン６及びこれを駆動する
モータ（図示せず）がある。掃除機２が床下面４
上を移動するとブラシ５が埃を巻き上げ、フアン
６の回転で生じた空気の流れに乗せてダクトに放
出する。図中の矢印はフアン６の回転による空気
の流れを示したものである。このシステムは極め
て有効な反面、以下の如き問題を有する。一つ
は、フアン６の回転を速くするほど埃の捕集能力
は増すが、モータが大型となるため掃除機２の重
量が増し、ガイドに過度の力が加わることとな
る。これを嫌えば充分な埃の捕集能力が得られな
い。又、掃除機２を移動させる駆動系が必要であ
るが、掃除機２が壁にぶつからないようセンサー
で監視したり、端まで到達した場合には反転して
移動させるなど、かなり高度な制御系を必要とし
ていた。この他、掃除機２が格子１の下にあるた
め、定期保守及び故障時には格子１を外さざるを
得ず、人手で床下面を清掃する場合と類似の困難
が依然として残つていた。

問題点を解決するための手段 本考案は、格子で構成した床面の下部に床下面
を設け、前記床面と床下面に集塵室となるよう構
成した空間部の両端部に一方の幅の長さを有する
回転自在にローラを配設し、前記ローラ間に前記
床面を下部より全面を覆う大きさのフイルム状部
材を張設し、前記一方のローラのフイルム状部材
にブラシが外部横より接触するよう掃除機を配設
し、少なく共前記フイルム状部材のローラ間の長
さを前記掃除機のないローラの部分より前記掃除
機のブラシに達するまで移動できるよう張設して
構成するとともに、前記２個のローラ間に張設し
たフイルム状部材を絶縁部材とし、前記フイルム
状部材下面に、下面に接触して移動できる導電性
フイルム部材を設け、又、前記掃除機のブラシを
床面より前記フイルム状部材に接触するよう配設
したものである。

作 用 本考案は前記構成により、ローラは小形にでき
るので狭い空間部に配設でき、掃除機は固定でき
るので小形、軽量にでき、ベルトを移動するので
容易に集塵できる、どんな狭い空間部にも構成で
きる。

実施例 第１図は本考案の空間部清浄装置を一部破断し
て示す斜視図、第２図は第１図のＸ−X′線断面
図を示す。

図において、１０は空間部、１は格子で構成し
た床面、２は掃除機、７は帯状のベルト、１４は
床下面、８１はローラ、８２はローラ、を示す。

本考案の空間部清浄装置（以下装置という。）
の構成を説明する。

本考案の装置は空間部の一辺横ABの長さを有
するローラ８１，８２を空間部１０縦のBCの両
端で格子１の下部、床下面１４上に配設し、ロー
ラ８１，８２に帯状のベルト７をエンドレスに巻
回張設する。ローラ８１，８２は図示しないが駆
動装置による回転され、ローラ８１のベルト７の
外側にブラシ２Ａを接触させて集塵装置２を配設
する。格子１は金属あるいは樹脂あるいはこれら
の積層材からなる。ベルト７は目の詰んだ繊維
布、樹脂から成形されたフイルム、金属又はカー
ボン糸又はグラスフアイバーなどを編んだメツシ
ユ、又はこれらの複合材あるいはこれらの積層材
から構成される。

本考案装置の動作を説明する。

本考案装置に前記のように掃除機２は格子１の
下の空間部の端部に設置することが効果的であ
り、従来案と異なることは、必ずしも可動式であ
ることを必要としないことである。従つて重量
的、寸法的な制約はほとんど無い。設置について
は、第２図、第３図に示すような端でかつ格子１
の面より下に置く形態と、第４図に示すように端
であるが格子１に孔を穿設し、格子１面より上に
置く形態などが考えられる。

格子１の隙間を通して降り注いだ塵埃は、格子
１の真下に設けられたベルト７上に堆積する。ベ
ルト７は端において可動式のローラ８１及び８２
により回転される。ローラ８１及び８２が回転す
ることによつてベルト７が移動し、集塵機２の吸
塵口の近傍にベルト７のすべての部分が順次到達
し、ベルト７上に溜つた塵を効率良く集める構成
となつている。第２図においてはベルト７及びロ
ーラ８１と８２の組合せは無限軌道を構成してい
るが、これに限定されるものではない。例えばベ
ルト７は集塵時にはローラ８２から繰り出される
一方でローラ８１に巻き取られる構成とし、清掃
後は再びローラ８２に巻き取られるようにするこ
とも可能である。なお、集塵機２の吸塵口にいわ
ゆるブラシ２Ａ等を設けておくことは塵を集める
上で極めて効果的である。ローラ８１，８２及び
ベルト７の駆動に要する力は極めて軽微であり、
従来の如き重量的にも寸法的にも大きな掃除機の
本体を動かす場合に比べて小さな動力系ですむこ
とは明らかである。又、従来システムで必要とさ
れた掃除機２の移動に伴なう位置検出機構等が不
要となり、簡素な構成とすることが可能である。

第３図に示した本考案の別の実施例について説
明する。

同図は吸塵側のローラを二重（８１及び８３）
としたものである。この場合、ベルト７の上層を
繊維布又は樹脂フイルム等の絶縁性シート７１、
ベルト７の下層を金属又はカーボン糸を編んだメ
ツシユ等の導電性シート７２の積層構造としたも
のである。この時、導電性シート７２には数Ｖ〜
数百Ｖの電位を与えることによつて微小な埃に対
する静電気力を発生させることができ、絶縁性シ
ート７２上に効率良く埃を溜めることができる。
ローラ８３に導電性シート７２を、ローラ８１に
絶縁性シート７１を巻きとる構成とすれば、掃除
機２が配置された端部では静電気力が消失し、集
塵に対する障害とはならない。もちろん、ブラシ
２Ａを金属又はカーボン糸製とし、かつブラシ２
Ａををアース等に電気的に接続する構造とするこ
とによつて残存静電気の影響を完全に取り除くこ
とも考えられる。又、掃除機２の近傍でイオンを
含む気体の流れを作り、静電気を中和しても同等
の効果が得られる。

第４図に示した本考案の別の実施例について説
明する。

同図は掃除機２の本体を格子１の面より上にあ
げた構成としたものである。この構成の利点は、
掃除機２の保守・修理が他のいかなる場合よりも
容易であること、格子１の床下面の高さＨが最も
小さくて済むことにある。前者については、掃除
機２の本体が格子１の床面上に設置されているこ
とから自明である。後者について言えば、従来案
のように掃除機２の本体を格子１の下に組込む必
要がなく、原理的にはベルト７の厚みの２倍強の
高さＨがあれば、この掃除システムの組込みが可
能なことを理解できよう。例えば、ローラ８１，
８２，８３の直径を１cm、ベルト７の厚みを１mm
とすれば1.5cm以内の空間部に本考案の装置を構
成でき、掃除システムとすることができることが
わかる。このような狭い空間部の装置とする清掃
システムは装置内部において加工試料の直上の狭
小な空間に設置できるなど、従来構成では得られ
なかつた応用である。

他の応用について言及する。

第３図、第４図の本考案の構成を積層とするこ
とも効果的である。この場合、上側の絶縁シート
７１の目を荒く、下側の導電性シート７２の目を
細くすることで、効率かつ効果的な塵埃の捕集が
できることは掃除機などのフイルターの構造から
明らかである。このような場合、さらに掃除機２
で吸い込んだ空気から塵をフイルターで取り除い
た後、当該空気を再びクリーンルーム内に戻すこ
とはクリーンルームの空気の流れを大きく損なわ
ない利点がある。

考案の効果 本考案は前記の構成のように塵埃の溜る面を可
動とし、固定された掃除機の集塵口近傍に該可動
面を移動させて面上に降り注ぐ塵埃を収集する構
成としたので、(1)掃除機本体を小形、軽量にし、
かつその制御系を簡素なものにできる、(2)数cm以
下の許容された空間にも本システムが適用でき、
該空間及びここを通過する気体中の埃を捕集する
ことができる、などの効果を生ずる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の空間部清浄装置を一部破断し
て示す斜視図、第２図は第１図Ｘ−X′線断面図、
第３図は本考案の第１の別の実施例、第４図は第
２の別の実施例、第５図は従来の空間部清浄装
置、第６図は第５図Ｙ−Y′線の断面図、を示す。 １０……空間部、１……格子、２……掃除機、
２Ａ……ブラシ、７……ベルト、１４……床下
面、８１，８２，８３……ローラ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 格子で構成した床面の下部に床下面を設け、
   前記床面と床下面に集塵室となるよう構成した
   空間部の両端部に一方の幅の長さを有する回転
   自在にローラを配設し、前記ローラ間に前記床
   面を下部より全面を覆う大きさのフイルム状部
   材を張設し、前記一方のローラのフイルム状部
   材にブラシが外部横より接触するよう掃除機を
   配設し、少なく共前記フイルム状部材のローラ
   間の長さを前記掃除機のないローラの部分より
   前記掃除機のブラシに達するまで移動できるよ
   う張設して構成してなる空間部清浄装置。 (2) 前記２個のローラ間に張設したフイルム状部
   材を絶縁部材とし、前記フイルム状部材下面
   に、下面に接触して移動できる導電性フイルム
   部材を設けてなる実用新案登録請求の範囲第１
   項記載の空間部清浄装置。 (3) 前記掃除機のブラシを床面より前記フイルム
   状部材に接触するよう配設した実用新案登録請
   求の範囲第１項又は第２項記載の空間部清浄装
   置。