JPH0450495B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は清浄作業室（クリーンルーム、バイオ
クリーンルーム等）の出入口に設置して使用され
るエアーシヤワー装置に関する。

〔発明の背景〕

エアーシヤワー装置は人の衣服や物品の表面に
じん埃が付着したまま清浄作業室に持ち込まれ室
内清浄度を低下させることを防止するためのもの
で、代表的な例として、シヤワー室の天井部空気
吹出口から吹出し常にシヤワー室内を流れる循環
気流と、シヤワー室の側面部空気吹出口から吹出
しシヤワー室内を通る物体（人または物品）から
じん埃を除去するジエツト気流を発生する機能を
備えたもの（特公昭44−18706）があるが、作業
環境に高水準のじん埃管理が要求される半導体工
業等の分野では性能的に十分でなく、さらに高性
能の装置が必要になつて来た。

従来のエアーシヤワー装置を図示すれば第１図
（従来例１）および第２図（従来例２）のように
なる。

従来例１では、人が扉２，２′を開いてシヤワ
ー室１に入ると、図示検出器（ドアースイツチ
等）によつて循環気流送風機８とジエツト気流用
送風機９が同時に運転され、送風機８はHEPA
フイルタ７で過された清浄空気をダクト６を通
して吸込み、層流状の低速循環気流としてシヤワ
ー室１の天井部空気吹出口３すら吹出し、送風機
９はHEPAフイルタ７で過された清浄空気を
同じくダクト６を通して吸込み、高速ジエツト気
流としてシヤワー室１の側面部空気吹出口４から
人体に向けて吹出す。このジエツト気流によつて
人体から飛散したじん埃は天井部空気吹出口３か
ら吹出す循環気流によつて下方に運ばれ、シヤワ
ー室下部の空気取入口５を通つてHEPAフイル
タ７で捕集される。人がシヤワー室１から出ると
送風機９は停止し、平常時には送風機８のみが運
転されて天井部空気吹出口３から吹出す循環気流
によりシヤワー室１内を清浄に保つ。上述した機
構が装置本体ケース１０に組込まれている。

従来例２では、人がシヤワー室１に入ると、図
示しない検出器によつて循環気流用送風機８とジ
エツト気流用送風機９が同時運転され、送風機８
はHEPAフイルタ７で過された清浄空気をダ
クト６を通して吸込み、層流状の低速循環気流と
してシヤワー室１の天井部空気吹出口３から吹出
し、送風機９はシヤワー室天井付近に設けたジエ
ツト気流用空気取入口１７から上記循環気流の一
部を吸込み、さらに加圧してダクト１４へ送り、
高速ジエツト気流としてシヤワー室１の側面部空
気吹出口４から人体に向けて吹出す。このジエツ
ト気流によつて人体から飛散したじん埃はシヤワ
ー室１内を流れる上記循環気流によつて下方に運
ばれ、シヤワー室下部の循環気流用空気取入口１
３を通つてHEPAフイルタ７で捕集される。本
例でも人がシヤワー室１から出ると送風機９は停
止し、平常時には送風機８のみが運転されて天井
部空気吹出口３から吹出す循環気流によりシヤワ
ー室１内を清浄に保つ。上述した機構が装置本体
ケース１０に組込まれている。

しかし、従来例１では循環気流用送風機８とジ
エツト気流用送風機９が同一フイルタ７の下流側
のダクト６から空気を吸込むようになつていて、
ジエツト気流発生時（送風機９の運転時）にダク
ト６内の圧力が低下するため、また従来例２では
ジエツト気流用空気取入口１７がシヤワー室１の
天井付近にあつて、ジエツト気流発生時（送風機
９の運転時）に天井部空気吹出口３からの吹出し
気流の一部が空気取入口１７に吸込まれるため、
いずれの例でもジエツト気流発生時にシヤワー室
１内を流れる循環気流の風量は平常時の半分程度
になつてしまう。このため、ジエツト気流によつ
てシヤワー室１の上方に舞い上がつた飛散じん埃
を十分に押え込むことができず、本装置の重要な
機能の一つである飛散じん埃の捕集性能を十分高
めることができなかつた。

さらに従来例１では、ジエツト気流停止時（送
風機９の停止時）にもダクト６内が負圧になつて
いるため、シヤワー室１から側面部空気吹出口４
−送風機９−ダクト６−送風機８を経由し、
HEPAフイルタ７を通らない気流が再び天井部
空気吹出口３から循環気流の一部として吹出され
るシヨートサーキツト現象が生じてシヤワー室１
内の清浄度を低下させるという欠点があ、従来例
２では、ジエツト気流用空気取入口１７がシヤワ
ー室１の天井付近に設けられているため、ジエツ
ト気流発生時に天井部空気吹出口３から吹出され
る循環気流の風量が半減していることも相乗し
て、シヤワー室１の上方に舞い上がつた飛散じん
埃の一部が空気取入口１７に吸込まれ、側面部空
気吹出口４からじん埃を含んだジエツト気流が人
体に向けて吹出される恐れがあり、じん埃除去の
面から見て好ましくなかつた。

〔発明の目的〕

本発明は上記した従来技術の問題点を解決し、
さらに高性能のエアーシヤワー装置を提供するこ
とを目的とする。

〔発明の概要〕

本発明は、エアーシヤワー装置において上方部
空気吹出口へ清浄空気を供給する送風機およびフ
イルタを含む循環気流形成手段と、側面部空気吹
出口へ清浄空気を供給する送風機およびフイルタ
を含むジエツト気流形成手段をそれぞれ独立させ
て設け、シヤワー室の下部に上記循環気流形成手
段と上記ジエツト気流形成手段の空気取入口を設
けたことを特徴とするものである。

〔発明の実施例〕

本発明の実施例を第３図、第４図に示す。

第３図に示す実施例について説明すると、１は
図示しない清浄作業室の出入口に直結し、前室と
して形成されたシヤワー室、２，２′はシヤワー
室と清浄作業室およびシヤワー室と外部との間の
出入口扉である。

シヤワー室１の天井部空気吹出口３はパンチン
グ板等によつて形成されている。シヤワー室１と
装置本体ケース１０との間にはシヤワー室１の両
側方から上方にかけて循環気流用ダクト１１を設
け、ダクト１１の両側下部に循環気流用送風機８
を設置し、ダクト１１の上部と天井部空気吹出口
３との間に循環気流用フイルタ（HEPAフイル
タ）１２を設置してある。循環用送風機８は通常
シロツコフアンを用いるが、これに限定するもの
ではない。循環気流用空気取入口１３はシヤワー
室下部の対向する両側面に設けてあり、空気取入
口１３のプレフイルタを通してシヤワー室内の空
気を吸込む。前記空気取入口１３から吸込まれた
空気は送風機８によつてダクト１１へ送り込ま
れ、フイルタ１２で過されて清浄空気となり天
井部空気吹出口３から比較的低風速（好ましくは
0.02〜2m／Ｓ）の層流状の気流としてシヤワー
室１内に吹出される。

また、シヤワー室１の両側方には前記循環気流
用ダクト１１より内側にジエツト気流用ダクト１
４を設け、ダクト１４の下部にジエツト気流用送
風機９を設置し、ダクト１４とチヤンバ１５との
間にジエツト気流用フイルタ（HEPAフイルタ）
１６を設置してある。ジエツト気流用送風機９は
通常ターボフアンまたはシロツコフアンを用いら
れるが、所定の風速・風量が得られればこれに限
るものではない。本実施例ではジエツト気流用空
気取入口１７もシヤワー室下部の対向する両側面
に循環気流用空気取入口１３とは独立して設けて
あり、空気取入口１７のプレフイルタを通して吸
込まれた空気を送風機９によつてダクト１４へ送
り込み、フイルタ１６で過された清浄空気をチ
ヤンバ１５を経てシヤワー室１の対向する両側面
に設けた側面部空気吹出口４から高速ジエツト気
流（たとえば10〜20m／Ｓ）として吹出させる。

側面部空気吹出口４は吹出し気流に指向性を持
たせるため一例として図示したようなノズル形に
形成してある。

本実施例においては循環気流用送風機８を常時
運転し、矢印ａで示すようにダクト１１−フイル
タ１２−天井部空気吹出口３−シヤワー室１−空
気取入口１３−送風機８の経路で循環気流を発生
させておく。シヤワー室１に人や物品が入ると、
図示しない検出器が働いてジエツト気流用送風機
９を循環気流用送風機８とともに運転し、矢印ｂ
で示すように側面部空気吹出口４からジエツト気
流を発生させる。

人の衣服や物品に付着していたじん埃はこのジ
エツト気流によつて飛散し一部は上方に舞い上が
ろうとするが、天井部空気吹出口３から吹出す循
環気流により押え込まれて、シヤワー室１内を下
向に流れる循環気流およびジエツト気流とともに
シヤワー室下部の空気取入口１３，１７から吸引
され、それぞれフイルタ１２，１６で捕集され
る。人や物品がシヤワー室１から出るか、または
タイマにより設定された所定時間が経過すると、
ジエツト気流用送風機９は停止して循環気流用送
風機８のみが運転される平常状態に戻り、平常状
態では天井部空気吹出口３から吹出す循環気流に
よつてシヤワー室１内が清浄に保たれる。本装置
は上記機能によつて人や物品の出入に伴う清浄作
業室へのじん埃粒子の持込み、および汚染空気の
流入を防止する。

シヤワー室への人や物品の出入を検知する検出
器としては、公知のドアースイツチ、踏板スイツ
チ、光ピームセンサ、音波スイツチ、静電スイツ
チ、電波スイツチ等を用いることができる。

このように本実施例では、従来例１、２と異な
り天井部空気吹出口３へ清浄空気を供給する循環
気流形成手段（送風機８、ダクト１１、フイルタ
１２）と側面部空気吹出口４へ清浄空気を供給す
るジエツト気流形成手段（送風機９、ダクト１
４、チヤンバ１５、フイルタ１６）をそれぞれ独
立させて設け、かつシヤワー室１の下部に循環気
流用空気取入口１３およびジエツト気流用空気取
入口１７を設けてあるため、ジエツト気流発生時
には天井部空気吹出口３から吹出してシヤワー室
１内を流れる循環気流の風量は平常時と変らず、
ジエツト気流発生時に人や物品からの飛散じん埃
の一部がシヤワー室の上方に舞い上がろうとする
のを循環気流によつて十分に押え込むことができ
る。そのうえ、ジエツト気流発生中（シヤワー室
１内の発生じん埃量が最も多い時）は天井部空気
吹出口３からシヤワー室下部の空気取入口１３へ
向う循環気流に、側面部空気吹出口４から同じく
シヤワー室下部の空気取入口１７へ向うジエツト
気流も加わつて発生したじん埃の室内上方への飛
散を制御するため、シヤワー室内の発生じん埃量
が最も多い時期でのじん埃捕集速度が従来例１、
２に比べ送風機８，９の容量を同一としてもほぼ
1.5倍早くなり、本装置の最も重要な機能である
飛散じん埃の捕集性能が著しく向上する。

さらに本実施例では、循環気流形成手段とジエ
ツト気流形成手段がそれぞれ送風機およびフイル
タを含む独立した風路を有しているので、従来例
１のように平常時に側面部空気吹出口４を経由し
てフイルタを通らない気流がシヤワー室１内を循
環するというシヨートサーキツト現象がなくなつ
て平常時の室内清浄度も上がることができ、また
従来例２のようにジエツト器量用空気取入口１７
から吸込まれた飛散じん埃が再びジエツト気流と
ともに吹出され、じん埃を含んだジエツト気流が
人体等に吹き付けられる恐れもない。

第４図は本発明の他の実施例を示す。本実施例
はシヤワー室１の下部に設けた共通の空気取入口
５からシヤワー室１の両側方に設けた吸込用ダク
ト１８を経由して循環気流用送風機８およびジエ
ツト気流用送風機９へ空気を吸込ませるようにし
たもので、それ以外の構成は第３図と同様であ
る。

本実施例では空気取入口５を共通としている
が、空気取入口５のプレフイルタの圧損は比較的
小さいので、ジエツト気流発生時（送風機９の運
転時）にも送風機８によつて天井部空気吹出口３
から吹出される循環気流の風量は平常時とほとん
ど変わらず、第３図の実施例とほぼ同等の性能が
得られる。

第３図、第４図に示した実施例以外にも循環気
流形成手段とジエツト気流形成手段の送風機、フ
イルタの配置やダクト構成等については本発明の
要旨内で任意に変更することができる。また、第
３図、第４図では空気取入口をシヤワー室の下部
側面に設けているが、シヤワー室の床に空気取入
口を設け、床下ダクトを経て循環気流用、ジエツ
ト気流用の各送風機に至る風路を形成してもよ
い。

次にシヤワー室の側面部空気吹出口について説
明を加える。従来から用いられていた側面部空気
吹出口４には、吹出し気流に指向性を与えるため
と圧力損失を少なくして送風機負荷の低減をはか
るため、第５図ａに示すようにシヤワー室側壁
１′の表側に突出した気流ガイド４１の先端に吹
出口開口部４２を設けて凸形吹出口としたもの
や、第５図ｂに示すようにシヤワー室側壁１′の
一部に凹部４３を形成し、この凹部４３内に上記
と同様な気流ガイド４１と吹出口開口部４２を有
する凸形吹出口を設けて見掛上吹出口がシヤワー
室１内に突出しない形にしたものがあるが、これ
らのものは凸形吹出口の気流ガイド４１や凹部４
３の上に人体や物品から飛散したじん埃が堆積
し、この堆積じん埃がシヤワー室１内の循環気流
により再飛散して室内清浄度を低下させる恐れが
あつた。

この恐れをなくすため側面部空気吹出口４は、
第６図に示すようにシヤワー室側壁１′には吹出
口開口部４２のみを設け、気流ガイド４１をシヤ
ワー室側壁１′の裏側の清浄気流中に設けた構成
とすることが望ましい。第６図中、ａは気流ガイ
ド４１を円筒形とした例、ｂは気流ガイド４１を
截頭円錐形とした例、ｃは気流ガイド４１を球面
の一部として形成した例である。

この構成によれば、シヤワー室１内には飛散じ
ん埃が堆積する凹凸部がないので、堆積じん埃の
再飛散による室内清浄度の低下を防止できるし、
吹出口がシヤワー室１内に突出して通行のじやま
になることもない。

〔発明の効果〕

以上述べたように本発明によれば、側面部空気
吹出口からのジエツト気流発生時には上方部空気
吹出口からの循環気流の風量を平常時とほとんど
変わらない十分な量に維持でき、そのうえ、循環
気流にジエツト気流も加わつて人体や物品から飛
散したじん埃を速やかに除去できるため、飛散じ
ん埃の捕集性能を十分に向上とせることができ、
高性能のエアーシヤワー装置を実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図ａ，ｂは従来例の切断正面図およびその
Ａ−Ａ断面図、第２図は他の従来例の切断正面
図、第３図ａ，ｂは本発明の一実施例を示す切断
正面図およびそのＢ−Ｂ断面図、第４図は本発明
の他の実施例を示す切断正面図、第５図ａ，ｂは
側面部空気吹出口の従来例を示す切断側面図、第
６図ａ，ｂ，ｃは側面部空気吹出口の改善例を示
す切断側面図である。 １……シヤワー室、３……天井部空気吹出口、
４……側面部空気吹出口、５……循環気流用とジ
エツト気流用に共通の空気取入口、１３……循環
気流用空気取入口、１７……ジエツト気流用空気
取入口、８，１１，１２……循環気流形成手段
（８……送風機、１１……ダクト、１２……フイ
ルタ）、９，１４，１５，１６……ジエツト気流
形成手段（９……送風機、１４……ダクト、１５
……チヤンバ、１６……フイルタ）。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ シヤワー室の上方部空気吹出口から吹出しシ
   ヤワー室内を流れる循環気流と、シヤワー室の側
   面部空気吹出口からのジエツト気流を発生する機
   能を備えたエアーシヤワー装置において、上方部
   空気吹出口へ清浄空気を供給する送風機およびフ
   イルタを含む循環気流形成手段と、側面部空気吹
   出口へ清浄空気を供給する送風機およびフイルタ
   を含むジエツト気流形成手段をそれぞれ独立させ
   て設け、シヤワー室下部に上記循環気流形成手段
   と上記ジエツト気流形成手段の空気取入口を設け
   たことを特徴とするエアーシヤワー装置。