JPH05103737A - 自動清掃装置 - Google Patents
自動清掃装置Info
- Publication number
- JPH05103737A JPH05103737A JP3269244A JP26924491A JPH05103737A JP H05103737 A JPH05103737 A JP H05103737A JP 3269244 A JP3269244 A JP 3269244A JP 26924491 A JP26924491 A JP 26924491A JP H05103737 A JPH05103737 A JP H05103737A
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- Japan
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- dust
- cleaning device
- automatic cleaning
- vacuum
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 クリーンルーム内の塵埃集積箇所であるコー
ナー部の清掃を自動的に行うことにより、コーナー部の
塵埃を完全に除去することができ、クリーンルームの清
浄度を高い状態で維持できる自動清掃装置を提供するこ
とである。 【構成】 パネル１を巾木５を介して床面４に固定す
る。この巾木５側面には吸込孔８を設ける。パネル１内
部に吸込孔８と接続して真空配管３を配設し、点状部の
真空配管を介して、中央集塵装置１２に接続し、真空ポ
ンプ１３により吸引除塵する。この様な自動清掃装置に
より、コーナー部に塵埃が集積することがなくなり、ク
リーンルームの高い清浄度が維持される。
ナー部の清掃を自動的に行うことにより、コーナー部の
塵埃を完全に除去することができ、クリーンルームの清
浄度を高い状態で維持できる自動清掃装置を提供するこ
とである。 【構成】 パネル１を巾木５を介して床面４に固定す
る。この巾木５側面には吸込孔８を設ける。パネル１内
部に吸込孔８と接続して真空配管３を配設し、点状部の
真空配管を介して、中央集塵装置１２に接続し、真空ポ
ンプ１３により吸引除塵する。この様な自動清掃装置に
より、コーナー部に塵埃が集積することがなくなり、ク
リーンルームの高い清浄度が維持される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルームの清浄
化を維持するための清掃装置に関する。
化を維持するための清掃装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、清浄作業環境が必要とされる産業
では、室内の空気が清浄化されたクリーンルームにおい
て作業が行われている。この様なクリーンルームは、フ
ィルター等の清浄化装置の高性能化とともに、清浄度が
向上され高品位のものとなっている。
では、室内の空気が清浄化されたクリーンルームにおい
て作業が行われている。この様なクリーンルームは、フ
ィルター等の清浄化装置の高性能化とともに、清浄度が
向上され高品位のものとなっている。
【０００３】この様なクリーンルームでは、高い清浄度
を保つために、室内の維持・管理が重要となっている。
この維持・管理が十分に行われなければ、クリーンルー
ムの機能がまったく果たされないものとなる。維持・管
理のひとつには、発生塵埃を速やかに除去するための室
内の清掃があり、これは定期的に行われている。例え
ば、クラス１００００のクリーンルームの場合には、床
・作業面・ごみ箱については毎日、窓は毎週、壁・天井
については毎月の頻度で清掃を行っている。特に、塵埃
は床面に集積しやすく、この集積された塵埃は、床から
の反跳気流や気流の巻込みにより舞上がり、図４の汚染
域に示されるように、クリーンルームを汚染することに
なる。このため、床面の清掃は発塵を押さえるために丁
寧に行われ、クラス１００００のクリーンルームの場合
には、真空除塵及び水ぶきを毎日、洗剤ぶきを毎月とな
る頻度である。ここで、真空除塵は、通常、中央集塵装
置により真空集塵されている。また、水ぶきは、薄膜フ
ィルタによりろ過された水を用いて拭き取る方法で、洗
剤ぶきは、薄膜フィルタによりろ過された希釈中性洗剤
を用いて拭き取る方法である。
を保つために、室内の維持・管理が重要となっている。
この維持・管理が十分に行われなければ、クリーンルー
ムの機能がまったく果たされないものとなる。維持・管
理のひとつには、発生塵埃を速やかに除去するための室
内の清掃があり、これは定期的に行われている。例え
ば、クラス１００００のクリーンルームの場合には、床
・作業面・ごみ箱については毎日、窓は毎週、壁・天井
については毎月の頻度で清掃を行っている。特に、塵埃
は床面に集積しやすく、この集積された塵埃は、床から
の反跳気流や気流の巻込みにより舞上がり、図４の汚染
域に示されるように、クリーンルームを汚染することに
なる。このため、床面の清掃は発塵を押さえるために丁
寧に行われ、クラス１００００のクリーンルームの場合
には、真空除塵及び水ぶきを毎日、洗剤ぶきを毎月とな
る頻度である。ここで、真空除塵は、通常、中央集塵装
置により真空集塵されている。また、水ぶきは、薄膜フ
ィルタによりろ過された水を用いて拭き取る方法で、洗
剤ぶきは、薄膜フィルタによりろ過された希釈中性洗剤
を用いて拭き取る方法である。
【０００４】しかし、以上の様な清掃を行っても、クリ
ーンルーム内の維持・管理が十分とはいえない。すなわ
ち、クリーンルーム内には装置類が設置され、作業者が
入室するため、機器の発熱による熱じょう乱や、機器の
作動による誘引気流、作業者の動きによる気流、生産排
気に伴う吸引気流等の室内気流を乱す要因がいくつもあ
る。このような気流により、塵埃がクリーンルームの床
面と壁面とに構成されるコーナー部に集積しやすくな
る。さらに、気流を乱す要因が多いほど、コーナー部に
集積した塵埃を舞上げることが多くなる。これに対応す
るためには、コーナー部に慎重な対策が必要となる。し
かし、従来の清掃方法では、コーナー部の細部まで十分
に清掃を行うことは困難であった。このように、コーナ
ー部の除塵が不十分となるため、汚染域を広げることに
なっていた。
ーンルーム内の維持・管理が十分とはいえない。すなわ
ち、クリーンルーム内には装置類が設置され、作業者が
入室するため、機器の発熱による熱じょう乱や、機器の
作動による誘引気流、作業者の動きによる気流、生産排
気に伴う吸引気流等の室内気流を乱す要因がいくつもあ
る。このような気流により、塵埃がクリーンルームの床
面と壁面とに構成されるコーナー部に集積しやすくな
る。さらに、気流を乱す要因が多いほど、コーナー部に
集積した塵埃を舞上げることが多くなる。これに対応す
るためには、コーナー部に慎重な対策が必要となる。し
かし、従来の清掃方法では、コーナー部の細部まで十分
に清掃を行うことは困難であった。このように、コーナ
ー部の除塵が不十分となるため、汚染域を広げることに
なっていた。
【０００５】このため、コーナー部の除塵清掃作業を容
易にするための手段として、コーナー材を配設すること
が提案されている。すなわち、図５に示すように、壁面
２１と床面２２とのコーナー部に、緩やかな曲面の形成
されたコーナー材２３を配設することより、コーナー部
の除塵作業を容易としている。
易にするための手段として、コーナー材を配設すること
が提案されている。すなわち、図５に示すように、壁面
２１と床面２２とのコーナー部に、緩やかな曲面の形成
されたコーナー材２３を配設することより、コーナー部
の除塵作業を容易としている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、コーナ
ー部にコーナー材２３を配設しても、塵埃はコーナー材
２３近傍に集積することになる。従来に比べて除塵作業
は容易になるが、室内に設置された機器等が清掃の妨げ
となる等により、コーナー材２３近傍に集積する塵埃を
完全に除去することは無理である。したがって、コーナ
ー材２３を設けることだけでは、清浄化を大幅に改善す
ることにはなっていない。このように、従来技術では、
集積された塵埃を十分に除去し、クリーンルームを高い
清浄度で維持することは困難なことである。
ー部にコーナー材２３を配設しても、塵埃はコーナー材
２３近傍に集積することになる。従来に比べて除塵作業
は容易になるが、室内に設置された機器等が清掃の妨げ
となる等により、コーナー材２３近傍に集積する塵埃を
完全に除去することは無理である。したがって、コーナ
ー材２３を設けることだけでは、清浄化を大幅に改善す
ることにはなっていない。このように、従来技術では、
集積された塵埃を十分に除去し、クリーンルームを高い
清浄度で維持することは困難なことである。
【０００７】本発明は、上記のような従来技術の欠点を
解決するために提案されたもので、その目的は、クリー
ンルーム内の塵埃集積箇所となるコーナー部の清掃を自
動的に行うことにより、コーナー部の塵埃を完全に除去
することができ、クリーンルームの清浄度を高い状態で
維持することのできる自動清掃装置を提供することであ
る。
解決するために提案されたもので、その目的は、クリー
ンルーム内の塵埃集積箇所となるコーナー部の清掃を自
動的に行うことにより、コーナー部の塵埃を完全に除去
することができ、クリーンルームの清浄度を高い状態で
維持することのできる自動清掃装置を提供することであ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記の様な課題を解決す
るために、本発明の自動清掃装置では次の様な手段がと
られる。
るために、本発明の自動清掃装置では次の様な手段がと
られる。
【０００９】すなわち、請求項１記載の自動清掃装置で
は、クリーンルーム内の壁面と床面により構成されるコ
ーナー部の清掃を自動的に行う自動清掃装置において、
クリーンルーム内側の壁面下部に通気自在に設けられた
吸込孔と、吸込孔に接続される真空配管と、真空配管に
接続される吸引装置と、吸引装置による吸引力を制御す
る調節手段とを有することを特徴とする。
は、クリーンルーム内の壁面と床面により構成されるコ
ーナー部の清掃を自動的に行う自動清掃装置において、
クリーンルーム内側の壁面下部に通気自在に設けられた
吸込孔と、吸込孔に接続される真空配管と、真空配管に
接続される吸引装置と、吸引装置による吸引力を制御す
る調節手段とを有することを特徴とする。
【００１０】また、請求項２記載の自動清掃装置では、
請求項１記載の自動清掃装置の真空配管が壁内部に埋め
込まれたことを特徴とする。
請求項１記載の自動清掃装置の真空配管が壁内部に埋め
込まれたことを特徴とする。
【００１１】請求項３記載の自動清掃装置では、請求項
１記載の自動清掃装置に、コーナー部を覆うように設け
られたコーナー材と、コーナー材に通気自在に設けられ
た吸込開口部とを有することを特徴とする。
１記載の自動清掃装置に、コーナー部を覆うように設け
られたコーナー材と、コーナー材に通気自在に設けられ
た吸込開口部とを有することを特徴とする。
【００１２】
【作用】上記のような構成を有する本発明の自動清掃装
置の作用は次の通りである。
置の作用は次の通りである。
【００１３】すなわち、請求項１記載の本発明では、ク
リーンルーム内側の壁面下部の吸込孔が、真空配管を介
して吸引装置に接続されるため、調節手段により吸引装
置が作動し、真空配管内部の空気が吸引されると、吸込
孔近傍が減圧状態となる。これにより、吸込孔近傍とな
るクリーンルームのコーナー部の空気が吸引される。し
たがって、この空気とともに、コーナー部に集積してい
る塵埃を吸引除去することができ、クリーンルームが高
い清浄度で維持される。
リーンルーム内側の壁面下部の吸込孔が、真空配管を介
して吸引装置に接続されるため、調節手段により吸引装
置が作動し、真空配管内部の空気が吸引されると、吸込
孔近傍が減圧状態となる。これにより、吸込孔近傍とな
るクリーンルームのコーナー部の空気が吸引される。し
たがって、この空気とともに、コーナー部に集積してい
る塵埃を吸引除去することができ、クリーンルームが高
い清浄度で維持される。
【００１４】また、請求項２記載の本発明では、真空配
管が壁内部に埋め込まれたことにより、クリーンルーム
内部に配管が露出しないことになる。配管が露出してい
ると、その部分の壁面の清掃が不十分となる問題かがあ
るが、埋め込まれることによりその問題が解決される。
管が壁内部に埋め込まれたことにより、クリーンルーム
内部に配管が露出しないことになる。配管が露出してい
ると、その部分の壁面の清掃が不十分となる問題かがあ
るが、埋め込まれることによりその問題が解決される。
【００１５】さらに、請求項３記載の本発明では、コー
ナー部に集積している塵埃を十分に吸引除去し、且つ室
内清掃時には拭き掃除や真空除塵の作業が容易に行うこ
とができ、高い清浄度のクリーンルームが十分に維持さ
れる。
ナー部に集積している塵埃を十分に吸引除去し、且つ室
内清掃時には拭き掃除や真空除塵の作業が容易に行うこ
とができ、高い清浄度のクリーンルームが十分に維持さ
れる。
【００１６】
【実施例】以下本発明の自動清掃装置の一実施例を図面
にもとづいて説明する。
にもとづいて説明する。
【００１７】まず、図１の左部分（Ａ）に、クリーンル
ーム内の床面と壁面により構成されるコーナー部を示
す。また、この図の右部分（Ｂ）に、アールの形成され
たコーナー材の設けられたコーナー部を示す。
ーム内の床面と壁面により構成されるコーナー部を示
す。また、この図の右部分（Ｂ）に、アールの形成され
たコーナー材の設けられたコーナー部を示す。
【００１８】クリーンルームに設けられた本実施例の自
動清掃装置は次のようになる。すなわち、クリーンルー
ムの側面周囲は断熱効果を有するパネル１により壁が構
成されている。このパネル１の下部は、巾木５を介して
クリーンルームの床面４に固定されている。また、パネ
ル１の内部には、上下方向に伸びる真空配管３が、打ち
込みにより一定間隔で配設されている。巾木５は、上方
の開口する略コ字形に形成され、その上部でパネル１の
表面を両側から挟持している。また、図２に示すよう
に、パネル１に真空配管３の設けられていない部分で
は、巾木５の内面側は、上部のパネル１で覆われること
により通気自在の略ロ字形の管６となっている。この略
ロ字形の管６は、パネル１内部の真空配管３と通気自在
に接続されている。また、巾木５の側面下部には、吸込
孔８が通気自在に形成されている。
動清掃装置は次のようになる。すなわち、クリーンルー
ムの側面周囲は断熱効果を有するパネル１により壁が構
成されている。このパネル１の下部は、巾木５を介して
クリーンルームの床面４に固定されている。また、パネ
ル１の内部には、上下方向に伸びる真空配管３が、打ち
込みにより一定間隔で配設されている。巾木５は、上方
の開口する略コ字形に形成され、その上部でパネル１の
表面を両側から挟持している。また、図２に示すよう
に、パネル１に真空配管３の設けられていない部分で
は、巾木５の内面側は、上部のパネル１で覆われること
により通気自在の略ロ字形の管６となっている。この略
ロ字形の管６は、パネル１内部の真空配管３と通気自在
に接続されている。また、巾木５の側面下部には、吸込
孔８が通気自在に形成されている。
【００１９】図１（Ａ）に示すように、パネル１と床面
４により構成されるコーナー部では、巾木５とパネル１
や床面４との接合部が、シリコンシーラー等の密閉剤１
４により密着されている。
４により構成されるコーナー部では、巾木５とパネル１
や床面４との接合部が、シリコンシーラー等の密閉剤１
４により密着されている。
【００２０】一方、図１（Ｂ）に示すように、コーナー
部にコーナー材７が設けられている場合には、このコー
ナー材７は巾木５と一体に設けられている。巾木５の下
面はコーナー材７の下端部まで設けられ、床面４を覆う
ように設けられている。また、巾木５とパネル１との接
合部は、シリコンシーラー等の密閉剤１４により密着さ
れている。この様なコーナー材７には、パンチング孔等
による吸込開口部９が巾木５の吸込孔８とともに通気自
在に形成されている。コーナー材７及び吸込開口部９
は、吸込時の気流がコーナー部に沿って容易に吸い込ま
れる様に形成されている。
部にコーナー材７が設けられている場合には、このコー
ナー材７は巾木５と一体に設けられている。巾木５の下
面はコーナー材７の下端部まで設けられ、床面４を覆う
ように設けられている。また、巾木５とパネル１との接
合部は、シリコンシーラー等の密閉剤１４により密着さ
れている。この様なコーナー材７には、パンチング孔等
による吸込開口部９が巾木５の吸込孔８とともに通気自
在に形成されている。コーナー材７及び吸込開口部９
は、吸込時の気流がコーナー部に沿って容易に吸い込ま
れる様に形成されている。
【００２１】このようなコーナー部では、図１（Ａ），
（Ｂ）に示すように、パネル１内部の真空配管３と巾木
５の内部の略ロ字形管８とは通気自在に、且つその接合
部が密閉状態で接続されている。
（Ｂ）に示すように、パネル１内部の真空配管３と巾木
５の内部の略ロ字形管８とは通気自在に、且つその接合
部が密閉状態で接続されている。
【００２２】このようなコーナー部のパネル１内部に配
設された真空配管３は、図３に示すように天井内部に配
設された真空配管１０に接続されている。この真空配管
１０には、図示しないステッピングパルサー等の制御装
置により定期的に開閉する電磁弁１１が設けられてい
る。この真空配管１０は中央集塵装置１２に接続され、
真空ポンプ１３により真空集塵が行われるようになって
いる。
設された真空配管３は、図３に示すように天井内部に配
設された真空配管１０に接続されている。この真空配管
１０には、図示しないステッピングパルサー等の制御装
置により定期的に開閉する電磁弁１１が設けられてい
る。この真空配管１０は中央集塵装置１２に接続され、
真空ポンプ１３により真空集塵が行われるようになって
いる。
【００２３】以上のように構成される本発明の自動清掃
装置により、次のようにコーナー部の集塵が行われる。
装置により、次のようにコーナー部の集塵が行われる。
【００２４】すなわち、パネル１内部の真空配管３は天
井内部の真空配管１０を介して中央集塵装置１２と接続
されている。常時真空状態となっている天井の真空配管
１０では、ステッピングパルサー等の制御装置により電
磁弁１１が開かれた時に、パネル１内部の真空配管３内
部の空気を吸引し、減圧状態とする。これにより、この
真空配管３に密閉接続される巾木５内面の略ロ字形の管
６が同様に減圧状態となり、巾木５に形成された吸込孔
８から、クリーンルーム室内空気を吸引することにな
る。この吸引により、吸込孔８の近傍のコーナー部に集
積している塵埃が中央集塵装置１２に吸引される。ま
た、コーナー材７が設けられている場合にも、コーナー
材７近傍に集積している塵埃が吸込開口部９から吸引さ
れ、吸込孔８から真空配管３，１０を通って中央集塵装
置に吸引される。
井内部の真空配管１０を介して中央集塵装置１２と接続
されている。常時真空状態となっている天井の真空配管
１０では、ステッピングパルサー等の制御装置により電
磁弁１１が開かれた時に、パネル１内部の真空配管３内
部の空気を吸引し、減圧状態とする。これにより、この
真空配管３に密閉接続される巾木５内面の略ロ字形の管
６が同様に減圧状態となり、巾木５に形成された吸込孔
８から、クリーンルーム室内空気を吸引することにな
る。この吸引により、吸込孔８の近傍のコーナー部に集
積している塵埃が中央集塵装置１２に吸引される。ま
た、コーナー材７が設けられている場合にも、コーナー
材７近傍に集積している塵埃が吸込開口部９から吸引さ
れ、吸込孔８から真空配管３，１０を通って中央集塵装
置に吸引される。
【００２５】以上のような本実施例の自動清掃装置をク
リーンルームに設けることにより、従来清掃が不十分と
なっていたコーナー部の塵埃を、完全に除去することが
できる。また、真空配管がパネル内部に配設され、室内
に露出していないため、室内の清掃作業に影響は及ぼさ
ない。すなわち、露出している場合には、その露出部と
壁面との間隙に塵埃が集積し易いことや壁面の清掃が不
十分になる等の問題があるが、パネル内部に配設された
ことにより、これらの問題は解決される。さらに、ステ
ッピングパルサー等の制御装置により、コーナー部の塵
埃を定期的に吸引除去することができる。また、本実施
例で使用される中央集塵装置は、従来の清掃の真空除塵
用装置を使用することが可能なため、新たな装置及びそ
の設置場所を用意する必要が無い。また、真空配管も壁
及び天井の内部に配設するため、自動清掃装置としての
新たな設置場所は必要としない。
リーンルームに設けることにより、従来清掃が不十分と
なっていたコーナー部の塵埃を、完全に除去することが
できる。また、真空配管がパネル内部に配設され、室内
に露出していないため、室内の清掃作業に影響は及ぼさ
ない。すなわち、露出している場合には、その露出部と
壁面との間隙に塵埃が集積し易いことや壁面の清掃が不
十分になる等の問題があるが、パネル内部に配設された
ことにより、これらの問題は解決される。さらに、ステ
ッピングパルサー等の制御装置により、コーナー部の塵
埃を定期的に吸引除去することができる。また、本実施
例で使用される中央集塵装置は、従来の清掃の真空除塵
用装置を使用することが可能なため、新たな装置及びそ
の設置場所を用意する必要が無い。また、真空配管も壁
及び天井の内部に配設するため、自動清掃装置としての
新たな設置場所は必要としない。
【００２６】以上のように、本実施例の自動清掃装置に
よって、コーナー部に集積する塵埃を完全に除去するこ
とにより、クリーンルームの清浄度を高い状態で維持す
ることができる。
よって、コーナー部に集積する塵埃を完全に除去するこ
とにより、クリーンルームの清浄度を高い状態で維持す
ることができる。
【００２７】なお、本発明の自動清掃装置は上述した実
施例に限定されるものではなく、具体的な各部材の形
状、或いは各々の取付け位置及び方法は適宜変更可能で
ある。例えば、真空配管はパネル内部及び天井内部に配
設されることに限定されず、クリーンルームの外壁面等
の外部に配設しても問題ない。さらに、従来パネル内部
に設けられている電線管を真空配管として兼用すること
も可能である。これらの配設方法により、従来のクリー
ンルームにも、本発明の自動清掃装置を後から設置する
ことも可能となる。
施例に限定されるものではなく、具体的な各部材の形
状、或いは各々の取付け位置及び方法は適宜変更可能で
ある。例えば、真空配管はパネル内部及び天井内部に配
設されることに限定されず、クリーンルームの外壁面等
の外部に配設しても問題ない。さらに、従来パネル内部
に設けられている電線管を真空配管として兼用すること
も可能である。これらの配設方法により、従来のクリー
ンルームにも、本発明の自動清掃装置を後から設置する
ことも可能となる。
【００２８】また、クリーンルームの壁を複数のパネル
により構成し、各パネルの接合部に真空配管を設けるこ
とも可能である。これにより、真空配管の配設が容易と
なり、また壁の形成も容易とすることができる。また、
この場合、一定の規格化されたパネルを組み合わせて用
いることにより、室内の大きさに限定されず安価で本発
明の自動清掃装置を提供することができる。
により構成し、各パネルの接合部に真空配管を設けるこ
とも可能である。これにより、真空配管の配設が容易と
なり、また壁の形成も容易とすることができる。また、
この場合、一定の規格化されたパネルを組み合わせて用
いることにより、室内の大きさに限定されず安価で本発
明の自動清掃装置を提供することができる。
【００２９】さらに、本発明の自動清掃装置は、自動制
御に限定されず手動で必要なときに作動させる制御手段
とすることも可能である。
御に限定されず手動で必要なときに作動させる制御手段
とすることも可能である。
【００３０】
【発明の効果】本発明の自動清掃装置では、クリーンル
ーム内の塵埃集積箇所となるコーナー部の清掃を自動的
に行うことにより、コーナー部の塵埃を完全に除去する
ことができ、クリーンルームの清浄度を高い状態で維持
することができる。
ーム内の塵埃集積箇所となるコーナー部の清掃を自動的
に行うことにより、コーナー部の塵埃を完全に除去する
ことができ、クリーンルームの清浄度を高い状態で維持
することができる。
【図１】本発明の自動清掃装置の一実施例を示す要部側
面断面で、真空配管の設けられている部分を示す。
（Ａ）はコーナー材を用いないもの、（Ｂ）はコーナー
材を用いたものを示す図である。
面断面で、真空配管の設けられている部分を示す。
（Ａ）はコーナー材を用いないもの、（Ｂ）はコーナー
材を用いたものを示す図である。
【図２】図１の真空配管の設けられていない部分を示す
要部側面断面。
要部側面断面。
【図３】図１の配管を示す説明図。
【図４】クリーンルーム内の汚染域を示す説明図。
【図５】従来のコーナー材の設けられたクリーンルーム
のコーナー部を示す側面断面図。
のコーナー部を示す側面断面図。
１ パネル ３，１０ 真空配管 ４ クリーンルームの床面 ５ 巾木 ６ 略ロ字形の管 ７ コーナー材 ８ 吸込孔 ９ 吸込開口部 １１ 電磁弁 １２ 中央集塵装置 １３ 真空ポンプ １４ 密閉剤 ２１ 壁面 ２２ 床面 ２３ コーナー材
Claims (3)
- 【請求項１】 クリーンルーム内の壁面と床面により構
成されるコーナー部の清掃を自動的に行う自動清掃装置
において、 クリーンルーム内側の壁面下部に通気自在に設けられた
吸込孔と、 吸込孔に接続される真空配管と、 真空配管に接続される吸引装置と、 吸引装置による吸引力を制御する調節手段と、 を有することを特徴とする自動清掃装置。 - 【請求項２】 真空配管が壁内部に埋め込まれたことを
特徴とする請求項１記載の自動清掃装置。 - 【請求項３】 コーナー部を覆うように設けられたコー
ナー材と、 コーナー材に通気自在に設けられた吸込開口部と、 を有することを特徴とする請求項１記載の自動清掃装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26924491A JP3383671B2 (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | コーナー材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26924491A JP3383671B2 (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | コーナー材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05103737A true JPH05103737A (ja) | 1993-04-27 |
| JP3383671B2 JP3383671B2 (ja) | 2003-03-04 |
Family
ID=17469658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26924491A Expired - Lifetime JP3383671B2 (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | コーナー材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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