CN108756317A - 一种半导体无尘室 - Google Patents

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童华宁
陈中凯
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Changxin Yun Ting Xin Energy Technology Co Ltd
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Changxin Yun Ting Xin Energy Technology Co Ltd
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    • E04—BUILDING
    • E04H—BUILDINGS OR LIKE STRUCTURES FOR PARTICULAR PURPOSES; SWIMMING OR SPLASH BATHS OR POOLS; MASTS; FENCING; TENTS OR CANOPIES, IN GENERAL
    • E04H1/00—Buildings or groups of buildings for dwelling or office purposes; General layout, e.g. modular co-ordination or staggered storeys
    • E04H1/12—Small buildings or other erections for limited occupation, erected in the open air or arranged in buildings, e.g. kiosks, waiting shelters for bus stops or for filling stations, roofs for railway platforms, watchmen's huts or dressing cubicles
    • E04H1/1277—Shelters for decontamination
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F7/00—Ventilation
    • F24F7/007—Ventilation with forced flow
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F24F7/02—Roof ventilation
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Abstract

本发明涉及半导体加工设备的技术领域，尤其是一种半导体无尘室，其具有立柱组成的框体结构，所述的框体结构的两侧均采用防静电围帘密封设置，所述的框体结构的正面一侧垂直设置若干垂帘；所述的框体结构正面垂帘一侧设置玻璃门；所述的框体结构的背部设置背板组件，所述的框体结构的上端设置顶板，所述的顶板上固定设置若干排风机。该半导体无尘室，结构简单，可以满足半导体的平稳加工，投入成本低，可以提高半导体加工的效率，提高经济效益，便于广泛推广使用。

Description

一种半导体无尘室
技术领域
本发明涉及半导体加工设备的技术领域，尤其是一种半导体无尘室。
背景技术
随着社会的不断发展，半导体在各行各业中得到了广泛的运用。半导体在加工过程中会使用到各种加工设备。其中无尘室是重要的组成部分。目前用于半导体加工的无尘室均为较大空间的无尘室，可以满足大量人群的使用。这样的无尘室会耗费大量的投入成本，而且在加工过程中的维护成本也较高，给企业带来了很大的经济压力。
发明内容
本发明要解决的技术问题是：为了解决上述背景技术中存在的问题，提供一种半导体无尘室，结构简单，可以满足半导体的平稳加工，投入成本低，可以提高半导体加工的效率，提高经济效益，便于广泛推广使用。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种半导体无尘室，具有立柱组成的框体结构，所述的框体结构的两侧均采用防静电围帘密封设置，所述的框体结构的正面一侧垂直设置若干垂帘；所述的框体结构正面垂帘一侧设置玻璃门；所述的框体结构的背部设置背板组件，所述的框体结构的上端设置顶板，所述的顶板上固定设置若干排风机。
进一步地说明，上述技术方案中，所述的背板组件包括背板、龙骨、底梁、固定螺栓和圆弧压条；所述的背板的四周侧壁上均设置矩形开口槽，所述的龙骨通过固定螺栓嵌入式固定在矩形开口槽上，所述的底梁包围设置在龙骨的外侧，所述的圆弧压条固定设置在底梁的两侧。
进一步地说明，上述技术方案中，所述的背板上开设抽风口，所述的抽风口连通抽风管道，所述的抽风管道沿背板高度方向垂直设置在背板内部，所述的抽风管道的端口连通背板上的排风机。
进一步地说明，上述技术方案中，所述的玻璃门的上部设置用于控制排风机的控制箱。
进一步地说明，上述技术方案中，所述的框体结构内四角位置处均通过固定板安装粉尘传感器，所述的粉尘传感器外接电源。
进一步地说明，上述技术方案中，所述的顶板上位于排风机的一侧还设置警报指示灯，所述的警报指示灯外接电源。
本发明的有益效果是：本发明提出的一种半导体无尘室，结构简单，可以满足半导体的平稳加工，投入成本低，可以提高半导体加工的效率，提高经济效益，便于广泛推广使用。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明的结构示意图；
图2是本发明中背板组件的结构示意图；
图3是本发明中背板组件的装配示意图。
附图中的标号为：1、框体结构，2、防静电围帘，3、垂帘，4、玻璃门，5、顶板，6、排风机，7、背板，8、龙骨，9、底梁，10、固定螺栓，11、圆弧压条，12、矩形开口槽，13、抽风口，14、抽风管道，15、控制箱，16、粉尘传感器，17、警报指示灯。
具体实施方式
为了使本发明所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“一侧”、“另一侧”、“两侧”、“中部”、“内侧”、“上端面”、“下端面”、“上部”、“下部”、“顶部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语 “设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
见图1、图2和图3所示的是一种半导体无尘室，具有立柱组成的框体结构1，框体结构1的两侧均采用防静电围帘2密封设置，框体结构1的正面一侧垂直设置若干垂帘3；框体结构1正面垂帘一侧设置玻璃门4；框体结构1的背部设置背板组件，框体结构1的上端设置顶板5，顶板5上固定设置若干排风机6。
其中，背板组件包括背板7、龙骨8、底梁9、固定螺栓10和圆弧压条11；背板7的四周侧壁上均设置矩形开口槽12，龙骨8通过固定螺栓10嵌入式固定在矩形开口槽12上，底梁9包围设置在龙骨8的外侧，圆弧压条11固定设置在底梁9的两侧。背板7上开设抽风口13，抽风口13连通抽风管道14，抽风管道14沿背板7高度方向垂直设置在背板7内部，抽风管道14的端口连通背板7上的排风机6。玻璃门4的上部设置用于控制排风机6的控制箱15。框体结构1内四角位置处均通过固定板安装粉尘传感器16，粉尘传感器16外接电源。顶板5上位于排风机6的一侧还设置警报指示灯17，警报指示灯17外接电源。
本申请的无尘室相对于传统的无尘室具有以下优点：一、占地面积小，便于操作人员的操作；二、通过设置的粉尘传感器可以实时监测无尘室内的情况；三、通过排风机6可以对无尘室内的空气进行及时的换气，保证无尘室的正常平稳使用。
以上所述的，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种半导体无尘室，其特征在于：具有立柱组成的框体结构，所述的框体结构的两侧均采用防静电围帘密封设置，所述的框体结构的正面一侧垂直设置若干垂帘；所述的框体结构正面垂帘一侧设置玻璃门；所述的框体结构的背部设置背板组件，所述的框体结构的上端设置顶板，所述的顶板上固定设置若干排风机。
2.根据权利要求1所述的一种半导体无尘室，其特征在于：所述的背板组件包括背板、龙骨、底梁、固定螺栓和圆弧压条；所述的背板的四周侧壁上均设置矩形开口槽，所述的龙骨通过固定螺栓嵌入式固定在矩形开口槽上，所述的底梁包围设置在龙骨的外侧，所述的圆弧压条固定设置在底梁的两侧。
3.根据权利要求2所述的一种半导体无尘室，其特征在于：所述的背板上开设抽风口，所述的抽风口连通抽风管道，所述的抽风管道沿背板高度方向垂直设置在背板内部，所述的抽风管道的端口连通背板上的排风机。
4.根据权利要求1所述的一种半导体无尘室，其特征在于：所述的玻璃门的上部设置用于控制排风机的控制箱。
5.根据权利要求1所述的一种半导体无尘室，其特征在于：所述的框体结构内四角位置处均通过固定板安装粉尘传感器，所述的粉尘传感器外接电源。
6.根据权利要求1所述的一种半导体无尘室，其特征在于：所述的顶板上位于排风机的一侧还设置警报指示灯，所述的警报指示灯外接电源。
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本书编写组: "《通风空调施工员上岗指南——不可不知的500个关键细节》", 31 January 2013 *

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