JP2513294Y2

JP2513294Y2 - フィルタのシ―ル装置

Info

Publication number: JP2513294Y2
Application number: JP4001991U
Authority: JP
Inventors: 正一加嶋
Original assignee: 株式会社大氣社
Priority date: 1991-05-30
Filing date: 1991-05-30
Publication date: 1996-10-02
Anticipated expiration: 2006-05-30
Also published as: JPH04134414U

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この考案は、たとえば半導体製造
工場、バイオクリーンルーム、製薬会社、病院などのク
リーンルームなどにおいて天井フレームとこれにのせら
れるフィルタ枠との間をシールするフィルタのシール装
置、とくにＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタなどの
超高性能フィルタに適したフィルタのシール装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】上記のようなクリーンルームの天井部に
は縦横複数の水平ビームからなる天井フレームが設けら
れ、複数のフィルタが天井フレームのビーム間の開口部
に１つずつ配置される。クリーンルームのグレードアッ
プにともない、上記のような超高性能フィルタが使用さ
れることが多くなっている。

【０００３】フィルタはその枠が天井フレームの上にの
せられることによってこれに固定されるが、これらの間
からの空気もれを防止する必要がある。とくに、超高性
能フィルタの場合、抵抗が大きく、前後の圧力差が大き
くなるため、シールを確実にしないと空気もれが大きく
なる。

【０００４】このような天井フレームとフィルタとの間
の空気もれを防止するため、従来は、たとえば実公平２
−３１１３０号公報などに記載されているように、天井
フレームの上面とフィルタ枠の下縁部との間にシール材
が設けられている。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】上記のシール材による
シール作業は現場作業となるため、手間がかかり、作業
不良により空気もれが発生して、フィルタ機能が損なわ
れることがある。しかも、シール材から溶剤ガスが発生
し、使用中にシール材が硬化して、シール機能が低下す
ることがある。

【０００６】また、使用中に清浄作業や交換作業のため
にフィルタを天井フレームから取外す必要が生じるが、
このときにはシール材を切取る必要があるため、作業が
面倒であり、フィルタ取付時に再び上記のような面倒な
シール作業が必要である。

【０００７】さらに、天井フレームのビームの継目から
空気がもれやすいという問題もある。

【０００８】この考案の目的は、上記の問題を解決し、
フィルタ取付け時および取外し時の作業が簡単で、シー
ル効果の高いフィルタのシール装置を提供することにあ
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この考案によるフィルタ
のシール装置は、天井フレームが密閉角筒状のビームの
内部を互いに連通して形成され、天井フレームの上壁に
のせられるフィルタ枠の下面にみぞが形成され、天井フ
レームの上壁に天井フレームの内部とフィルタ枠のみぞ
とを連通する穴が設けられ、天井フレームの内部が吸引
装置により吸引されて負圧になっていることを特徴とす
るものである。

【００１０】

【作用】天井フレームの内部が吸引装置により吸引され
て負圧になっているので、その上壁の穴を通してフィル
タ枠のみぞの内部も負圧になり、フィルタ枠の片側から
のもれ空気は必ず負圧になっているフィルタ枠のみぞ内
に流れ、上壁の穴を通って負圧になっている天井フレー
ム内に吸引される。このため、空気がフィルタ枠の片側
から反対側にもれることがなく、したがって、塵埃など
がフィルタ枠の片側から反対側に流れることもなく、天
井フレームとフィルタ枠との間が確実にシールされる。
天井フレームの継目に隙間があっても、天井フレームの
片側の空気は負圧になっている天井フレーム内に吸引さ
れ、反対側に流れることはなく、このような隙間の部分
においても確実にシールが行なわれる。

【００１１】フィルタ取付時には、フィルタ枠のみぞの
部分を天井フレームの上壁の穴の部分にのせるだけでよ
く、他にシール作業は不要である。フィルタ取外し時に
は、フィルタ枠を天井フレームから持上げるだけでよ
い。

【００１２】

【実施例】以下、図面を参照して、この考案の実施例に
ついて説明する。

【００１３】図１は、クリーンルーム(1) とその空気清
浄設備の概略構成を示している。

【００１４】クリーンルーム(1) 内の天井部に設けられ
た天井フレーム(2) に複数の超高性能フィルタ(3) が取
付けられており、これより上方の空間が給気チャンバ
(4) となっている。また、クリーンルーム(1) 内にはパ
ンチング板製の床(5) が設けられており、床下の空間が
排気チャンバ(6) となっている。

【００１５】排気チャンバ(6) と給気チャンバ(4) の間
に、還気ファン(7) を備えた還気路(8) が設けられてい
る。また、外気と給気チャンバ(4) の間に、空調機(9)
と給気ファン(10)を備えた新鮮空気導入路(11)が設けら
れている。

【００１６】還気ファン(7) により、給気チャンバ(4)
、クリーンルーム(1) 、排気チャンバ(6) および還気
路(8) より構成される循環路を空気が循環させられる。
すなわち、排気チャンバ(6) 内の空気が還気路(8) の下
側部分を通って還気ファン(7)に吸込まれ、還気路(8)
の上側部分を通って給気チャンバ(4) 内に吹出される。
給気チャンバ(4) 内に吹出された空気はフィルタ(3) を
通ってクリーンルーム(1) 内に供給され、このときにフ
ィルタ(3) によって清浄化される。クリーンルーム(1)
内の空気は床(5) から排気チャンバ(6) に入り、上記同
様に循環させられる。また、必要に応じ、空調機(9) を
通った新鮮な外気が給気ファン(10)によって給気チャン
バ(4) に供給される。

【００１７】図２は天井フレーム(2) の平面図、図３は
天井フレーム(2) とフィルタ(3) との間のシール装置の
部分を拡大して示す垂直断面図である。

【００１８】天井フレーム(2) は縦横複数の水平ビーム
(12)(13)により格子状に構成されており、これらのビー
ム(12)(13)の間の複数の方形開口部(14)にこれを塞ぐよ
うにフィルタ(3) が１つずつ配置されて、ビーム(12)(1
3)の上に取付けられている。図示は省略したが、天井フ
レーム(2) は、天井部の構造材から吊ボルトにより吊下
げられている。

【００１９】天井フレーム(2) の各ビーム(12)(13)は密
閉角筒状をなし、全てのビーム(12)(13)の内部が互いに
連通するように連結されている。

【００２０】フィルタ(3) は垂直短角筒状のフィルタ枠
(15)を備えており、このフィルタ枠(15)が開口部(14)の
周囲のビーム(12)(13)の上壁(12a)(13a)の上にのせられ
て、適宜な手段により固定されている。そして、フィル
タ枠(15)の下面全周が、ビーム(12)(13)の上壁(12a)(13
a)の上面の開口部(14)側の部分に圧接している。

【００２１】フィルタ枠(15)の下面全周に角みぞ(16)が
形成されており、ビーム(12)(13)の上壁(12a)(13a)に、
ビーム(12)(13)の内部とフィルタ枠(15)のみぞ(16)とを
連通する多数の比較的小さい穴(17)が設けられている。

【００２２】天井フレーム(2) の適当箇所に、天井フレ
ーム(2) 内の空気を吸引して外部に排出する吸引ファン
(18)が接続されている。

【００２３】吸引ファン(18)が作動することにより、天
井フレーム(2) の内部が負圧になり、ビーム(12)(13)の
上壁(12a)(13a)の穴(17)を通してフィルタ枠(15)のみぞ
(16)の内部も負圧になる。このため、フィルタ枠(15)の
給気チャンバ(4) 側からのもれ空気は必ずフィルタ枠(1
5)のみぞ(16)内に流れ、上壁(12a)(13a)の穴(17)を通っ
て天井フレーム(2) 内に吸引される。このため、空気が
フィルタ枠(15)の給気チャンバ(4) 側からクリーンルー
ム(1) 側にもれることがなく、したがって、塵埃などが
クリーンルーム(1) 側に流れることもなく、天井フレー
ム(2) とフィルタ枠(15)との間が確実にシールされる。
また、天井フレーム(2) の継目に隙間があっても、天井
フレーム(2) の片側の空気は負圧になっている天井フレ
ーム(2)内に吸引され、反対側に流れることはなく、こ
のような隙間の部分においても確実にシールが行なわれ
る。

【００２４】

【考案の効果】この考案のフィルタのシール装置によれ
ば、上述のように、シール材を設けなくても、天井フレ
ームとフィルタ枠との間を確実にシールすることがで
き、また、天井フレームの継目に隙間があってもこの部
分を確実にシールすることができる。

【００２５】そして、シール材を使用しなくてよいの
で、シール作業やシール材の切取り作業が不要になっ
て、取付け時および取外し時の作業が簡単になり、作業
不良により空気もれが発生してフィルタ機能が損なわれ
るようなことがない。また、シール材から溶剤ガスが発
生したり、使用中にシール材が硬化してシール機能が低
下するようなこともない。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の実施例を示すクリーンルームの垂直
断面図である。

【図２】天井フレームの平面図（図１Ａ−Ａ線の断面
図）である。

【図３】天井フレームとフィルタとの間のシール装置の
部分を拡大して示す垂直断面図（図２Ｂ−Ｂ線の拡大断
面図）である。

【符号の説明】

(2) 天井フレーム (3) フィルタ (12) 縦ビーム (12a) 上壁 (13) 横ビーム (13a) 上壁 (15) フィルタ枠 (16) みぞ (17) 穴 (18) 吸引ファン

Claims

(57)【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】天井フレームと天井フレームにのせられる
フィルタ枠との間をシールする装置であって、天井フレームが密閉角筒状のビームの内部を互いに連通
して形成され、天井フレームの上壁にのせられるフィル
タ枠の下面にみぞが形成され、天井フレームの上壁に天
井フレームの内部とフィルタ枠のみぞとを連通する穴が
設けられ、天井フレームの内部が吸引装置により吸引さ
れて負圧になっていることを特徴とするフィルタのシー
ル装置。