JPH04134414U - フイルタのシール装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 シール材を使用せずに高いシール効果を発揮
させ、フィルタ取付け時および取外し時の作業を簡単に
する。 【構成】 天井フレーム(2) を構成するビーム(12)(13)
を密閉筒状に形成し、ビーム(12)(13)にのせられるフィ
ルタ枠(15)の下面にみぞ(16)を形成し、ビーム(12)(13)
の上壁(12a)(13a)にビーム(12)(13)の内部とフィルタ枠
(15)のみぞ(16)とを連通する穴(17)を設け、ビーム(12)
(13)の内部を吸引して負圧にする。そして、フィルタ枠
(15)の片側からのもれ空気を、みぞ(16)および穴(17)を
通して負圧になっているビーム(12)(13)の内部に吸引
し、フィルタ枠(15)の反対側に流さないようにする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、たとえば半導体製造工場、バイオクリーンルーム、製薬会社、病 院などのクリーンルームなどにおいて天井フレームとこれにのせられるフィルタ 枠との間をシールするフィルタのシール装置、とくにＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰ Ａフィルタなどの超高性能フィルタに適したフィルタのシール装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

上記のようなクリーンルームの天井部には縦横複数の水平ビームからなる天井 フレームが設けられ、複数のフィルタが天井フレームのビーム間の開口部に１つ ずつ配置される。クリーンルームのグレードアップにともない、上記のような超 高性能フィルタが使用されることが多くなっている。

【０００３】 フィルタはその枠が天井フレームの上にのせられることによってこれに固定さ れるが、これらの間からの空気もれを防止する必要がある。とくに、超高性能フ ィルタ場合、抵抗が大きく、前後の圧力差が大きくなるため、シールを確実にし ないと空気もれが大きくなる。

【０００４】 このような天井フレームとフィルタとの間の空気もれを防止するため、従来は 、たとえば実公平２−３１１３０号公報などに記載されているように、天井フレ ームの上面とフレーム枠の下縁部との間にシール材が設けられている。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

上記のシール材によるシール作業は現場作業となるため、手間がかかり、作業 不良により空気もれが発生して、フィルタ機能が損なわれることがある。しかも 、シール材から溶剤ガスが発生し、使用中にシール材が硬化して、シール機能が 低下することがある。

【０００６】 また、使用中に清浄作業や交換作業のためにフィルタを天井フレームから取外 す必要が生じるが、このときにはシール材を切取る必要があるため、作業が面倒 であり、フィルタ取付時に再び上記のような面倒なシール作業が必要である。

【０００７】 さらに、天井フレームのビームの継目から空気がもれやすいという問題もある 。

【０００８】 この考案の目的は、上記の問題を解決し、フィルタ取付け時および取外し時の 作業が簡単で、シール効果の高いフィルタのシール装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

この考案によるフィルタのシール装置は、天井フレームが密閉筒状に形成され 、天井フレームにのせられるフィルタ枠の下面にみぞが形成され、天井フレーム の上壁に天井フレームの内部とフィルタ枠のみぞとを連通する穴が設けられ、天 井フレームの内部が吸引されて負圧になっていることを特徴とするものである。

【００１０】

【作用】

天井フレームの内部が負圧になっているので、その上壁の穴を通してフィルタ 枠のみぞの内部も負圧になり、フィルタ枠の片側からのもれ空気は必ずフィルタ 枠のみぞ内に流れ、上壁の穴を通って天井フレーム内に吸引される。このため、 空気がフィルタ枠の片側から反対側にもれることがなく、したがって、塵埃など がフィルタ枠の片側から反対側に流れることもなく、天井フレームとフィルタ枠 との間が確実にシールされる。天井フレームの継目に隙間があっても、天井フレ ームの片側の空気は負圧になっている天井フレーム内に吸引され、反対側に流れ ることはなく、このような隙間の部分においても確実にシールが行なわれる。

【００１１】 フィルタ取付時には、フィルタ枠のみぞの部分を天井フレームの上壁の穴の部 分にのせるだけでよく、他にシール作業は不要である。フィルタ取外し時には、 フィルタ枠を天井フレームから持上げるだけでよい。

【００１２】

【実施例】

以下、図面を参照して、この考案の実施例について説明する。

【００１３】 図１は、クリーンルーム(1) とその空気清浄設備の概略構成を示している。

【００１４】 クリーンルーム(1) 内の天井部に設けられた天井フレーム(2) に複数の超高性 能フィルタ(3) が取付けられており、これより上方の空間が給気チャンバ(4) と なっている。また、クリーンルーム(1) 内にはパンチング板製の床(5) が設けら れており、床下の空間が排気チャンバ(6) となっている。

【００１５】 排気チャンバ(6) と給気チャンバ(4) の間に、還気ファン(7) を備えた還気路 (8) が設けられている。また、外気と給気チャンバ(4) の間に、空調機(9) と給 気ファン(10)を備えた新鮮空気導入路(11)が設けられている。

【００１６】 還気ファン(7) により、給気チャンバ(4) 、クリーンルーム(1) 、排気チャン バ(6) および還気路(8) より構成される循環路を空気が循環させられる。すなわ ち、排気チャンバ(6) 内の空気が還気路(8) の下側部分を通って還気ファン(7) に吸込まれ、還気路(8) の上側部分を通って給気チャンバ(4) 内に吹出される。 給気チャンバ(4) 内に吹出された空気はフィルタ(3) を通ってクリーンルーム(1 ) 内に供給され、このときにフィルタ(3) によって清浄化される。クリーンルー ム(1) 内の空気は床(5) から排気チャンバ(6) に入り、上記同様に循環させられ る。また、必要に応じ、空調機(9) を通った新鮮な外気が給気ファン(10)によっ て給気チャンバ(4) に供給される。

【００１７】 図２は天井フレーム(2) の平面図、図３は天井フレーム(2) とフィルタ(3) と の間のシール装置の部分を拡大して示す垂直断面図である。

【００１８】 天井フレーム(2) は縦横複数の水平ビーム(12)(13)により格子状に構成されて おり、これらのビーム(12)(13)の間の複数の方形開口部(14)にこれを塞ぐように フィルタ(3) が１つずつ配置されて、ビーム(12)(13)の上に取付けられている。 図示は省略したが、天井フレーム(2) は、天井部の構造材から吊ボルトにより吊 下げられている。

【００１９】 天井フレーム(2) の各ビーム(12)(13)は密閉各筒状をなし、全てのビーム(12) (13)の内部が互いに連通するように連結されている。

【００２０】 フィルタ(3) は垂直短角筒状のフィルタ枠(15)を備えており、このフィルタ枠 (15)が開口部(14)の周囲のビーム(12)(13)の上壁(12a)(13a)の上にのせられて、 適宜な手段により固定されている。そして、フィルタ枠(15)の下面全周が、ビー ム(12)(13)の上壁(12a)(13a)の上面の開口部(14)側の部分に圧接している。

【００２１】 フィルタ枠(15)の下面全周に角みぞ(16)が形成されており、ビーム(12)(13)の 上壁(12a)(13a)に、ビーム(12)(13)の内部とフィルタ枠(15)のみぞ(16)とを連通 する多数の比較的小さい穴(17)が設けられている。

【００２２】 天井フレーム(2) の適当箇所に、天井フレーム(2) 内の空気を吸引して外部に 排出する吸引ファン(18)が接続されている。

【００２３】 吸引ファン(18)が作動することにより、天井フレーム(2) の内部が負圧になり 、ビーム(12)(13)の上壁(12a)(13a)の穴(17)を通してフィルタ枠(15)のみぞ(16) の内部も負圧になる。このため、フィルタ枠(15)の給気チャンバ(4) 側からのも れ空気は必ずフィルタ枠(15)のみぞ(16)内に流れ、上壁(12a)(13a)の穴(17)を通 って天井フレーム(2) 内に吸引される。このため、空気がフィルタ枠(15)の給気 チャンバ(4) 側からクリーンルーム(1) 側にもれることがなく、したがって、塵 埃などがクリーンルーム(1) 側に流れることもなく、天井フレーム(2) とフィル タ枠(15)との間が確実にシールされる。また、天井フレーム(2) の継目に隙間が あっても、天井フレーム(2) の片側の空気は負圧になっている天井フレーム(2) 内に吸引され、反対側に流れることはなく、このような隙間の部分においても確 実にシールが行なわれる。

【００２４】

【考案の効果】

この考案のフィルタのシール装置によれば、上述のように、シール材を設けな くても、天井フレームとフィルタ枠との間を確実にシールすることができ、また 、天井フレームの継目に隙間があってもこの部分を確実にシールすることができ る。

【００２５】 そして、シール材を使用しなくてよいので、シール作業やシール材の切取り作 業が不要になって、取付け時および取外し時の作業が簡単になり、作業不良によ り空気もれが発生してフィルタ機能が損なわれるようなことがない。また、シー ル材から溶剤ガスが発生したり、使用中にシール材が硬化してシール機能が低下 するようなこともない。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の実施例を示すクリーンルームの垂直
断面図である。

【図２】天井フレームの平面図（図１Ａ−Ａ線の断面
図）である。

【図３】天井フレームとフィルタとの間のシール装置の
部分を拡大して示す垂直断面図（図２Ｂ−Ｂ線の拡大断
面図）である。

【符号の説明】

(2) 天井フレーム (3) フィルタ (12) 縦ビーム (12a) 上壁 (13) 横ビーム (13a) 上壁 (15) フィルタ枠 (16) みぞ (17) 穴 (18) 吸引ファン

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】天井フレームと天井フレームにのせられる
   フィルタ枠との間をシールする装置であって、天井フレ
   ームが密閉筒状に形成され、天井フレームにのせられる
   フィルタ枠の下面にみぞが形成され、天井フレームの上
   壁に天井フレームの内部とフィルタ枠のみぞとを連通す
   る穴が設けられ、天井フレームの内部が吸引されて負圧
   になっていることを特徴とするフィルタのシール装置。