JPH1089743A - クリーンルーム用空気調和機 - Google Patents
クリーンルーム用空気調和機Info
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- JPH1089743A JPH1089743A JP8267951A JP26795196A JPH1089743A JP H1089743 A JPH1089743 A JP H1089743A JP 8267951 A JP8267951 A JP 8267951A JP 26795196 A JP26795196 A JP 26795196A JP H1089743 A JPH1089743 A JP H1089743A
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- Japan
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- chamber
- room
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 低圧測定用ピトー管の取付部周辺でエアーリ
ークが発生することを防止することによって、ＨＥＰＡ
フイルタによって濾過、清浄されていない空気がクリー
ンルーム内へ漏出しないようにしたクリーンルーム用空
気調和機を提供する。 【解決手段】 内部に送風機４、ＨＥＰＡフイルタ７等
を収納した空気調和機において、送風機４が設けられた
送風機室３と送風機吹出室５の間に送風機隔壁１３を、
前記送風機吹出室５とＨＥＰＡフイルタ７を挟んで出口
側に位置するフイルタ室８と送風機室３の間にフイルタ
隔壁１４をそれぞれ形成し、高圧測定用ピトー管１１を
送風機隔壁１３を貫通して送風機吹出室５に開口するよ
うに設置するとともに、低圧測定用ピトー管１２をフイ
ルタ隔壁１４を貫通してフイルタ室８に開口するように
設置し、前記両ピトー管１１、１２を差圧検出装置に接
続するようにしたことを特徴とする。
ークが発生することを防止することによって、ＨＥＰＡ
フイルタによって濾過、清浄されていない空気がクリー
ンルーム内へ漏出しないようにしたクリーンルーム用空
気調和機を提供する。 【解決手段】 内部に送風機４、ＨＥＰＡフイルタ７等
を収納した空気調和機において、送風機４が設けられた
送風機室３と送風機吹出室５の間に送風機隔壁１３を、
前記送風機吹出室５とＨＥＰＡフイルタ７を挟んで出口
側に位置するフイルタ室８と送風機室３の間にフイルタ
隔壁１４をそれぞれ形成し、高圧測定用ピトー管１１を
送風機隔壁１３を貫通して送風機吹出室５に開口するよ
うに設置するとともに、低圧測定用ピトー管１２をフイ
ルタ隔壁１４を貫通してフイルタ室８に開口するように
設置し、前記両ピトー管１１、１２を差圧検出装置に接
続するようにしたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム用
空気調和機（本明細書において、熱交換機を有さないク
リーンルーム用空気清浄機、いわゆる、フィルタユニッ
トを含む。）に関し、特に、ＨＥＰＡフイルタの目詰ま
りの程度を検出するピトー管の取付部周辺でエアーリー
クが発生することを防止することによって、ＨＥＰＡフ
イルタによって濾過、清浄されていない空気がクリーン
ルーム内へ漏出しないようにしたクリーンルーム用空気
調和機に関するものである。
空気調和機（本明細書において、熱交換機を有さないク
リーンルーム用空気清浄機、いわゆる、フィルタユニッ
トを含む。）に関し、特に、ＨＥＰＡフイルタの目詰ま
りの程度を検出するピトー管の取付部周辺でエアーリー
クが発生することを防止することによって、ＨＥＰＡフ
イルタによって濾過、清浄されていない空気がクリーン
ルーム内へ漏出しないようにしたクリーンルーム用空気
調和機に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、クリーンルーム用空気調和機とし
て、図２に示すような、内部に熱交換器２、送風機４、
ＨＥＰＡフイルタ７等を収納して構成されたものが用い
られている。このクリーンルーム用空気調和機は、送風
機４を運転することにより、空気調和装置の本体２０に
形成した吸込口１から本体２０内に吸入した空気を熱交
換器２により空調した後、送風機４を介してＨＥＰＡフ
イルタ７に導き、ＨＥＰＡフイルタ７により塵埃等を除
去し、高度に清浄化した後、吹出口９よりクリーンルー
ム１０内に送出するようにしている。ところで、このＨ
ＥＰＡフイルタ７は、運転時間の経過に伴って、空気中
の塵埃等を捕集することにより、目詰まりを生じるた
め、その目詰まりの程度を検知して、必要に応じて、Ｈ
ＥＰＡフイルタ７を清掃又は交換する必要がある。この
ＨＥＰＡフイルタ７の目詰まりの程度を検出する方法と
しては、一般に、ＨＥＰＡフイルタ７の入口側と出口側
の圧力差を検出する方法が採用されている。そして、よ
り具体的には、ＨＥＰＡフイルタ７の入口側、すなわ
ち、送風機吹出室５の圧力を測定する高圧測定用ピトー
管１１を送風機隔壁１３を貫通して送風機吹出室５に開
口するように設置し、ＨＥＰＡフイルタ７の出口側、す
なわち、フィルタ室８の圧力を測定する低圧測定用ピト
ー管１２をフィルタ取付板６を貫通してフィルタ室８に
開口するように設置し、両ピトー管１１，１２をビニー
ルチューブ等の可撓性チューブ１６，１６を介して差圧
検出装置１５に接続して構成していた。
て、図２に示すような、内部に熱交換器２、送風機４、
ＨＥＰＡフイルタ７等を収納して構成されたものが用い
られている。このクリーンルーム用空気調和機は、送風
機４を運転することにより、空気調和装置の本体２０に
形成した吸込口１から本体２０内に吸入した空気を熱交
換器２により空調した後、送風機４を介してＨＥＰＡフ
イルタ７に導き、ＨＥＰＡフイルタ７により塵埃等を除
去し、高度に清浄化した後、吹出口９よりクリーンルー
ム１０内に送出するようにしている。ところで、このＨ
ＥＰＡフイルタ７は、運転時間の経過に伴って、空気中
の塵埃等を捕集することにより、目詰まりを生じるた
め、その目詰まりの程度を検知して、必要に応じて、Ｈ
ＥＰＡフイルタ７を清掃又は交換する必要がある。この
ＨＥＰＡフイルタ７の目詰まりの程度を検出する方法と
しては、一般に、ＨＥＰＡフイルタ７の入口側と出口側
の圧力差を検出する方法が採用されている。そして、よ
り具体的には、ＨＥＰＡフイルタ７の入口側、すなわ
ち、送風機吹出室５の圧力を測定する高圧測定用ピトー
管１１を送風機隔壁１３を貫通して送風機吹出室５に開
口するように設置し、ＨＥＰＡフイルタ７の出口側、す
なわち、フィルタ室８の圧力を測定する低圧測定用ピト
ー管１２をフィルタ取付板６を貫通してフィルタ室８に
開口するように設置し、両ピトー管１１，１２をビニー
ルチューブ等の可撓性チューブ１６，１６を介して差圧
検出装置１５に接続して構成していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
クリーンルーム用空気調和機の場合、ＨＥＰＡフイルタ
７の出口側、すなわち、フィルタ室８の圧力を測定する
低圧測定用ピトー管１２をフィルタ取付板６を貫通して
フィルタ室８に開口するように設置する構造を採用して
いるため、低圧測定用ピトー管１２の取付部周辺で、フ
イルタ取付板６を挟んでフイルタ室８と隣接するフイル
タ室８より高圧の送風機吹出室５からフイルタ室８への
エアーリークが発生し、これによって、ＨＥＰＡフイル
タ７によって濾過、清浄されていない空気がクリーンル
ーム１０内へ漏出し、クリーンルーム１０が汚染される
という問題点があった。
クリーンルーム用空気調和機の場合、ＨＥＰＡフイルタ
７の出口側、すなわち、フィルタ室８の圧力を測定する
低圧測定用ピトー管１２をフィルタ取付板６を貫通して
フィルタ室８に開口するように設置する構造を採用して
いるため、低圧測定用ピトー管１２の取付部周辺で、フ
イルタ取付板６を挟んでフイルタ室８と隣接するフイル
タ室８より高圧の送風機吹出室５からフイルタ室８への
エアーリークが発生し、これによって、ＨＥＰＡフイル
タ７によって濾過、清浄されていない空気がクリーンル
ーム１０内へ漏出し、クリーンルーム１０が汚染される
という問題点があった。
【０００４】本発明は、従来のクリーンルーム用空気調
和機の有する問題点に鑑み、低圧測定用ピトー管の取付
部周辺でエアーリークが発生することを防止することに
よって、ＨＥＰＡフイルタによって濾過、清浄されてい
ない空気がクリーンルーム内へ漏出しないようにしたク
リーンルーム用空気調和機を提供することを目的とす
る。
和機の有する問題点に鑑み、低圧測定用ピトー管の取付
部周辺でエアーリークが発生することを防止することに
よって、ＨＥＰＡフイルタによって濾過、清浄されてい
ない空気がクリーンルーム内へ漏出しないようにしたク
リーンルーム用空気調和機を提供することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のクリーンルーム用空気調和機は、内部に送
風機、ＨＥＰＡフイルタ等を収納した空気調和機におい
て、送風機が設けられた送風機室と送風機吹出室の間に
送風機隔壁を、前記送風機吹出室とＨＥＰＡフイルタを
挟んで出口側に位置するフイルタ室と送風機室の間にフ
イルタ隔壁をそれぞれ形成し、高圧測定用ピトー管を送
風機隔壁を貫通して送風機吹出室に開口するように設置
するとともに、低圧測定用ピトー管をフイルタ隔壁を貫
通してフイルタ室に開口するように設置し、前記両ピト
ー管を差圧検出装置に接続するようにしたことを特徴と
する。ここで、クリーンルーム用空気調和機には、熱交
換機を有さないクリーンルーム用空気清浄機、いわゆ
る、フィルタユニットを含むものとする。
め、本発明のクリーンルーム用空気調和機は、内部に送
風機、ＨＥＰＡフイルタ等を収納した空気調和機におい
て、送風機が設けられた送風機室と送風機吹出室の間に
送風機隔壁を、前記送風機吹出室とＨＥＰＡフイルタを
挟んで出口側に位置するフイルタ室と送風機室の間にフ
イルタ隔壁をそれぞれ形成し、高圧測定用ピトー管を送
風機隔壁を貫通して送風機吹出室に開口するように設置
するとともに、低圧測定用ピトー管をフイルタ隔壁を貫
通してフイルタ室に開口するように設置し、前記両ピト
ー管を差圧検出装置に接続するようにしたことを特徴と
する。ここで、クリーンルーム用空気調和機には、熱交
換機を有さないクリーンルーム用空気清浄機、いわゆ
る、フィルタユニットを含むものとする。
【０００６】上記の構成からなる本発明のクリーンルー
ム用空気調和機は、低圧測定用ピトー管をフイルタ室と
送風機室の間に形成したフイルタ隔壁を貫通してフイル
タ室に開口するように設置しているため、フイルタ隔壁
を挟んでフイルタ室と隣接する送風機室はフイルタ室よ
り低圧であることから、フイルタ室から送風機室へのエ
アーリークは発生しても、送風機室からフイルタ室への
エアーリークは発生せず、ＨＥＰＡフイルタによって濾
過、清浄されていない空気がクリーンルーム内へ漏出す
ることはない。
ム用空気調和機は、低圧測定用ピトー管をフイルタ室と
送風機室の間に形成したフイルタ隔壁を貫通してフイル
タ室に開口するように設置しているため、フイルタ隔壁
を挟んでフイルタ室と隣接する送風機室はフイルタ室よ
り低圧であることから、フイルタ室から送風機室へのエ
アーリークは発生しても、送風機室からフイルタ室への
エアーリークは発生せず、ＨＥＰＡフイルタによって濾
過、清浄されていない空気がクリーンルーム内へ漏出す
ることはない。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明のクリーンルーム用
空気調和機の実施の形態を図面に基づいて説明する。
空気調和機の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【０００８】図１は、本発明のクリーンルーム用空気調
和機の一実施例を示す。このクリーンルーム用空気調和
機は、送風機４を運転することにより、空気調和装置の
本体２０に形成した吸込口１から本体２０内に吸入した
空気を熱交換器２により空調した後、送風機４を介して
ＨＥＰＡフイルタ７に導き、ＨＥＰＡフイルタ７により
塵埃等を除去し、高度に清浄化した後、吹出口９よりク
リーンルーム１０内に送出するようにしたもので、空気
調和機としての基本構造は、従来のクリーンルーム用空
気調和機と同様である。
和機の一実施例を示す。このクリーンルーム用空気調和
機は、送風機４を運転することにより、空気調和装置の
本体２０に形成した吸込口１から本体２０内に吸入した
空気を熱交換器２により空調した後、送風機４を介して
ＨＥＰＡフイルタ７に導き、ＨＥＰＡフイルタ７により
塵埃等を除去し、高度に清浄化した後、吹出口９よりク
リーンルーム１０内に送出するようにしたもので、空気
調和機としての基本構造は、従来のクリーンルーム用空
気調和機と同様である。
【０００９】この空気調和装置の本体２０には、内部を
上下に仕切るようにして送風機隔壁１３及びフイルタ隔
壁１４を一直線上に形成し、送風機隔壁１３及びフイル
タ隔壁１４の下方位置に、吸込口１から本体２０内の下
部室２１に吸入した空気を通過させて、熱交換を行うた
めの熱交換器２を配設するとともに、熱交換器２と送風
機隔壁１３により区画された送風機室３内に送風機４を
配設する。送風機隔壁１３及びフイルタ隔壁１４により
区画された上部室は、フイルタ取付板６及びＨＥＰＡフ
イルタ７にて２分割され、その一方を送風機隔壁１３と
フイルタ取付板６及びＨＥＰＡフイルタ７により区画さ
れた送風機吹出室５とし、他方をフイルタ隔壁１４とフ
イルタ取付板６及びＨＥＰＡフイルタ７により区画され
たフイルタ室８とする。これにより、フイルタ取付板６
及びＨＥＰＡフイルタ７を介して互いに隣接する送風機
吹出室５及びフイルタ室８は、送風機隔壁１３又はフイ
ルタ隔壁１４を介して送風機室３と隣接するように配設
されている。
上下に仕切るようにして送風機隔壁１３及びフイルタ隔
壁１４を一直線上に形成し、送風機隔壁１３及びフイル
タ隔壁１４の下方位置に、吸込口１から本体２０内の下
部室２１に吸入した空気を通過させて、熱交換を行うた
めの熱交換器２を配設するとともに、熱交換器２と送風
機隔壁１３により区画された送風機室３内に送風機４を
配設する。送風機隔壁１３及びフイルタ隔壁１４により
区画された上部室は、フイルタ取付板６及びＨＥＰＡフ
イルタ７にて２分割され、その一方を送風機隔壁１３と
フイルタ取付板６及びＨＥＰＡフイルタ７により区画さ
れた送風機吹出室５とし、他方をフイルタ隔壁１４とフ
イルタ取付板６及びＨＥＰＡフイルタ７により区画され
たフイルタ室８とする。これにより、フイルタ取付板６
及びＨＥＰＡフイルタ７を介して互いに隣接する送風機
吹出室５及びフイルタ室８は、送風機隔壁１３又はフイ
ルタ隔壁１４を介して送風機室３と隣接するように配設
されている。
【００１０】ところで、このＨＥＰＡフイルタ７は、運
転時間の経過に伴って、空気中の塵埃等を捕集すること
により、目詰まりを生じるため、その目詰まりの程度を
検知して、必要に応じて、ＨＥＰＡフイルタ７を清掃又
は交換する必要がある。このＨＥＰＡフイルタ７の目詰
まりの程度を検出するため、本実施例においては、ＨＥ
ＰＡフイルタ７の入口側、すなわち、送風機吹出室５の
圧力を測定する高圧測定用ピトー管１１を送風機隔壁１
３を貫通して送風機吹出室５に開口するように設置する
とともに、ＨＥＰＡフイルタ７の出口側、すなわち、フ
ィルタ室８の圧力を測定する低圧測定用ピトー管１２を
フイルタ隔壁１４を貫通してフイルタ室８に開口するよ
うに設置し、両ピトー管１１，１２をビニールチューブ
等の可撓性チューブ１６，１６を介して差圧検出装置１
５に接続して構成している。
転時間の経過に伴って、空気中の塵埃等を捕集すること
により、目詰まりを生じるため、その目詰まりの程度を
検知して、必要に応じて、ＨＥＰＡフイルタ７を清掃又
は交換する必要がある。このＨＥＰＡフイルタ７の目詰
まりの程度を検出するため、本実施例においては、ＨＥ
ＰＡフイルタ７の入口側、すなわち、送風機吹出室５の
圧力を測定する高圧測定用ピトー管１１を送風機隔壁１
３を貫通して送風機吹出室５に開口するように設置する
とともに、ＨＥＰＡフイルタ７の出口側、すなわち、フ
ィルタ室８の圧力を測定する低圧測定用ピトー管１２を
フイルタ隔壁１４を貫通してフイルタ室８に開口するよ
うに設置し、両ピトー管１１，１２をビニールチューブ
等の可撓性チューブ１６，１６を介して差圧検出装置１
５に接続して構成している。
【００１１】そして、差圧検出装置１５により、両ピト
ー管１１，１２の圧力差を検出して、ＨＥＰＡフイルタ
７の目詰まりを検知し、その清掃又は交換時期を検出す
るものである。
ー管１１，１２の圧力差を検出して、ＨＥＰＡフイルタ
７の目詰まりを検知し、その清掃又は交換時期を検出す
るものである。
【００１２】ところで、この高圧計測用ピトー管１１と
低圧計測用ピトー管１２は、送風機隔壁１３又はフイル
タ隔壁１４をそれぞれ貫通しているので、この貫通孔と
各ピトー管１１，１２との間に隙間が生じ、この隙間か
らエアーリークが生じることがある。
低圧計測用ピトー管１２は、送風機隔壁１３又はフイル
タ隔壁１４をそれぞれ貫通しているので、この貫通孔と
各ピトー管１１，１２との間に隙間が生じ、この隙間か
らエアーリークが生じることがある。
【００１３】しかしながら、高圧測定用ピトー管１１
は、送風機室３と送風機吹出室５の間に形成した送風機
隔壁１３を貫通して送風機吹出室５に開口するように設
置しているため、送風機室３より高圧の送風機吹出室５
から送風機室３へのエアーリークが発生しても、これは
単に空気が逆流するだけであって、ＨＥＰＡフイルタ７
によって濾過、清浄されていない空気がクリーンルーム
１０内へ漏出することはない。また、低圧測定用ピトー
管１２は、フイルタ室８と送風機室３の間に形成したフ
イルタ隔壁１４を貫通してフイルタ室８に開口するよう
に設置しているため、フイルタ隔壁１４を挟んでフイル
タ室８と隣接する送風機室３はフイルタ室８より低圧で
あることから、フイルタ室８から送風機室３へのエアー
リークは発生しても、これは単に空気が逆流するだけで
あって、これと逆方向の送風機室３からフイルタ室８へ
のエアーリークは発生せず、ＨＥＰＡフイルタ７によっ
て濾過、清浄されていない空気がクリーンルーム１０内
へ漏出することはない。従って低圧計測用ピトー管１２
は送風機室３からフイルタ室８に向かってフイルタ隔壁
１４を貫通してフイルタ隔壁１４に取り付けるため、こ
の低圧計測用ピトー管１２とフイルタ隔壁１４との間に
隙間が生じていても高圧室であるフイルタ室８から低圧
室である送風機室３にエアーが漏れるものである。この
ため、ＨＥＰＡフイルタ７を通過して濾過されていない
空気が直接クリーンルーム１０へ吐出されることはな
い。
は、送風機室３と送風機吹出室５の間に形成した送風機
隔壁１３を貫通して送風機吹出室５に開口するように設
置しているため、送風機室３より高圧の送風機吹出室５
から送風機室３へのエアーリークが発生しても、これは
単に空気が逆流するだけであって、ＨＥＰＡフイルタ７
によって濾過、清浄されていない空気がクリーンルーム
１０内へ漏出することはない。また、低圧測定用ピトー
管１２は、フイルタ室８と送風機室３の間に形成したフ
イルタ隔壁１４を貫通してフイルタ室８に開口するよう
に設置しているため、フイルタ隔壁１４を挟んでフイル
タ室８と隣接する送風機室３はフイルタ室８より低圧で
あることから、フイルタ室８から送風機室３へのエアー
リークは発生しても、これは単に空気が逆流するだけで
あって、これと逆方向の送風機室３からフイルタ室８へ
のエアーリークは発生せず、ＨＥＰＡフイルタ７によっ
て濾過、清浄されていない空気がクリーンルーム１０内
へ漏出することはない。従って低圧計測用ピトー管１２
は送風機室３からフイルタ室８に向かってフイルタ隔壁
１４を貫通してフイルタ隔壁１４に取り付けるため、こ
の低圧計測用ピトー管１２とフイルタ隔壁１４との間に
隙間が生じていても高圧室であるフイルタ室８から低圧
室である送風機室３にエアーが漏れるものである。この
ため、ＨＥＰＡフイルタ７を通過して濾過されていない
空気が直接クリーンルーム１０へ吐出されることはな
い。
【００１４】以上、本体２０内に熱交換器２を配設した
クリーンルーム用空気調和機を例に本発明を説明した
が、本発明の適用対象はこれに限定されず、熱交換機を
有さないクリーンルーム用空気清浄機、いわゆる、フィ
ルタユニットにも適用することができる。
クリーンルーム用空気調和機を例に本発明を説明した
が、本発明の適用対象はこれに限定されず、熱交換機を
有さないクリーンルーム用空気清浄機、いわゆる、フィ
ルタユニットにも適用することができる。
【００１５】
【発明の効果】本発明のクリーンルーム用空気調和機に
よれば、低圧測定用ピトー管をフイルタ室と送風機室の
間に形成したフイルタ隔壁を貫通してフイルタ室に開口
するように設置しているため、フイルタ隔壁を挟んでフ
イルタ室と隣接する送風機室はフイルタ室より低圧であ
ることから、フイルタ室から送風機室へのエアーリーク
は発生しても、送風機室からフイルタ室へのエアーリー
クは発生せず、ＨＥＰＡフイルタによって濾過、清浄さ
れていない空気がクリーンルーム内へ漏出することがな
く、これにより、クリーンルームの清浄度の信頼性を向
上することができる。また、ピトー管の取付部周辺のエ
アーリーク防止のためのシールを厳重に行う必要がない
ため、ピトー管の取付を簡易化することができ、これに
より、空気調和機の組立作業の作業効率を向上すること
ができる。
よれば、低圧測定用ピトー管をフイルタ室と送風機室の
間に形成したフイルタ隔壁を貫通してフイルタ室に開口
するように設置しているため、フイルタ隔壁を挟んでフ
イルタ室と隣接する送風機室はフイルタ室より低圧であ
ることから、フイルタ室から送風機室へのエアーリーク
は発生しても、送風機室からフイルタ室へのエアーリー
クは発生せず、ＨＥＰＡフイルタによって濾過、清浄さ
れていない空気がクリーンルーム内へ漏出することがな
く、これにより、クリーンルームの清浄度の信頼性を向
上することができる。また、ピトー管の取付部周辺のエ
アーリーク防止のためのシールを厳重に行う必要がない
ため、ピトー管の取付を簡易化することができ、これに
より、空気調和機の組立作業の作業効率を向上すること
ができる。
【図１】本発明のクリーンルーム用空気調和機の一実施
例を示す側面の縦断面図である。
例を示す側面の縦断面図である。
【図２】従来のクリーンルーム用空気調和機を示す側面
の縦断面図である。
の縦断面図である。
１ 吸込口 ２ 熱交換器 ３ 送風機室 ４ 送風機 ５ 送風機吹出室 ６ フイルタ取付板 ７ ＨＥＰＡフイルタ ８ フイルタ室 ９ 吹出口 １０ クリーンルーム １１ 高圧測定用ピトー管 １２ 低圧測定用ピトー管 １３ 送風機隔壁 １４ フイルタ隔壁 １５ 差圧検知装置 １６ 可撓性チューブ ２０ 本体
Claims (1)
- 【請求項１】 内部に送風機、ＨＥＰＡフイルタ等を収
納した空気調和機において、送風機が設けられた送風機
室と送風機吹出室の間に送風機隔壁を、前記送風機吹出
室とＨＥＰＡフイルタを挟んで出口側に位置するフイル
タ室と送風機室の間にフイルタ隔壁をそれぞれ形成し、
高圧測定用ピトー管を送風機隔壁を貫通して送風機吹出
室に開口するように設置するとともに、低圧測定用ピト
ー管をフイルタ隔壁を貫通してフイルタ室に開口するよ
うに設置し、前記両ピトー管を差圧検出装置に接続する
ようにしたことを特徴とするクリーンルーム用空気調和
機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8267951A JPH1089743A (ja) | 1996-09-17 | 1996-09-17 | クリーンルーム用空気調和機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8267951A JPH1089743A (ja) | 1996-09-17 | 1996-09-17 | クリーンルーム用空気調和機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1089743A true JPH1089743A (ja) | 1998-04-10 |
Family
ID=17451872
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8267951A Withdrawn JPH1089743A (ja) | 1996-09-17 | 1996-09-17 | クリーンルーム用空気調和機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1089743A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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1996
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