JPH1151433A - クリーンルームのフィルタ交換用補助装置 - Google Patents
クリーンルームのフィルタ交換用補助装置Info
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- JPH1151433A JPH1151433A JP10110865A JP11086598A JPH1151433A JP H1151433 A JPH1151433 A JP H1151433A JP 10110865 A JP10110865 A JP 10110865A JP 11086598 A JP11086598 A JP 11086598A JP H1151433 A JPH1151433 A JP H1151433A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 生産設備の駆動と空気の循環が行われる状態
で損傷されたフィルタを迅速に、かつ容易に汚染を発生
させることなく交換することができるクリーンルームの
フィルタ交換用補助装置を提供すること。 【解決手段】 遮蔽板32と支え部34とチューブ38からな
り、損傷されたフィルタ22の下側フィルタフレーム28の
内壁に挿入される。チューブ38に空気を圧入してチュー
ブ38を膨張させることによりフィルタフレーム28の内壁
に圧着固定され、損傷されたフィルタ22の下側フィルタ
フレーム28部分の空気の流れを遮断する。
で損傷されたフィルタを迅速に、かつ容易に汚染を発生
させることなく交換することができるクリーンルームの
フィルタ交換用補助装置を提供すること。 【解決手段】 遮蔽板32と支え部34とチューブ38からな
り、損傷されたフィルタ22の下側フィルタフレーム28の
内壁に挿入される。チューブ38に空気を圧入してチュー
ブ38を膨張させることによりフィルタフレーム28の内壁
に圧着固定され、損傷されたフィルタ22の下側フィルタ
フレーム28部分の空気の流れを遮断する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はクリーンルームのフ
ィルタ交換用補助装置に関するもので、より詳しくはク
リーンルームに設置されるフィルタを容易に交換できる
ようにするクリーンルームのフィルタ交換用補助装置に
関するものである。
ィルタ交換用補助装置に関するもので、より詳しくはク
リーンルームに設置されるフィルタを容易に交換できる
ようにするクリーンルームのフィルタ交換用補助装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】現代は科学産業及び先端技術産業時代
で、生産工程の超精密化、高純度化、無菌化の趨勢に合
わせて先端製品の性能と歩留りを向上させるために高清
浄度の生産環境が要求されている。清浄技術に基いた総
体的な概念下に形成された生産環境、即ち、クリーンル
ームは医学、製薬、食品、遺伝子工学等の分野における
生物学的な汚染を防止するためのＢＣＲ（Bio Clean Ro
om）系統と、半導体、電子、精密機械、新素材産業等の
分野におけるパーティクルによる汚染を防止するための
ＩＣＲ（IndustrialClean Room ）系統で大きな成果を
上げている。
で、生産工程の超精密化、高純度化、無菌化の趨勢に合
わせて先端製品の性能と歩留りを向上させるために高清
浄度の生産環境が要求されている。清浄技術に基いた総
体的な概念下に形成された生産環境、即ち、クリーンル
ームは医学、製薬、食品、遺伝子工学等の分野における
生物学的な汚染を防止するためのＢＣＲ（Bio Clean Ro
om）系統と、半導体、電子、精密機械、新素材産業等の
分野におけるパーティクルによる汚染を防止するための
ＩＣＲ（IndustrialClean Room ）系統で大きな成果を
上げている。
【０００３】一方、前述したクリーンルームの中で半導
体装置を製造するためのクリーンルームは、製造される
半導体装置の工程不良とそれによる歩留りに影響を与え
るパーティクルを除去するように、工程ライン内部環境
を下向き垂直層流タイプ（Down Stream Laminar Flow T
ype ）の環境で形成することが一般的である。このよう
な下向き垂直層流タイプの環境は、各種設備、消耗品、
施設物等の源資材と作業者の活動によって生成されるパ
ーティクルを工程ラインから迅速に除去するためのもの
で、この他にも装置及び素材の持続的な開発と施設物の
維持と管理など多様な方法が試みられている。
体装置を製造するためのクリーンルームは、製造される
半導体装置の工程不良とそれによる歩留りに影響を与え
るパーティクルを除去するように、工程ライン内部環境
を下向き垂直層流タイプ（Down Stream Laminar Flow T
ype ）の環境で形成することが一般的である。このよう
な下向き垂直層流タイプの環境は、各種設備、消耗品、
施設物等の源資材と作業者の活動によって生成されるパ
ーティクルを工程ラインから迅速に除去するためのもの
で、この他にも装置及び素材の持続的な開発と施設物の
維持と管理など多様な方法が試みられている。
【０００４】工程ライン内部に下向き垂直層流を形成す
るクリーンルームの構成及び作用について図１を参照し
て説明する。図１に図示されるようにクリーンルーム10
の下側の底から所定の高さに離隔されて形成されたパッ
ドフレーム12上には多数個の孔を有するグレーティング
パッド14が設置され、このグレーティングパッド14によ
ってクリーンルーム10は上側と下側に分離される。グレ
ーティングパッド14の上側部位は半導体装置製造のため
の製造設備が設置される工程ライン16を構成し、グレー
ティングパッド14の下側部位には上側の製造設備を補助
する付随設備及びクリーンルーム10内部の空気を循環さ
せる循環ファン18等が設置される。循環ファン18はグレ
ーティングパッド14の上側と下側の部位の空気を吸入方
式で誘導してクリーンルーム10の側壁に形成された通路
20を通じて工程ライン16上側に誘導するようになる。
るクリーンルームの構成及び作用について図１を参照し
て説明する。図１に図示されるようにクリーンルーム10
の下側の底から所定の高さに離隔されて形成されたパッ
ドフレーム12上には多数個の孔を有するグレーティング
パッド14が設置され、このグレーティングパッド14によ
ってクリーンルーム10は上側と下側に分離される。グレ
ーティングパッド14の上側部位は半導体装置製造のため
の製造設備が設置される工程ライン16を構成し、グレー
ティングパッド14の下側部位には上側の製造設備を補助
する付随設備及びクリーンルーム10内部の空気を循環さ
せる循環ファン18等が設置される。循環ファン18はグレ
ーティングパッド14の上側と下側の部位の空気を吸入方
式で誘導してクリーンルーム10の側壁に形成された通路
20を通じて工程ライン16上側に誘導するようになる。
【０００５】一方、工程ライン16上側部位には、汚染さ
れた空気を浄化させるためのフィルタ22がフィルタフレ
ーム24上に支持されて多数個設置される。したがって、
フィルタ22の上側に位置する空気は循環ファン18によっ
て形成された高圧力状態によってフィルタ22を通過して
工程ライン16の内部に再び投入されることになる。そし
て、工程ライン16内で、空気はグレーティングパッド14
の孔を通じて排出されながら循環ファン18によって垂直
に下側の方に流動する下向き垂直層流をなすようにな
る。従って、工程ライン16内部に継続的に生成されるパ
ーティクルは前述した下向き垂直層流によってグレーテ
ィングパッド14の下側に誘導、排出されることになり、
工程ライン16内部は清浄空間をなすようになる。
れた空気を浄化させるためのフィルタ22がフィルタフレ
ーム24上に支持されて多数個設置される。したがって、
フィルタ22の上側に位置する空気は循環ファン18によっ
て形成された高圧力状態によってフィルタ22を通過して
工程ライン16の内部に再び投入されることになる。そし
て、工程ライン16内で、空気はグレーティングパッド14
の孔を通じて排出されながら循環ファン18によって垂直
に下側の方に流動する下向き垂直層流をなすようにな
る。従って、工程ライン16内部に継続的に生成されるパ
ーティクルは前述した下向き垂直層流によってグレーテ
ィングパッド14の下側に誘導、排出されることになり、
工程ライン16内部は清浄空間をなすようになる。
【０００６】このような空気の循環過程において、空気
を浄化するフィルタ22が損傷及び汚染されてその機能を
失うと、この損傷されたフィルタ22を通じて濾過されな
い汚染空気が工程ライン16内で急速に拡散されたり、下
向き垂直層流形成に悪影響を与えることになり、工程ラ
イン16内部を汚染させることになる。そこで、これを防
止するために一定の周期で、設置されたフィルタ22の損
傷及び汚染程度を検査して、損傷されたフィルタ22の発
見応急措置とともに新しいフィルタ22に交換することが
行われている。この際、空気を継続的に循環させた状態
でフィルタ22を交換すると、交換作業が進行する間、開
放された部位を通じて汚染された空気が工程ライン16内
部に大量に流入され工程ライン16を汚染させる問題が発
生する。
を浄化するフィルタ22が損傷及び汚染されてその機能を
失うと、この損傷されたフィルタ22を通じて濾過されな
い汚染空気が工程ライン16内で急速に拡散されたり、下
向き垂直層流形成に悪影響を与えることになり、工程ラ
イン16内部を汚染させることになる。そこで、これを防
止するために一定の周期で、設置されたフィルタ22の損
傷及び汚染程度を検査して、損傷されたフィルタ22の発
見応急措置とともに新しいフィルタ22に交換することが
行われている。この際、空気を継続的に循環させた状態
でフィルタ22を交換すると、交換作業が進行する間、開
放された部位を通じて汚染された空気が工程ライン16内
部に大量に流入され工程ライン16を汚染させる問題が発
生する。
【０００７】従って、従来は、図２に示すように、フィ
ルタフレーム24とパッドフレーム12間に非帯電性ビニー
ル26を取り付けて、交換が要求されるフィルタ領域部分
とその他の工程ライン16領域部分を仕切った上で、フィ
ルタフレーム24上の損傷されたフィルタ22を交換してい
る。
ルタフレーム24とパッドフレーム12間に非帯電性ビニー
ル26を取り付けて、交換が要求されるフィルタ領域部分
とその他の工程ライン16領域部分を仕切った上で、フィ
ルタフレーム24上の損傷されたフィルタ22を交換してい
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記交換時、フィルタ
フレーム24上側部位の空気は、圧力の差によって、フィ
ルタが除去され開放された部位を通じて流動するように
なる。したがって、非帯電性ビニール26間を通過する空
気の圧力と非帯電性ビニール26外側の工程ライン16内部
の圧力の差によって、非帯電性ビニール26両端の接着部
分２８（フィルタフレーム24とパッドフレーム12に対す
る接着部分）が外れ、密閉が破れ、この破れた部位を通
じて濾過されない汚染された空気が工程ライン16内部に
拡散され工程ライン16を汚染させる問題が発生した。従
って、フィルタ22を交換するためには工程ライン16の内
部に設置される各種設備の駆動を中断させると同時に空
気の循環を中止させた状態で作業することとなり、生産
設備の作業中断による生産性の低下と設備復元による時
間的損失等の問題があった。
フレーム24上側部位の空気は、圧力の差によって、フィ
ルタが除去され開放された部位を通じて流動するように
なる。したがって、非帯電性ビニール26間を通過する空
気の圧力と非帯電性ビニール26外側の工程ライン16内部
の圧力の差によって、非帯電性ビニール26両端の接着部
分２８（フィルタフレーム24とパッドフレーム12に対す
る接着部分）が外れ、密閉が破れ、この破れた部位を通
じて濾過されない汚染された空気が工程ライン16内部に
拡散され工程ライン16を汚染させる問題が発生した。従
って、フィルタ22を交換するためには工程ライン16の内
部に設置される各種設備の駆動を中断させると同時に空
気の循環を中止させた状態で作業することとなり、生産
設備の作業中断による生産性の低下と設備復元による時
間的損失等の問題があった。
【０００９】本発明の目的は、生産設備の駆動と空気の
循環が行われる状態で損傷されたフィルタを迅速に、か
つ容易に交換することができるようにして、生産性向上
と設備復元時間を短縮することができるようにしたクリ
ーンルームのフィルタ交換用補助装置を提供することに
ある。
循環が行われる状態で損傷されたフィルタを迅速に、か
つ容易に交換することができるようにして、生産性向上
と設備復元時間を短縮することができるようにしたクリ
ーンルームのフィルタ交換用補助装置を提供することに
ある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決し前記目
的を達成するための本発明の一つの形態によるクリーン
ルームのフィルタ交換用補助装置は、クリーンルームの
工程ラインの上部に設置され、空気濾過用フィルタが搭
載され、下側部が工程ラインの内側に下向き突出された
フィルタフレームに挿入されるように構成され、前記フ
ィルタの交換時に、前記工程ラインの内部に汚染空気が
透過するのを防止する機能を有する。
的を達成するための本発明の一つの形態によるクリーン
ルームのフィルタ交換用補助装置は、クリーンルームの
工程ラインの上部に設置され、空気濾過用フィルタが搭
載され、下側部が工程ラインの内側に下向き突出された
フィルタフレームに挿入されるように構成され、前記フ
ィルタの交換時に、前記工程ラインの内部に汚染空気が
透過するのを防止する機能を有する。
【００１１】前記課題を解決し前記目的を達成するため
の本発明の他の形態によるクリーンルームのフィルタ交
換用補助装置は、工程ラインの上部に設置され、フィル
タが搭載され、下側部が工程ラインの内側に下向き突出
されたフィルタフレームに挿入可能な広さを有する遮断
板と、この遮断板の下面に設けられ、前記フィルタフレ
ームの内壁に一定の間隔で対向するように形成された支
え部と、空気の出入口を有し、前記支え部の周りに沿っ
て設けられ、前記フィルタフレームと密着して気密を維
持するチューブとを具備する。前記支え部は前記フィル
タフレームの各方向の内壁に対向する複数個の板を結合
して形成され、前記チューブが位置する部位の形状は凹
むように形成されることが機密維持の上で望ましいし、
前記支え部の上端部は前記遮断板の縁部に一体に取着す
ることができる。また、前記支え部は前記遮断板の下面
に対向する上板と、この上板周縁から下側に延長形成さ
れた側壁及びこの側壁の下端部に外側に突出形成された
鍔部とから形成することができ、前記支え部の下側の所
定位置には取っ手を備えることができる。前記チューブ
は弾性ポリマ材質で形成することができ、しかも二つが
二層構造で設置されるようにすることもできる。さら
に、前記フィルタフレームの角の部位とこれに対応する
前記チューブの角の部分との間の隙間を防止するシーリ
ング部材を備えることが望ましい。
の本発明の他の形態によるクリーンルームのフィルタ交
換用補助装置は、工程ラインの上部に設置され、フィル
タが搭載され、下側部が工程ラインの内側に下向き突出
されたフィルタフレームに挿入可能な広さを有する遮断
板と、この遮断板の下面に設けられ、前記フィルタフレ
ームの内壁に一定の間隔で対向するように形成された支
え部と、空気の出入口を有し、前記支え部の周りに沿っ
て設けられ、前記フィルタフレームと密着して気密を維
持するチューブとを具備する。前記支え部は前記フィル
タフレームの各方向の内壁に対向する複数個の板を結合
して形成され、前記チューブが位置する部位の形状は凹
むように形成されることが機密維持の上で望ましいし、
前記支え部の上端部は前記遮断板の縁部に一体に取着す
ることができる。また、前記支え部は前記遮断板の下面
に対向する上板と、この上板周縁から下側に延長形成さ
れた側壁及びこの側壁の下端部に外側に突出形成された
鍔部とから形成することができ、前記支え部の下側の所
定位置には取っ手を備えることができる。前記チューブ
は弾性ポリマ材質で形成することができ、しかも二つが
二層構造で設置されるようにすることもできる。さら
に、前記フィルタフレームの角の部位とこれに対応する
前記チューブの角の部分との間の隙間を防止するシーリ
ング部材を備えることが望ましい。
【００１２】また、前記遮断板内に透明な確認窓を形成
することができ、その場合、前記遮断板と前記上板中心
部位に所定の大きさの孔を形成し、この孔を覆って前記
遮断板と前記上板との間に透明体を設けることにより、
前記遮蔽板内に透明の確認窓を形成することができる。
前記透明体は非帯電性の透明なアクリルで形成するとよ
い。また、前記フィルタフレームの下側部位にリングが
設けられ、一方前記支え部の下側部位には前記リングと
ペアーになる掛け部材が設けられることが、フィルタの
交換時、装置がフィルタフレームから外れることを防止
する上で望ましい。前記上板の孔内に前記透明体の底面
を支持するように支持桟を形成することもできる。さら
に、前記透明体の中心部位とこれに対応する前記支持桟
部分に所定の大きさの孔を形成し、この孔を貫通する容
器形状の支持部材を設け、この支持部材の内部にフィル
タを設置することもできる。
することができ、その場合、前記遮断板と前記上板中心
部位に所定の大きさの孔を形成し、この孔を覆って前記
遮断板と前記上板との間に透明体を設けることにより、
前記遮蔽板内に透明の確認窓を形成することができる。
前記透明体は非帯電性の透明なアクリルで形成するとよ
い。また、前記フィルタフレームの下側部位にリングが
設けられ、一方前記支え部の下側部位には前記リングと
ペアーになる掛け部材が設けられることが、フィルタの
交換時、装置がフィルタフレームから外れることを防止
する上で望ましい。前記上板の孔内に前記透明体の底面
を支持するように支持桟を形成することもできる。さら
に、前記透明体の中心部位とこれに対応する前記支持桟
部分に所定の大きさの孔を形成し、この孔を貫通する容
器形状の支持部材を設け、この支持部材の内部にフィル
タを設置することもできる。
【００１３】また、前記課題を解決し前記目的を達成す
るための本発明の更に他の形態によるクリーンルームの
フィルタ交換用補助装置は、工程ラインの上部に設置さ
れ、フィルタが搭載され、下側部が工程ラインの内側に
下向き突出されたフィルタフレームに挿入可能である広
さを有し、前記フィルタフレームの内壁に対向する外側
壁を備え、中央の貫通部の内側の壁に補助フィルタを搭
載するための突起を備えた仮設フレームと、空気の出入
口を有し、前記仮設フレームの外側壁の周りに沿って設
けられ、前記フィルタフレームと密着して気密を維持す
るチューブと、前記仮設フレームの中央の貫通部に挿入
され、前記突起に支持されて設置される補助フィルタと
を具備する。この装置において、仮設フレームの下側の
所定位置に取っ手を形成することができるし、フィルタ
フレームの角の部位とこれに対応する前記チューブの角
の部分との間の隙間を防止するシーリング部材を備える
ことができる。
るための本発明の更に他の形態によるクリーンルームの
フィルタ交換用補助装置は、工程ラインの上部に設置さ
れ、フィルタが搭載され、下側部が工程ラインの内側に
下向き突出されたフィルタフレームに挿入可能である広
さを有し、前記フィルタフレームの内壁に対向する外側
壁を備え、中央の貫通部の内側の壁に補助フィルタを搭
載するための突起を備えた仮設フレームと、空気の出入
口を有し、前記仮設フレームの外側壁の周りに沿って設
けられ、前記フィルタフレームと密着して気密を維持す
るチューブと、前記仮設フレームの中央の貫通部に挿入
され、前記突起に支持されて設置される補助フィルタと
を具備する。この装置において、仮設フレームの下側の
所定位置に取っ手を形成することができるし、フィルタ
フレームの角の部位とこれに対応する前記チューブの角
の部分との間の隙間を防止するシーリング部材を備える
ことができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を図面を
参照して詳細に説明する。図３は本発明の第１の実施の
形態によるフィルタ交換用補助装置をフィルタフレーム
に設置した状態で示す断面図である。この図を参照する
と、クリーンルーム内の工程ライン16には、図示しない
循環ファンによって流動されてフィルタ22を介して清浄
な空気が供給される。前記フィルタ22は工程ライン16上
部に格子ビーム形状で設置されたフィルタフレーム28上
に搭載される。一方、フィルタフレーム28の下側端部は
搭載されたフィルタ22の下側に延長形成され工程ライン
16の内側に下向き突出部形状をなすようになる。このよ
うに形成されたフィルタフレーム28上に設置されたフィ
ルタ22の内、損傷されたフィルタ22を空気の流れを維持
した状態で交換するためには、損傷されたフィルタ22が
位置するフィルタフレーム28部分に対応する形状のフィ
ルタ交換用補助装置30を設置してこの部分を通じて空気
が流動することを遮断した状態で交換作業を行うことが
望ましい。
参照して詳細に説明する。図３は本発明の第１の実施の
形態によるフィルタ交換用補助装置をフィルタフレーム
に設置した状態で示す断面図である。この図を参照する
と、クリーンルーム内の工程ライン16には、図示しない
循環ファンによって流動されてフィルタ22を介して清浄
な空気が供給される。前記フィルタ22は工程ライン16上
部に格子ビーム形状で設置されたフィルタフレーム28上
に搭載される。一方、フィルタフレーム28の下側端部は
搭載されたフィルタ22の下側に延長形成され工程ライン
16の内側に下向き突出部形状をなすようになる。このよ
うに形成されたフィルタフレーム28上に設置されたフィ
ルタ22の内、損傷されたフィルタ22を空気の流れを維持
した状態で交換するためには、損傷されたフィルタ22が
位置するフィルタフレーム28部分に対応する形状のフィ
ルタ交換用補助装置30を設置してこの部分を通じて空気
が流動することを遮断した状態で交換作業を行うことが
望ましい。
【００１５】このように設置されるフィルタ交換用補助
装置30は、図３に図示されるように、フィルタフレーム
28の下側から内壁の間に挿入可能である広さを有する遮
断板32と、この遮断板32の下面に設けられフィルタフレ
ーム28の内壁に一定間隔で対向するように形成された支
え部34と、空気出入口36を有し、支え部34の周りに沿っ
て少なくとも一つ以上設置されるチューブ38とを具備し
て構成される。このような構成において、前述した支え
部34は、フィルタフレーム28の各方向内壁に対向する複
数個の板が格子ビーム形状に結合されて構成され、外側
の側面はチューブ38を安定して保持できるように凹む形
状に形成される。また、遮断板32と支え部34とは、支え
部34の上端部が遮断板32の周縁部下面に溶接されて結合
されている。さらに、チューブ３８の空気出入口36は、
支え部34に形成された貫通ホール52を介して空気圧入用
のホース54に接続される。
装置30は、図３に図示されるように、フィルタフレーム
28の下側から内壁の間に挿入可能である広さを有する遮
断板32と、この遮断板32の下面に設けられフィルタフレ
ーム28の内壁に一定間隔で対向するように形成された支
え部34と、空気出入口36を有し、支え部34の周りに沿っ
て少なくとも一つ以上設置されるチューブ38とを具備し
て構成される。このような構成において、前述した支え
部34は、フィルタフレーム28の各方向内壁に対向する複
数個の板が格子ビーム形状に結合されて構成され、外側
の側面はチューブ38を安定して保持できるように凹む形
状に形成される。また、遮断板32と支え部34とは、支え
部34の上端部が遮断板32の周縁部下面に溶接されて結合
されている。さらに、チューブ３８の空気出入口36は、
支え部34に形成された貫通ホール52を介して空気圧入用
のホース54に接続される。
【００１６】図４は本発明の第２の実施の形態によるフ
ィルタ交換用補助装置30を示す分解斜視図、図５は同装
置の組立て状態での斜視図、図６は同装置の一側端部の
断面図である。このフィルタ交換用補助装置30は、締結
具40によって遮断板32と支え部34が結合される。支え部
34は、遮断板32の下面に対向して設けられる上板42と、
この上板42の周縁部位から下側に延長された側壁44と、
この側壁44の下端部から外側に屈曲された突出形成の鍔
部46とで構成される。そして、前述した上板42は遮蔽板
32より小さく、上板42の周縁部位は遮断板32の周縁部位
の内側に位置する。また、上板42の周辺部とこれに対応
する遮断板32の部分には締結ホール48a 、48b が形成さ
れ、この締結ホール48a 、48b を通じて締結具40が締結
されることで遮断板32と支え部34が結合される。そし
て、遮蔽板32の周辺部と支え部34の鍔部46間に挟まれる
形で、支え部34の側壁44の周りにチューブ38が設けら
れ、該チューブ38は、図３の場合と同様に空気出入口36
（図６）を有する。また、支え部34の側壁44の所定位置
に前述した空気出入口36とペアになる貫通ホール52が形
成されており、空気出入口36は貫通ホール52を通じて側
壁44内側の空気注入ホース54に接続される。また、支え
部34の下側の所定の位置には、作業者がフィルタ交換用
補助装置30を支持することが容易であるように所定形状
の取っ手50が備えられる。
ィルタ交換用補助装置30を示す分解斜視図、図５は同装
置の組立て状態での斜視図、図６は同装置の一側端部の
断面図である。このフィルタ交換用補助装置30は、締結
具40によって遮断板32と支え部34が結合される。支え部
34は、遮断板32の下面に対向して設けられる上板42と、
この上板42の周縁部位から下側に延長された側壁44と、
この側壁44の下端部から外側に屈曲された突出形成の鍔
部46とで構成される。そして、前述した上板42は遮蔽板
32より小さく、上板42の周縁部位は遮断板32の周縁部位
の内側に位置する。また、上板42の周辺部とこれに対応
する遮断板32の部分には締結ホール48a 、48b が形成さ
れ、この締結ホール48a 、48b を通じて締結具40が締結
されることで遮断板32と支え部34が結合される。そし
て、遮蔽板32の周辺部と支え部34の鍔部46間に挟まれる
形で、支え部34の側壁44の周りにチューブ38が設けら
れ、該チューブ38は、図３の場合と同様に空気出入口36
（図６）を有する。また、支え部34の側壁44の所定位置
に前述した空気出入口36とペアになる貫通ホール52が形
成されており、空気出入口36は貫通ホール52を通じて側
壁44内側の空気注入ホース54に接続される。また、支え
部34の下側の所定の位置には、作業者がフィルタ交換用
補助装置30を支持することが容易であるように所定形状
の取っ手50が備えられる。
【００１７】一方、前述したチューブ38としては、エラ
ストマ（elastomer ）即ちゴムのような弾性ポリマ材質
で製作された全てのものを使用することができる。この
チューブ38は、工程ライン16の内側に突出したフィルタ
フレーム28の長さに応じて多層構造で複数個設置するこ
とができ、通常二層構造で二つ設置することが望まし
い。また、支え部34の角に位置するチューブ38の角部は
空気の圧入による膨張時、フィルタフレーム28の角の部
位に隙間がなく密着されるようにフィルタフレーム28の
角の部位に対応する形状で形成される。さらに、フィル
タフレーム28の角の部位とこれに対応するチューブ38の
角部間の隙間を防止するための他の方法としては、フィ
ルタフレーム28の角の部位を上から見て曲面形状に形成
するか、またはこれに対応する形状の密着部材（シーリ
ング部材）をフィルタフレーム28の角の部位に設置して
もよい。
ストマ（elastomer ）即ちゴムのような弾性ポリマ材質
で製作された全てのものを使用することができる。この
チューブ38は、工程ライン16の内側に突出したフィルタ
フレーム28の長さに応じて多層構造で複数個設置するこ
とができ、通常二層構造で二つ設置することが望まし
い。また、支え部34の角に位置するチューブ38の角部は
空気の圧入による膨張時、フィルタフレーム28の角の部
位に隙間がなく密着されるようにフィルタフレーム28の
角の部位に対応する形状で形成される。さらに、フィル
タフレーム28の角の部位とこれに対応するチューブ38の
角部間の隙間を防止するための他の方法としては、フィ
ルタフレーム28の角の部位を上から見て曲面形状に形成
するか、またはこれに対応する形状の密着部材（シーリ
ング部材）をフィルタフレーム28の角の部位に設置して
もよい。
【００１８】一方、前述した遮断板32にはフィルタ22の
交換作業を確認し易いように確認窓が形成される。この
ような確認窓は図４と図５に図示されるように遮断板32
と上板42の中心部位に所定の大きさの孔を形成し、この
孔を、遮断板32と上板42との間に介在される透明体56で
覆うことにより構成される。透明体56の周縁部位には図
６に示すようにシーリング部材58が設けられる。このシ
ーリング部材58が遮断板32と上板42の間に挟持されるこ
とにより、遮断板32および透明体56の上側と下側の気密
を良好に維持することができる。透明体56は非帯電性の
透明なアクリル材質で製作される。
交換作業を確認し易いように確認窓が形成される。この
ような確認窓は図４と図５に図示されるように遮断板32
と上板42の中心部位に所定の大きさの孔を形成し、この
孔を、遮断板32と上板42との間に介在される透明体56で
覆うことにより構成される。透明体56の周縁部位には図
６に示すようにシーリング部材58が設けられる。このシ
ーリング部材58が遮断板32と上板42の間に挟持されるこ
とにより、遮断板32および透明体56の上側と下側の気密
を良好に維持することができる。透明体56は非帯電性の
透明なアクリル材質で製作される。
【００１９】フィルタ交換用補助装置30は前述したチュ
ーブ38の膨張によってフィルタフレーム２８に圧着固定
されるが、フィルタフレーム28の上側の部位の空気の圧
力によって下側の方に移動してフィルタフレーム28から
外れる恐れがあるので、図７（ただし、図７は第３の実
施の形態）に示すようにフィルタフレーム28の下側部位
にリング60を形成し、支え部34の下側部位には前述した
リング60とペアーになる掛け部材62を設け、この掛け部
材62をリング60に取り付けて使用することが望ましい。
また、図４および図５に示すように、上板42の中心部位
に形成された孔内には、フィルタフレーム28の上側の空
気の圧力によって透明体56が変形することを防止するた
めに透明体56の底面を支える支持桟64が形成される。
ーブ38の膨張によってフィルタフレーム２８に圧着固定
されるが、フィルタフレーム28の上側の部位の空気の圧
力によって下側の方に移動してフィルタフレーム28から
外れる恐れがあるので、図７（ただし、図７は第３の実
施の形態）に示すようにフィルタフレーム28の下側部位
にリング60を形成し、支え部34の下側部位には前述した
リング60とペアーになる掛け部材62を設け、この掛け部
材62をリング60に取り付けて使用することが望ましい。
また、図４および図５に示すように、上板42の中心部位
に形成された孔内には、フィルタフレーム28の上側の空
気の圧力によって透明体56が変形することを防止するた
めに透明体56の底面を支える支持桟64が形成される。
【００２０】また、図７の第３の実施の形態に示される
ように、透明体56の中心部位とこれに対応する支持桟64
の部分に所定の大きさの孔を形成し、この孔を貫通して
容器の形状の支持部材66を設け、この支持部材66の内部
に、流動する空気を濾過するための補助フィルタ68を設
置してもよい。このようにすると、フィルタ22の上側に
形成される空気の圧力をある程度減少させることができ
る。
ように、透明体56の中心部位とこれに対応する支持桟64
の部分に所定の大きさの孔を形成し、この孔を貫通して
容器の形状の支持部材66を設け、この支持部材66の内部
に、流動する空気を濾過するための補助フィルタ68を設
置してもよい。このようにすると、フィルタ22の上側に
形成される空気の圧力をある程度減少させることができ
る。
【００２１】図８は本発明の第４の実施の形態によるフ
ィルタ交換用補助装置70を示す断面図である。このフィ
ルタ交換用補助装置70は、フィルタフレーム28の内壁に
対向する複数個の板を結合してフィルタフレーム28に挿
入可能な広さに形成され、上端部と下端部に外側に屈曲
して鍔部74a,74b を有する仮設フレーム72と、空気出入
口76を有し、鍔部74a,74b の間で仮設フレーム72の外壁
の周りに沿って少なくとも一つ以上設けられるチューブ
78と、仮設フレーム72の内壁の所定の部位に突出形成さ
れた突起80と、この突起80に支持されて仮設フレーム72
の内側の貫通孔部分に設置された補助フィルタ82とで構
成される。
ィルタ交換用補助装置70を示す断面図である。このフィ
ルタ交換用補助装置70は、フィルタフレーム28の内壁に
対向する複数個の板を結合してフィルタフレーム28に挿
入可能な広さに形成され、上端部と下端部に外側に屈曲
して鍔部74a,74b を有する仮設フレーム72と、空気出入
口76を有し、鍔部74a,74b の間で仮設フレーム72の外壁
の周りに沿って少なくとも一つ以上設けられるチューブ
78と、仮設フレーム72の内壁の所定の部位に突出形成さ
れた突起80と、この突起80に支持されて仮設フレーム72
の内側の貫通孔部分に設置された補助フィルタ82とで構
成される。
【００２２】この構成において、チューブ78は、下側に
フィルタフレーム28が突出した程度によって仮設フレー
ム72の側部に複数個を多層式に設けることもでき、通常
二つを二層構造に設けることが望ましい。また、仮設フ
レーム72の側壁所定位置には空気出入口76とペアーを組
む貫通ホール84が形成されており、この貫通ホール84に
は空気圧入用のホース89が接続される。貫通ホール84は
仮設フレーム72の内壁に形成された突起80の下側部位に
形成される。また、フィルタフレーム28の角部に対応す
るチューブ78の角部はフィルタフレーム28の角の部位に
対応する形状に形成して空気の圧入による膨張時、両者
が密着するようにする。すなわち、角部での空気の流れ
を防止する。このように角の部位での隙間を防止するた
めの他の方法としては、フィルタフレーム28の角の部位
を曲面に形成したり、フィルタフレーム28の角に密着部
材を別に設置することなどが上げられる。空気圧力によ
ってフィルタフレーム28の内壁に圧着設置されるフィル
タ交換用補助装置70は、フィルタ22の上側に形成される
空気圧力によって下側に移動し、フィルタフレーム28か
ら外れる恐れがある。従って、これを防止するために、
フィルタフレーム28の下側部位にリング86を取り付け、
前述した仮設フレーム72の下側の部位には前述したリン
グ86とペアーになる掛け部材88を設け、掛け部材８８を
前記リング８６に取り付けるようにすることが望まし
い。仮設フレーム72の下側の部位には取っ手90も取り付
けられる。
フィルタフレーム28が突出した程度によって仮設フレー
ム72の側部に複数個を多層式に設けることもでき、通常
二つを二層構造に設けることが望ましい。また、仮設フ
レーム72の側壁所定位置には空気出入口76とペアーを組
む貫通ホール84が形成されており、この貫通ホール84に
は空気圧入用のホース89が接続される。貫通ホール84は
仮設フレーム72の内壁に形成された突起80の下側部位に
形成される。また、フィルタフレーム28の角部に対応す
るチューブ78の角部はフィルタフレーム28の角の部位に
対応する形状に形成して空気の圧入による膨張時、両者
が密着するようにする。すなわち、角部での空気の流れ
を防止する。このように角の部位での隙間を防止するた
めの他の方法としては、フィルタフレーム28の角の部位
を曲面に形成したり、フィルタフレーム28の角に密着部
材を別に設置することなどが上げられる。空気圧力によ
ってフィルタフレーム28の内壁に圧着設置されるフィル
タ交換用補助装置70は、フィルタ22の上側に形成される
空気圧力によって下側に移動し、フィルタフレーム28か
ら外れる恐れがある。従って、これを防止するために、
フィルタフレーム28の下側部位にリング86を取り付け、
前述した仮設フレーム72の下側の部位には前述したリン
グ86とペアーになる掛け部材88を設け、掛け部材８８を
前記リング８６に取り付けるようにすることが望まし
い。仮設フレーム72の下側の部位には取っ手90も取り付
けられる。
【００２３】このような構成によるフィルタ交換用補助
装置30、70の設置及びフィルタの交換作業を説明する
と、循環ファンによってクリーンルーム内部に空気が循
環する状態でフィルタ交換用補助装置30、70を損傷した
フィルタ22下のフィルタフレーム28の内壁に挿入し、掛
け部材62、88をフィルタフレーム28の下端に形成された
リング60、86にかけて固定させる。次に、ホース54、89
を介してチューブ38、78の内部に空気を圧入して、この
チューブ38、78を膨張させることにより、フィルタ交換
用補助装置30、70をフィルタフレーム28の内壁に圧着固
定させると同時に、損傷されたフィルタ22の下側フィル
タフレーム28を通じて流動する空気の流れを遮断する。
この際、フィルタフレーム28内壁の角の部位と膨張した
チューブ38、78の角の部分間に形成される恐れのある隙
間を防止するために密着部材を使用することもできる。
そして、このようにして損傷したフィルタ22の下側フィ
ルタフレーム28部分の空気の流れを遮断した状態で作業
者はフィルタフレーム28上側に位置する損傷したフィル
タ22を交換する。このようにしてフィルタの交換作業が
終わると、設置の時と逆に、空気出入口36、76を通じて
チューブ38、78内に圧入された空気を排出させ、リング
60、86に固定された掛け部材62、88を解体してフィルタ
交換用補助装置30、70をフィルタフレーム28から取り外
す。
装置30、70の設置及びフィルタの交換作業を説明する
と、循環ファンによってクリーンルーム内部に空気が循
環する状態でフィルタ交換用補助装置30、70を損傷した
フィルタ22下のフィルタフレーム28の内壁に挿入し、掛
け部材62、88をフィルタフレーム28の下端に形成された
リング60、86にかけて固定させる。次に、ホース54、89
を介してチューブ38、78の内部に空気を圧入して、この
チューブ38、78を膨張させることにより、フィルタ交換
用補助装置30、70をフィルタフレーム28の内壁に圧着固
定させると同時に、損傷されたフィルタ22の下側フィル
タフレーム28を通じて流動する空気の流れを遮断する。
この際、フィルタフレーム28内壁の角の部位と膨張した
チューブ38、78の角の部分間に形成される恐れのある隙
間を防止するために密着部材を使用することもできる。
そして、このようにして損傷したフィルタ22の下側フィ
ルタフレーム28部分の空気の流れを遮断した状態で作業
者はフィルタフレーム28上側に位置する損傷したフィル
タ22を交換する。このようにしてフィルタの交換作業が
終わると、設置の時と逆に、空気出入口36、76を通じて
チューブ38、78内に圧入された空気を排出させ、リング
60、86に固定された掛け部材62、88を解体してフィルタ
交換用補助装置30、70をフィルタフレーム28から取り外
す。
【００２４】したがって、本発明によると、交換が要求
されるフィルタ22の下側フィルタフレーム28にフィルタ
交換用補助装置30、70を設置して、その部位の空気の流
れを遮断した状態でフィルタ22の交換が可能となるの
で、クリーンルームの内部に空気が循環する状態を維持
したまま、かつ生産設備が駆動する状態を維持したま
ま、汚染を発生させることなくフィルタを迅速に容易に
交換することできる。したがって、生産性向上と設備復
元時間を短縮できる効果がある。
されるフィルタ22の下側フィルタフレーム28にフィルタ
交換用補助装置30、70を設置して、その部位の空気の流
れを遮断した状態でフィルタ22の交換が可能となるの
で、クリーンルームの内部に空気が循環する状態を維持
したまま、かつ生産設備が駆動する状態を維持したま
ま、汚染を発生させることなくフィルタを迅速に容易に
交換することできる。したがって、生産性向上と設備復
元時間を短縮できる効果がある。
【００２５】なお、以上の実施の形態は一具体例にすぎ
ない。本発明は、本発明の技術思想の範囲内で多様な変
形及び修正が可能であることは当業者にとって明白なこ
とであり、このような変形及び修正が特許請求の範囲に
属することは当然なことである。
ない。本発明は、本発明の技術思想の範囲内で多様な変
形及び修正が可能であることは当業者にとって明白なこ
とであり、このような変形及び修正が特許請求の範囲に
属することは当然なことである。
【００２６】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明による
クリーンルームのフィルタ交換用補助装置によれば、生
産設備の駆動と空気の循環が行われる状態で損傷された
フィルタを迅速に、かつ容易に汚染を発生させることな
く交換することができ、生産性向上と設備復元時間を短
縮することができる。
クリーンルームのフィルタ交換用補助装置によれば、生
産設備の駆動と空気の循環が行われる状態で損傷された
フィルタを迅速に、かつ容易に汚染を発生させることな
く交換することができ、生産性向上と設備復元時間を短
縮することができる。
【図１】クリーンルームの構成を概略的に示す断面図。
【図２】従来のフィルタ交換法を説明するための断面
図。
図。
【図３】本発明のフィルタ交換用補助装置の第１の実施
の形態を示す断面図。
の形態を示す断面図。
【図４】本発明のフィルタ交換用補助装置の第２の実施
の形態を示す分解斜視図。
の形態を示す分解斜視図。
【図５】本発明のフィルタ交換用補助装置の第２の実施
の形態を組み立てた状態で示す斜視図。
の形態を組み立てた状態で示す斜視図。
【図６】本発明のフィルタ交換用補助装置の第２の実施
の形態の一部を示す断面図。
の形態の一部を示す断面図。
【図７】本発明のフィルタ交換用補助装置の第３の実施
の形態を示す断面図。
の形態を示す断面図。
【図８】本発明のフィルタ交換用補助装置の第４の実施
の形態を示す断面図。
の形態を示す断面図。
22 フィルタ 28 フィルタフレーム 30 フィルタ交換用補助装置 32 遮断板 34 支え部 38 チューブ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 李 建 衡 大韓民国京畿道龍仁市器興邑農書里山24番 地
Claims (18)
- 【請求項１】 クリーンルームの工程ラインの上部に設
置され、空気濾過用フィルタが搭載され、下側部が工程
ラインの内側に下向き突出されたフィルタフレームに挿
入されるように構成され、前記フィルタの交換時に、前
記工程ラインの内部に汚染空気が透過するのを防止する
機能を有することを特徴とするクリーンルームのフィル
タ交換用補助装置。 - 【請求項２】 工程ラインの上部に設置され、フィルタ
が搭載され、下側部が工程ラインの内側に下向き突出さ
れたフィルタフレームに挿入可能な広さを有する遮断板
と、 この遮断板の下面に設けられ、前記フィルタフレームの
内壁に一定の間隔で対向するように形成された支え部
と、 空気の出入口を有し、前記支え部の周りに沿って設けら
れ、前記フィルタフレームと密着して気密を維持するチ
ューブとを具備することを特徴とするクリーンルームの
フィルタ交換用補助装置。 - 【請求項３】 前記支え部は前記フィルタフレームの各
方向の内壁に対向する複数個の板を結合して形成され、
前記チューブが位置する部位の形状が凹むように形成さ
れたことを特徴とする請求項２記載のクリーンルームの
フィルタ交換用補助装置。 - 【請求項４】 前記支え部の上端部が前記遮断板の縁部
に一体に取着されたことを特徴とする請求項３記載のク
リーンルームのフィルタ交換用補助装置。 - 【請求項５】 前記支え部は前記遮断板の下面に対向す
る上板と、この上板周縁から下側に延長形成された側壁
及びこの側壁の下端部に外側に突出形成された鍔部とか
ら形成されることを特徴とする請求項２記載のクリーン
ルームのフィルタ交換用補助装置。 - 【請求項６】 前記支え部の下側の所定位置に取っ手が
備えられたことを特徴とする請求項２記載のクリーンル
ームのフィルタ交換用補助装置。 - 【請求項７】 前記チューブは弾性ポリマ材質で形成さ
れることを特徴とする請求項２記載のクリーンルームの
フィルタ交換用補助装置。 - 【請求項８】前記チューブは二つが二層構造で設置され
ることを特徴とする請求項２記載のクリーンルームのフ
ィルタ交換用補助装置。 - 【請求項９】 前記フィルタフレームの角の部位とこれ
に対応する前記チューブの角の部分との間の隙間を防止
するシーリング部材を備えることを特徴とする請求項２
記載のクリーンルームのフィルタ交換用補助装置。 - 【請求項１０】 前記遮断板内に透明な確認窓が形成さ
れたことを特徴とする請求項２記載のクリーンルームの
フィルタ交換用補助装置。 - 【請求項１１】 前記遮断板と前記上板中心部位に所定
の大きさの孔が形成され、この孔を覆って前記遮断板と
前記上板との間に透明体を設けることにより、前記遮蔽
板内に透明の確認窓が形成されたことを特徴とする請求
項５記載のクリーンルームのフィルタ交換用補助装置。 - 【請求項１２】 前記透明体は非帯電性の透明なアクリ
ルで形成されることを特徴とする請求項１１記載のクリ
ーンルームのフィルタ交換用補助装置。 - 【請求項１３】 前記フィルタフレームの下側部位にリ
ングが設けられ、一方前記支え部の下側部位には前記リ
ングとペアーになる掛け部材が設けられたことを特徴と
する請求項２記載のクリーンルームのフィルタ交換用補
助装置。 - 【請求項１４】 前記上板の孔内に前記透明体の底面を
支持するように支持桟が形成されたことを特徴とする請
求項１１記載のクリーンルームのフィルタ交換用補助装
置。 - 【請求項１５】 前記透明体の中心部位とこれに対応す
る前記支持桟部分に所定の大きさの孔が形成され、この
孔を貫通する容器形状の支持部材が設けられ、この支持
部材の内部にフィルタが設置されることを特徴とする請
求項１４記載のクリーンルームのフィルタ交換用補助装
置。 - 【請求項１６】 工程ラインの上部に設置され、フィル
タが搭載され、下側部が工程ラインの内側に下向き突出
されたフィルタフレームに挿入可能である広さを有し、
前記フィルタフレームの内壁に対向する外側壁を備え、
中央の貫通部の内側の壁に補助フィルタを搭載するため
の突起を備えた仮設フレームと、 空気の出入口を有し、前記仮設フレームの外側壁の周り
に沿って設けられ、前記フィルタフレームと密着して気
密を維持するチューブと、 前記仮設フレームの中央の貫通部に挿入され、前記突起
に支持されて設置される補助フィルタとを具備すること
を特徴とするクリーンルームのフィルタ交換用補助装
置。 - 【請求項１７】 前記仮設フレームの下側の所定位置に
取っ手が形成されたことを特徴とする請求項１６記載の
クリーンルームのフィルタ交換用補助装置。 - 【請求項１８】 前記フィルタフレームの角の部位とこ
れに対応する前記チューブの角の部分との間の隙間を防
止するシーリング部材を備えたことを特徴とする請求項
１６記載のクリーンルームのフィルタ交換用補助装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1997P-35181 | 1997-07-25 | ||
| KR1019970035181A KR100271760B1 (ko) | 1997-07-25 | 1997-07-25 | 크린룸의필터교체용보조장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1151433A true JPH1151433A (ja) | 1999-02-26 |
| JP3774784B2 JP3774784B2 (ja) | 2006-05-17 |
Family
ID=19515723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11086598A Expired - Fee Related JP3774784B2 (ja) | 1997-07-25 | 1998-04-21 | クリーンルームのフィルタ交換用補助装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5993519A (ja) |
| JP (1) | JP3774784B2 (ja) |
| KR (1) | KR100271760B1 (ja) |
| TW (1) | TW400539B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008184982A (ja) * | 2007-01-30 | 2008-08-14 | Chugoku Electric Power Co Inc:The | ガスタービン流入口構造 |
| KR100900722B1 (ko) * | 2008-11-13 | 2009-06-05 | 주식회사이호기술 | 청정실용 기류 차단장치 |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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