TW400539B - Auxiliary device for filter exchange in clean room - Google Patents

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filter replacement
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TW087104191A
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Chang-Su Lim
Hyun-Joon Kim
Youn-Soo Han
Kun-Hyung Lee
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Samsung Electronics Co Ltd
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Description

經濟部中央標準局員工消費合作社印聚 發明説明（1 ) 本發明係關於一種清潔室之濾網更換輔助裝置，特別 係關於容易更換清潔室使用的遽網之輔助裝置。 相關技術之說明 近年來高科技產業大為需要向純度生長環境俾改良產 品性能及產量，其中特別嚴格要求生產線的高度精密度， 高度純度及無菌。 業界生產環境的改良大為得利於清潔室的問世，清潔 室分成數類例如生物清潔室（BCR)防止現場的生物污染例 如醫療現場，醫藥、食品、遣傳工程等；及工業清潔室（ICR) 防止現場被顆粒污染如半導體裝置業，精密機械，新材料 業等》 前述各種清潔室中，半導體裝置製法需要下游層流型 形成於生產線内側俾去除對半導體裝置性能故障及產量有 不良影響的顆粒。 下游層流型之好處為可快速去除多種設備材料裝備等 產生的顆粒；或藉操作員由生產線去除顆粒，也對連續開 發材料及工廠引進多種方法及其維修。 形成的下游層流的清潔室構造及功能將參照第1圖舉 例說明其細節。 如第1圖所示，具有多個孔的格柵墊14設置於墊框12 上，墊框與清潔室10底部距離某高度，該高度係由格柵塾 14之上侧及下側分隔。 於格栅墊14上安裝一條生產線供容納半導體裝置之製 造設備（為簡單起見未顯示於該圖），及於格柵墊14下方輔 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） -------1^-------、玎-------ά. t ; * (請先閱t背面之注意事項再填寫本頁、) 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 辦、、十孑y . A7 i--si- 五、發明說明（2 ) 助設備可輔助前述製造設備（為簡化起見未顯示於該圊）及 一個循環盤18供循環清潔室10内侧空氣。 循環盤18如前述安裝誘使空氣藉抽取方式環繞格栅塾 14之上侧及下側且導引空氣通過清潔室10侧壁之通道至生 產線16上侧。 同時，於生產線16上側安裝多個濾網22供過濾空氣， 空氣於移動過程中被污染，濾網係由濾網框24支撐，濾網 22上方空氣藉循環盤18形成的加壓狀態通過濾網22，再度 導入生產線16俾形成循環線。 通過濾網22之空氣藉循環盤18由生產線16頂側向下導 引及通過格柵墊14之孔垂直向下移動俾形成下游層流。 因此於生產線16内部連續產生的顆粒被感應及藉前述 下游層流朝向格栅墊14下侧放電俾維持清潔室16内側之高 度純質狀態。 同時，當過濾空氣的濾網22受損或污染而喪失原有功 能時，未通過受損濾網22過渡且受污染的空氣快速擴展開 來對下游層流的形成造成不良影響也會污染生產線16内側。 欲防止此種問題，定期檢視濾網22之損害及污染，發 現濾網22損害則採用緊急措施更換新濾網。 但若濾網22更換時仍繼續循環空氣，則有大量污染空 氣被經由開口區導引入生產線16而污染生產線。 因此根據習知方法，受損濾網22之更換係以下述方式 進行，支撐待更換濾網22之濾網框24及墊框12中間的抗靜 電乙烯系樹脂之端側與置於濾網2 2下方的格柵墊14使著黏
本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） — — — — — — I — — — — — — - I I I I I Γ I ^ ' — — — — —I! J ~ (請先閲讀背面之注t事項再填寫本頁) 五、發明説明（ A7 • B7 經濟中央標準局員工消費合作社印製 著件28密封，然後受損滤網22再置回遽網框24上側。 當再置回受損濾網22時存在於濾網框24上侧的空氣由 於更換的壓差朝向開口區移動。 經由通過抗靜電乙婦系樹脂26之空氣磨力及生產線16 内部之壓差，分開抗靜電乙烯系樹脂26之密封端，及經由 開口區，引進未經過濾而污染的空氣擴散至生產線16内部 而造成污染。 因此習知濾網22之更換作業必須停止多種安裝於生產 線16内部的設備，空氣循環停止進行交換作業，結果導致 生產力大減以及設備復原的時間損失。 發明概述 本發明係針對提供一種濾網更換輔助裝置，其中生產 線受損的濾網容易快速更換，同時生產設備仍在運作，空 氣循環因而改良生產及減少設備復原時間，可大體免除相 關技術之限制及缺點造成的一種或多種問題。 欲達成本發明之此等及其它優點及根據具體舉例說明 及廣義敘述本發明之目的’提供一種用於過濾系統之濾網 更換輔助裝置，過濾系統包含複數濾網及複數濾網框朝向 生產線内侧向下延伸’其中濾網更換輔助裝置具有暫時框 對應於濾網框之延伸部件安裝以防污染空氣通過其中。 一種濾網更換輔助裝置包含：一塊板其寬度待插入渡 網框且朝向生產線内侧向下延伸及其上配備有濾網；一個 托架供支樓該塊板底部且面對遽網框之内側壁且保持怪定 距離；及一根管其具有空氣通道且安裝成可沿托架周圍緊 請 先 閱 背· 面 之 注· 意 事 項 再 i 装 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 6 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印笨 Α7 Β7 五、發明説明（4 ) 密黏著於濾網框供密封。 托架包含多片板，各板之每一方向面對濾網框之内側 壁及管之設置位置具有凹面形，托架頂側於該塊板之下周 圓側整合一體** 此外托架包含一片上板其面對該塊板的底部，一面側 壁由上板之周園側向下延伸，及一片凸起板由側壁底部向 外延伸。一個手柄設置於托架底部某個位置。 管係由彈性聚合物製成，安裝密封件俾封阻濾網框緣 與對應管侧間之間隙。 此外’確認視窗為透明且成形於該塊板，確認視窗成 形為具有某種尺寸的開口區形成於該塊板及上板上，開口 區之周緣侧緊密黏著於該塊板及托架之接觸位置供密封。 此外’一個環形成於濾網框下側，一個懸吊件形成於 托架對應於環之下側。 一個承載裝置形成於上板之開口區俾支撐及承載透明 本體底部’具有某種尺寸的孔較佳形成於透明本體中心及 位於托架之對應位置’孔上安裝一個容器形狀之安裝件， 其底部有個孔而濾網安裝於其内側。 一種於清潔室之濾網更換輔助裝置，其包含：一個暫 時框設置供插入濾網框内朝向生產線内側向下延伸及其上 備有濾網’其中該暫時框具有環繞周邊之外側壁面對濾網 框内側壁，及其中心有個穿透位置設置有凸出部形成於其 内側壁並於其上安裝輔助濾網；一根管具有空氣通道且安 裝成沿暫時框之外側壁周緣緊密黏著於暫時框供密封；及 本紙張尺ϋ用中國國家標準（CNS )八视^ ( 210'〆297公寶） ^~7~- "" ~" -------—装------—訂------.線 -- (請先閱#背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 - A7 B7 ^ 五、發明説明（5 ) 一個輔助濾網由暫時框之内側壁上侧插入且由凸出部支撐 〇 圖式之簡單說明 附圖中： 第1圖為示意代表圖顯示習知製造半導體裝置之清潔 室； 第2圖為剖面圖顯示習知濾網更換輔助裝置安裝於清 潔室之過滤系統内侧； 第3圖為剖面圖顯示根據本發明之濾網更換輔助裝置 安裝於清潔室之過濾系統内側； 第4圖為分解透視圖顯示第3圖之濾網更換輔助裝置細 ΛΑτ , 郎， 第5圖為透視圖顯示第4圖之濾網更換輔助裝置之偶聯 狀態； 第6圖為放大剖面圖顯示第5圖之濾網更換辅助裝置之 安裝狀態； 第7圖為剖面圖顯示根據本發明之一個具體例之濾網 更換輔助裝置；及 第8圖為剖面圖顯示根據本發明之一個具體例之濾網 更換輔助裝置。 較佳具體例之詳細說明 現在參照本發明之較佳具體例詳細說明該等例舉例說 明於附圖。 第3圖為剖面圖顯示根據本發明之濾網更換輔助裝置 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨0Χ297公釐） -------- 1^---.--—.1Τ-----^ -- (請先閱讀^-面之汶意事項再填寫本頁) A 7 B7 經濟部中央標隼局貝工消費合作社印掣 五、發明説明（ 安裝於清潔室過濾系統内側，第4圖為分解透視圖顯示第3 圖之濾網更換輔助裝置細節，第5圊為透視圖顯示第4圊之 濾網更換輔助裝置之偶聯狀態，第6囷為放大刮面囷顯示 第5圖之濾網更換輔助裝置之安裝狀態。 現在參照前述各圖，過濾引進生產線16之空氣用的濾 網22設置於濾網框28，濾網框安裝於生產線16上侧且具有 格狀形狀，及清潔室内部空氣藉循環盤循環》 濾網框28下側由濾網22向下延伸而具有朝向生產線16 内側的延伸部件。 欲更換如前述安裝於濾網框28之濾網22中受損的濾網 同時維持空氣流動，需要將濾網更換輔助裝置30安裝於受 損濾網所在之格狀濾網框28對應位置俾封住通過濾網框28 之氣流。 如第3圖所示，濾網更換輔助裝置3〇包含一片封阻板32 其寬度可插過遽網框28朝向生產線内側向下延伸；一個托 架34供支樓封阻板32底且面對濾網框28之内側壁同時保持 值定距離；一根管38其具有空氣通道36且安裝成沿托架34 之周緣緊密黏著於濾綱框28供密封。 托架34包含多片格狀板，各板面對遽網框28内側壁之 每個方向’及其中設置管38之位置為凹面形。 封阻板32及托架34之組合方式可使托架34上侧溶接於 封阻板32下周緣側或周邊側，如第3圊所示或如第4或6圖 所示，可使用鎖定裝置40組合。 如第4或6圖所示，封阻板32與牦架34使用鎖定裝置4〇 ,丨裝 訂------線 零 ~ » - (#先聞請背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 A 7 B7 五、發明説明（7 ) 之組合舉例說明如下。 托架34包含一片上板42面對封阻板32底部，一片側板 44由上板42之周緣側向下延伸，及一片凸出板46由侧壁44 底部向下延伸。 此外，上板42之周緣側係設置於封阻板32之周緣側内 部，鎖定孔48a、48b形成於上板42之周緣側及其對應封阻 板32且貫穿二者。封阻板32及托架34使用鎖定裝置40通過 鎖定孔48a、48b而鎖定結合。 此外，侧壁44之某個位置設置一條貫穿通道52對應於 空氣通道36，通道係安裝成可由侧壁44外侧經由貫穿通道 52貫穿至其内侧而可選擇性連通空氣開口 55，經空氣開口 由侧壁44外侧將空氣引進管38内部。 一根手柄50設置於托架34底部某個位置而容易由操作 人承載及支撐濾網更換輔助裝置30 » 管38使用彈性體，亦即任何由彈性聚合物如橡膠製成 的材料皆可用於管38。.安裝多根管38.具有根據濾網框28之 多層構造朝向生產線16延伸，較佳安裝兩根管。 此外設置於托架34邊緣之管38緣可對應於滤網框28之 形狀成形而緊密黏著於濾網框防引進其中之容氣膨脹時於 濾網椁28邊緣出現間隙。 同時，另一種防止濾網框28邊緣與其管38對應側間之 間隙之另一種方式，濾網框28之緣側可成形為向下彎曲形 ，或對應於濾網框28邊緣成形的接觸件可安裝於其上。 確認視窗形成於封阻板32上方便監視濾網22更換供確 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 1〇 _ --------It---.---IT------^ I - ' - (讀先閲谗背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印掣 A7 ^ _____B7___:__ 五、發明説明（8 ) 認’其形成為具有某種尺寸的開口區係形成於支撐板54及 上板42中心，確認視窗為透明本體56其周緣侧係位於開口 區周邊。 此外密封件5 8安裝於透明本體5 6周緣侧故於支撐板5 4 與上板42偶聯期間其沾黏至開口區周邊而可維持透明本體 56上側/下侧的密封。 透明本體56係由抗靜電丙烯酸系樹脂製成。 因濾網更換輔助裝置30因管38的膨脹黏著且沾黏，但 偶爾被濾網框28上側的空氣壓力向外推出，故於濾網框28 下側較佳形成一個環60，對應於環60之懸吊件62形成於托 架34下侧》 此外於形成於上板42中心的開口區内周邊安裝一個承 載裝置64供支撐透明本體56底部以防被前述施加於濾網框 28上側的空氣壓力扭曲。 又承載裝置64具有開口區其對應於透明本體56中心之 開口區以減少濾網22上側的空氣壓力。於開口區安裝一個 容器形狀之安裝件66而且底部穿透，輔助濾網68可形成於 安裝件66内側以過濾空氣。 第8圖為剖面圊顯示根據本發明之一個具體例之濾網 更換輔助裝丰70之安裝，而其構造及安裝將參照第8圖詳 細說明。 清潔室内之濾網更換輔助裝置包含：一個暫時框72插 置於濾網框28的内部其中組合多片板各別面對濾網框28之 内侧壁；凸出部件74a、74b由暫時框72之上侧及下侧向外 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公瘦） --------,丨&---^---ΐτ------^ **- - t (#先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印犁 A7 B7 五、發明説明（9) 延伸，工氣人D 76 ;至少1管沿外壁介於凸出部份％ 、74b間安裝；-個凸出部⑽沿暫時框72内側壁之某個位 置凸起，及一個輔助渡網82由暫時框内側壁上側插置且由 凸出部80支撐。 管78成形為多根管於暫時框72之該侧上形成多層且遵 循延伸的渡網框28，通常係由二者組成雙重結構。 此外於暫時框72側臂某個位置形成貫穿孔（為簡化附 圖起見未顯不）形成為對應空氣入口 ％，貫穿孔設置於如 前述形成於暫時框72内壁的凸出部8〇下侧。 空氣入口 76由外侧壁通過貫穿孔插入内側壁，選擇性 連通至空氣開口 84。 又因遽網框28邊緣具有膨脹管78之間隙，欲防止此間 隙’位於暫時極72旁側的管3 8邊緣成形為對應於濾網框28 邊緣而於空氣膨脹過程緊密黏著。 同時欲防止濾網框28邊緣之間隙，濾網框28之邊緣可 成形為變曲形’或準備一個接觸件其形狀對應於濾網框28 邊緣。 同時’因濾網更換輔助裝置70由於管38膨脹而黏著及 沾黏’但偶爾被濾網框28上側的空氣壓力推出，故較佳於 遽網框28下側形成一個環86及對應於該環86之懸吊件88形 成於暫時框72下側》 濾網更換輔助裝置30，70之安裝及濾網的更換詳細舉 例說明如下。輔助裝置3〇、70插入受損濾網22下方時濾網 框28内側壁，懸吊構件62、88固定於成形於濾網框28下側 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） · 12 - --------V·丨裝---^---訂------線 • I (請先閱讀背面之 <注意事項再填寫本頁) A7 ------ B7 _ _ 五、發明説明（10) 之環60、86上。 空氣開口 54，84連通至由托架34或暫時框72凸起的空 氣入口36。76而將空氣引進内部。管38、78藉引進的空氣 膨脹而壓縮渡_28内姻而防止氣流流經受損遽網22下 方的濾網框28。 如此受損渡網22可由操作員於濾網框28上方更換。 當濾網更換完成時，以相反順序，管38、78内部空氣 通過空氣入口 36、76排放，濾網更換輔助裝置30、70藉著 分離固定於環60、86的懸吊件62、88而與濾網框28分離。 當濾網更換輔助裝置30' 70安裝於濾網框28内側時， 安裝一個接觸件以防濾網框28緣側與膨脹管38、78間之間 隙。 因此根據本發明’濾網更換輔助裝置安裝於待更換之 濾網下方的濾網框上使進行更換位置周圍的氣流被切斷， 受損的濾網容易快速更換而生產設備及空氣循環仍持續操 作"因此可防止生產線的污染及改良生產力，預期可縮短 設備復原所須時間。 經濟部中央標率局員工消費合作杜印繁 業界人士顯然易知可未悖離本發明之精髓及範圍對本 發明做出多種修改及變化β如此意圖本發明涵蓋屬於隨附 之申請專利範圍及其相當周圍之本發明之修改及變化。 13 本紙張尺度適用申國國家標準（CNS ) Α4規格（2ΐ〇χ297公釐） A7 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7 五、發明説明（11 ) 元件標號對照表 10... .清潔室 46... .凸出板 12... .墊框 48... .鎖定孔 14". .格栅塾 50··· .手柄 16... .生產線 54... .支撐板 18... .循環盤 56·.· .透明本體 20... .通道 58... .密封件 22... .濾網 60... •環 24... .渡網框 62... .懸吊裝置 26... .抗靜電乙烯系樹脂 64... .承載裝置 28... .黏著件 66 ·. · .安裝件 30,70....濾網更換輔助 72... .暫時框 裝置 74... .凸出部件 32... .封阻板 76... .空氣入口 34... .托架 78... •管 36... .空氣通道 80... .凸出部 38... .管 82... .輔助濾網 40... .鎖定裝置 84... •開口 42... .上板 86… .環 44... .侧壁 88... .懸吊件 ,丨裝--------訂-----'線 -- (請先閲讀背面之_注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 14

Claims (1)

  1. 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 1. 一種用於清潔室之過濾系統之濾網更換輔助裝置，空 氣過濾系統包含一個濾網，及一個濾網框朝向生產線 内部向下延伸，其中該濾網更換辅助裝置包含一個暫 時框安裝於濾網框之延伸部件對應位置以防污染空氣 通過其中。 2. —種用於清潔室之濾網更換輔助裝置，其包含： 一塊封阻板，其寬度待插過濾網框朝向生產線内 側向下延伸及其上配備有濾網； 一個托架，供支撐封阻板底側且面對濾網框内側 壁且其間維持恆定距離；及 一根管具有空氣通路及安裝成沿托架周緣緊密黏 著於濾網框供密封。 3. 如申請專利範圍第2項之濾網更換輔助裝置，其中該托 架包含多片板’各片板彼此面對滅網框内側壁之每個 方向，及其中設置該管之位置具有凹面形狀。 4_如申請專利範圍第3項之濾網更換輔助裝置其中該托 架之上側係與封阻板之下周緣側整合一體。 5.如申請專利範圍第2項之濾網更換輔助裝置，其中該托 架包含一片上板面對封阻板底部，一片側壁由上板至 周緣側向下延伸，及一片凸出板由側壁向外延伸。 &如申請專利範圍第2項之濾網更換輔助裝置，其中一根 手柄設置於托架底部某個位置。 7·如申請專利範圍第2項之濾網更換辅助裝置，其中該管 係由彈性聚合物製成。 / I^I. ；tr線 -· (請先閱水背面之注意事項再填寫本頁) 張 紙 本
    A8 B8 C8 D8
    申請專利範圍 經濟部中央標準局男工消費合作社印製 8.如申請專利範圍第2項之濾網更換輔助裝置’其中該管 係以二者形成為雙重結構。 9·如申請專利範圍第2項之濾網更換輔助裝置，其中一個 密封件安裝而封阻濾網框邊緣與其管之對應側間之間 隙。 10. 如申請專利範圍第2項之濾網更換輔助裝置，其中透明 的確認視窗形成於封阻板。 11. 如申請專利範圍第5項之濾網更換輔助裝置，其中透明 本趙之碟認視窗形成於封阻板，該碎認視窗成形為具 有某種尺寸之開口區形成於封阻板及上板二者上，及 開口區之周緣侧緊密黏著於封阻板及托架之接觸位置 供密封。 12. 如申請專利範圍第丨丨項之濾網更換輔助裝置，其中該 透明本體係由抗靜電透明丙烯酸系樹脂製成β 13. 如申請專利範圍第2項之濾網更換輔助裝置，其中一個 環形成於濾網框下侧，及一個懸吊件形成於托架底側 對應於該環位置。 14·如申請專利範圍第11項之濾網更換輔助裝置，其中一 個承載裝置形成於上板之開口區俾支撐及承載透明本 體底部。 15.如申請專利範圍第14項之濾網更換輔助裝置，其中具 有某個尺寸之孔形成於透明本體中心及於托架之對應 位置上’該孔上安裝一個容器形狀的安裝件，安裝件 底部有一孔而濾網設置於其内部。 本紙張尺度適用t國國家棣準（CNS ) A4現格（210X297公釐） 16 (請先閲讀背釕之汶意事項并填寫本頁) -華· r A8 B8 C8 •------ D8 、申請專利範圍 16·一種用於清潔室之濾網更換輔助裝置，輔助裝置包含 一個暫時框，設置供插入濾網框内朝向生產線内 側向下延伸及其上配備有濾網，其中該暫時框具有環 繞周邊之外側壁面對濾網框之内側壁，及於中心之貫 穿位置設置有一個凸出部形成於其内側壁俾安裝輔助 濾網於其上； 一根管，其具有空氣通道及安裝成沿暫時框之外 側壁緊密黏著於暫時框供密封；及 一個輔助濾網由暫時框内侧壁之上側插入且由凸 出部支撐。 Π·如申請專利範圍第16項之濾網更換輔助裝置，其中一 個手柄設置於暫時框底部之某個位置。 如申請專利範圍第16項之濾網更換輔助裝置，其中安 裝一個密封件俾封阻濾網框邊緣與該管之對應侧間之 間隙。 (請先閣諫背面之注意事項再填寫本頁) .裝. 訂 線_ 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 17 本紙浪尺度逋用中國國象標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）
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