JP2741495B2 - クリーンベンチ - Google Patents
クリーンベンチInfo
- Publication number
- JP2741495B2 JP2741495B2 JP34483095A JP34483095A JP2741495B2 JP 2741495 B2 JP2741495 B2 JP 2741495B2 JP 34483095 A JP34483095 A JP 34483095A JP 34483095 A JP34483095 A JP 34483095A JP 2741495 B2 JP2741495 B2 JP 2741495B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- working space
- opening
- space
- clean bench
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Ventilation (AREA)
- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンベンチに
関するものである。
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】無塵，無菌の状態を必要とする実験や作
業をクリーンルームではない通常の環境において行うた
めの作業台であるクリーンベンチは、作業台の上方に、
前面にのみ作業用開口部を有し、他を密閉されている作
業空間を形成し、該作業空間の一側に全面的にメインフ
ィルターを設け、該メインフィルターを通して清浄化し
た空気を常時作業空間内に吹出し、作業用開口部から流
出させることにより、作業空間内を清浄に保持するもの
である。
業をクリーンルームではない通常の環境において行うた
めの作業台であるクリーンベンチは、作業台の上方に、
前面にのみ作業用開口部を有し、他を密閉されている作
業空間を形成し、該作業空間の一側に全面的にメインフ
ィルターを設け、該メインフィルターを通して清浄化し
た空気を常時作業空間内に吹出し、作業用開口部から流
出させることにより、作業空間内を清浄に保持するもの
である。
【０００３】このクリーンベンチには、メインフィルタ
ーを作業空間の天井部に設け、作業台に向けて清浄空気
が吹き下ろされるようにした垂直気流形，メインフィル
ターを作業空間の背面部に設け、清浄空気が作業空間を
横断してそのまま開口部から吹出されるようにした水平
気流形がある。このうち上記前者では、作業空間内の清
浄度を確保するため作業用開口部に強化ガラス製のシャ
ッターが設けられ、通常の作業時には、該シャッターを
下ろし作業空間の開口を最小限に留めた状態でガラス越
しに作業を行い、実験や作業用の機器を作業空間内に搬
入する際にはシャッターを開閉する必要がある。
ーを作業空間の天井部に設け、作業台に向けて清浄空気
が吹き下ろされるようにした垂直気流形，メインフィル
ターを作業空間の背面部に設け、清浄空気が作業空間を
横断してそのまま開口部から吹出されるようにした水平
気流形がある。このうち上記前者では、作業空間内の清
浄度を確保するため作業用開口部に強化ガラス製のシャ
ッターが設けられ、通常の作業時には、該シャッターを
下ろし作業空間の開口を最小限に留めた状態でガラス越
しに作業を行い、実験や作業用の機器を作業空間内に搬
入する際にはシャッターを開閉する必要がある。
【０００４】これに対して、後者の水平気流形クリーン
ベンチでは、作業空間内全体に、直接作業用開口部に向
かう平行な気流を生成し、それにより作業空間内の清浄
度を維持するものであるため、図３に示す如く作業用開
口部３１は、全面的に開放されており、作業や機器の搬
入が行い易いという利点がある。
ベンチでは、作業空間内全体に、直接作業用開口部に向
かう平行な気流を生成し、それにより作業空間内の清浄
度を維持するものであるため、図３に示す如く作業用開
口部３１は、全面的に開放されており、作業や機器の搬
入が行い易いという利点がある。
【０００５】しかし、吹出面３０と作業用開口部３１の
面積が等しいため作業空間３２内の陽圧が充分に保たれ
ず、また、作業台の幅に対応して通常２分割されている
メインフィルター３３，３３の中央部には吹出空気の無
いデッドスペース３４が生じ、それにより吹出空気が拡
散し、吹出風速が低下するため作業空間３２内の圧力
は、殆ど大気圧と差が無くなる。このような状態では、
実験や作業に伴う作業空間３２内での一時的な発塵や、
外部からの巻込み粒子が発生した際、作業空間３２内の
陽圧度不足による乱流で清浄度の回復が遅れたり、恒常
的な外部からの巻込み誘引３５により清浄度が低下する
等の問題があった。
面積が等しいため作業空間３２内の陽圧が充分に保たれ
ず、また、作業台の幅に対応して通常２分割されている
メインフィルター３３，３３の中央部には吹出空気の無
いデッドスペース３４が生じ、それにより吹出空気が拡
散し、吹出風速が低下するため作業空間３２内の圧力
は、殆ど大気圧と差が無くなる。このような状態では、
実験や作業に伴う作業空間３２内での一時的な発塵や、
外部からの巻込み粒子が発生した際、作業空間３２内の
陽圧度不足による乱流で清浄度の回復が遅れたり、恒常
的な外部からの巻込み誘引３５により清浄度が低下する
等の問題があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は従来のクリー
ンベンチのこのような点に鑑みて、作業や作業空間内へ
の機器の搬入出が行い易く、且つ、作業空間内の清浄
度、及び清浄化能力を向上することが可能なクリーンベ
ンチを提供することを課題としたものである。
ンベンチのこのような点に鑑みて、作業や作業空間内へ
の機器の搬入出が行い易く、且つ、作業空間内の清浄
度、及び清浄化能力を向上することが可能なクリーンベ
ンチを提供することを課題としたものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】作業台の上方に、両側
面，上面，背面が密閉され、前面が作業用の開口部とな
っている作業空間を形成し、該作業空間の背面部には全
面的にメインフィルターを設け清浄空気吹出面とし、上
記作業空間の外部から取入れた空気を送風機によりメイ
ンフィルターに圧送し、該メインフィルターを通して清
浄化した空気を作業空間内に吹出すことにより、該作業
空間内を横断し前面開口部から外部に流出する水平気流
を生成するようにしたクリーンベンチにおいて、上記作
業空間の天井部分を支持する補強柱を作業空間両側面の
前縁部から前面開口部内に張出させて設け、前面開口幅
を清浄空気吹出面幅より狭くした。
面，上面，背面が密閉され、前面が作業用の開口部とな
っている作業空間を形成し、該作業空間の背面部には全
面的にメインフィルターを設け清浄空気吹出面とし、上
記作業空間の外部から取入れた空気を送風機によりメイ
ンフィルターに圧送し、該メインフィルターを通して清
浄化した空気を作業空間内に吹出すことにより、該作業
空間内を横断し前面開口部から外部に流出する水平気流
を生成するようにしたクリーンベンチにおいて、上記作
業空間の天井部分を支持する補強柱を作業空間両側面の
前縁部から前面開口部内に張出させて設け、前面開口幅
を清浄空気吹出面幅より狭くした。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１及び図２に本発明クリーンベ
ンチの実施形態を示す。図において、本発明のクリーン
ベンチは、作業台１の上方に、前面に作業用の開口部２
を有し、両側面を強化ガラス３，３で、上面を天井ケー
ス４で囲まれ、上記前面開口部２に対向する背面部分が
全面的に清浄空気の吹出面５となっている作業空間６を
形成している。
ンチの実施形態を示す。図において、本発明のクリーン
ベンチは、作業台１の上方に、前面に作業用の開口部２
を有し、両側面を強化ガラス３，３で、上面を天井ケー
ス４で囲まれ、上記前面開口部２に対向する背面部分が
全面的に清浄空気の吹出面５となっている作業空間６を
形成している。
【０００９】清浄空気吹出面５は、表面に多孔板７を設
け、その背後にＨＥＰＡフィルターからなるメインフィ
ルター８を設けている。また、作業台１の下部からメイ
ンフィルター８の背後にかけて本体ケーシング９の内部
に陽圧チャンバー１０を形成し、該陽圧チャンバー１０
の下端部には送風機１１の吐出口１２を接続している。
更に、送風機１１を囲んで本体ケーシング９の内部に陰
圧チャンバー１３を形成し、該陰圧チャンバー１３の下
面の空気取入部にはプレフィルター１４を設けている。
け、その背後にＨＥＰＡフィルターからなるメインフィ
ルター８を設けている。また、作業台１の下部からメイ
ンフィルター８の背後にかけて本体ケーシング９の内部
に陽圧チャンバー１０を形成し、該陽圧チャンバー１０
の下端部には送風機１１の吐出口１２を接続している。
更に、送風機１１を囲んで本体ケーシング９の内部に陰
圧チャンバー１３を形成し、該陰圧チャンバー１３の下
面の空気取入部にはプレフィルター１４を設けている。
【００１０】作業空間６の天井ケース４は、内部に照明
灯１５を備え、下面にはそのカバー１６が設けられてい
る。そして、天井ケース４の後側は陽圧チャンバー１０
部分の本体ケーシング９に連なり、前側では、作業台１
の前面開口部２の両側、作業空間両側面の強化ガラス
３，３の前縁部に沿って設けた補強柱１７，１７で支持
され、作業空間６から前面開口部２にかけて高さＨが一
様である。
灯１５を備え、下面にはそのカバー１６が設けられてい
る。そして、天井ケース４の後側は陽圧チャンバー１０
部分の本体ケーシング９に連なり、前側では、作業台１
の前面開口部２の両側、作業空間両側面の強化ガラス
３，３の前縁部に沿って設けた補強柱１７，１７で支持
され、作業空間６から前面開口部２にかけて高さＨが一
様である。
【００１１】補強柱１７，１７は、図２に示す如く、作
業空間６の側面に対して内側、即ち、前面開口部２側に
張出しており、その張出量ｕの分だけ、前面開口部２の
開口幅Ｗｂは、吹出面幅（作業空間幅）Ｗａより狭くな
っている。
業空間６の側面に対して内側、即ち、前面開口部２側に
張出しており、その張出量ｕの分だけ、前面開口部２の
開口幅Ｗｂは、吹出面幅（作業空間幅）Ｗａより狭くな
っている。
【００１２】上述の如く構成されたクリーンベンチにお
いて、送風機１１により減圧されている陰圧チャンバー
１３内にプレフィルター１４を介して吸入された外部の
空気は陽圧チャンバー１０内に圧送され、該陽圧チャン
バー１０内が加圧されることによりメインフィルター８
を通じて清浄化された空気が吹出面５から作業空間６内
に吹出され、作業空間６内には、該作業空間６を横断し
て開口部２から外部に吹出される水平な清浄空気流が形
成される。
いて、送風機１１により減圧されている陰圧チャンバー
１３内にプレフィルター１４を介して吸入された外部の
空気は陽圧チャンバー１０内に圧送され、該陽圧チャン
バー１０内が加圧されることによりメインフィルター８
を通じて清浄化された空気が吹出面５から作業空間６内
に吹出され、作業空間６内には、該作業空間６を横断し
て開口部２から外部に吹出される水平な清浄空気流が形
成される。
【００１３】この際、先述の通り、吹出面幅（作業空間
幅）Ｗａよりも開口幅Ｗｂが狭いため、作業空間６内の
吹出側６ａより開口部付近６ａの風速が速くなり、作業
空間６内の圧力が大気圧よりも高い陽圧に保持される。
幅）Ｗａよりも開口幅Ｗｂが狭いため、作業空間６内の
吹出側６ａより開口部付近６ａの風速が速くなり、作業
空間６内の圧力が大気圧よりも高い陽圧に保持される。
【００１４】このため、外気の恒常的な巻込み誘引とそ
れによる清浄度の低下が防止されると共に、実験や作業
に伴う外部からの粒子の巻込みが抑制され、且つ、作業
空間６内での一時的な発塵に際しても直ちに作業空間６
内の清浄度が回復される。
れによる清浄度の低下が防止されると共に、実験や作業
に伴う外部からの粒子の巻込みが抑制され、且つ、作業
空間６内での一時的な発塵に際しても直ちに作業空間６
内の清浄度が回復される。
【００１５】また、図示例のような中央２分割式のメイ
ンフィルター８，８であっても、作業空間中央部６ｃで
の吹出空気流の拡散と、それによる陽圧度不足及び内部
清浄度の低下が抑制されるため、メインフィルター８，
８の構造設計上も有利である。
ンフィルター８，８であっても、作業空間中央部６ｃで
の吹出空気流の拡散と、それによる陽圧度不足及び内部
清浄度の低下が抑制されるため、メインフィルター８，
８の構造設計上も有利である。
【００１６】補強柱１７，１７の張出量ｕについては、
特に限定されるものではないが、極端に小さい場合は、
作業空間６内の陽圧度に対して影響を与えることができ
ない。また、張出量ｕが大き過ぎる場合は、急激な開口
断面変化による圧力損失が増大し必ずしも陽圧度の向上
とならないばかりか、開口部２を通じての作業性が悪化
し水平気流形のクリーンベンチの長所が生かされなくな
る。これらの理由から、張出量ｕは吹出面幅Ｗａの１〜
６％程度（開口面積Ｗｂ×Ｈが吹出面積Ｗａ×Ｈの９８
〜８８％程度）であることが好適である。
特に限定されるものではないが、極端に小さい場合は、
作業空間６内の陽圧度に対して影響を与えることができ
ない。また、張出量ｕが大き過ぎる場合は、急激な開口
断面変化による圧力損失が増大し必ずしも陽圧度の向上
とならないばかりか、開口部２を通じての作業性が悪化
し水平気流形のクリーンベンチの長所が生かされなくな
る。これらの理由から、張出量ｕは吹出面幅Ｗａの１〜
６％程度（開口面積Ｗｂ×Ｈが吹出面積Ｗａ×Ｈの９８
〜８８％程度）であることが好適である。
【００１７】尚、上記実施形態では補強柱１７，１７の
背面、即ち、吹出面５に対向する面が該吹出面５と平行
で、吹出気流の方向に対して垂直である場合を示した
が、その付近での気流方向に沿って傾斜させたり、断面
円弧状に面取りしても良い。また、補強柱１７，１７の
構成を、前面開口部にシャッターを設ける代りにエアカ
ーテンを付設した垂直気流形のクリーンベンチに採用す
ることにより、この形式のクリーンベンチの庫内清浄度
及び清浄化能力を向上させることができる。
背面、即ち、吹出面５に対向する面が該吹出面５と平行
で、吹出気流の方向に対して垂直である場合を示した
が、その付近での気流方向に沿って傾斜させたり、断面
円弧状に面取りしても良い。また、補強柱１７，１７の
構成を、前面開口部にシャッターを設ける代りにエアカ
ーテンを付設した垂直気流形のクリーンベンチに採用す
ることにより、この形式のクリーンベンチの庫内清浄度
及び清浄化能力を向上させることができる。
【００１８】
【発明の効果】本発明のクリーンベンチは、上述の通り
作業台の上方に、両側面，上面，背面が密閉され、前面
が作業用の開口部となっている作業空間を形成し、該作
業空間の背面部には全面的にメインフィルターを設け清
浄空気吹出面とし、上記作業空間の外部から取入れた空
気を送風機によりメインフィルターに圧送し、該メイン
フィルターを通して清浄化した空気を作業空間内に吹出
すことにより、該作業空間内を横断し前面開口部から外
部に流出する水平気流を生成するようにしたクリーンベ
ンチにおいて、上記作業空間の天井部分を支持する補強
柱を作業空間両側面の前縁部から前面開口部内に張出さ
せて設け、前面開口幅を清浄空気吹出面幅より狭くした
ので、前面開口部にシャッターが無く、実験や作業、及
びそれに使用する機器の搬入出が容易に行えるという従
来の水平気流形クリーンベンチの長所はそのままに、作
業空間内の清浄度、及び清浄化能力を大幅に向上するこ
とができる。
作業台の上方に、両側面，上面，背面が密閉され、前面
が作業用の開口部となっている作業空間を形成し、該作
業空間の背面部には全面的にメインフィルターを設け清
浄空気吹出面とし、上記作業空間の外部から取入れた空
気を送風機によりメインフィルターに圧送し、該メイン
フィルターを通して清浄化した空気を作業空間内に吹出
すことにより、該作業空間内を横断し前面開口部から外
部に流出する水平気流を生成するようにしたクリーンベ
ンチにおいて、上記作業空間の天井部分を支持する補強
柱を作業空間両側面の前縁部から前面開口部内に張出さ
せて設け、前面開口幅を清浄空気吹出面幅より狭くした
ので、前面開口部にシャッターが無く、実験や作業、及
びそれに使用する機器の搬入出が容易に行えるという従
来の水平気流形クリーンベンチの長所はそのままに、作
業空間内の清浄度、及び清浄化能力を大幅に向上するこ
とができる。
【図１】本発明実施形態のクリーンベンチを示す側断面
図である。
図である。
【図２】図１のII−II線断面図である。
【図３】従来のクリーンベンチを示す水平断面図であ
る。
る。
１ 作業台 ２ 開口部 ３ 強化ガラス ４ 天井ケース ５ 吹出面 ６ 作業空間 ８ メインフィルター １０ 陽圧チャンバー １１ 送風機 １３ 陰圧チャンバー １４ プレフィルター １７補強柱
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−55914（ＪＰ，Ａ) 実開 平５−32934（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−48750（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−175834（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭50−131164（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】 作業台の上方に、両側面，上面，背面が
密閉され、前面が作業用の開口部となっている作業空間
を形成し、該作業空間の背面部には全面的にメインフィ
ルターを設け清浄空気吹出面とし、上記作業空間の外部
から取入れた空気を送風機によりメインフィルターに圧
送し、該メインフィルターを通して清浄化した空気を作
業空間内に吹出すことにより、該作業空間内を横断し前
面開口部から外部に流出する水平気流を生成するように
したクリーンベンチにおいて、上記作業空間の天井部分
を支持する補強柱を作業空間両側面の前縁部から前面開
口部内に張出させて設け、前面開口幅を清浄空気吹出面
幅より狭くしたことを特徴とするクリーンベンチ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34483095A JP2741495B2 (ja) | 1995-12-06 | 1995-12-06 | クリーンベンチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34483095A JP2741495B2 (ja) | 1995-12-06 | 1995-12-06 | クリーンベンチ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09159240A JPH09159240A (ja) | 1997-06-20 |
| JP2741495B2 true JP2741495B2 (ja) | 1998-04-15 |
Family
ID=18372310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34483095A Expired - Lifetime JP2741495B2 (ja) | 1995-12-06 | 1995-12-06 | クリーンベンチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2741495B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5009859B2 (ja) * | 2008-06-02 | 2012-08-22 | 株式会社大気社 | 開放式プッシュプル型換気装置 |
-
1995
- 1995-12-06 JP JP34483095A patent/JP2741495B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09159240A (ja) | 1997-06-20 |
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Legal Events
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